JPH0461993B2 - - Google Patents

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JPH0461993B2
JPH0461993B2 JP63189530A JP18953088A JPH0461993B2 JP H0461993 B2 JPH0461993 B2 JP H0461993B2 JP 63189530 A JP63189530 A JP 63189530A JP 18953088 A JP18953088 A JP 18953088A JP H0461993 B2 JPH0461993 B2 JP H0461993B2
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piston
valve
actuator
housing
pressure plate
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Esu Karasukii Uiriamu
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SUTANRII JII FURATSUGU ANDO CO Inc
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は高圧気体の流れのコントロールに用い
られる空気圧弁に関し、より具体的には100psig
以下の実用的な空気圧によつて作動できる弁に関
する。この弁は圧縮気体シリンダー弁として使用
するのに特に適している。
［従来の技術］ 本発明者等は1986年12月８日付にて出願した米
国特許出願第938824号に、圧縮気体シリンダーと
共に使用するのに特に適した空気作動式弁を開示
している。この弁の空気アクチユエータは古くか
ら使用されている一般的な手動アクチユエータと
互換性のある構造にしている。この空気アクチユ
エータはハウジングがカツプ型に形成され、従来
の弁体に螺合される。弁棒の軸部（extension）
はハウジングの中を突出し、ピストンに押し当た
る。ピストンは積み重ねた円板ばねの力によつて
弁棒を付勢している。円板ばねの力はピストンを
通じて弁棒の伸長部に加えられ、弁か閉位置に保
持される。圧縮空気がアクチユエータの中に導入
されると、この空気圧によつてピストンに力が加
わり、円板ばねを圧縮する。このスプリング作用
によつて弁棒は開位置に移動する。
［発明が解決しようとする課題］ このような空気圧で作動する弁を用いた気体シ
リンダーは約2000psigもの高い圧力が負荷され
る。このような高圧で気体シリンダーが洩れを生
じないようにするために、実質的な力は円板ばね
によつて発生しなければならない。例えば、半導
体産業において用いられる毒性の強い気体を保存
するのにこの気体シリンダー弁を用いる場合、洩
れを生じないようにすることは特に重要である。
更に又アクチユエータは、気体シリンダーの輸送
及び保存に使用される輸送キヤツプ（transport
cap）に嵌まる大きさにすることが望ましい。こ
のような制約を考慮すると、空気アクチユエータ
を作動させるには約160PSIの空気圧を使用する
必要がある。産業上利用されている空気圧の代表
的な圧力は約90PSIであるから、この空気圧式シ
リンダー弁を作動させるには空気圧装置又は増圧
器を別個に必要となる。
本発明の第１の目的は、一般的に利又は使用可
能な圧力で作動できる空圧式シリンダー弁及びア
クチユエータを提供することにある。
本発明のもうひとつの目的は、気体シリンダー
の弁を確実に遮断できる弁及びアクチユエータを
提供することにある。
本発明の更にもうひとつの目的は、一般的に使
用されている手動アクチユエータと互換性があ
り、従来の輸送キヤツプに嵌めることができる弁
及びアクチユエータを提供することにある。
