KR0173532B1 - 다이어프램 밸브 - Google Patents
다이어프램 밸브 Download PDFInfo
- Publication number
- KR0173532B1 KR0173532B1 KR1019950039657A KR19950039657A KR0173532B1 KR 0173532 B1 KR0173532 B1 KR 0173532B1 KR 1019950039657 A KR1019950039657 A KR 1019950039657A KR 19950039657 A KR19950039657 A KR 19950039657A KR 0173532 B1 KR0173532 B1 KR 0173532B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- diaphragm
- metal diaphragm
- disk
- valve
- metal
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 160
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 42
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 43
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 18
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 241000209219 Hordeum Species 0.000 description 2
- 235000007340 Hordeum vulgare Nutrition 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 235000005911 diet Nutrition 0.000 description 1
- 230000037213 diet Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 208000021267 infertility disease Diseases 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
- F16K41/12—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube with approximately flat diaphragm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
금속제 다이어프램에 의해 밸브실의 시일을 하도록 한 다이어프램 밸브에 있어서, 가스의 치환성 향상이나, 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있도록 한다.
유입통로(1a), 유출통로(1b), 밸브실(1c)과 밸브시이트(1d)를 보유하는 보디(1)와, 밸브실(1c)의 기밀을 유지하는 금속제 다이어프램(2)과, 그 금속제 다이어프램(2)의 외주가장자리부를 보디(1)와의 사이에서 협압유지하는 보닛과, 그 보닛(3)에 승강자재하게 삽통지지된 스템(4)과, 금속제 다이어프램(2)의 중심부에 삽통된 디스크(6)를 구비하고 있고, 상기한 디스크(6)는 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이격되기도 하는 원반형상의 시이트부(6a)와, 그 시이트부(6a),의 상면에 설치되어서 금속제 다이어프램(2)의 중심부에 삽통되는 축부(6b)와 그 축부(6b)의 상단부에 설치되어서 스템(4)의 하단부에 연결되는 연결부(6c)로 구성되며, 상기 한 축부(6b)의 시이트부(6a)로부터 이간된 부분과 금속제 다이어프램(2)의 내주끝 가장자리부를 전체 둘레에 걸쳐서 용접한다.
Description
제1도는, 제1실시예에 관한 다이어프램 밸브의 종단면도.
제2도는, 제1실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대 단면도.
제3도는, 제1실시예에 관한 다이어프램 밸브의 금속제 다이어프램과 디스크의 용접 개소의 확대 종단면도.
제4도는, 본 발명의 제2실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대단면도.
제5도는, 제2실시예에 관한 다이어프램 밸브의 금속제 다이어프램과 디스크의 용접 개수의 확대 종단면도.
제6도는, 본 발명의 제3실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대 단면도.
제7도는, 제3실시예에 관한 다이어프램 밸브의 금속제 다이어프램과, 디스크의 용접개소의 확대 종단면도.
제8도는, 본 발명의 제4실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대 단면도.
제9도는, 제4실시예에 관한 다이어프램 밸브의 금속제 다이어프램과, 디스크의 용접개소의 확대 단면도.
제10도는, 본 발명의 제5실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대 단면도,
제11도는, 제5실시예에 관한 다이어프램 밸브의 금속제 다이어프램과 디스크와의 용접개소의 확대 종단면도.
제12도는, 종래의 다이어프램 밸브의 종단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 보리 1a : 유입통로
1b : 유출통로 1c : 밸브실,
1d : 밸브실 2 : 금속제 다이어프램
3 : 보닛 4 : 스텝
6 : 디스크 6a : 시이트부
6b : 축부 6c : 연결부
6i : 받이부 W : 용접
본 발명은, 예를 들어 반도체 제조 설비나 원자력 발전 설비, 의약, 식품 제조설비 등의 유체관로에 설치되는 다이어프램 밸브에 관하며, 특히 금속다이어프램에 의해 밸브실의 시일을 실시하도록 하 다이어프램 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 설비 등의 고순도 가스를 취급하는 관로에 있어서는 금속제 다이어프램에 의해 밸브실의 시일을 하도록 한 다이어프램 밸브가 많이 사용되고 있다.
종래, 이 종류의 다이어프램 밸브로서는, 예를 들면, 특개소62-288786호 공부에 개시된 구조의 다이어프램 밸브가 알려져 있다.
즉, 상기한 다이어프램 밸브는, 제12도에 표시하듯이 유입통로(15a), 유출통로(15b) 밸브실(15c) 및 밸브시이트(15d)를 보유하는 보디(15)와 밸브실(15c)을 시일하는 금속제 다이어프램(16)과 그 금속제 다이어프램(16)의 외주가장자리부를 보디(15)로 협압유지하는 보닛(17)과 보닛너트(18)와 보닛(17)에 회전자재하고, 또 축선방향 이동불능하게 지지된 회전통(19)과, 그 회전통(19)에 나사식으로 끼워져 지지된 스템(20)과 회전통(19)에 부착된 핸들(21)과 스템(20)의 하단부에 연결된 디스크(22)등으로 구성되어 있으며, 핸들(21)에 의해 회전통(19)을 회전조작하면 스템(20)이 승강동하는 동시에 금속제 다이어프램(16)과 디스크(22)가 상하동하여 디스크(22)에 설치한 시이트(23)가 밸브시이트(15d)에 맞닿기도 하고 이격되기도 하게 되어 있다.
이 다이어프램 밸브는, 금속제 다이어프램(16)의 내주끝가장자리부를 디스크(22)에 용접하는 동시에 금속제 다이어프램(16)의 내주가장자리부를 누름부재(24)와 디스크(22)로 협압지지하도록 하고 있으므로, 금속제 다이어프램(16)의 내주가장자리부분으로 부터의 유체의 누설을 확실하게 방지할 수 있다는등 우수한 이점을 보유하는 것이다.
그런데 상기한 다이어프램 밸브는, 금속에 다이어프램(16)의 내주가장자리부를 누름부재(24)와 디스크(22)로 협압지지하는 구성으로 하고 있으므로, 금속제 다이어프램(16)의 하면과 디스크(22)의 상면과의 사이에 필연적으로 간극이 형성되도록 된다.
