JP4987521B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
本発明は、主に光用途を目的とした光学電気部品、例えば、半導体デバイス、マイクロレンズ混載電子基板、液晶偏光板の製造用として有用な感光性樹脂組成物に関するものである。さらに詳しくいえば、本発明は２６０℃以上でのハンダリフロー耐性に代表される耐熱性が要求される用途での固体撮像素子用の材料、例えば、光通信用マイクロプラスチックレンズやＣＭＯＳイメージセンサー、光導波路、又は、耐熱性が要求される液晶プロジェクター用の偏光板用光学素子の材料に関する。
プラスチックレンズは、ガラスに較べて成形が容易であり、安価であることから各種の光学製品に広く用いられている。その材料としては、熱可塑性プラスチック、例えば、ポリメチルメタクリレート及びポリスチレンや、熱硬化性プラスチック、例えば、ポリジエチレングリコールビスアリルカーボネートという様々な透明材料が使用されている。熱可塑性樹脂とは異なるタイプの樹脂として、紫外線（ＵＶ）硬化性樹脂もガラス基板などの透明基板上に型とＵＶで直接成形が容易なことから、ガラス基板上のマイクロレンズ、光導波路、液晶偏向板を形成するための材料として開発が進められている。
しかし、一般の有機材料は耐熱温度が低いため、２６０℃以上でのハンダリフローの条件下では、寸法安定性などを保証できてない。
Ｓｉ-Ｏ構造を有するシロキサンポリマーは一般に耐熱性が高い。特許文献１及び２には、ＵＶ硬化型シロキサン樹脂が耐磨耗性ハードコート材料として紹介されているが、いずれも薄膜の被覆材に限定している。一般にシロキサン材料は耐熱性には優れる。しかし、無機材料としての性質から、従来のものは、破断点伸度、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性、耐湿性が足りなかった。
プラスチックレンズは、ガラスに較べて成形が容易であり、安価であることから各種の光学製品に広く用いられている。その材料としては、熱可塑性プラスチック、例えば、ポリメチルメタクリレート及びポリスチレンや、熱硬化性プラスチック、例えば、ポリジエチレングリコールビスアリルカーボネートという様々な透明材料が使用されている。熱可塑性樹脂とは異なるタイプの樹脂として、紫外線（ＵＶ）硬化性樹脂もガラス基板などの透明基板上に型とＵＶで直接成形が容易なことから、ガラス基板上のマイクロレンズ、光導波路、液晶偏向板を形成するための材料として開発が進められている。
しかし、一般の有機材料は耐熱温度が低いため、２６０℃以上でのハンダリフローの条件下では、寸法安定性などを保証できてない。
Ｓｉ-Ｏ構造を有するシロキサンポリマーは一般に耐熱性が高い。特許文献１及び２には、ＵＶ硬化型シロキサン樹脂が耐磨耗性ハードコート材料として紹介されているが、いずれも薄膜の被覆材に限定している。一般にシロキサン材料は耐熱性には優れる。しかし、無機材料としての性質から、従来のものは、破断点伸度、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性、耐湿性が足りなかった。
光硬化性を有する材料として、特許文献３には、Ｂａ（ＯＨ）２（水酸化バリウム）を合成触媒として重合可能基を有する有機シラン及び加水分解反応点を有する有機シランからなる、ドイツ国 Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ ＩＳＣ社製のＯＲＭＯＣＥＲ ＯＮＥの開示がある。それはIRGACURE３６９を光開始剤として添加し、UV照射でパターン形成後、１５０℃低温キュアで成膜完了し、３００℃以上の耐熱性など優れた特性を有する。ところが、得られた硬化パターンの問題点としては、硬化後の膜に柔軟性が無いため、冷熱衝撃での耐クラック性に劣る。さらに、得られた硬化パターンは、ガラス基板などと直接結合する結合基を有さないため、密着性が低く、耐湿試験や、２００℃という高温で行う長時間の暴露試験によって剥れ易いという問題点を有する。
高温耐熱性を有する感光性シロキサン材料の先行文献としては、例えば、特許文献４及び５が有る。感光性シロキサンの置換基をメチル基やフェニル基とすることで、組合せにより１．５０付近から１．４０付近まで、屈折率を変化させることができる。ところが問題点としては、熱硬化後の膜に柔軟性が乏しく、温度衝撃などによりクラックが発生し易く、レンズ成形したときの信頼性が問題となる。また別の問題点としては、アルコキシシラン系材料の加水分解重縮合反応でポリシロキサンを合成するため、材料中にOH基が残りやすく、吸湿性が高く高温高湿の雰囲気下での屈折率変化が起こり易い。また残ったOH基の影響で赤外線吸収が高く、赤外領域でのレンズ材料には不向きである。
また、特許文献６には、2種類の特定の（メタ）アクリロイル基含有化合物を含む注型重合用放射線硬化性樹脂組成物の開示がある。しかし、構成材料のジメタクリルアルキレンポリマーが７９．９%以上の添加となると、光硬化収縮が大きくなる問題点を有している。
特開平０３-２８１６１６号公報
国際公開第２００２／１０２９０７号パンフレット
カナダ国特許第２３８７５６号明細書
特許第３４７４００７明細書
特開平０７-２９２１０８号公報
特開平１１-６０６５６号公報
固体撮像素子や電子部品一体型製品の製造用として有用な、硬化時の収縮率が小さく、硬化後のパターンの密着性、耐熱性（２６０℃リフロー耐性）、耐湿性、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性に優れ、硬化後のパターンの屈折率が１．４７〜１．５３まで設計することができる感光性樹脂組成物を提供する。
本発明者は、前記課題を解決するために、シロキサンを含む感光性樹脂の物性改良の研究をするうち、本発明を完成するに至った。本発明は以下のとおりである。
