KR102499250B1 - 밸브 - Google Patents

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KR102499250B1
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노부오 나카무라
겐타 곤도
도모히로 나카타
마사히코 나카자와
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

내구성이 우수한 밸브를 제공한다. 다이어프램(8)은, 메인 다이어프램(8A)과, 메인 다이어프램(8A)에 대한 밸브실(2a)측과는 반대측에 위치하고 메인 다이어프램(8A)에 접촉하여 마련된 서포트 다이어프램(8B)을 갖는다. 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)는 밸브체부(6)에 고정되고, 서포트 다이어프램(8B)의 내주측의 제2 말단부(8F)는, 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)로부터 이격되어 있다.

Description

밸브
본 발명은 밸브에 관한 것이다.
종래부터 밸브 보디의 밸브실을 다이어프램으로 덮고, 다이어프램을 작동시킴으로써 개폐를 행하는 밸브가 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 제2006-162043호 공보
그러나, 종래의 밸브에서는, 다이어프램의 변형 및 고압 유체에 의한 다이어프램으로의 압력에 대한 대책이 충분히 이루어져 있지 않아, 종래 이상의 내구성을 구하는 경우에는 부족함이 있었다.
그래서 본 발명은 내구성이 우수한 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 해결하기 위해, 본 발명의 일 양태인 밸브는, 유체 통로 및 밸브실이 형성되고, 밸브 시트를 구비한 밸브 보디와, 상기 밸브실을 덮도록 마련되고, 상기 밸브실의 기밀을 유지하는 다이어프램과, 상기 밸브 시트에 대하여 근접 및 이격 이동 가능하게 마련된 스템과, 상기 다이어프램의 중앙부에 삽입 관통되고, 상기 스템에 연결되고, 상기 밸브 시트에 대하여 착좌 및 이격하여 상기 유체 통로를 개폐하는 밸브체부를 구비하고, 상기 다이어프램은, 메인 다이어프램과, 상기 메인 다이어프램에 대한 상기 밸브실측과는 반대측에 위치하고 상기 메인 다이어프램에 접촉하여 마련된 서포트 다이어프램을 갖고, 상기 메인 다이어프램의 내주측의 제1 말단부는 상기 밸브체부에 고정되고, 상기 서포트 다이어프램의 내주측의 제2 말단부는, 상기 메인 다이어프램의 내주측의 제1 말단부로부터 이격되어 있다.
또한, 상기 밸브체부에 대하여, 상기 다이어프램에 대한 상기 밸브실측과는 반대측에 누름 링이 마련되고, 상기 누름 링의 하면은, 상기 서포트 다이어프램의 내측부에 맞닿아 있어도 된다.
또한, 상기 메인 다이어프램은, 제1 외주부와, 제1 중간부와, 제1 내주부를 갖고, 상기 서포트 다이어프램은, 제2 외주부와, 제2 중간부와, 제2 내주부를 갖고, 상기 제2 외주부는 상기 제1 외주부에 맞닿고, 상기 제2 중간부는 상기 제1 중간부에 맞닿고, 상기 제1 내주부는, 상기 제1 중간부의 내측단으로부터 상기 밸브 시트를 향하여 구부러지도록 구성되고, 상기 제2 내주부는, 상기 메인 다이어프램으로부터 이격되어 있어도 된다.
또한, 상기 메인 다이어프램은, 제1 외주부와, 제1 중간부와, 제1 내주부를 갖고, 상기 서포트 다이어프램은, 제2 외주부와, 제2 중간부와, 제2 내주부를 갖고, 상기 제2 외주부는 상기 제1 외주부에 맞닿고, 상기 제2 중간부는 상기 제1 중간부에 맞닿고, 상기 제1 내주부는, 상기 제1 중간부의 내측단으로부터 상기 밸브 시트를 향하여 구부러지도록 구성되고, 상기 제2 내주부는, 상기 제1 내주부의 일부에만 맞닿아 있어도 된다.