本発明の更にもうひとつの目的は、寿命が長
く、信頼性が高く、製造及び組立が容易かつ経済
的な弁及びアクチユエータを提供することにあ
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明のこれら及びその目的は、デユアルタン
デム（dual tandem）ピストン付きの空気アクチ
ユエータによつて達成できる。下ピストンと上ピ
ストンの間に圧力板を設けているから、下ピスト
ンの上面に圧力を加えることなく上ピストンに圧
力を加えることができる。圧力板は取付時は作業
を容易にするために浮いた状態にあるが、力がか
かると、ストツパーに当たつて据わるようにする
のが望ましい。
より具体的には、本発明は空気アクチユエータ
単独、並びにシリンダー弁及びアクチユエータの
組合せに関するものである。
アクチユエータのハウジング４３はカツプ型即
ち中空円筒状に形成し、端部壁４５がシリンダー
の弁体３に固定されている。シリンダー弁の弁棒
部材は内側弁棒１６９と外側弁棒４９とから構成
され、内側弁棒１９は弁開放用ばね２５の力によ
つて開位置に保持される。外側弁棒４９は端部壁
４５の孔５１を通つてアクチユエータのハウジン
グ４３の中に進入している。第１の下ピストン５
５はハウジング内を摺動可能に配備され、外側弁
棒４９に当接し、端部壁４５と協同して第１のア
クチユエータチヤンバー５７を形成している。第
２の上ピストン５９はハウジングの中を摺動可能
に配備され、両ピストン５５，５９間に配備した
圧力板６１と協同して第２のアクチユエータチヤ
ンバー６３を形成している。例えば、円板ばね８
９のような付勢手段から上ピストン５９に加えら
れた付勢力は、ピストンロツド６７の如き、ピス
トン間に跨がるロツド手段によつて下ピストン５
５に伝達される。この付勢力は下ピストン５５を
通じて弁棒部材４９，１９に加えられ、弁は閉位
置に保持される。両ピストン間に跨がるロツド手
段は通路７１を含んでおり、該通路を通じて第１
アクチユエータチヤンバー５７と第２アクチユエ
ータチヤンバー６３が連通する。従つて、圧力流
体が第１アクチユエータチヤンバー５７に導入さ
れると、流体はこの通路７１を通じて第２アクチ
ユエータチヤンバー６３に流れていく。このよう
にして、付勢手段による付勢力以上の力が両ピス
トンに加えられるから、ピストンは弁棒部材４
９，１９から遠ざかる方向に移動し、弁開放用ば
ね２５によつて弁は開くことができる。
アクチユエータのハウジング４３は、カツプ型
に形成し、端部壁４５と一体にするのが望まし
い。更にまた、圧力板６１はハウジング４３の中
を可動であるが、第１ピストン方向への移動は、
例えばハウジングに設けた内肩部６５の如き、ス
トツパー手段によつて規制される。ピストンとハ
ウジングの間、圧力板とハウジングの間、圧力板
と両ピストン間に跨がるロツドとの間には、
夫々、シール７７，７９，８１，８３が設けられ
る。圧力板６１と下ピストン５５は協同してブリ
ードチヤンバー（bleed chamber）８５を形成
し、該チヤンバーは大気に通じており、排気を行
なつてチヤンバー内に圧力が蓄積されないように
している。
本発明の望ましい実施例では、ピストンロツド
６７は下ピストン５５と一体に形成され、上ピス
トン５９に当接している。ピストンロツド６７の
端部の横溝７５は、ピストンロツド６７と上ピス
トン５９との間に流通路を形成し、該通路を通じ
て流体はピストンロツド６７の通路７１から上ア
クチユエータチヤンバー６３の中に流入すること
ができる。ピストンロツド６７は、上ピストン５
９が圧力板６１を押し付ける前に、下ピストン５
５が端部壁５に当たるような寸法にしている。こ
のため、圧力板６１には機械的な力が直接加わる
ことはない。
［作用］ 円板ばね８９はハウジングカバー９５によつて
予め負荷を掛けておき、第２ピストン５９を押圧
する。この力はピストンロツド６７、第１ピスト
ン５５、外側弁棒４９及びダイヤフラム３５を通
