JPH0580858A - 制御器 - Google Patents
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- JPH0580858A JPH0580858A JP3240346A JP24034691A JPH0580858A JP H0580858 A JPH0580858 A JP H0580858A JP 3240346 A JP3240346 A JP 3240346A JP 24034691 A JP24034691 A JP 24034691A JP H0580858 A JPH0580858 A JP H0580858A
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- stem
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
- F16K41/12—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube with approximately flat diaphragm
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ダイヤフラム型の制御器に於いて、ステムの
下降量を規制して締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や
破損を防止する。 【構成】 流体入口１０及び流体出口１１に連通する凹
状の弁室１２の底面に弁座１３を設けたボディ１と、弁
座１３の上方に配設され、弁室１２の気密を保持すると
共に、その中央部が上下動して直接弁座１３へ当接する
か若しくはディスク６を介して間接的に弁座１３へ当接
するダイヤフラム２と、ダイヤフラム２の上方に昇降自
在に配設され、ダイヤフラム２の中央部を下方へ下降さ
せるステム８とから構成したダイヤフラム型の制御器に
於いて、前記ダイヤフラム２周縁部近傍のボディ１とス
テム８の下端部との間に、制御器の全閉時にステム８の
下降を規制するストッパー機構３を介設した。
下降量を規制して締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や
破損を防止する。 【構成】 流体入口１０及び流体出口１１に連通する凹
状の弁室１２の底面に弁座１３を設けたボディ１と、弁
座１３の上方に配設され、弁室１２の気密を保持すると
共に、その中央部が上下動して直接弁座１３へ当接する
か若しくはディスク６を介して間接的に弁座１３へ当接
するダイヤフラム２と、ダイヤフラム２の上方に昇降自
在に配設され、ダイヤフラム２の中央部を下方へ下降さ
せるステム８とから構成したダイヤフラム型の制御器に
於いて、前記ダイヤフラム２周縁部近傍のボディ１とス
テム８の下端部との間に、制御器の全閉時にステム８の
下降を規制するストッパー機構３を介設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体製造装置や
原子力発電プラント等の流体管路に於いて使用されるダ
イヤフラム型の制御器の改良に関する。
原子力発電プラント等の流体管路に於いて使用されるダ
イヤフラム型の制御器の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置等の高純度ガス
を取り扱う管路では、弁室からのガスの漏洩を皆無とし
た構造のダイヤフラム型の制御器が多く用いられてい
る。従来、この種の制御器としては、例えば図５に示す
構造のものや図６に示す構造のものが知られている。即
ち、前者の制御器は、ボディ２０、ダイヤフラム２１、
ボンネット２２、ボンネットナット２３、ディスク２
４、ダイヤフラム押え２５、ステム２６、ハンドル２７
等から構成されて居り、ステム２６を下降させると、デ
ィスク２４及びダイヤフラム押え２５によりダイヤフラ
ム２１の中央部が下方へ押されて弁座２８に当座し、ま
たステム２６を上昇させると、ダイヤフラム２１がその
弾性力及び流体圧により弁座２８から離座するようにな
っている。又、後者の制御器は、ボディ２０、ディスク
２４、スプリング２９、ダイヤフラム２１、ボンネット
２２、ボンネットナット２３、ダイヤフラム押え２５、
ステム２６、ハンドル２７等から構成されて居り、ステ
ム２６を下降させると、ダイヤフラム押え２５によりダ
イヤフラム２１の中央部が下方へ押されてディスク２４
を押し下げ、ディスク２４のディスクパッキン３０が弁
座２８に当座し、またステム２６を上昇させると、スプ
リング２９の弾性力によりディスク２４が上昇して弁座
２８から離座するようになっている。上記各制御器は、
弁室からの流体の漏洩を皆無にできる等、優れた実用的
効用を有するものである。
を取り扱う管路では、弁室からのガスの漏洩を皆無とし