또한, 상기 메인 다이어프램은 금속 재료로 구성되고, 상기 서포트 다이어프램은 고무 또는 수지 재료로 구성되고, 상기 메인 다이어프램의 내주측의 말단부는, 상기 밸브체부에 대하여 용접에 의해 고착되어 있어도 된다.
본 발명에 따르면, 메인 다이어프램과 동조하여 움직이는 서포트 다이어프램이, 항상 메인 다이어프램을 서포트함으로써 내구성이 우수한 밸브를 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 개방 상태에 있는 밸브의 종단면도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 밸브의 다이어프램 근방의 확대 단면도이다.
도 3은 제2 실시 형태에 있어서의 개방 상태에 있는 밸브의 종단면도이다.
도 4는 제2 실시 형태에 있어서의 밸브의 다이어프램 근방의 확대 단면도이다.
본 발명의 제1 실시 형태에 관한 밸브(1)에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은, 제1 실시 형태에 있어서의 개방 상태에 있는 밸브(1)의 종단면도이다. 도 2는, 밸브(1)의 다이어프램(8) 근방의 확대 단면도이다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 밸브(1)는, 밸브 보디(2)와, 보닛(3)과, 스템(4)과, 연결 부재(5)와, 밸브체부(6)와, 누름 링(7)과, 다이어프램(8)과, 누름 어댑터(9)와, 핸들(10)과, 인디케이터(11)를 구비한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 밸브(1)의 핸들(10)측을 상측, 밸브 보디(2)측을 하측으로서 설명한다.
밸브 보디(2)는, 밸브실(2a)과, 밸브실(2a)에 연통되는 유입로(2b) 및 유출로(2c)가 형성되어 있다. 밸브 보디(2)의 유입로(2b)와 밸브실(2a)이 연통되는 개소의 주연은, 원환상의 밸브 시트(2d)를 구성한다.
보닛(3)은, 대략 원통상을 이루고, 그 하단부에 마련된 수나사부를 밸브 보디(2)의 상단부에 마련된 암나사부에 나사 결합시킴으로써, 밸브실(2a)을 덮도록 밸브 보디(2)에 고정되어 있다. 보닛(3)에는 스템 삽입 구멍(3a)이 형성되어 있다. 또한, 보닛(3)의 내주의 상단부에는 암나사부(3B)가 형성되어 있다.
스템(4)은, 보닛(3)의 스템 삽입 구멍(3a)에 삽입되어 있다. 스템(4)의 상측부에는 수나사부(4A)가 형성되고, 수나사부(4A)는 보닛(3)의 암나사부(3B)에 나사 결합되어 있다. 이에 의해, 스템(4)은, 보닛(3)에 대하여, 회전 가능 또한 회전에 수반하여 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 스템(4)이 상사점에 있을 때에는 밸브(1)는 개방 상태이고, 스템(4)이 하사점에 있을 때에는 밸브(1)는 폐쇄 상태로 되도록 구성되어 있다.
스템(4)의 하측부에는, 하방에 개구되고 내주면에 암나사부가 형성된 나사 결합 구멍(4b)이 형성되어 있다. 또한, 스템(4)과 보닛(3) 사이에는 O링(4C)이 개재되어 있다.
연결 부재(5)는, 스템(4)의 하단에 마련되고, 원주부(5A)와 반구상부(5B)를 갖는다. 원주부(5A)의 외주면에는 수나사부가 형성되고, 당해 수나사부는 나사 결합 구멍(4b)에 나사 결합되어 있다. 이에 의해, 연결 부재(5)는 스템(4)에 고정되어 있다. 원주부(5A)에 있어서의 수나사부의 하측에는, 원주부(5A)의 직경 방향의 외측으로 돌출되는 제1 플랜지부(5C)가 마련되고, 플랜지부(5C)는 스템(4)의 하면에 맞닿아 있다. 반구상부(5B)는, 대략 반구상(반구와 전구 사이의 형상)을 이루고, 원주부(5A)의 하단에 마련되어 있다.