그 결과, 상기한 간극 내에 유체가 물려들어가기가 쉽고, 간극 내에 일단물려들어가면 간단하게는 몰아내기 어렵다고 하는 문제가 있었다. 그러므로, 다이어프램 밸브 내에 종류가 다른 가스를 번갈아 흘리기도 하고, 혹은 다이어프램 밸브내의 가스를 뽑아내거나 할 경우에는 상기한 간극에 가스가 남는 경우가 있어서 가스의 치환성이 뒤떨어진다고 하는 문제가 있었다. 특히 상기한 다이어프램 밸브는, 디스크(22)의 상면을 곡면으로 형성하고 있으므로 디스크(22)의 상면과, 금속제 다이어프램(16)의 하면사이에 안쪽으로 긴 고리 형상의 간극이 형성되게 되므로 상기한 문제가 더욱 조장되게 된다.
또, 상기한 다이어프램 밸브는, 금속제 다이어프램(16)의 내주가장자리부를 누름부재(24)와 디스크(22)로 협압지지하는 구성으로 하고 있으므로, 누름부재(24)가 필요하게 되어서 부품 점수가 늘어난다고 하는 문제도 있었다.
본 발명은, 상기한 문제점을 해소하기 위하여 창작된 것으로서 그 목적으로 하는 것은, 가스의 치환성이 우수하고 아울러 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있게 한 다이어프램 밸브를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다이어프램 밸브는, 유입통로와 유출통로에 연통하는 오목형상의 밸브실의 저면에 밸브시이트를 설치한 보디와 밸브실내에 밸브시이트와 대향하도록 배치되어서, 밸브실의 기밀을 유지하는 동시에 상하방향으로 탄성변형가능한 금속제 다이어프램과, 보리에 공정되고, 금속제 다이어프램의 외주가장자리부를 보디와의 사이에서 협압유지하는 보닛과, 그 보닛에 승강자재하게 삽통지지된 스템과, 금속제 다이어프램의 중심부에 삽통되며, 상단부가 스템에 연결되는 동시에 하단부가 벨트시이트에 맞닿기도 하고 이격되기도 하는 디스크를 구비하고 있으며, 상기한 디스크는 밸브시이트에 맞닿기도 하고 이격되기도 하는 원반형상의 시이트부와, 그 시이트부의 상면에 설치되어서 금속제 다이어프램의 중심부에 삽통되는 축부와, 그 축부의 상단부에 설치되고, 스템의 하단부에 연결되는 연결부로 구성되며, 상기한 축부의 시이트부로부터 이간된 부분과 금속제 다이어프램의 내주끝 가장자리부를 전체 둘레에 걸쳐서 용접해서 이것들을 고정일체화 한 것을 특징으로 한다.
상기한 금속제 다이어프램의 내주가장자리부를 디스크의 축부의 외주면에 맞닿음하도록 아래쪽으로 절곡해서 그 내주끝 가장자리부를 축부에 용접하는 것이 바람직하다.
또, 금속제 다이어프램의 위쪽위치이고, 또한 디스크의 축부에 금속제 다이어프램의 굽힘을 받기 위한 고리형상의 받이부를 설치하는 것이 바람직하다.
또, 금속제 다이어프램을 복수매의 금속판을 중첩하므로써 구성되는 것이 바람직하다.
스템이 승강동하면, 스템에 연결된 디스크가 승강동하는 동시에 이것에 따라서 금속제 다이어프램이 상하방향으로 탄성변형하여 디스크가 밸브시이트에 맞닿기도 하고 이격되기도 하여서 유입통로와 유출통로의 사이를 개폐되게 한다.
이 다이어프램 밸브는, 시이트부, 축부 및 연결부로 구성되는 디스크의 축부를 금속제 다이어프램의 중앙부에 삽통하고, 금속제 다이어프램의 내주끝 가장자리부를 축부의 시이트부로부터 위쪽으로 이간된 부분에 고정하도록 하고 있으므로 종래의 다이어프램 밸브와 같이 금속제 다이어프램의 하면에 디스크의 사이에 유체가 물려들어갈만한 폭의 좁은 간극이 형성된다고 하는 일도 없다. 그 결과, 종래의 다이어프램 밸브에 비교해서 가스의 치환성이 대폭 향상되게 한다.
또, 금속제 다이어프램의 내주가장자리부를 디스크의 축부의 외주면에 맞닿음하도록 아래쪽으로 절곡해서, 그 내주끝가장자리부를 디스크의 축부에 용접하도록 했을 경우에는 금속제 다이어프램이 탄성변형(굴곡)될 때에 발생하는 굽힘응력이 용접부로부터 떨어진 위치에 걸리게 된다. 그 결과, 금속제 다이어프램의 용접부에 큰 응력이 걸린다고 하는 일도 없고, 그 용접부에 균열이 발생되는 것을 방지할 수가 있다.
또, 금속제 다이어프램의 위쪽위치이고, 또한 디스크의 축부에 금속제 다이어프램의 굽힘을 받기 위한 고리형상의 받이부를 설치했을 경우에는 금속제 다이어프램이 탄성변형되었을 때에 그 굽힘을 상기한 받이부가 받아세우게 된다. 그 결과, 금속제 다이어프램에 가파르고 험준한 굽힘이 발생되지 않고, 금속제 다이어프램의 내구성이 향상되게 된다.
그 밖에도, 금속제 다이어프램의 내주끝가장자리부와 디스크를 용접해서 양자를 고정해서 일체화하고 있으므로 금속제 다이프램의 내주가장자리부를 누름부재에 의해 글램프할 필요도 없으므로 누름부재가 불필요하게 되어서 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있게 된다.
이하 본 발명의 실시예를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.
제1도는, 본 발명의 제1실시예에 관한 다이어프램 밸브의 종단면도이고, 그 다이어프램 밸브는 보디(1), 금속제 다이어프램(2), 보닛(3), 스템(4), 핸들(5) 및 디스크(6)등으로 구성되어 있고, 금속제 다이어프램(2)에 의해서 밸브실(1c)을 시일하도록 한 것이다.
또, 제1도에 있어서 부호7은 금속제 다이어프램(2)과 보닛(3)사이에 설치된 보닛인서어트, 8은 디스크에 끼워붙임된 시이트, 9는 보닛(3)과 스템의 사이를 시일하는 0링, 10은 개폐표시판, 11은 명판, 12는 고정나사이다.
상기한 보디(1)는, 스테인레스강 등의 금속재에 의해 대략 블록형상으로 형성되어 있으며, 양측에는 유입통로(1a)와 유출통로(1b)가, 그리고 상부에는 각 통로(1a, 1b)에 연통되는 위쪽이 개방된 오목형상의 밸브실(1c)이 형성되어 있다.