じて内側弁棒１９に伝達される。円板ばね８９か
ら内側弁棒１９に対して弁を閉じようとする力が
加えられる。この力は、ばね２５と気体シリンダ
ー内の圧縮ガスとによる弁を開けようとする力の
和よりも遥かに大きいから、弁は第１図に示す閉
位置に保持される。円板ばね８９の数と大きさを
適当に選定することによつて、気体シリンダー内
を所望の圧力に維持しながら弁を確実に密封する
ことが出来る。尚、気体シリンダーの中には過度
の圧力を除ための逃部を設けている。このよう
に、ばねの数と強さを変えることにより様々な用
途に適合させることが出来る。
弁を開くには、圧縮空気又は窒素を取付具９７
を通じて下アクチユエータチヤンバー５７の中に
入れればよい。チヤンバー５７内の空気圧は、円
板ばね８９からの付勢力と反対向きの力としてピ
ストン５５に作用する。圧縮空気又は窒素は、溝
７４、穴７１、座ぐり部７３及び溝７５を通じて
上アクチユエータチヤンバー６３の中に流れる。
ここで又、ばねの付勢力とは向きが反対の力が上
ピストン５９に加えられる。圧力板６１によつて
第２ピストン５９への圧力が下ピストン５５の背
部に作用しないようになつているから、２つのピ
ストンに加えられた力が一緒になると、円板ばね
８９によつて閉じようとする力よりも大きくな
る。このようにして、第１ピストン５５から外側
弁棒４９に加えられる力は取り除かれ、ばね２５
によつて下部弁棒は持ち上げられて弁座２３から
離れ、弁を開くことが出来る。
［実施例］ 本発明は高圧気体シリンダーの弁の中に一体に
組み入れるのに特に適しており、その種弁への使
用例について以下に説明する。しかし、本発明の
特徴はその他種類の弁に適用できることは勿論で
ある。
図面を参照すると、弁１は、弁体３の一端に高
圧気体シリンダー７のインレツトに弁を取り付け
るための外ねじ５を設けている。弁体３は軸芯に
孔を設けて入口通路９を形成しており、該通路は
弁体の反対側端部から内向きに座ぐりした弁チヤ
ンバー１１に連通している。弁体３は、外側にネ
ジを付けたボス１３を横向きに突設し、該ボスに
フレアー孔を設けて出口通路１５を形成し、該通
路を弁チヤンバー１１に連通している。出口通路
１５は更に内ネジ１７を設けており、必要に応じ
て流量絞り弁を収容できるようにしている。ネジ
付きボス１３は、供給される圧縮ガスのコネクタ
ーとして使用できる大きさに形成する。標準の接
続構造にするのは接続ミスを防ぎ、危険を防止す
るためである。
円柱状の内側弁棒（inner valve Stem）１９
は弁チヤンバー１１に摺動可能に設けられ、弁座
インサート２１を収容できるようにするため下部
を凹ませている。弁座インサートは、入口通路９
と弁チヤンバー１１の境界部を取り囲む隆起弁座
２３に接触してシールする。圧縮コイルばね２５
を弁棒１９の外周フランジ２７と弁チヤンバー１
１の底部の肩部２９に押し当て、内側弁棒１９を
第２図に示す開位置にて保持している。座ぐりし
たネジ付きのボス３１は、弁チヤンバー１１と同
心の肩部３３を有している。ダイヤフラム部材は
一組のダイヤフラム３５から構成され、この肩部
３３の上に載せられる。
ダイヤフラムの数は、弁の大きさ、材質、設計
圧力などによつて変えることができる。ダイヤフ
ラム３５によつて弁チヤンバー１１と遮断し、内
側弁棒１９の丸味のついた上端部３９に当接す
る。
前述した弁１の部分は、はずみ車
（handwheel）に古くから利用されており、この
点については前述した本発明者等による米国特許
出願の中で論じている。このはずみ車を取り外し
て本発明の空気アクチユエータ４１と取り替える
ことが出来る。
空気アクチユエータ４１は一端部を壁体４５に
した中空円筒状のハウジング４３を有している。
端部壁４５は円筒形の側壁と一体に形成し、カツ
プ状のハウジングにすことが望ましい。端部壁４
５から軸方向にネジ付きニツプル４７を突設し、
アクチユエータ４１を弁体３に取り付けるための