밸브체부(6)는 밸브체 홀더(6A)와 밸브체(6B)를 갖는다. 밸브체 홀더(6A)는, 밸브체 지지부(6C)와, 삽입 관통부(6D)와, 끼워 넣기부(6E)를 갖는다. 밸브체 지지부(6C)는, 대략 원반상을 이루고, 수지로 이루어지는 환상의 밸브체(6B)를 보유 지지하고 있다. 밸브체(6B)가 보디(2)의 밸브 시트(2d)에 대하여 맞닿음 및 밸브 시트(2d)로부터 이격됨으로써, 유체 통로의 개폐가 행해진다.
삽입 관통부(6D)는, 밸브체 보유 지지부(6C)의 상측에 마련되고, 상측을 향하여 끝이 가늘어지는 단차 원주 형상을 이루고 있다. 삽입 관통부(6D)의 제1 단차부(6F)의 외주면에는, 전체 둘레에 걸쳐 고착 홈(6g)이 형성되어 있다. 끼워 넣기부(6E)는, 삽입 관통부(6D)의 상측에 마련되고, 대략 원통상을 이루고, 상방에 개구되는 끼워 넣기 구멍(6h)이 형성되어 있다. 끼워 넣기 구멍(6h)은, 반구상부(5B)에 대응하는 대략 반구상(반구와 전구 사이의 형상)을 이루고 있다. 끼워 넣기 구멍(6h)에 연결 부재(5)의 반구상부(5B)가 끼워 넣어져 있다. 이에 의해, 밸브체 홀더(6A)와 연결 부재(5)가 연결되고, 밸브체 홀더(6A)는 반구상부(5B)의 외면을 따라 미끄럼 이동 가능하다. 또한, 끼워 넣기부(6E)는, 삽입 관통부(6D)보다 직경이 작게 구성되고, 끼워 넣기부(6E)와 삽입 관통부(6D)에 의해 제2 단차부(6J)가 형성된다.
누름 링(7)은, 다이어프램(8)에 대한 밸브실(2a)측과는 반대측에 마련되고, 원통부(7A)와 제2 플랜지부(7B)를 갖는다. 원통부(7A)에 밸브체 홀더(6A)의 끼워 넣기부(6E)가 압입되고, 누름 링(7)은 밸브체 홀더(6A)에 고정되어 있다. 원통부(7A)의 하면(7C)의 내경측은, 제2 단차부(6J)에 맞닿고, 원통부(7A)의 하면(7C)의 외경측은, 삽입 관통부(6D)의 외주면보다 외측에 위치하고 있다. 제2 플랜지부(7B)는, 원통부(7A)의 상하 방향의 중간 부분으로부터, 원통부(7A)의 직경 방향의 외측으로 돌출되어 있다.
다이어프램(8)은, 밸브 보디(2)의 밸브실(2a)을 덮도록 마련되고, 밸브실(2a)의 기밀을 유지한다. 다이어프램(8)은 메인 다이어프램(8A)과 서포트 다이어프램(8B)을 갖는다.
메인 다이어프램(8A)은, 예를 들어 니켈 합금, 스테인리스강에 의해 접시 형상으로 형성된 1매의 박판(예를 들어 두께: 0.1mm 내지 0.2mm)에 의해 구성되어 있다. 메인 다이어프램(8A)은, 밸브실(2a)에 직접 대향하고 있고, 프로세스 가스 등의 유체에 직접 접촉한다. 메인 다이어프램(8A)은, 그 직경 방향의 외측으로부터 내측을 향하여, 제1 외주부(8A1)와, 제1 중간부(8A2)와, 제1 내주부(8A3)를 갖는다.
제1 외주부(8A1)는, 서포트 다이어프램(8B)의 제2 외주부(8B1)와 함께, 밸브 보디(2)에 형성된 고정부(2E)와 원환상의 누름 어댑터(9) 사이에 마련되고, 보닛(3)을 체결함으로써, 누름 어댑터(9)와 밸브 보디(2)에 의해 기밀 상태로 사이에 끼여 가압되어 보유 지지되어 있다. 제1 중간부(8A2)는, 축을 포함하는 평면으로 자른 단면 형상이 원호상을 이루고 있다.