또, 밸브실(1c)의 저면은 테이퍼형상으로 형성되어 있으며 유입통로(1a)의 개구 근방부분이 밸브시이트(1d)로 되어 있다.
또, 밸브실(1c)의 내주면에는 금속제 다이어프램(2)의 외주가장자리부가 재치되는 단(段) 부(1e)가 형성되어 있는 동시에 그 단부(1e)의 위쪽에는 보닛(3)이 나사식 고정되는 암나사부(1f)가 형성되어 있다.
상기한 금속제 다이어프램(2)은, 스테인레스강(예를 들자면 SUS 316L), 인코넬(상표명)등에 의해 접시형상으로 형성된 매우 얇은 금속판(예를 들면 두께: 0.1mm 내지 2mm정도)을 복수매 중첩하므로써 구성되어 있다. 이 금속제 다이어프램(2)이 외주가장자리부는, 보디(1)의 단부(1e)에 재치되어 있고, 보디(1)에 나사식으로 고정된 보닛(3)을 보디(1)측으로 체결하므로써 보디(1)의 단부(1e)와, 보닛(3)의 아래쪽으로 배치한 보닛인서어트(7)의 사이에 기밀상태로 협압유지되어 있다.
또, 금속제 다이어프램(2)의 중앙부에는 후술하는 디스크(6)의 축부(6b)가 삽통되는 부착구멍(2a)에 형성되어 있으며, 그 내주가장자리부분을 디스크(6)의 축부(6b)외주면에 맞닿음 하도록 아래쪽으로 절곡되어 있다.
상기한 보닛(3)은, 스테인레스강 등의 금속재에 의해 대략 통형상으로 형성되어 있으며, 그 외주면에는 보디(1)에 나사맞춤되는 숫나사부(3a)가 형성되어 있는 동시에 그 내주면에는, 스템에 나사맞춤되는 암나사부(3b)가 형성되어 있다. 이 보닛(3)은, 그 숫나사부(3a)를 보디(1)의 암나사부(1f)에 나사식으로 고정해서 보디(1)측으로 죄어넣으므로써 보디(1)에 고정되게된다.
이때, 금속제 다이어프램(2)의 외주가장자리부는, 보디(1)와의 사이에서 기밀상태로 협압유지하게 된다.
상기한 스템(4)은, 스테인레스강 등의 금속재에 의해서 대락축형상으로 형성되어 있고, 그 외주면에는 보닛(3)의 암나사부(3b)에 나사맞춤 되는 숫나사부(4a)가 형성되어 있다. 이 스템(4)은, 보닛(3)의 암나사부(3b)에 회전자재하고 또한 승강자재하게 나사식으로 끼워져 있고 그 상단부에는 고정자사(12)를 통하여 핸들(5)이 부착되어 있다.
또, 스템(4)의 하단부에는 후술하는 디스크(6)의 연결부(6c)가 회전자재하고 도한 축선방향으로 이동불가능하게 끼워 맞춤되는 노치부(4b)가 형성되어 있다.
상기한 디스크(6)는 스테인레스강(SUS 316L)등의 금속재에 의해 단면형상이 대략 역T자형으로 형성되어 있으며 하면에 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이격되기도하는 고리형상의 시이트(8)를 끼워불임한 지름이 큰 원반형상의 시이트부(6a)와, 그 시이트부(6a)의 상면중앙부에 연설되어서 금속제 다이어프램(2)의 부착구멍(2a)에 맞닿음상태로 삽통되는 축부(6b)와 그 축부(6b)의 상단에 연설되어서 스템(4)의 노치부(4b)에 회전자재하고, 또한 축선방향 이동불능하게 끼워 맞추어지는 원반형상의 연결부(6c)로 구성된다. 또 디스크(6)의 축부(6b) 외주면이고, 또한 시이트부(6a)의 상면으로부터 일정한 거리만큼 이간된 부분에는 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 끝면에 맞닿음하는 플랜지(6d)가 형성되어 있다.
그리고 상기한 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와, 디스크(6)의 축부(6b)는 용접(W)에 의해 고정하여 일체화되어 있다. 즉, 제2도 및 제3도에 표시하듯이 디스크(6)의 축부(6b)를 금속제 다이어프램(2)의 하면측으로부터 부착구멍(2a)에 삽통해서 플랜지(6d)를 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 끝면에 맞닿음시키고, 이 맞닿음부분(금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 플랜지(6d)부분)을 전자비임용접에 의해서 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)하여 앙자를 고정하여 일체화 하고 있다. 이렇게 하므로써 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부는 축부(6b)의 시이트부(6a)로부터 이간한 부분에 고정되게 한다.
또, 전자비임용접의 용접조건은, 용접결함이 발생하지 않고, 금속제 다이어프램(2)과 디스크(6)를 확실하게 용접할 수 있고, 또한 금속제 다이어프램(2)이나 디스크(6)에 변형이 발생되지 않도록 선정되어 있는 것은 물론이다.
이 전자비임용접은 ①용접시에 열이 작기 때문에 용접부의 변형이나 일그러짐이 적고, 보재에서 열영향이 적다. ②용접부의 폭이 좁기 때문에 정밀용접이 가능하다. ③용융이 깊기 때문에 두꺼운 것에 대한 용접이 가능하다는 등의 이점이 있으므로, 상기한 용접에 유용하다.
이리하여 상기한 다이어프램 밸브에 있어서는 핸들(5)의 회전조작에 의해 스템(4)을 승강동시키면, 디스크(6)가 승강동하는 동시에 이것에 따라서 금속제 다이어프램(2)도 상하방향으로 탄성변형하여서 시이트(8)가 밸브시이트(1D)에 맞닿기도하고 이격되기도 하고, 유입통로(1A)와 유출통로(1B)사이를 개폐하도록 되어 있다.
이 다이어프램 밸브에 있어서는 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부를 디스크(6)의축부(6b)이고 또한 시이트부(6a)로부터 위쪽으로 이간한 위치에 고정하도록 하고 있으므로 종래의 다이어프램 밸브와 같이 금속제 다이어프램(2)의 하면과 디스크(6)상면사이에 유체가 물려들어갈 수 있는 폭이 좁은 간극이 형성되는 일도 없다. 그 결과, 종래의 다이어프램 밸브에 비교해서 가스의 치환성이 대폭적으로 향상되게 된다.