接続手段を形成している。更に、ネジ付きニツプ
ル４７を弁体３のネジ付き座ぐり部３１の中にね
じ込むことによつてダイヤフヤラム３５は肩部３
３に押し当てられ、弁チヤンバー１１は緊密にシ
ールされる。
外側弁棒（outer Valve stem）４９は内側弁
棒１９と共に弁を開閉する弁棒部材を構成し、ニ
ツプル４７の孔５１及び端部壁４５を突き抜けて
中空の円筒ハウジング４３の中に延びている。外
側弁棒の内端部の凸面５３がダイヤフラム３５を
押圧する。Ｏリング５０によつて外側弁棒４９の
周囲がシールされる。
ハウジング４３の中に摺動可能に設けられた第
１の下ピストン５５は、ハウジングの側壁と端部
壁４５と協同して第１の下部アクチユエータチヤ
ンバー５７を形成している。第２の上ピストン５
９は圧力板６１と協同してハウジング４３の内部
に第２のアクチユエータチヤンバー６３を形成し
ている。
圧力板６１はハウジング内を可動であり、スト
ツパー手段に当たつて載置される。ストツパー手
段はハウジング４３の内壁の環状肩部６５の形が
望ましい。ストツパー手段は圧力板６１と下ピス
トンとの間に間隔をあける役割を果たし、上部ア
クチユエータチヤンバー６３の境界部を端部壁か
ら最小の距離にて固定する。この圧力板によつ
て、空気圧が下ピストン５５の背部に作用しない
ようにしていることは理解されるであろう。
短いピストンロツド６７はピストン５５と５９
の間を延びており、該ロツドは圧力板６１の孔６
９の中を摺動する。ピストンロツド６７は第１ピ
ストン５５と一体に形成し、第２ピストン５９を
単に押し当てるようにするのが望ましい。ピスト
ン５５及びピストンロツド６７を貫通する中央部
の軸孔７１は７３の位置で座ぐり加工しており、
第１アクチユエータチヤンバー５７と第２アクチ
ユエータチヤンバー６３を繋ぐ通路を形成してい
る。ピストンロツド６７の端部には横溝７５を設
けて流通路を形成し、該通路を通じて、圧縮空気
又は窒素は、ピストンロツドを第２ピストン５９
に押し当てた状態でアクチユエータチヤンバー間
を流れることができる。外側弁棒４９の端部にも
同じような横溝７４を設け、第１アクチユエータ
チヤンバー５７と孔７１との間に通路を形成して
いる。
Ｏリング７７によつてピストン５５とハウジン
グ４３を密封し、Ｏリング７９によつてピストン
５９とハウジング４３を密封する。さらに、Ｏリ
ング８１によつて圧力板６１とハウジング４３を
密封し、Ｏリング８３によつて圧力板６１とピス
トンロツド６７を密封している。圧力板６１を通
り、該圧力板と第１ピストン５５との間のブリー
ドチヤンバー８５の中に洩れ出る圧縮空気又は窒
素は、ブリードポート８７を通じて大気に排出さ
れ、ピストン５５の背部に圧力が高まるのを防い
でいる。
幾つかの円板ばね８９がボス９１の外部に、第
２ピストン５９の軸方向を端部壁４５から遠ざか
る方向に積み重ねられている。円板ばねはピスト
ンの凹部９３の中に嵌まり、ハウジングカバー９
５に当接している。カバーは円筒ハウジング４３
の自由端部にねじ留めするのが望ましい。
円板ばね８９はハウジングカバー９５によつて
予め負荷を掛けておき、第２ピストン５９を押圧
する。この力はピストンロツド６７、第１ピスト
ン５５、外側弁棒４９及びダイヤフラム３５を通
じて内側弁棒１９に伝達される。円板ばね８９か
ら内側弁棒１９に対して弁を閉じようとする力が
加えられる。この力は、ばね２５と気体シリンダ
ー内の圧縮ガスとによる弁を開けようとする力の
和よりも遥かに大きいから、弁は第１図に示す閉
位置に保持される。円板ばね８９の数と大きさを
適当に選定することによつて、気体シリンダー内
を所望の圧力に維持しながら弁を確実に密封する
ことが出来る。尚、気体シリンダーの中には過度
の圧力を除くための逃部を設けている。このよう
に、ばねの数と強さを変えることにより様々な用
途に適合させることが出来る。弁を開くには、圧
縮空気又は窒素を取付具９７を通じて下アクチユ