제1 내주부(8A3)는, 제1 중간부(8A2)의 내측단으로부터 하방으로 구부러지도록 형성되어 있다. 제1 내주부(8A3)의 내주면은, 삽입 관통부(6D)의 외주면에 맞닿아 있다. 제1 내주부(8A3)의 내주면에 의해, 메인 다이어프램(8A)의 중앙부에, 밸브체 홀더(6A)의 삽입 관통부(6D)가 삽입 관통하는 제1 삽입 관통 구멍(8c)이 형성된다. 제1 내주부(8A3)의 제1 말단부(8E)에는 볼록부가 마련되고, 당해 볼록부가 삽입 관통부(6D)의 고착 홈(6g)에 들어맞은 상태에서, 당해 부분이 전자 빔 용접, 레이저 용접 등에 의해 전체 둘레에 걸쳐 용접(W)됨으로써, 제1 내주부(8A3)의 제1 말단부(8E)는 삽입 관통부(6D)에 고착되어 있다.
서포트 다이어프램(8B)은, 메인 다이어프램(8A)의 상측, 즉 밸브실(2a)에 대한 반대측에 마련되어 있다. 서포트 다이어프램(8B)은, 메인 다이어프램(8A) 상에 적재되어 있을 뿐이며, 접착 등이 되어 있지 않다. 서포트 다이어프램(8B)은, 예를 들어 금속, 고무, 수지 등에 의해 접시 형상으로 형성된 1매의 박판(예를 들어 두께: 0.1mm 내지 0.2mm)에 의해 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 서포트 다이어프램(8B)은, 메인 다이어프램(8A)을 구성하는 재료와는 다른 재료로 구성되어 있지만, 서포트 다이어프램(8B)과 메인 다이어프램(8A)은 동일한 재료로 구성되어 있어도 된다. 서포트 다이어프램(8B)은, 그 직경 방향의 외측으로부터 내측을 향하여, 제2 외주부(8B1)와, 제2 중간부(8B2)와, 제2 내주부(8B3)를 갖는다.
제2 외주부(8B1)는, 상기한 바와 같이 메인 다이어프램(8A)의 제1 외주부(8A1)와 함께, 밸브 보디(2)의 고정부(2E)와 원환상의 누름 어댑터(9) 사이에 마련되고, 보닛(3)을 체결함으로써, 누름 어댑터(9)와 밸브 보디(2)에 의해 사이에 끼여 가압되어 보유 지지되어 있다. 제2 중간부(8B2)는, 축을 포함하는 평면으로 자른 단면 형상이 원호상을 이루고, 하면이 제1 중간부(8A2)에 맞닿아 있다. 또한, 제2 중간부(8B2)는, 직경 방향의 길이가 제1 중간부(8A2)보다 짧게 구성되어 있다.
제2 내주부(8B3)는, 제2 중간부(8B2)의 내측단으로부터 구부러지도록, 메인 다이어프램(8A)으로부터 이격되어, 밸브체 홀더(6A)의 제2 단차부(6J)를 향하여 연장되어 있다. 제2 내주부(8B3)는, 누름 링(7)의 하면(7C)에 맞닿아 있다. 즉, 서포트 다이어프램(8B)의 내주측의 제2 말단부(8F)는, 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)로부터 이격되어 있다. 또한, 서포트 다이어프램(8B)은, 제2 내주부(8B3)가 누름 링(7)으로부터 압박력을 받음으로써, 메인 다이어프램(8A)에 대하여 압박력을 부여하면서 맞닿아 있어도 된다. 또한, 제2 내주부(8B3)의 내측단에 의해, 서포트 다이어프램(8B)의 중앙부에, 밸브체 홀더(6A)의 삽입 관통부(6D)가 삽입 관통하는 제2 삽입 관통 구멍(8d)이 형성된다.