또,이 다이어프램 밸브, 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부를 디스크(6)의 축부(6b)외주면에 맞닿음하도록 아래쪽으로 절곡해서 그 내주끝가장자리부를 축부(6b)에 용접하도록 하고 있으므로 금속제 다이어프램(2)이 탄성변형(굴곡)될 때에 발생하는 굽힘응력이 용접부로부터 떨어진 위치(만곡부)에 걸리게 된다.
그 결과 금속제 다이어프램(2)의 용접부에 큰 응력이 가해지는 일도 없고, 그 용접부에 균열이 잘 발생되지 않게 된다.
나아가서는, 금속제 다이어프램(2)의 내구성이 향상되게 된다.
또, 이 다이어프램 밸브는, 금속제제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 디스크(6)를 용접해서 양자를 고정하여 일체화하고 있으므로 종래의 다이어프램 밸브와 같이 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부를 누름부재에 의해 글램프 할 필요도 없으므로 누름부재가 불필요하게 되어서 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있게 된다.
제4도는, 본 발명의 제2실시예에 관한 다이어프램 밸브의 확대단면도이고, 이 다이어프램 밸브는 디스크(6)를 복수의 부재로 구성하는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 굽힘방법을 바꾸어서 그 금속제 다이어프램(2)의 내주 끝가장자리부와, 디스크(2)의 내주끝가장자리부와, 디스크(6)의 축부(6b)를 용접(W)에 의해 고정시켜서 일체화 하도록 한 것이며, 그 밖의 구성은 상기한 제1실시예의 다이어프램 밸브와 동일한 구성으로 구성되어 있다.
또, 제4도에 있어서는 부호1은, 보디, 1a는 유입통로, 1b는 유출통로, 1c는 밸브실, 1d는 밸브시이트, 1e는 단(段)부, 1f는 암나사부, 3은 보닛, 3a는 숫나사부, 3b는 암나사부, 4는 스템, 4a는 숫나사부, 4b는 노치부, 7은 보닛인서어트, 8은 시이트, 9는 0링이다.
구체적으로는, 상기한 디스크(6)는, 스테인레스강(SUS 316L)등의 금속재에 의해 단면형상에 대략 역T자형으로 형성되어 있고 상면의 중앙에 숫나사부(6e)를 돌출 설치하는 동시에 하면에 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이격되기도 하는 고리형상의 시이트(8)를 끼워 붙인 지름이 큰 원반형상의 시이트부(6a)와, 그 시이트부(6a)의 숫나사부(6e)에 나사식으로 붙여져서 시이트부(6a)의 상면측으로 용접(W)에 의해 고정되는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 부착구멍(2a)에 맞닿음상태로 삽통되는 축부(6b)와, 그 축부(6b)의 상단에 연설되어서 스템(4)의 노치부(4b)에 회전자재하고, 또한 축선방향 이동 불가능하게 끼워맞추어지는 원반형상의 연결부(6c)로 구성된다.
또, 디스크(6)의 축부(6b)에는 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부에 맞닿음하는 대경부(6f)가 형성되어 있으며 그 대경부(6f)의 하면에는 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 끝면에 맞닿음 하는 단(段)부 (6g)가 형성되어 있다.
상기한 금속제 다이어프램(2)은, 스테인레스강(예를 들어 SUS 316L), 인코넬(상표명)등에 의하여 접시형상으로 형성된 극히 얇은 금속판(예를 들면, 두께: 0.1mm 내지 0.2mm 정도)을 복수매 중첩하므로써 구성되어 있다. 또, 금속제 다이어프램(2)의 중앙부에는 디스크(6)의축부(6b)가 삽통되는 부착구멍(2a)이 형성되어 있고, 그 내주가장자리부분은, 축부(6b)의 대경부(6f)의 외주면과, 저면부분에 맞닿음하도록 아래쪽으로 절곡된 다음, 다시 내부쪽으로 절곡되어 있다.
그리고, 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 디스크(6)의 축부(6b)는 용접(W)에 의해 고정해서 일체화되어 있다. 즉, 제4도와 제5도에 표시하듯이 축부(6b)의 하단부를 금속제 다이어프램(2)의 상면측으로부터 부착구멍(2a)으로 삽통해서 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부분을 축부(6b)의 대경부(6f)의 외주면 및 저면부분에 맞닿게 하는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 끝면을 단(段)부 (6g)에 맞닿게 한다음 이 맞닿음 부분(금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 축부(6b)의 단부(6g)부분)을 전자비임용접에 의해 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)하여 양자를 고정해서 일체화 하고 있다.
또, 시이트부(6a)와 축부(6b)는 상기한 용접이 종료된 다음 똑같이 용접에 의해서 고정 일체화되어 있다. 즉, 축부(6b)와 시이트부(6a)를 나사식 고정해서 축부(6b)의 하단면과, 시이트부(6a)의 상면의 맞닿음 부분을 전자비임용접에 의해 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)해서 양자를 고정하여 일체화 하고 있다.
이 다이어프램 밸브도, 상기한 제1실시예의 다이어프램 밸브와 동일한 작용효과를 발휘 할 수가 있다. 특히, 이 다이어프램 밸브는, 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부를 하부쪽으로 절곡한 다음, 다시 내부쪽으로 절곡해서 그 선단을 축부(6b)에 용접하도록 하고 있으므로 금속제 다이어프램(2)이 탄성변형(굴곡)될 때에 발생하는 굽힘응력이 용접부로부터 보다 더 떨어진 위치에 걸리게 된다. 그결과, 금속제 다이어프램(2)에 응력이 더욱 걸리기가 어렵게 되어서 금속제 다이어트램(2)의 내구성이 한층 더 향상되게 된다.
제6도는 본 발명의 제3실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대단면도로서, 이 다이어프램 밸브는, 디스크(6)를 복수의 부재로 구성하는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부를 굽히지 않고 디스크(6)의 축부(6b)를 용접에 의해 고정해서 일체화하도록 한 것이며 그 밖의 구성은 제1실시예의 다이어프램 밸브와 대략 동일한 구성으로 구성되어 있다.
또, 제6도에 있어서 부호1은 보디, 1a는 유입통로, 1b는 유출통로, 1c는 밸브실, 1d는 밸브시이트, 1e는 단부, 1f는 암나사부, 3은 보닛, 3a는 숫나사부, 3b는 암나사부, 4는 스템, 4a는 숫나사부, 4b는 노치부, 7은 보닛인서어트, 8은 시이트, 9는 0링, 13은 보올이다.