た構造のダイヤフラム型の制御器が多く用いられてい
る。従来、この種の制御器としては、例えば図５に示す
構造のものや図６に示す構造のものが知られている。即
ち、前者の制御器は、ボディ２０、ダイヤフラム２１、
ボンネット２２、ボンネットナット２３、ディスク２
４、ダイヤフラム押え２５、ステム２６、ハンドル２７
等から構成されて居り、ステム２６を下降させると、デ
ィスク２４及びダイヤフラム押え２５によりダイヤフラ
ム２１の中央部が下方へ押されて弁座２８に当座し、ま
たステム２６を上昇させると、ダイヤフラム２１がその
弾性力及び流体圧により弁座２８から離座するようにな
っている。又、後者の制御器は、ボディ２０、ディスク
２４、スプリング２９、ダイヤフラム２１、ボンネット
２２、ボンネットナット２３、ダイヤフラム押え２５、
ステム２６、ハンドル２７等から構成されて居り、ステ
ム２６を下降させると、ダイヤフラム押え２５によりダ
イヤフラム２１の中央部が下方へ押されてディスク２４
を押し下げ、ディスク２４のディスクパッキン３０が弁
座２８に当座し、またステム２６を上昇させると、スプ
リング２９の弾性力によりディスク２４が上昇して弁座
２８から離座するようになっている。上記各制御器は、
弁室からの流体の漏洩を皆無にできる等、優れた実用的
効用を有するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来のダイ
ヤフラム型の制御器にも改良すべき問題点が残されてい
る。即ち、前記各制御器は、ステム２６が螺子作動方式
であるうえ、ダイヤフラム２１若しくはディスク２４を
弁座２８に当接させることによってステム２６の下降を
規制する構成としている為、閉弁時にステム２６を締め
過ぎると、ステム２６が必要以上に下降し、ダイヤフラ
ム２１が弁座２８とダイヤフラム押え２５との間若しく
はディスク２４とダイヤフラム押え２５との間で強く挾
持されることになる。その結果、ダイヤフラム２１が損
傷したり、或いは破損したりすることがあり、ダイヤフ
ラム２１の寿命が大幅に短縮すると云う問題があった。
特に、ダイヤフラム２１は、極めて薄肉に形成されてい
る為、前記問題はより一層顕著に現れることになる。
ヤフラム型の制御器にも改良すべき問題点が残されてい
る。即ち、前記各制御器は、ステム２６が螺子作動方式
であるうえ、ダイヤフラム２１若しくはディスク２４を
弁座２８に当接させることによってステム２６の下降を
規制する構成としている為、閉弁時にステム２６を締め
過ぎると、ステム２６が必要以上に下降し、ダイヤフラ
ム２１が弁座２８とダイヤフラム押え２５との間若しく
はディスク２４とダイヤフラム押え２５との間で強く挾
持されることになる。その結果、ダイヤフラム２１が損
傷したり、或いは破損したりすることがあり、ダイヤフ
ラム２１の寿命が大幅に短縮すると云う問題があった。
特に、ダイヤフラム２１は、極めて薄肉に形成されてい
る為、前記問題はより一層顕著に現れることになる。
【０００４】本発明は、上記の問題点を解消する為に創
案されたものであり、その目的はステムの下降量を規制
して締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を防止で
きるようにしたダイヤフラム型の制御器を提供するにあ
る。
案されたものであり、その目的はステムの下降量を規制
して締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を防止で
きるようにしたダイヤフラム型の制御器を提供するにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明の制御器は、流体入口及び流体出口に連通す
る凹状の弁室の底面に弁座を設けたボディと、弁座の上
方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央
部が上下動して直接弁座へ当接するか若しくはディスク
を介して間接的に弁座へ当接するダイヤフラムと、ダイ
ヤフラムの上方に昇降自在に配設され、ダイヤフラムの
中央部を下方へ下降させるステムとから構成したダイヤ
フラム型の制御器に於いて、前記ダイヤフラム周縁部近
傍のボディとステムの下端部との間に、制御器の全閉時
にステムの下降を規制するストッパー機構を介設したも
のである。
に、本発明の制御器は、流体入口及び流体出口に連通す
る凹状の弁室の底面に弁座を設けたボディと、弁座の上
方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央
部が上下動して直接弁座へ当接するか若しくはディスク
を介して間接的に弁座へ当接するダイヤフラムと、ダイ
ヤフラムの上方に昇降自在に配設され、ダイヤフラムの
中央部を下方へ下降させるステムとから構成したダイヤ
フラム型の制御器に於いて、前記ダイヤフラム周縁部近
傍のボディとステムの下端部との間に、制御器の全閉時