핸들(10)은, 스템(4)의 상단에 설치되어 있고, 작업자가 수동으로 핸들(10)을 회전시켜 구동력을 발생시킴으로써, 스템(4)이 회전 구동력을 받아 회전하여 상하 방향을 따라 이동한다. 핸들(10)에는 관통 구멍(10a)이 형성되어 있다.
인디케이터(11)는 보닛(3)의 상단에 고정되어 있다. 인디케이터(11)의 상면에는 「개」 및 「폐」라는 문자가 인자되어 있다. 핸들(10)을 회전시켜, 밸브(1)가 개방 상태일 때에는 「개」이라는 문자가 핸들(10)의 관통 구멍(10a)을 통하여 시인되고, 밸브(1)가 폐쇄 상태일 때에는 「폐」라는 문자가 핸들(10)의 관통 구멍(10a)을 통하여 시인되도록 구성되어 있다.
본 실시 형태의 밸브(1)에서는, 핸들(10)의 회전 조작에 의해 스템(4)을 상하 이동시키면, 밸브체부(6)가 상하 이동함과 함께, 이에 수반하여 메인 다이어프램(8A)의 내주부(8A3) 및 서포트 다이어프램(8B)의 내주부(8B3)도 상하 이동하여, 다이어프램(8)이 탄성 변형되고, 밸브체(6B)가 밸브 시트(2d)에 맞닿음 및 밸브 시트(2d)로부터 이격되어, 유입로(2b)와 유출로(2c) 사이를 개폐하도록 되어 있다.
본 실시 형태의 밸브(1)에 따르면, 다이어프램(8)은, 메인 다이어프램(8A)과, 메인 다이어프램(8A)에 대한 밸브실(2a)측과는 반대측에 위치하고 메인 다이어프램(8A)에 접촉하여 마련된 서포트 다이어프램(8B)을 갖는다. 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)는 밸브체부(6)에 고정되고, 서포트 다이어프램(8B)의 내주측의 제2 말단부(8F)는, 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)로부터 이격되어 있으며, 메인 다이어프램(8A)과 서포트 다이어프램(8B)은 다른 재료로 구성되어 있다.
이러한 구성에 따르면, 다이어프램(8)은 메인 다이어프램(8A) 및 서포트 다이어프램(8B)으로 구성되어 있다. 이에 의해, 다이어프램(18)의 살 두께를 확보하고, 유체의 압력에 대한 내압성을 유지하고 있다. 또한, 각 다이어프램(8A, 8B)에 있어서, 상하면의 곡률의 차이에 따른 변형량의 차이를 작게 할 수 있으므로, 다이어프램(8)의 변위 시의 다이어프램(8)에 대한 부하를 저감할 수 있다. 또한, 메인 다이어프램(8A)과 동조하여 움직이는 서포트 다이어프램(8B)이, 밸브 개폐의 상태에 상관없이 항상 메인 다이어프램(8A)을 서포트한다. 따라서, 다이어프램(8)의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 메인 다이어프램(8A)을 프로세스 가스 등에 대한 부식성이 우수한 재료를 채용하고, 프로세스 가스 등에 접촉하지 않고 부식성을 고려할 필요가 없는 서포트 다이어프램(8B)을 메인 다이어프램(8A)에 대한 유체에 의한 내압에 의한 변형을 억제할 수 있는 우수한 재료를 채용함으로써, 다이어프램(8)의 내구성을 향상시킬 수 있다. 서포트 다이어프램(8B)은, 메인 다이어프램(8A)에 대하여 접촉하여 마련되고, 서포트 다이어프램(8B)의 내주측의 제2 말단부(8F)는, 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)로부터 이격되어 있다. 이에 의해, 메인 다이어프램(8A)과 서포트 다이어프램(8B)의 상하면의 곡률의 차이에 의해 변위 시의 변형량이 달라도, 제1 말단부(8E)와 제2 말단부(8F)가 동일 개소에서 고정되어 있지 않으므로, 서포트 다이어프램(8B)은 메인 다이어프램(8A)의 변형에 추종하여 변형된다. 따라서, 메인 다이어프램(8A)과 서포트 다이어프램(8B) 사이에 간극이 생기는 것을 억제할 수 있고, 서포트 다이어프램(8B)이 메인 다이어프램(8A)을 서포트하므로, 다이어프램(18)의 내압성 및 내구성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 내압성, 내식성 및 내구성이 우수한 밸브(1)를 제공할 수 있다.