구체적으로는, 상기한 디스크(6)는 스테인레스강(SUS 316L)등의 금속재에 의해 형성되어 있고, 상면의 중앙에 끼워 맞춤구멍(6h)을 보유하는 동시에 하면에 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이간되기도 하는 고리형상의 시이트(8)를 끼워붙인 지름이 큰 원반형상의 시이트부(6a),와, 그 시이트부(6a)의 끼워맞춤구멍(6h)에 끼워맞춤되어서 시이트부(6a)의 상면측으로 용접(W)에 의해 고정되는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 부착구멍(2a)에 맞닿음상태로 삽통되는 축부(6b)와 그 축부(6b)의 상단에 연설되어서 스템(4)의 노치부(4b)에 회전자재하고 또한 축선방향이동불능하게 끼워맞추어지는 원반형상의 연결부(6c)로 구성된다.
또, 디스크(6)의 축부(6b)에는 금속제 다이어프램(2)의 상부쪽으로 배치되는 고리형상의 받이부(6i)가 일체적으로 형성되어 있으며, 그 받이부(6i)로부터 하부쪽부분이 금속제 다이어프램(2)에 삽통되도록 되어 있다.
상기한 금속제 다이어프램(2)은, 스테인레스강(예를 들면 SUS 316L), 인코넬(상표명)등에 의해 접시형상으로 형성된 매우 얇은 금속판(예를 들면, 두께 0.1mm 내지 0.2mm정도)을 복수매 중첩하므로써 구성되어 있고, 그 중앙부에는 축부(6b)의 하단부가 삽통되는 부착구멍(2a)이 형성되어 있다.
그리고, 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와, 디스크(6)의 축부(6b)는 용접(W)에 의해 고정해서 일체화 되어 있다.
즉 제6도와, 제7도에 표시하듯이 축부(6b)의 하단부를 금속제 다이어프램(2)의 상면측으로부터 부착구멍(2a)으로 삽통해서 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리 부분을 축부(6b)의 외주면과 받이부(6i)의 내주가장자리측 하면에 맞닿게 하고, 이 맞닿은 부분(금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 축부(6b)의 외주면부분과 받이부(6i)의 내주가장자리부분)을 하부쪽으로부터 전자비임용접에 의해 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)하여 이것들을 고정시켜 일체화 하고 있다.
또, 시이트부(6a)와 측부(6b)는, 상기한 용접이 종료된 다음, 역시 용접에 의해 고정시켜 일체화 되어 있다.
즉 시이트부(6a)의 끼워맞춤구멍(6h)에 축부(6b)의 하단부를 끼워맞추고, 축부(6b)의 하단면과 시이트부(6a)의 상면의 맞닿음 부분을 전자비임용접에 의해서 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)하여 양자를 고정일체화 하고 있다.
이 다이어프램 밸브도, 상기한 제1실시예의 다이어프램 밸브와 동일한 작용효과를 발휘할 수가 있다. 특히, 이 다이어프램 밸브는, 금속제 다이어프램(2)의 상부위치이고, 또한 디스크(6)의 축부(6b)에 금속제 다이어프램(2)의 굽힘을 받기 위한 고리형상의 받이부(6i)를 설치하고 있기 때문에 금속제 다이어프램(2)이 탄성변형되었을 때 그 굽힘을 상기한 받이부(6i)가 받아서 막게 된다.
그 결과, 금속제 다이어프램(2)에 가파르고 험준한 굽힘이 발생되지 않으므로 금속제 다이어프램(2)의 내구성이 향상되게 한다.
제8도는 본 발명의 제4실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대단면도이며, 이 다이어프램 밸브는 디스크(6)를 복수의 부재로 구성하는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부를 굽히지 않고, 디스크(6)의 축부(6b)에 삽통해서 그 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 디스크(6)의 축부(6b)와 받이부(6i)를 용접에 의해 고정시켜 일체화 한 것이며, 그 외의 구성은 상기한 제1실시예의 다이어프램 밸브와 동일한 구조로 구성되어 있다.
또, 제8도에 있어서 부호1은 보디, 1a는 유입통로, 1b는 유출통로, 1c는 밸브실, 1d는 밸브시이트, 1e는 단(段)부, 1f는 암나사부, 3은 보닛, 3a는 숫나사부, 3b는 암나사부, 4는 스템, 4a는 숫나사부, 4b는 노치부, 7은 보닛인서어트, 8은 시이트, 9는 0링이다.
구체적으로는, 상기한 디스크(6)는 스테인레스강(SUS 316L)등의 금속재에 의해 단면형상이 대략 역T자형으로 형성되어 있고, 하면에 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이격되기고 하는 고리형상의시이트(8)를 끼워붙인 지름이 큰 원반형상의 시이트부(6a)와 그시이트부(6a)의 상면중앙부에 연설되어서, 금속다이어프램(2)의 부착구멍(2a)에 삽통됨과 아울러 상단부에 숫나사부(6j)를 형성한 축부(6b)와 그축부(6b)에 삽통되고 그축부(6b)에 용접(W)에 의해서 고정되는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 상면에 배치되는 고리형상의 받이부(6i)와 축부(6b)의 상단부에 나사식으로 붙여져서 스템(4)의 노치부(4b)에 회전자재하고 또한 축선방향이동불능하게 끼워맞추어지는 대략 원반형상의 연결부(6c)로 구성된다.
또, 디스크(6)의 축부(6b)의 외주면이고, 또한 시이트부(6a)상면으로부터 일정 거리만큼만 이간된 부분에는 받이부(6i)의 내주가장자리부가 재치되는 단부(6k)가 형성되어 있다.
또, 받이부(6i)의 내주가장자리부에는 축부(6b)의 단부(6k)에 재치되어서 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 끝면에 맞닿음 하는 고리형상의 돌출부(6i)가 형성되어 있다.
상기한 금속제 다이어프램(2)은, 스테인레스강(예를들면 SUS 316L), 인코넬(상표명)등에 의해 접시형상으로 형성된 극히 얇은 금속판(예를 들어서 두께: 0.1mm 내지 0.2mm정도)을 복수매 중첩하므로써 구성되어 있고, 그중앙부에는 디스크(6)의 축부(6b)가 삽통되어서 받이부(6i)의 돌출부(6i)에 맞닿음 하는 부착구멍(2a)이 형성되어 있다.