にステムの下降を規制するストッパー機構を介設したも
のである。
【０００６】
【作用】ステムを下降させると、ダイヤフラムの中央部
が下方へ押し下げられて直接弁座に当座するか若しくは
ダイヤフラムがディスクを押圧してこれを弁座へ当座せ
しめる。これによって、制御器は、閉弁状態になる。
尚、この制御器は、ダイヤフラム若しくはディスクが弁
座に当接したときにはストッパー機構によってステムの
下降が規制される為、締め過ぎると云うこともなく、締
め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を防止できる。
又、ステムを上昇させると、ダイヤフラムがその弾性力
及び流体圧により上方へ変位して弁座から離座するか若
しくはディスクがスプリングの弾性力により上昇して弁
座から離座する。これによって、制御器は、開弁状態に
なる。
が下方へ押し下げられて直接弁座に当座するか若しくは
ダイヤフラムがディスクを押圧してこれを弁座へ当座せ
しめる。これによって、制御器は、閉弁状態になる。
尚、この制御器は、ダイヤフラム若しくはディスクが弁
座に当接したときにはストッパー機構によってステムの
下降が規制される為、締め過ぎると云うこともなく、締
め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を防止できる。
又、ステムを上昇させると、ダイヤフラムがその弾性力
及び流体圧により上方へ変位して弁座から離座するか若
しくはディスクがスプリングの弾性力により上昇して弁
座から離座する。これによって、制御器は、開弁状態に
なる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の第１実施例に係るダイヤフ
ラム型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダ
イヤフラム２を直接弁座１３に当離座させて開閉を行う
ようにしたものであり、１はボディ、２はダイヤフラ
ム、３はストッパー機構、４はボンネット、５はボンネ
ットナット、６はディスク、７はダイヤフラム押え、８
はステム、９はハンドルである。
に説明する。図１は本発明の第１実施例に係るダイヤフ
ラム型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダ
イヤフラム２を直接弁座１３に当離座させて開閉を行う
ようにしたものであり、１はボディ、２はダイヤフラ
ム、３はストッパー機構、４はボンネット、５はボンネ
ットナット、６はディスク、７はダイヤフラム押え、８
はステム、９はハンドルである。
【０００８】前記ボディ１は、ステンレス鋼等の金属材
により略十字状に形成されて居り、両側には流体入口１
０及び流体出口１１が、上部には流体入口１０及び流体
出口１１に連通する上方が開放された凹状の弁室１２が
夫々形成されている。又、弁室１２の底面には合成樹脂
製の弁座１３が略埋設状態で設けられていると共に、弁
室１２の内周面下側には段部１４が形成されている。
尚、本実施例では、弁座１３を合成樹脂によりボディ１
と別体に形成したが、ボディ１と一体的に形成して良
い。
により略十字状に形成されて居り、両側には流体入口１
０及び流体出口１１が、上部には流体入口１０及び流体
出口１１に連通する上方が開放された凹状の弁室１２が
夫々形成されている。又、弁室１２の底面には合成樹脂
製の弁座１３が略埋設状態で設けられていると共に、弁
室１２の内周面下側には段部１４が形成されている。
尚、本実施例では、弁座１３を合成樹脂によりボディ１
と別体に形成したが、ボディ１と一体的に形成して良
い。
【０００９】前記ダイヤフラム２は、弁座１３の上方に
配設されて居り、弁室１２の気密を保持すると共に、そ
の中央部が上下動して弁座１３に当離座するようになっ
ている。本実施例では、ダイヤフラム２は、ステンレス
鋼、インコネル（商標名）、形状記憶合金等の金属製薄
板により中央部を上方へ膨出せしめた皿状に形成されて
居り、その周縁部が弁室１２内周面の段部１４に載置さ
れ、弁室１２内へ挿入したボンネット４の下端部とボデ
ィ１に螺着したボンネットナット５とにより、段部１４
側へ押圧され、気密状態で挾持固定されている。
配設されて居り、弁室１２の気密を保持すると共に、そ
の中央部が上下動して弁座１３に当離座するようになっ
ている。本実施例では、ダイヤフラム２は、ステンレス
鋼、インコネル（商標名）、形状記憶合金等の金属製薄
板により中央部を上方へ膨出せしめた皿状に形成されて
居り、その周縁部が弁室１２内周面の段部１４に載置さ
れ、弁室１２内へ挿入したボンネット４の下端部とボデ
ィ１に螺着したボンネットナット５とにより、段部１４
側へ押圧され、気密状態で挾持固定されている。
【００１０】前記ボンネット４は、筒形状に形成されて
居り、ボディ１の弁室１２内に挿入され、ボンネットナ