또한, 밸브체부(6)에 마련된 누름 링(7)의 하면(7C)은, 서포트 다이어프램(8B)의 제2 내주부(8B3)(내측부)에 맞닿아 있으므로, 서포트 다이어프램(8B)이 메인 다이어프램(8A)으로부터 이격되어, 메인 다이어프램(8A)과 서포트 다이어프램(8B) 사이에 간극이 생기는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 메인 다이어프램(8A)의 유체의 내압에 의한 변형을 서포트 다이어프램(8B)에 의해 억제할 수 있다.
또한, 제2 외주부(8B1)는 제1 외주부(8A1)에 맞닿고, 제2 중간부(8B2)는 제1 중간부(8A2)에 맞닿고, 제1 내주부(8A3)는, 제1 중간부(8A2)의 내측단으로부터 밸브 시트(2d)를 향하여 구부러지도록 구성되고, 제2 내주부(8B3)는, 메인 다이어프램(8A)으로부터 이격되어 있다. 이러한 구성에 의해, 서포트 다이어프램(8B)은 메인 다이어프램(8A)의 변형에 추종하여 변형될 수 있다. 따라서, 메인 다이어프램(8A)의 유체의 내압에 의한 변형을 서포트 다이어프램(8B)에 의해 억제할 수 있으므로, 다이어프램(8)의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 메인 다이어프램(8A)은 금속 재료로 구성되고, 서포트 다이어프램(8B)은 고무 또는 수지 재료로 구성되고, 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)는 밸브체부(6)에 대하여 용접에 의해 고착되어 있다. 이러한 구성에 의해, 다이어프램(8)의 내구성을 향상시킬 수 있어, 내구성이 우수한 밸브(1)를 제공할 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태에 관한 밸브(21)에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
도 3은, 제2 실시 형태에 있어서의 개방 상태에 있는 밸브(21)의 종단면도이다. 도 4는, 밸브(21)의 다이어프램(28) 근방의 확대 단면도이다. 또한, 제1 실시 형태의 밸브(1)와 동일한 부재에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하여 설명을 생략하고, 다른 부분에 대하여 설명한다.
밸브체부(26)의 밸브체 홀더(26A)의 삽입 관통부(26D)에는 제3 단차부(26K)가 형성되어 있다.
누름 링(27)의 원통부(27A)의 내주측에는, 제2 단차부(6J)에 맞닿는 제4 단차부(27D)가 형성되어 있다. 또한, 원통부(27A)의 하면(27C)은 곡면 형상을 이루고 있다.
다이어프램(28)의 서포트 다이어프램(28B)의 제2 중간부(28B2)는, 직경 방향의 길이가 제1 중간부(8A2)와 동등하게 구성되어 있다. 서포트 다이어프램(28B)의 제2 내주부(28B3)는, 제2 중간부(28B2)의 내측단으로부터 하방으로 구부러지도록 형성되고, 제1 내주부(8A3)의 상측 부분에만 맞닿아 있다. 따라서, 서포트 다이어프램(28B)의 내주측의 제2 말단부(28F)는, 메인 다이어프램(8A)의 내주측의 제1 말단부(8E)로부터 이격되어 있다. 또한, 제2 내주부(28B3)의 내측단에 의해, 서포트 다이어프램(28B)의 중앙부에, 밸브체 홀더(26A)의 삽입 관통부(26D)가 삽입 관통되는 제2 삽입 관통 구멍(28d)이 형성된다. 원통부(27A)의 하면(27C)은, 서포트 다이어프램(28B)의 내측부에 상당하는 제2 중간부(28B2)와 제2 내주부(28B3)의 경계 부분에 맞닿아 있다.