그리고 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와, 디스크(6)의 축부(6b)는 용접에 의해서 고정시켜 일체화되어 있다. 즉, 제8도와, 제9도에 표시하듯이 디스크(6)이 축부(6b)를 금속제 다이어플램(2)의 하면측으로부터 부착구멍(2a)에 삽통하는 동시에 받이부(6i)를 상부쪽으로부터 축부(6b)에 삽입해서 그 돌출부(6i)를 단부(6k)에 맞닿음시키고, 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의끝면을 돌출부(6i)의 외주면에 맞닿음시킨 다음, 이 맞닿음부분(금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 받이부(6i)의 내주가장자리부와 축부(6b)의 단부(6k)부분을 상부쪽으로부터 전자비임용접에 의해 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)하여 이들 3자를 고정시켜서 일체화 하고 있다.
이 다이어프램 밸브도 상기한 제1실시예의 다이어프램 밸브와동일한 작용효과를 발휘할 수가 있다.
또, 이 다이어프램 밸브는, 금속제 다이어프램(2)과 디스크(6)의 축부(6b)와 받이부(6i)를 금속제 다이어프램(2)의 상부쪽으로부터 용접(W)해서 이것들을 고정시켜 일체화하도록 하고 있으므로, 용접시에 증발된 금속성분 등이 유체에 접촉되는 부분(예를 들면 금속다이어프램(2)의 이면쪽동)에 부착된다고 하는 일도 없다.
그 결과, 다이어프램 밸브 내를 흐르는 유체의 순도가 저하되는 것을 방지할 수도 있다.
그 뿐 아니라, 상기한 제3실시예의 것에 비교해서 용접도 1회로 끝나므로 작업능률의 향상도 도모할 수 있다.
또, 디스크(6)에 금속제 다이어프램(2)의 굽힘을 받기 위한 고리형상의 받이부(6i)를 설치하고 있기 때문에 금속제 다이어프램(2)이 탄성변형 되었을 때에 그 굽힘을 상기한 받이부(6i)가 받아세우게 된다.
그 결과, 금속제 다이어프램(2)에 가파르고 험준한 굽힘이 발생되지 않으므로 급속제 다이어프램(2)의 내구성이 향상되게 된다.
제10도는 본 발명의 제5실시예에 관한 다이어프램 밸브의 요부의 확대단면도이며, 이 다이어프램 밸브는, 상기한 제4실시예의 다이어프램 밸브의 변형예를 표시한 것으로서, 받이부(6i)의 내주가장자리부를 디스크(6)의 축부(6b)의 단부(6k)에 재치하는 동시에 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부의 끝면을 축부(6b)의 단부(6k)의 외주면에 맞닿게 하고 이 맞닿음부분(금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 받이부(6i)의 내주가장자리부와 단부(6k)부분)을 상부쪽으로부터 전자비임용접에 의해서 전체둘레에 걸쳐서 용접(W)하고 이들 3자를 고정시켜 일체화한 것이다. 그 밖의 구성은 상기한 제4실시에의 다이어프램 밸브와 동일한 구조로 구성되어 있다.
또, 제10도에 있어서 부호1은 보디, 1a는 유입통로, 1b는 유출통로, 1c는 밸브실, 1d는 단부, 1f는 암나사부, 3은 보닛, 3a는 숫나사부, 3b는 암나사부, 4는 스템, 4a는 숫나사부, 4b는 노치부, 7은 보닛인서어트, 8은 시이트, 9는 0링이다.
이 다이어프램 밸브도, 상기한 제4실시예의 다이어프램 밸브와 동일한 작용효과를 발휘할 수가 있다.
상기한 실시예에 있어서는 금속제 다이어프램(2)을 복수매의 극히 얇은 금속판으로 구성했지만 금속제 다이어프램(2)을 1매의 금속판으로 구성하도록 해도 된다. 이 경우에도 상기한 바와 동일한 작용효과를 나타낼 수가 있다.
상기한 각 실시예에 있어서는, 스템(4)을 수동으로 승강동시키도록 했지만 스템(4)을 유체압실린더 등의 액츄에이터(도면표시 생략)을 사용해서 자동으로 승강동시키도록 해도 된다.
상기한 각 실시예에 있어서는, 금속제 다이어프램(2)과 디스크(6)를 전자비임용접에 의해 고정일체화 하도록 했지만 다른 방법의 용접(예를 들면 레이저용법등)에 의해서 양자를 고정일체화 시키도록 해도 된다.
상기한 바와 같이 본 발명의 다이어프램 밸브는 시이트부, 축부 및 연결부로 구성되는 디스크의 축부를 금속제 다이어프램에 삽통해서 금속제 다이어프램의 내주끝가장자리부를 축부의 시이트부로부터 상부쪽으로 이간된 부분에 고정하도록 하고 있으므로, 종래의 다이어프램과 같이 금속제 다이어프램의 하면과 디스크가이에 유체가 물려들어갈 수 있는 폭이 좁은 간극이 형성되는 일도 없다. 그 결과, 종래의 다이어프램 밸브에 비교해서 가스의 치환성이 대폭 향상되게 된다.
또, 금속제 다이어프램의 내주가장자리를 디스크의 축부의 외주면에 맞닿도록 하부쪽으로 절곡해서 그 내주끝가장자리부를 디스크의 축부에 용접하도록 했을 경우에는 금속제 다이어프램이 탄성변형(굴곡)될 때에 발생하는 급힘응력이 용접으로부터 떨어진 위치에 걸리게 된다.
그 결과, 금속제 다이어프램의 용접부에 큰 응력이 걸리지도 않으므로 그 용접부에 균열이 발생되는 것을 방지할 수가 있다.
또, 금속제 다이어프램의 상부쪽 위치이고, 또한 디스크의 축부에 금속제 다이어프램의 굽힘을 받기 위한 고리형상의 받이부를 설치했을 경우에는 금속제 다이어프램이 탄성변형되었을 때에 그 굽힘을 상기한 받이부가 받아 세우게 된다.
그 결과, 금속제 다이어프램에 가파르고 험준한 굽힘이 발생되지 않아서 금속제 다이어프램의 내구성이 향상되게 된다.
그 뿐아니라, 금속제 다이어프램의 내주가장자리와 디스크를 용접해서 양자를 고정시켜 일체화하고 있으므로, 금속제 다이어프램의 내주가장자리부를 누름부재로 클램프할 필요도 없고, 누름부재가 불필요하게 되므로 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있다.