ット５を締め込むことにより、ボディ１側へ押圧固定さ
れている。又、ボンネット４の下端部内周面は大径に形
成されている。
居り、ボディ１の弁室１２内に挿入され、ボンネットナ
ット５を締め込むことにより、ボディ１側へ押圧固定さ
れている。又、ボンネット４の下端部内周面は大径に形
成されている。
【００１１】前記ディスク６は、ボンネット４の下端部
内に昇降自在に挿入されて居り、下端面にはダイヤフラ
ム２の中央部上面に当接する合成樹脂製のダイヤフラム
押え７が嵌着されている。
内に昇降自在に挿入されて居り、下端面にはダイヤフラ
ム２の中央部上面に当接する合成樹脂製のダイヤフラム
押え７が嵌着されている。
【００１２】前記ステム８は、下端面がディスク６に当
接すべくボンネット４内に昇降自在に螺挿されて居り、
ディスク６を下方へ押圧してダイヤフラム押え７を介し
てダイヤフラム２の中央部を弁座１３に当座させるよう
になっている。又、ステム８の上端部にはステム操作用
のハンドル９が固定されている。
接すべくボンネット４内に昇降自在に螺挿されて居り、
ディスク６を下方へ押圧してダイヤフラム押え７を介し
てダイヤフラム２の中央部を弁座１３に当座させるよう
になっている。又、ステム８の上端部にはステム操作用
のハンドル９が固定されている。
【００１３】前記ストッパー機構３は、ダイヤフラム２
周縁部近傍のボディ１とステム８の下端部との間に介設
されて居り、制御器の全閉時（ダイヤフラム２の中央部
が弁座１３に当座したとき）にステム８の下降を規制す
るものである。本実施例では、ストッパー機構３は、ダ
イヤフラム２の周縁部上面とボンネット４の下端面との
間に介設された環状のストッパー部材１５と、ディスク
６の下端部外周面に一体的に形成され、ボンネット４の
下端部内に収容されてストッパー部材１５の上面に当接
する鍔状の係止部１６とから成る。尚、ストッパー部材
１５の内径は、ボンネット４の下端部内周面の内径より
も小さめに設定され、又、ストッパー部材１５と係止部
１６との間隙はディスク６が下降してダイヤフラム２が
弁座１３に当座したときにストッパー部材１５と係止部
１６とが当接するように設定されている。
周縁部近傍のボディ１とステム８の下端部との間に介設
されて居り、制御器の全閉時（ダイヤフラム２の中央部
が弁座１３に当座したとき）にステム８の下降を規制す
るものである。本実施例では、ストッパー機構３は、ダ
イヤフラム２の周縁部上面とボンネット４の下端面との
間に介設された環状のストッパー部材１５と、ディスク
６の下端部外周面に一体的に形成され、ボンネット４の
下端部内に収容されてストッパー部材１５の上面に当接
する鍔状の係止部１６とから成る。尚、ストッパー部材
１５の内径は、ボンネット４の下端部内周面の内径より
も小さめに設定され、又、ストッパー部材１５と係止部
１６との間隙はディスク６が下降してダイヤフラム２が
弁座１３に当座したときにストッパー部材１５と係止部
１６とが当接するように設定されている。
【００１４】次に、前記制御器の作動について説明す
る。制御器を閉弁状態にする場合には、ハンドル９を回
してステム８を下降させる。そうすると、ディスク６及
びダイヤフラム押え７が下降してダイヤフラム２の中央
部を下方へ押し下げ、これによって、ダイヤフラム２が
図２に示すような状態に弾性変形し、弁座１３に当座し
て閉弁状態になる。尚、この制御器は、ダイヤフラム２
が弁座１３に当接したときにはディスク６に形成した係
止部１６がストッパー部材１５の上面に当接してステム
８の下降を規制する為、締め過ぎると云うこともなく、
締め過ぎによるダイヤフラム２の損傷や破損を防止する
ことができる。そして、制御器を開弁状態にする場合に
は、ハンドル９を回してステム８を上昇させる。そうす
ると、ダイヤフラム２はその弾性力や流体圧によりディ
スク６及びダイヤフラム押え７を押し上げつつ元の形状
に復元し、弁座１３から離座して開弁状態になる。
る。制御器を閉弁状態にする場合には、ハンドル９を回
してステム８を下降させる。そうすると、ディスク６及
びダイヤフラム押え７が下降してダイヤフラム２の中央
部を下方へ押し下げ、これによって、ダイヤフラム２が
図２に示すような状態に弾性変形し、弁座１３に当座し
て閉弁状態になる。尚、この制御器は、ダイヤフラム２
が弁座１３に当接したときにはディスク６に形成した係
止部１６がストッパー部材１５の上面に当接してステム
８の下降を規制する為、締め過ぎると云うこともなく、
締め過ぎによるダイヤフラム２の損傷や破損を防止する
ことができる。そして、制御器を開弁状態にする場合に
は、ハンドル９を回してステム８を上昇させる。そうす
ると、ダイヤフラム２はその弾性力や流体圧によりディ
スク６及びダイヤフラム押え７を押し上げつつ元の形状
に復元し、弁座１３から離座して開弁状態になる。
【００１５】図３は本発明の第２実施例に係るダイヤフ
