JPWO2022044743A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2022044743A5
JPWO2022044743A5 JP2022545602A JP2022545602A JPWO2022044743A5 JP WO2022044743 A5 JPWO2022044743 A5 JP WO2022044743A5 JP 2022545602 A JP2022545602 A JP 2022545602A JP 2022545602 A JP2022545602 A JP 2022545602A JP WO2022044743 A5 JPWO2022044743 A5 JP WO2022044743A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imprints
photocurable composition
molded body
resin
producing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2022545602A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7549299B2 (ja
JPWO2022044743A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2021/028993 external-priority patent/WO2022044743A1/ja
Publication of JPWO2022044743A1 publication Critical patent/JPWO2022044743A1/ja
Publication of JPWO2022044743A5 publication Critical patent/JPWO2022044743A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7549299B2 publication Critical patent/JP7549299B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2022545602A 2020-08-28 2021-08-04 インプリント用光硬化性組成物 Active JP7549299B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020144179 2020-08-28
JP2020144179 2020-08-28
PCT/JP2021/028993 WO2022044743A1 (ja) 2020-08-28 2021-08-04 インプリント用光硬化性組成物

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2022044743A1 JPWO2022044743A1 (https=) 2022-03-03
JPWO2022044743A5 true JPWO2022044743A5 (https=) 2024-07-05
JP7549299B2 JP7549299B2 (ja) 2024-09-11

Family

ID=80355048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022545602A Active JP7549299B2 (ja) 2020-08-28 2021-08-04 インプリント用光硬化性組成物

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7549299B2 (https=)
TW (1) TW202219188A (https=)
WO (1) WO2022044743A1 (https=)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4100529B2 (ja) * 1998-12-05 2008-06-11 大日本印刷株式会社 液晶表示装置およびその製造方法
JP4862033B2 (ja) * 2007-12-19 2012-01-25 旭化成株式会社 光吸収性を有するモールド、該モールドを利用する感光性樹脂のパターン形成方法、及び印刷版の製造方法
JP2012130906A (ja) * 2010-11-30 2012-07-12 Dainippon Printing Co Ltd 光硬化性樹脂組成物の硬化方法、及びレリーフパターンの製造方法
US10696849B2 (en) * 2017-08-08 2020-06-30 International Business Machines Corporation Tailorable surface topology for antifouling coatings
KR102549487B1 (ko) * 2018-01-17 2023-06-30 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 임프린트용 광경화성 조성물

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5075598B2 (ja) 半導体素子の微細パターン形成方法
TWI585532B (zh) 負性厚膜光阻
JP2009258722A5 (https=)
JPS5928328B2 (ja) 光重合性組成物
JP5621755B2 (ja) 化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
CN110341097A (zh) 一种基于dlp光固化3d打印的热塑性聚合物及应用
JP6065789B2 (ja) 化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
JP2020091464A5 (https=)
US9063421B2 (en) Chemically amplified positive resist composition and pattern forming process
CN113126428A (zh) 一种纳米压印方法
JPWO2020044918A5 (https=)
JP2023126253A (ja) 感光性樹脂組成物
CN108109952B (zh) 微拾取阵列及其制造方法
JP4327616B2 (ja) 感光性コーティング樹脂組成物
TWI620026B (zh) 感光性樹脂組成物、感光性元件、抗蝕劑圖案的形成方法及觸控面板的製造方法
JPWO2022044743A5 (https=)
WO2015087634A1 (ja) パターン形成体
TW201327042A (zh) 乾膜光阻用感光樹脂組成物
JP2009012300A (ja) ナノインプリント用モールド形成組成物、並びにナノインプリント用モールド及びその製造方法
JP4987521B2 (ja) 感光性樹脂組成物
JP2009185255A5 (https=)
JPWO2010007874A1 (ja) 第1膜の改質方法及びこれに用いる酸転写樹脂膜形成用組成物
JP7719429B2 (ja) 硬化性官能基を有する化合物を含む段差基板被覆組成物
JP5423367B2 (ja) 酸転写用組成物、酸転写用膜及びパターン形成方法
CN117693714A (zh) 感光性组合物、感光性元件及布线板的制造方法