Claims (6)
- 유입통로(1a) 및 유출통로(1b)에 연결되어 통하는 오목형상의 밸브실(室)(1c)의 저면에 밸브시이트(1d)를 설치한 보디(1)와, 밸브실(1c)내에 밸브시이트(1d)에 대향하도록 설치되고, 밸브실(1c)의 기밀을 유지함과 동시에 상하방향으로 탄성변형 가능한 금속제 다이어프램((2)과 보디(1)에 고정되고, 금속제 다이어프램(2)의 외주가장자리부를 보디(1)와의 사이에서 눌러서 유지하는 보닛(3)과, 보닛(3)에 승강 가능하게 끼워서 지지된 스템(4)과, 금속제 다이어프램(2)의 중심부에 끼워지고, 상단부가 스템(4)에 연결됨과 아울러 하단부가 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이격되기도 하는 디스크(6)를 구비하고 있으며, 상기한 디스크(6)는 밸브시이트(1d)에 맞닿기도 하고 이격되기도 하는 원반형상의 시이트부(6a)와 그시이트부(6a)의 상면에 설치되고, 금속제 다이어프램(2)의 중심부에 끼워지는 축부(6b)와, 그 축부(6b)의 상단부에 설치되어 스템(4)의 하단부에 연결되는 연결부(6c)와, 금속제 다이어프램(2)의 상방위치에서 디스크(6)의 축부(6b)에 설치된 금속제 다이어프램(2)의 굽힘을 받기 위한 고리형상의 받이부(6i)로 이루어지고, 상기한 축부(6b)의 시트부(6a)에서 분리한 부분과 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부를 전체둘레에 걸쳐서 전자비임용접법 또는 레이저용접법에 의해 용접하여 이것을 고정해서 일체화한 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
- 제1항에 있어서, 금속제 다이어프램(2)을 복수매의 금속판을 중첩하므로서 구성된 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리부를 디스크(6), 축부(6b)의 외주면에 맞닿도록 하부쪽으로 굴곡해서, 그 내주끝가장자리부를 축부(6b)에 용접한 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 디스크(6) 축부(6b)의 외주면에 단부(6k)를 형성하고, 받이부(6i)의 내주가장자리의 하면측에 돌기부(61)를 설치하여 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부와 축부(6b)의 단부(6k) 및 받이부(6i)의 돌기부(61)부근을 용접한 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
- 제3항에 있어서, 디스크(6) 축부(6b)의 외주면에 플랜지(6d)를 형성하여, 금속제 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부를 플랜지(6d)에 접촉시킨 상태에서, 내주끝가장자리부 및 플랜지(6d)의 부근을 용접하도록 한 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
- 제3항에 있어서, 디스크(6) 축부(6b)의 외주면에 단부(6g)를 형성하고, 또, 금속제 다이어프램(2)의 내주가장자리를 디스크(6) 축부(6b)의 외주면에 맞닿도록 하부쪽으로 절곡한 다음 다시 내부쪽으로 절곡해서, 그내주끝가장자리부를 상기한 축부(6b)의 단부(6g)에 맞닿게한 상태로, 다이어프램(2)의 내주끝가장자리부 및 단부(6g)의 부근을 용접하도록 한 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02713595A JP3291151B2 (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | ダイヤフラム弁 |
| JP95-27135 | 1995-02-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR0173532B1 true KR0173532B1 (ko) | 1999-04-01 |
Family
ID=12212618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950039657A KR0173532B1 (ko) | 1995-02-15 | 1995-11-03 | 다이어프램 밸브 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5669596A (ko) |
| EP (1) | EP0727603B1 (ko) |
| JP (1) | JP3291151B2 (ko) |
| KR (1) | KR0173532B1 (ko) |
| CA (1) | CA2159306C (ko) |
| DE (1) | DE69502805T2 (ko) |
| IL (1) | IL116719A (ko) |
| TW (1) | TW452033U (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200018245A (ko) * | 2018-08-10 | 2020-02-19 | 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 | 다이어프램 부재 및 다이어프램 부재를 이용하는 다이어프램 밸브 |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5771884A (en) * | 1997-03-14 | 1998-06-30 | Nellcor Puritan Bennett Incorporated | Magnetic exhalation valve with compensation for temperature and patient airway pressure induced changes to the magnetic field |
| US5881997A (en) * | 1997-11-24 | 1999-03-16 | Fujikin Incorporated | Metal diaphragm type valve |
| JP3764574B2 (ja) * | 1997-12-10 | 2006-04-12 | 株式会社フジキン | 金属ダイヤフラム型バルブ |
| FI104854B (fi) * | 1998-09-17 | 2000-04-14 | Valmet Automation Inc | Läpivientikalvorakenne |
| JP2001173801A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-06-29 | Neriki:Kk | 容器弁 |
| AT410362B (de) * | 2000-04-20 | 2003-04-25 | Vaillant Gmbh | Ventil |
| US6378548B1 (en) * | 2000-05-31 | 2002-04-30 | United Dominion Industries, Inc. | Varying size diaphragm valve assemblies utilizing diaphragm of uniform size |
| JP3756135B2 (ja) * | 2002-08-12 | 2006-03-15 | アドバンス電気工業株式会社 | ダイヤフラム弁構造 |
| US6907897B2 (en) * | 2003-06-26 | 2005-06-21 | Planar Systems, Inc. | Diaphragm valve for high-temperature precursor supply in atomic layer deposition |
| US7021330B2 (en) | 2003-06-26 | 2006-04-04 | Planar Systems, Inc. | Diaphragm valve with reliability enhancements for atomic layer deposition |
| US6941963B2 (en) * | 2003-06-26 | 2005-09-13 | Planar Systems, Inc. | High-speed diaphragm valve for atomic layer deposition |
| JP4340119B2 (ja) * | 2003-10-02 | 2009-10-07 | シーケーディ株式会社 | 薬液弁 |
| EP1906066A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-02 | Luxembourg Patent Company S.A. | Robinet, notamment pour bouteille de gaz ultra-haute pureté |
| US20080216643A1 (en) * | 2007-03-07 | 2008-09-11 | Cano Jose R | Biased actuator systems |
| US9874883B2 (en) | 2009-07-02 | 2018-01-23 | Tescom Corporation | Diaphragm interface apparatus to improve a cycle life of a diaphragm |
| JP5486995B2 (ja) * | 2010-04-08 | 2014-05-07 | 株式会社コガネイ | 開閉弁 |
| BR112012026911A2 (pt) * | 2010-04-20 | 2016-07-12 | Capnia Inc | cilindro de gás comprimido com uma válvula integral. |
| JP5717180B2 (ja) * | 2011-01-25 | 2015-05-13 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
| US9322482B2 (en) | 2012-07-20 | 2016-04-26 | Itt Manufacturing Enterprises Llc. | Temperature compensating flanged joint for a teflon diaphragm valve |
| US9016307B2 (en) | 2012-07-20 | 2015-04-28 | Itt Manufacturing Enterprises Llc. | Quick connect, post energized flanged joint for a diaphragm valve |