ラム型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダ
イヤフラム２の上方にダイヤフラム押え７を、ダイヤフ
ラム２の下方にディスク６を夫々昇降自在に配設し、デ
ィスク６とボディ１との間にスプリング１７を介設した
ものであり、ダイヤフラム押え７でダイヤフラム２の中
央部を下方へ押圧すると、ディスク６が下降してこれに
設けたディスクパッキン１８が弁座１３に当座し、又、
押圧状態を解除すると、スプリング１７の弾性力によっ
てディスク６が上昇してディスクパッキン１８が弁座１
３から離座するようにしたものである。更に、ダイヤフ
ラム２周縁部近傍のボディ１とステム８の下端部との間
には制御器の全閉時（ダイヤフラム２の中央部が弁座１
３に当座したとき）にステム８の下降を規制するストッ
パー機構３が介設されて居り、その他の構成は上記第１
実施例のものと略同様である。尚、図３に於いて、１は
ボディ、４はボンネット、５はボンネットナット、８は
ステム、９はハンドル、１０は流体入口、１１は流体出
口、１２は弁室、１４は段部である。
ラム型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダ
イヤフラム２の上方にダイヤフラム押え７を、ダイヤフ
ラム２の下方にディスク６を夫々昇降自在に配設し、デ
ィスク６とボディ１との間にスプリング１７を介設した
ものであり、ダイヤフラム押え７でダイヤフラム２の中
央部を下方へ押圧すると、ディスク６が下降してこれに
設けたディスクパッキン１８が弁座１３に当座し、又、
押圧状態を解除すると、スプリング１７の弾性力によっ
てディスク６が上昇してディスクパッキン１８が弁座１
３から離座するようにしたものである。更に、ダイヤフ
ラム２周縁部近傍のボディ１とステム８の下端部との間
には制御器の全閉時（ダイヤフラム２の中央部が弁座１
３に当座したとき）にステム８の下降を規制するストッ
パー機構３が介設されて居り、その他の構成は上記第１
実施例のものと略同様である。尚、図３に於いて、１は
ボディ、４はボンネット、５はボンネットナット、８は
ステム、９はハンドル、１０は流体入口、１１は流体出
口、１２は弁室、１４は段部である。
【００１６】前記ストッパー機構３は、ダイヤフラム２
の周縁部上面とボンネット４の下端面との間に介設され
た環状のストッパー部材１５と、ダイヤフラム押え７と
ステム８との間に介設され、ストッパー部材１５の上面
に当接する円板状のダイヤフラム押え板１９とから成
る。尚、ストッパー部材１５の内径は、ボンネット４の
下端部内周面の内径よりも小さめに設定され、又、スト
ッパー部材１５とダイヤフラム押え板１９との間隙はダ
イヤフラム押え７及びディスク６が下降してディスクパ
ッキン１８が弁座１３に当座したときにストッパー部材
１５とダイヤフラム押え板１９とが当接するように設定
されている。
の周縁部上面とボンネット４の下端面との間に介設され
た環状のストッパー部材１５と、ダイヤフラム押え７と
ステム８との間に介設され、ストッパー部材１５の上面
に当接する円板状のダイヤフラム押え板１９とから成
る。尚、ストッパー部材１５の内径は、ボンネット４の
下端部内周面の内径よりも小さめに設定され、又、スト
ッパー部材１５とダイヤフラム押え板１９との間隙はダ
イヤフラム押え７及びディスク６が下降してディスクパ
ッキン１８が弁座１３に当座したときにストッパー部材
１５とダイヤフラム押え板１９とが当接するように設定
されている。
【００１７】而して、前記制御器を閉弁状態にする場合
には、ハンドル９を回してステム８を下降させる。そう
すると、ダイヤフラム押え板１９及びダイヤフラム押え
７がスプリング１７の弾性力に抗してダイヤフラム２の
中央部及びディスク６を押し下げ、ディスク６に設けた
ディスクパッキン１８が弁座１３に当座して閉弁状態に
なる。尚、この制御器も、閉弁状態（図４参照）になっ
たときにはダイヤフラム押え板１９がストッパー部材１
５に当接してステム８の下降を規制する為、締め過ぎる
と云うこともなく、締め過ぎによるダイヤフラム２の損
傷や破損を防止することができる。又、制御器を開弁状
態にする場合には、ハンドル９を回してステム８を上昇
させる。そうすると、スプリング１７の弾性力や流体圧
によりディスク６等が上昇し、ディスクパッキン１８が
弁座１３から離座して開弁状態になる。
には、ハンドル９を回してステム８を下降させる。そう
すると、ダイヤフラム押え板１９及びダイヤフラム押え
７がスプリング１７の弾性力に抗してダイヤフラム２の
中央部及びディスク６を押し下げ、ディスク６に設けた
ディスクパッキン１８が弁座１３に当座して閉弁状態に
なる。尚、この制御器も、閉弁状態（図４参照）になっ
たときにはダイヤフラム押え板１９がストッパー部材１
５に当接してステム８の下降を規制する為、締め過ぎる
と云うこともなく、締め過ぎによるダイヤフラム２の損