エータチヤンバーの中に入れればよい。チヤンバ
ー５７内の空気圧は、円板ばね８９からの付勢力
と反対向きの力としてピストン５５に作用する。
圧縮空気又は窒素は、溝７４、穴７１、座ぐり部
７３及び溝７５を通じて上アクチユエータチヤン
バー６３の中に流れる。ここで又、ばねの付勢力
とは向きが反対の力が上ピストン５９に加えられ
る。圧力板６１によつて第２ピストン５９への圧
力が下ピストン５５の背部に作用しないようにな
つているから、２つのピストンに加えられた力が
一緒になると、円板ばね８９によつて閉じようと
する力よりも大きくなる。このようにして、第１
ピストン５５から外側弁棒４９に加えられる力は
取り除かれ、ばね２５によつて下部弁棒は持ち上
げられて弁座２３から離れ、弁を開くことが出来
る。
２つのピストンに作用させる空気圧は、工場用
として一般的に使用される約90PSIの空気圧を用
いればよく、この空気圧は、円板ばねによる閉じ
ようとする力に打ち勝つだけの十分な大きさであ
る。これは、本発明者等による前述のアメリカ特
許出願に開示した単一ピストンアクチユエータよ
りも直径の小さいアクチユエータを用いても達成
出来る。アクチユエータの直径を小さくすれば、
ハウジングと輸送キヤツプ９９との間に更にクリ
アランスが形成される。尚、輸送キヤツプは弁の
上の気体シリンダーにねじ込むもので、輸送及び
保存中、弁を保護するためのものである。
本発明者等による前述したアメリカ特許出願の
中に開示したアクチユエータは同じように、本発
明のアクチユエータはハウジングカバー９５の中
心部のボス１０３にねじ穴１０１を設けている。
この穴の中に固定用プラグ１０５をねじ込み、上
ピストン５９のボス９１に押しあてることによ
り、気体シリンダーの輸送及び保存のために、弁
を閉位置の状態で機械的にクランプすることが出
来る。
前述のアメリカ特許出願に開示したアクチユエ
ータの場合と同じように、ジヤツキ工具
（jacking tool）（図示せず）をボス９１のねじ穴
１０７で受けられるようにしている。この工具を
ハウジングカバー９５の上部に押し当てることに
より、円盤ばね８９による弁を閉じる力に抗して
ピストン５９を持ち上げることが出来るから、弁
開放用ばね２５によつて弁を開くことが出来る。
このようにして、弁は空気圧を用いなくとも手動
で開けることが出来る。
本発明の空気アクチユエータは従来の手動アク
チユエータと互換性があるから、同じタイプの気
体シリンダー弁に用いることが出来る。更に本発
明のアクチユエータを組み立てるには、下ピスト
ン５５、圧力板６１、上ピストン５９及び円板ば
ね８９をカツプ状ハウジングの開口端から挿入
し、ハウジングカバー９５で適当な位置に固定す
るだけで、簡単に行なうことが出来る。圧力板６
１は固定しなくともよい。ピストンロツド６７の
上に単に落とすだけで肩部６５の上に載る。ピス
トンロツド６７の長さは、シリンダー弁の上に載
せる前にアクチユエータを組び立てたとき、第２
ピストン５９が圧力板に接触する前に第１ピスト
ン５５が端部壁４５に当たるような寸法にしてお
り、圧力板に機械的な力が直接作用しないように
している。
［発明の効果］ このように二重ピストンの構造にしたことによ
つて弁は工場等で通常入手しうる空気圧にて作動
させることができる。さらに、アクチユエータを
含む弁全体は通常のシリンダー弁の輸送キヤツプ
の中に嵌めることができる。更に、前述の構造の
場合、アクチユエータの組立ては、ハウジングの
開口端から部品を連続的に挿入し、ネジ付きキヤ
ツプを用いて適当な位置で固定するだけで良く、
極めて容易である。
なお、本発明の具体的な実施例を詳細に説明し
たが、当該分野の専門家であれば、開示内容に基
づいてこれ等の細部について様々な変形及び変更
を行なうことは出来るであろう。具体的な実施例
は単なる例示であつて、本発明の範囲を限定する
ものとして解されるべきではない。本発明の範囲
は特許請求の範囲及びその均等の範囲に及ぶもの