| US9157534B2 (en) | 2012-07-20 | 2015-10-13 | Itt Manufacturing Enterprises Llc. | Two-stud diaphragm for diaphragm valves |
| WO2014120997A1 (en) | 2013-02-01 | 2014-08-07 | Swagelok Company | Diaphragm valve with welded diaphragm seat carrier |
| US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
| US9371925B2 (en) | 2013-07-30 | 2016-06-21 | Tescom Corporation | Fluid regulators having corrugated diaphragms |
| US9441745B2 (en) | 2014-03-03 | 2016-09-13 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Apparatus to interface with a corrugated diaphragm |
| JP6193955B2 (ja) * | 2014-12-11 | 2017-09-06 | Ckd株式会社 | 流体制御バルブ |
| WO2016146632A1 (de) * | 2015-03-19 | 2016-09-22 | Gea Tuchenhagen Gmbh | Hubventil mit drehentkopplungseinrichtung |
| MX2017015174A (es) * | 2015-05-28 | 2018-04-13 | Emerson Process Man Regulator Technologies Inc | Aparato para conectarse con un diafragma corrugado. |
| US20190107167A1 (en) * | 2016-03-28 | 2019-04-11 | Eagle Industry Co., Ltd. | Metal diaphragm damper |
| JP6919659B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2021-08-18 | 日立金属株式会社 | 流量制御弁及びそれを用いた質量流量制御装置 |
| US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
| JP6914159B2 (ja) * | 2017-09-26 | 2021-08-04 | 株式会社キッツエスシーティー | ダイヤフラムバルブの組立方法とその組立構造並びにダイヤフラムバルブ |
| WO2020066584A1 (ja) | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社フジキン | バルブ |
| WO2020066585A1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 株式会社フジキン | バルブ、バルブの弁体ユニットの交換方法、および、バルブの組立方法 |
| JP7324018B2 (ja) * | 2019-03-19 | 2023-08-09 | 株式会社鷺宮製作所 | 溶接構造 |
| TWI770615B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-07-11 | 和正豐科技股份有限公司 | 氟樹脂膜片閥 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR477869A (fr) * | 1915-01-08 | 1915-11-12 | Enrique Blasco Gelpi | Dispositif constitué par un ou plusieurs diaphragmes spécialement métalliques, destinés à substituer ou remplacer les morceaux d'étoupe, les étoupières et les presse-étoupes dans les robinets |
| US2521891A (en) * | 1944-03-28 | 1950-09-12 | Jesse W Beams | Valve |
| GB958810A (en) * | 1960-08-05 | 1964-05-27 | Nordiska Armaturfab Ab | Improvements in or relating to valves for controlling fluid flow |
| US4231549A (en) * | 1978-12-11 | 1980-11-04 | Kerotest Manufacturing Corp. | Valve stem and valve disc connection for a diaphragm valve |
| US4354666A (en) * | 1980-06-12 | 1982-10-19 | Kerotest Manufacturing Corp. | High pressure packless metal diaphragm valve |
| US4671490A (en) * | 1986-05-16 | 1987-06-09 | Nupro Co. | Diaphragm valve |
| US4750709A (en) * | 1986-05-16 | 1988-06-14 | Nupro Company | Diaphragm valve |
| AT394626B (de) * | 1990-05-17 | 1992-05-25 | Balik Gmbh | Membranventil |
-
1995
- 1995-02-15 JP JP02713595A patent/JP3291151B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-16 TW TW088215849U patent/TW452033U/zh not_active IP Right Cessation
- 1995-09-26 EP EP95306796A patent/EP0727603B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-26 DE DE69502805T patent/DE69502805T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-27 CA CA002159306A patent/CA2159306C/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-11-03 KR KR1019950039657A patent/KR0173532B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-11-14 US US08/558,697 patent/US5669596A/en not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-01-09 IL IL11671996A patent/IL116719A/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200018245A (ko) * | 2018-08-10 | 2020-02-19 | 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 | 다이어프램 부재 및 다이어프램 부재를 이용하는 다이어프램 밸브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2159306C (en) | 1998-08-18 |
| JP3291151B2 (ja) | 2002-06-10 |
| EP0727603A1 (en) | 1996-08-21 |
| DE69502805D1 (de) | 1998-07-09 |
| TW452033U (en) | 2001-08-21 |
| EP0727603B1 (en) | 1998-06-03 |
| IL116719A0 (en) | 1996-05-14 |
| US5669596A (en) | 1997-09-23 |
| JPH08219303A (ja) | 1996-08-30 |
| IL116719A (en) | 1998-12-27 |
| CA2159306A1 (en) | 1996-08-16 |
| DE69502805T2 (de) | 1999-01-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0173532B1 (ko) | 다이어프램 밸브 | |
| KR0173533B1 (ko) | 다이어프램밸브 | |
| JP6646701B2 (ja) | 溶接されたダイヤフラム弁座担体を有するダイヤフラム弁 | |
| US4643226A (en) | Slide gate valve | |
| KR0173531B1 (ko) | 금속제 다이어프램의 내주연부의 밀봉구조 | |
| EP1281898B1 (en) | Diaphragm valve | |
| US20030042459A1 (en) | Unitary diaphragm and seat assembly | |
| JPH10103U (ja) | ダイアフラム弁 | |
| JPH11182708A (ja) | 金属ダイヤフラム型バルブ | |
| US20160053899A1 (en) | Valve with welded diaphragm to assist opening force | |
| JP2001509579A (ja) | 高流動型ダイヤフラム弁 | |
| US5794650A (en) | Cartridge for sanitary fittings | |
| JP7025915B2 (ja) | ダイヤフラムバルブ | |
| JP3334983B2 (ja) | 金属製シール材を用いた流体用機器を構成する金属製部材のシール方法 | |
| WO2021192753A1 (ja) | バルブ装置 | |
| JP2009162319A (ja) | 真空バルブ | |
| JP2000028012A (ja) | 仕切り弁 | |
| CA2197790C (en) | Gas cylinder valve with non-perforated diaphragms | |
| JPH11173429A (ja) | 金属ダイヤフラム型バルブ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20060928 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |