JPWO2024241506A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1055508A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Yamaha Corp 薄膜磁気ヘッド用ウェハの切断方法およびその装置
JP5726471B2 (ja) * 2010-09-15 2015-06-03 株式会社ディスコ マルチワイヤ放電加工装置及びマルチワイヤ放電加工方法並びに炭化ケイ素板の製造方法
WO2012070167A1 (ja) * 2010-11-24 2012-05-31 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法
JP5786917B2 (ja) * 2013-01-29 2015-09-30 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 ワイヤ放電加工装置およびワイヤ放電加工方法。
JP2014168832A (ja) * 2013-03-05 2014-09-18 Canon Marketing Japan Inc 加工装置、加工方法
DE112014006901B4 (de) * 2014-09-24 2019-12-19 Mitsubishi Electric Corporation Elektrische Drahterodiervorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterwafers
JP6537440B2 (ja) 2015-11-16 2019-07-03 株式会社ディスコ マルチワイヤ放電加工装置
DE112020007596T5 (de) * 2020-09-10 2023-06-29 Mitsubishi Electric Corporation Drahtfunkenbearbeitungseinrichtung und verfahren zum herstellen von halbleiterwafern

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