傷や破損を防止することができる。又、制御器を開弁状
態にする場合には、ハンドル９を回してステム８を上昇
させる。そうすると、スプリング１７の弾性力や流体圧
によりディスク６等が上昇し、ディスクパッキン１８が
弁座１３から離座して開弁状態になる。
【００１８】
【発明の効果】上述の通り、本発明のダイヤフラム型の
制御器は、ダイヤフラム周縁部近傍のボディとステムの
下端部との間に、制御器の全閉時にステムの下降を規制
するストッパー機構を介設する構成とした為、ステムが
螺子作動方式であっても、閉弁時に締め過ぎると云うこ
とがなく、締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を
防止することができる。その結果、ダイヤフラムの寿命
が大幅に延びることになる。
制御器は、ダイヤフラム周縁部近傍のボディとステムの
下端部との間に、制御器の全閉時にステムの下降を規制
するストッパー機構を介設する構成とした為、ステムが
螺子作動方式であっても、閉弁時に締め過ぎると云うこ
とがなく、締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を
防止することができる。その結果、ダイヤフラムの寿命
が大幅に延びることになる。
【図１】本発明の第１実施例に係るダイヤフラム型の制
御器の縦断面図である。
御器の縦断面図である。
【図２】第１実施例に係る制御器の要部の拡大縦断面図
である。
である。
【図３】本発明の第２実施例に係るダイヤフラム型の制
御器の縦断面図である。
御器の縦断面図である。
【図４】第２実施例に係る制御器の要部の拡大縦断面図
である。
である。
【図５】従来のダイヤフラム型の制御器の縦断面図であ
る。
る。
【図６】従来の他のダイヤフラム型の制御器の縦断面図
である。
である。
１ ボディ ２ ダイヤフラム ３ ストッパー機構 ６ ディスク ８ ステム １０ 流体入口 １１ 流体出口 １２ 弁室 １３ 弁座
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】
【発明の効果】上述の通り、本発明のダイヤフラム型の
制御器は、ダイヤフラム周縁部近傍のボディとステムの
下端部との間に、制御器の全閉時にステムの下降を規制
するストッパー機構を介設する構成とした為、ステムが
螺子作動方式であっても、閉弁時に締め過ぎると云うこ
とがなく、締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を
防止することができる。その結果、ダイヤフラムの寿命
が大幅に延びることになる。
制御器は、ダイヤフラム周縁部近傍のボディとステムの
下端部との間に、制御器の全閉時にステムの下降を規制
するストッパー機構を介設する構成とした為、ステムが
螺子作動方式であっても、閉弁時に締め過ぎると云うこ
とがなく、締め過ぎによるダイヤフラムの損傷や破損を
防止することができる。その結果、ダイヤフラムの寿命
が大幅に延びることになる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係るダイヤフラム型の制
御器の縦断面図である。
御器の縦断面図である。
【図２】第１実施例に係る制御器の要部の拡大縦断面図
である。
である。
【図３】本発明の第２実施例に係るダイヤフラム型の制
御器の縦断面図である。
御器の縦断面図である。
【図４】第２実施例に係る制御器の要部の拡大縦断面図
である。
である。
【図５】従来のダイヤフラム型の制御器の縦断面図であ
る。
る。
【図６】従来の他のダイヤフラム型の制御器の縦断面図
である。
である。
【符号の説明】 １ ボディ ２ ダイヤフラム ３ ストッパー機構 ６ ディスク ８ ステム １０ 流体入口 １１ 流体出口 １２ 弁室 １３ 弁座
Claims (1)
- 【請求項１】 流体入口及び流体出口に連通する凹状の
弁室の底面に弁座を設けたボディと、弁座の上方に配設
され、弁室の気密を保持すると共に、その中央部が上下
動して直接弁座へ当接するか若しくはディスクを介して
間接的に弁座へ当接するダイヤフラムと、ダイヤフラム
の上方に昇降自在に配設され、ダイヤフラムの中央部を
下方へ下降させるステムとから構成したダイヤフラム型
の制御器に於いて、前記ダイヤフラム周縁部近傍のボデ
ィとステムの下端部との間に、制御器の全閉時にステム
の下降を規制するストッパー機構を介設したことを特徴
とする制御器。
Priority Applications (6)
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|---|---|---|---|
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| DE69208001T DE69208001T2 (de) | 1991-08-26 | 1992-05-26 | Durchflussregler |
| EP92304725A EP0530947B1 (en) | 1991-08-26 | 1992-05-26 | Fluid flow controller |
| CA002072692A CA2072692C (en) | 1991-08-26 | 1992-06-29 | Fluid flow controller |
| KR1019920012757A KR960005673B1 (ko) | 1991-08-26 | 1992-07-16 | 유체제어기 |
| US08/035,209 US5295662A (en) | 1991-08-26 | 1993-03-22 | Fluid flow-controller with improved diaphragm |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3240346A JP2927582B2 (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 制御器 |
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|---|---|
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ID=17058123
Family Applications (1)
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| KR100611133B1 (ko) * | 1997-07-11 | 2007-01-31 | 하스코 코포레이션 | 최대밸브개방을조절가능하게설정하기위한수단을갖춘다이아프램밸브 |
| WO2007026448A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Fujikin Incorporated | ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁 |
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| KR20120004416A (ko) * | 2009-04-01 | 2012-01-12 | 게오르그 피셔 로라이퉁스지스테메 악티엔게젤샤프트 | 다이어프램 밸브 |
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| JP2020045917A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
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| FR2759759B1 (fr) | 1997-02-17 | 1999-05-21 | Asm France Sa | Dispositif d'obturation pour vanne a membrane |
| FR2762891B1 (fr) * | 1997-05-02 | 1999-07-30 | Transfluid Sa | Vanne a membrane |
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| KR102476802B1 (ko) * | 2021-05-12 | 2022-12-12 | 주식회사 이엠텍 | 액상 약품 주입기용 밸브 |
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-
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-
1992
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- 1992-05-26 EP EP92304725A patent/EP0530947B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-29 CA CA002072692A patent/CA2072692C/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-16 KR KR1019920012757A patent/KR960005673B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR960005673B1 (ko) | 1996-04-30 |
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