본 실시 형태의 밸브(21)에 있어서도, 제1 실시 형태의 밸브(1)와 마찬가지로 다이어프램(28)의 내구성을 향상시킬 수 있어, 내구성이 우수한 밸브(21)를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지는 않는다. 당업자라면, 본 발명의 범위 내에서 여러 가지 추가나 변경 등을 행할 수 있다.
예를 들어, 상기 실시 형태에 있어서, 스템(4)을 상하 이동시키는 구동 수단은 수동식 핸들(10)이었지만, 자동식 구동 수단이어도 된다. 자동식 구동 수단으로서는 유체식 구동 수단이어도 된다. 이러한 구성의 밸브라도, 상기 실시 형태의 밸브(1, 21)와 마찬가지의 효과를 발휘한다.
또한, 메인 다이어프램(8A) 및 서포트 다이어프램(8B, 28B)은 각각 1매였지만, 복수매여도 된다.
1, 21: 밸브
2: 밸브 보디
2a: 밸브실
2b: 유입로
2c: 유출로
2d: 밸브 시트
4: 스템
6, 26: 밸브체부
7, 27: 누름 링
7C, 27C: 하면
8, 28: 다이어프램
8A: 메인 다이어프램
8A1: 제1 외주부
8A2: 제1 중간부
8A3: 제1 내주부
8B, 28B: 서포트 다이어프램
8B1: 제2 외주부
8B2, 28B2: 제2 중간부
8B3, 28B3: 제2 내주부
8E: 제1 말단부
8F, 28F: 제2 말단부

Claims (5)

  1. 유체 통로 및 밸브실이 형성되고, 밸브 시트를 구비한 밸브 보디와,
    상기 밸브실을 덮도록 마련되고, 상기 밸브실의 기밀을 유지하는 다이어프램과,
    상기 밸브 시트에 대하여 근접 및 이격 이동하는 스템과,
    상기 다이어프램의 중앙부에 삽입 관통되고, 상기 스템에 연결되고, 상기 밸브 시트에 대하여 맞닿음 및 상기 밸브 시트로부터 이격하여 상기 유체 통로를 개폐하는 밸브체부를 구비하고,
    상기 다이어프램은, 메인 다이어프램과, 상기 메인 다이어프램에 대한 상기 밸브실측과는 반대측에 위치하고 상기 메인 다이어프램에 접촉하여 마련된 서포트 다이어프램을 갖고,
    상기 메인 다이어프램의 내주측의 제1 말단부는 상기 밸브체부에 고정되고,
    상기 서포트 다이어프램의 내주측의 제2 말단부는, 상기 메인 다이어프램의 내주측의 상기 제1 말단부로부터 이격되어 있고,
    상기 밸브체부에 대하여, 상기 다이어프램에 대한 상기 밸브실측과는 반대측에 누름 링이 마련되고,
    상기 누름 링의 하면은, 상기 서포트 다이어프램의 내측부에 맞닿아 있고,
    상기 메인 다이어프램은, 제1 외주부와, 제1 중간부와, 제1 내주부를 갖고,
    상기 서포트 다이어프램은, 제2 외주부와, 제2 중간부와, 제2 내주부를 갖고,
    상기 제2 외주부는 상기 제1 외주부에 맞닿고, 상기 제2 중간부는 상기 제1 중간부에 맞닿고, 상기 제1 내주부는, 상기 제1 중간부의 내측단으로부터 상기 밸브 시트를 향하여 구부러지도록 구성되고, 상기 제2 내주부는, 상기 메인 다이어프램으로부터 이격되어 있는, 밸브.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 메인 다이어프램은 금속 재료로 구성되고, 상기 서포트 다이어프램은 고무 또는 수지 재료로 구성되고,
    상기 메인 다이어프램의 내주측의 말단부는, 상기 밸브체부에 대하여 용접에 의해 고착되어 있는, 밸브.
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