と解すべきである。
【図面の簡単な説明】
第１図は弁を備えた本発明の気体シリンダーで
あつて、弁が閉位置にあり輸送キヤツプを配備し
たときの状態を示すシリンダー弁の縦断面図、第
２図は第１図のシリンダー弁が開位置にあるとき
の縦断面図である。 ３…弁体、１９，４９…弁棒部材、２５…圧縮
コイルばね、４１…空気アクチユエータ、４３…
円筒形ハウジング、５５…第１の下ピストン、５
７…下アクチユエータチヤンバー、５９…第２の
上ピストン、６１…圧力板、６３…上アクチユエ
ータチヤンバー、８９…円板ばね。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 弁棒部材１９，４９を有し、第１のばね２５
    によつて弁座２３から離れる方向に弁棒部材１
    ９，４９を付勢して弁が開くシリンダー弁１の空
    気アクチユエータ４１であつて、 一端部が壁体４５である中空の円筒形ハウジン
    グ４３と、 アクチユエータ４１をシリンダー弁１に取り付
    けるために設けられ、弁棒部材４９が通る貫通孔
    ５１を有し、ハウジング４３の端部壁４５に取り
    付けられた連結手段と、 アクチユエータ４１のハウジング４３内を摺動
    可能であり、端部壁４５と協同して第１のアクチ
    ユエータチヤンバー５７を形成する第１ピストン
    ５５と、 第１ピストン５５より上位置にあつて、アクチ
    ユエータハウジング４３内を摺動可能な第２ピス
    トン５９と、 ハウジング４３内の第１ピストン５５と第２ピ
    ストン５９との間に設けられ、第２ピストン５９
    と協同して第２アクチユエータチヤンバー６３を
    形成する圧力板６１と、 第２ピストン５９を端部壁４５の方向に向かう
    付勢力を発生する付勢手段と、 圧力板６１を貫通して形成され、第２ピストン
    ５９に加えられた付勢力を第１ピストン５５に伝
    達する役割を果たして、第１のばね２５による弁
    を開けようとする力に抗して弁棒部材１９を閉じ
    ようとする力を及ぼすロツド手段と、 圧力流体を一方のアクチユエータチヤンバーに
    導入する手段を備え、該手段は、圧力板を貫通し
    て第１及び第２のアクチユエータチヤンバー５
    ７，６３を繋ぐ通路７１を含んでおり、圧力流体
    は第１及び第２のアクチユエータチヤンバー５
    ７，６３に送られ、付勢手段からの付勢力と反対
    方向で付勢力よりも大きな力を第１及び第２のピ
    ストン５５，５９に及ぼすことにより、第１のば
    ね２５の付勢力によつて弁１を開くことができる
    ようにしている、空気アクチユエータ。 ２ 圧力板６１はハウジング４３の内部を可動で
    あり、該圧力板と端部壁４５との間の最小距離は
    ストツパー手段によつて規定される請求項１に記
    載の空気アクチユエータ。 ３ ストツパー手段はハウジング４３内の内肩部
    ６５であつて、圧力板６１は該内肩部に載置され
    る請求項２に記載の空気アクチユエータ。 ４ 第１ピストン５５と圧力板６１は協同してハ
    ウジング４３内にブリードチヤンバー８５を形成
    し、ハウジング４３にはブリードチヤンバー８５
    の通気を行なうブリードポート８７が形成され、
    ピストン５５，５９とハウジング４３の間にシー
    ル７７，７９、圧力板６１とハウジング４３の間
    にシール８１、及び圧力板６１とロツド手段６７
    との間にシール８３を夫々設けている請求項３に
    記載の空気アクチユエータ。 ５ ロツド手段は第１ピストン５５に取り付けら
    れたピストンロツド６７であり、第２ピストン５
    ９に当接している請求項１に記載の空気アクチユ
    エータ。 ６ 通路７１はピストンロツド６７を軸方向に貫
    通し、該ロツドの一方の端部にはロツド端部と第
    ２ピストン５９を繋ぐ流路を形成しており、該流
    路を通じて流体がピストンロツド６７の通路７１
    と第２アクチユエータチヤンバー６３の間を流れ
    るようにしている請求項５に記載の空気アクチユ
    エータ。 ７ ピストンロツド６７は、第２ピストン５９が
    圧力板に当接する前に、第１ピストン５５が端部
    壁４５に当接するような長さに形成している請求
    項６に記載の空気アクチユエータ。 ８ 圧力板６１はハウジング４３内を可動であ
    り、圧力流体が第２アクチユエータチヤンバー５
    ７に入り込んだとき、圧力板６１がハウジング４
    ３の内肩部６５に載置される請求項６に記載の空
    気アクチユエータ。 ９ 付勢手段は、円板型圧縮ばね８９と、ハウジ
    ング４３の端部壁４５とは反対側の端部に取り付
    けられたキヤツプ９５とから構成され、圧縮ばね
    ８９によつて第２ピストン５９を押圧する請求項
    ８に記載の空気アクチユエータ。 １０ 弁と弁アクチユエータとの組合せ構造であ
    つて、 弁は、 入口通路９と弁チヤンバー１１の境界部を構成
    する弁座２３を備え、出口通路１５が弁チヤンバ
    ー１１に連通する弁体３と、 弁チヤンバー１１内に設けられ、弁座２３に接
    触する閉位置と弁座２３から離れた開位置との間
    を摺動可能な弁棒部材１９と、 弁棒部材１９を開位置に付勢する第１のばね手
    段２５を含んでおり、 弁アクチユエータは、 端部壁４５に貫通孔５１を開設したカツプ型ハ
    ウジング４３と、 弁棒部材４９を孔５１の中に通し、ハウジング
    ４３の端部壁４５を弁体３に取り付けるための連
    結手段と、 カツプ型ハウジング４３の中を摺動可能であ
    り、端部壁４５と協同して第１のアクチユエータ
    チヤンバー５７を形成する第１ピストン５５と、 ハウジング４３内を摺動可能であり、第１ピス
    トン５５と協同してブリードチヤンバー８５を形
    成する圧力板６１と、 圧力板６１の端部壁４５方向への移動を防ぐた
    めの係止部を有するストツパー手段と、 ハウジング４３の中を摺動可能であり、圧力板
    ６１と協同して第２のアクチユエータチヤンバー
    ６３を形成する第２ピストン５９と、 圧力板６１の中を摺動可能であつて、第１及び
    第２のピストン５５，５９との間を伸びており、
    第１のアクチユエータチヤンバー５７と第２のア
    クチユエータチヤンバー６３に連通する通路７１
    を有するピストンロツド６７と、 第２ピストン５９を付勢することにより、ピス
    トンロツド６７を通じて第１ピストン５５を弁棒
    部材４９に押し当てて、弁棒部材１９を閉位置に
    付勢する付勢手段を備えており、 圧力流体を第１のアクチユエータチヤンバー５
    ７に導入し、ピストンロツド６７の通路７１を通
    つて第２のアクチユエータチヤンバー６３に送り
    込み、付勢手段からの付勢力と反対方向で当該付
    勢力よりも大きな力を第２ピストン５９に及ぼす
    ことにより、第１のばね２５が弁棒部材１９を開
    位置に移動させるようにしている、弁と弁アクチ
    ユエータの組合せ構造。 １１ ストツパー手段は、ハウジング４３に設け
    た内肩部６５である請求項１０に記載の構造。 １２ 弁は気体シリンダー７に取り付けられ、該
    気体シリンダーには、弁及び弁アクチユエータに
    被さる輸送キヤツプ９９が取り付けられるように
    している請求項１１に記載の構造。
JP63189530A 1987-07-28 1988-07-27 空気アクチュエータ並びに弁及び弁アクチュエータの組合せ構造 Granted JPH01112091A (ja)

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