（１）下記（I）感光性樹脂；１００質量部、（II）光重合開始剤；該（I）感光性樹脂と下記（III）架橋性モノマーとの合計１００質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下、及び（III）架橋性モノマー；１００質量部超過１２００質量部以下を含有する感光性樹脂組成物。
（I）少なくとも、ａ）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）と、
ｂ）（Ｃ６Ｈ５）２-Ｓｉ-（ＯＨ）２、ＣＨ３−Ｓｉ−Ｃｌ３、及びＣＨ３−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）３からなる群より選ばれる一種以上の化合物とを、
ｂ）の化合物１００モルに対して、ａ）の化合物を６０〜１４０モルの割合で混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる感光性樹脂。
（２）前記（III）架橋性モノマーが、ポリアルキレンオキサイドジアクリレート及びポリアルキレンオキサイドジメタクリレートからなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物である（１）記載の感光性樹脂組成物。
（１）下記（I）感光性樹脂；１００質量部、（II）光重合開始剤；該（I）感光性樹脂と下記（III）架橋性モノマーとの合計１００質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下、及び（III）架橋性モノマー；１００質量部超過１２００質量部以下を含有する感光性樹脂組成物。
（I）少なくとも、ａ）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）と、
ｂ）（Ｃ６Ｈ５）２-Ｓｉ-（ＯＨ）２、ＣＨ３−Ｓｉ−Ｃｌ３、及びＣＨ３−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）３からなる群より選ばれる一種以上の化合物とを、
ｂ）の化合物１００モルに対して、ａ）の化合物を６０〜１４０モルの割合で混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる感光性樹脂。
（２）前記（III）架橋性モノマーが、ポリアルキレンオキサイドジアクリレート及びポリアルキレンオキサイドジメタクリレートからなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物である（１）記載の感光性樹脂組成物。
（３）さらに、下記（IV）アルコキシシラン；上記（I）感光性樹脂と上記（III）架橋性モノマーの合計１００質量部に対して１〜１０質量部、を含有する（１）又は（２）に記載の感光性樹脂組成物。
（IV）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）
（４）少なくとも、基材上に（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を得る工程、塗布膜に活性光線を照射し露光部を光硬化させる工程、現像液を用いて該膜の未硬化の部分を除去する工程、基材ごと加熱する工程を順に含む、硬化レリーフパターンの形成方法。
（５）（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物をガラス基板にコートし、５０〜１５０℃で１分〜３０分間加熱して感光性樹脂組成物付着ガラス基板を得るステップと、該感光性樹脂組成物付着ガラス基板の該感光性樹脂組成物面に、別に用意した（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を満たした成形物用の型の開口部を押し当てるステップと、該ガラス基板側から露光するステップと、該成形物用の型を該ガラス基板から剥離するステップと、１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱するステップとを順次行うことを特徴とするマイクロプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子の製造方法。
（IV）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）
（４）少なくとも、基材上に（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を得る工程、塗布膜に活性光線を照射し露光部を光硬化させる工程、現像液を用いて該膜の未硬化の部分を除去する工程、基材ごと加熱する工程を順に含む、硬化レリーフパターンの形成方法。
（５）（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物をガラス基板にコートし、５０〜１５０℃で１分〜３０分間加熱して感光性樹脂組成物付着ガラス基板を得るステップと、該感光性樹脂組成物付着ガラス基板の該感光性樹脂組成物面に、別に用意した（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を満たした成形物用の型の開口部を押し当てるステップと、該ガラス基板側から露光するステップと、該成形物用の型を該ガラス基板から剥離するステップと、１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱するステップとを順次行うことを特徴とするマイクロプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子の製造方法。
（６）（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を、ガラス基板又はシリコン基板にコートし、５０〜１５０℃で１分〜３０分間加熱して感光性樹脂組成物付着ガラス基板又はシリコン基板を得るステップと、マイクロプラスチックレンズ成刑用の円パターンからなる複数枚のマスクで、各マスクにはアライメントマークがあり、該アライメントマークで各マスクを重ねた時に直径の異なる同心円パターンになっている複数枚のマスクを使い、円直径の小さいマスクから順にマスク１枚ごとに紫外線を複数回露光するステップと、露光後に現像するステップと、現像後１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱するステップとを順次行うことを特徴とするマイクロプラスチックレンズの製造方法。
（７）屈折率が１．４７〜１．５３である（５）又は（６）に記載の製造方法によって得られたプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子。
（８）硬化後の屈折率が１．４７〜１．５３である（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物の硬化物。
（７）屈折率が１．４７〜１．５３である（５）又は（６）に記載の製造方法によって得られたプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子。
（８）硬化後の屈折率が１．４７〜１．５３である（１）〜（３）のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物の硬化物。
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化時の収縮率が小さく、硬化後のパターンの密着性、耐熱性（２６０℃リフロー耐性）、耐湿性、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性に優れ、硬化後のパターンの屈折率が１．４７〜１．５３まで自由に設計することができる。さらに、感光性樹脂と架橋性モノマーの合計１００質量部に対し、特定のアルコキシシランを１〜１０質量部含有する感光性樹脂組成物とすることで、硬化後のパターンは、より優れた耐湿性を有し、さらに密着性に優れる。
さらに該感光性樹脂組成物を用いて、耐熱性が要求されるマイクロプラスチックレンズや光導波路、プロジェクター向け液晶偏光板用光学素子を得ることができる。また型成形し難いＬＳＩウエハ上にも、複数枚マスク露光と現像削れによって、耐熱性マイクロプラスチックレンズを形成する事ができる。
さらに該感光性樹脂組成物を用いて、耐熱性が要求されるマイクロプラスチックレンズや光導波路、プロジェクター向け液晶偏光板用光学素子を得ることができる。また型成形し難いＬＳＩウエハ上にも、複数枚マスク露光と現像削れによって、耐熱性マイクロプラスチックレンズを形成する事ができる。
＜１＞感光性樹脂組成物について
本発明の感光性樹脂組成物は、下記（IV）アルコキシシラン；上記（I）感光性樹脂と上記（III）架橋性モノマーの合計１００質量部に対して１〜１０質量部、を含有する。
（I）少なくとも、ａ）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）、
ｂ）（Ｃ６Ｈ５）２-Ｓｉ-（ＯＨ）２、ＣＨ３−Ｓｉ−Ｃｌ３、及びＣＨ３−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）３からなる群より選ばれる一種以上の化合物を、
ｂ）の化合物１００モルに対して、ａ）の化合物を６０〜１４０モルの割合で混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる感光性樹脂。
本発明の感光性樹脂組成物は、下記（IV）アルコキシシラン；上記（I）感光性樹脂と上記（III）架橋性モノマーの合計１００質量部に対して１〜１０質量部、を含有する。
（I）少なくとも、ａ）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）、
ｂ）（Ｃ６Ｈ５）２-Ｓｉ-（ＯＨ）２、ＣＨ３−Ｓｉ−Ｃｌ３、及びＣＨ３−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）３からなる群より選ばれる一種以上の化合物を、
ｂ）の化合物１００モルに対して、ａ）の化合物を６０〜１４０モルの割合で混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる感光性樹脂。
（I）感光性樹脂について説明する。
上記ａ)化合物におけるＲ１としては、例えば、ビニル基、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）基、３−グリシドキシプロピル基、スチリル基、３−（メタ）アクリロキシプロピル基、２−（メタ）アクリロキシエチル基、（メタ）アクリロキシメチル基等を挙げることができる。ここで、（メタ）アクリルとは、アクリル基及びメタクリル基を示す。以下同様である。具体的なａ)化合物としては、例えば、３-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、３-アクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−ビニルエチレントリメトキシシラン、３−ビニルメチレントリメトキシシラン、３-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシランが挙げられる。このうち、３-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン（以下、ＭＥＭＯと称する場合もある）が、耐UV劣化性、低毒性、高光感度の観点から最も好ましく用いられる。
上記ａ)化合物におけるＲ１としては、例えば、ビニル基、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）基、３−グリシドキシプロピル基、スチリル基、３−（メタ）アクリロキシプロピル基、２−（メタ）アクリロキシエチル基、（メタ）アクリロキシメチル基等を挙げることができる。ここで、（メタ）アクリルとは、アクリル基及びメタクリル基を示す。以下同様である。具体的なａ)化合物としては、例えば、３-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、３-アクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−ビニルエチレントリメトキシシラン、３−ビニルメチレントリメトキシシラン、３-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシランが挙げられる。このうち、３-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン（以下、ＭＥＭＯと称する場合もある）が、耐UV劣化性、低毒性、高光感度の観点から最も好ましく用いられる。
上記ｂ）化合物の中でも、（Ｃ６Ｈ５）２-Ｓｉ-（ＯＨ）２、つまり、ジフェニルシランジオール（以下、ＤＰＤと称する場合もある）が耐熱性の観点から最も好ましく用いられる。
上記ｂ）化合物１００モルに対して、上記ａ）化合物を６０〜１４０モルを重合することが好ましく、７０〜１２０モルがより好ましい。吸湿性増加を防止する観点から、６０モル以上が好ましく、未反応MEMOの加水分解性増加を防止する観点から１４０モル以下が好ましい。
重合時の温度は、４０〜１５０℃が好ましく、重合時間は０．１〜１０時間が好ましい。重合時、積極的に水を添加することは無い。重合は無溶媒で行う。
上記ｂ）化合物１００モルに対して、上記ａ）化合物を６０〜１４０モルを重合することが好ましく、７０〜１２０モルがより好ましい。吸湿性増加を防止する観点から、６０モル以上が好ましく、未反応MEMOの加水分解性増加を防止する観点から１４０モル以下が好ましい。
重合時の温度は、４０〜１５０℃が好ましく、重合時間は０．１〜１０時間が好ましい。重合時、積極的に水を添加することは無い。重合は無溶媒で行う。
重合時に用いられる触媒としては、３価もしくは４価の金属アルコキシドを用いることができる。具体的には、トリメトキシアルミニウム、トリエトキシアルミニウム、トリ−ｎプロポキシアルミニウム、トリ−ｉｓｏプロポキシアルミニウム、トリ−ｎブトキシアルミニウム、トリ−ｉｓｏ−ブトキシアルミニウム、トリ−ｓｅｃ−ブトキシアルミニウム、トリ−ｔｅｒｔ−ブトキシアルミニウム、トリメトキシボロン、トリエトキシボロン、トリ−ｎ−プロポキシボロン、トリ−ｉｓｏ−プロポキシボロン、トリ−ｎ−ブトキシボロン、トリ−ｉｓｏ−ブトキシボロン、トリ−ｓｅｃ−ブトキシボロン、トリ−ｔｅｒｔブトキシボロン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−ｎ−プロポキシシラン、テトラ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシラン、テトラ−ｉｓｏ−ブトキシシラン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、テトラメトキシゲルマニウム、テトラエトキシゲルマニウム、テトラ−ｎ−プロポキシゲルマニウム、テトラ−ｉｓｏ−プロポキシゲルマニウム、テトラ−ｎ−ブトキシゲルマニウム、テトラ−ｉｓｏ−ブトキシゲルマニウム、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシゲルマニウム、テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシゲルマニウム、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラ−ｎ−プロポキシチタン、テトラ−ｉｓｏ−プロポキシチタン、テトラ−ｎ−ブトキシチタン、テトラ−ｉｓｏ−ブトキシチタン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシチタン、テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシチタン、テトラメトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコニウム、テトラ−ｎ−プロポキシジルコニウム、テトラ−ｉｓｏ−プロポキシジルコニウム、テトラ−ｎ−ブトキシジルコニウム、テトラ−ｉｓｏ−ブトキシジルコニウム、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシジルコニウム、テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシジルコニウム等が挙げられる。また、アルカリ金属の水酸化物又はアルカリ土類金属の水酸化物、例えば、水酸化バリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ストロンチウム、水酸化カルシウム、及び水酸化マグネシウムを触媒として用いてもよい。中でも、水酸化バリウム、水酸化ストロンチウム、テトラーtertーブトキシチタン、及びテトラーisoープロポキシチタンが好ましい。
触媒の添加量は、ｂ）化合物１００モルに対して、１〜１０モルが好ましく、より、好ましくは１〜３モルである。
（I）感光性樹脂としては、上記a)化合物とb)化合物を含む化合物を、100モル：100モルの割合で混合し、触媒として水酸化バリウム1水和物を用い、水を積極的に添加することなく７５〜８５℃の温度で３０〜１時間反応させるステップを経たものが、ドイツ国 Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ ＩＳＣ 社からＯＲＭＯＣＥＲ ＯＮＥとして入手することができる。
（I）感光性樹脂としては、上記a)化合物とb)化合物を含む化合物を、100モル：100モルの割合で混合し、触媒として水酸化バリウム1水和物を用い、水を積極的に添加することなく７５〜８５℃の温度で３０〜１時間反応させるステップを経たものが、ドイツ国 Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ ＩＳＣ 社からＯＲＭＯＣＥＲ ＯＮＥとして入手することができる。
（II）光重合開始剤について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる（II）光重合開始剤として好ましいものとしては、以下の化合物が挙げられる。
（１）ベンゾフェノン誘導体：例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン
（２）アセトフェノン誘導体：例えば、２，２’−ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ６５１）、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ１８４）、２−メチル−１−[４−（メチルチオ）フェニル]−２−モルフォリノプロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７）、２−ヒドロキシ−１−｛４−[４−（２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオニル）−ベンジル]−フェニル｝−２−メチルプロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ１２７）、フェニルグリオキシル酸メチル
（３）チオキサントン誘導体：例えば、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン
（４）ベンジル誘導体：例えば、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる（II）光重合開始剤として好ましいものとしては、以下の化合物が挙げられる。
（１）ベンゾフェノン誘導体：例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン
（２）アセトフェノン誘導体：例えば、２，２’−ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ６５１）、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ１８４）、２−メチル−１−[４−（メチルチオ）フェニル]−２−モルフォリノプロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７）、２−ヒドロキシ−１−｛４−[４−（２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオニル）−ベンジル]−フェニル｝−２−メチルプロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ１２７）、フェニルグリオキシル酸メチル
（３）チオキサントン誘導体：例えば、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン
（４）ベンジル誘導体：例えば、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール
（５）ベンゾイン誘導体：例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、２−ヒドロキシ−２−メチル−１フェニルプロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＤＡＲＯＣＵＲＥ１１７３）
（６）オキシム系化合物：例えば、１−フェニル−１，２−ブタンジオン−２−（Ｏ-メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１，３−ジフェニルプロパントリオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシプロパントリオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１，２−オクタンジオン，１−[４−（フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）] （チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０１）、エタノン，１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル]−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥＯＸＥ０２）
（７）α−ヒドロキシケトン系化合物：例えば、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−[４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル]−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−[４−（２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオニル）−ベンジル]フェニル｝−２−メチルプロパン
（６）オキシム系化合物：例えば、１−フェニル−１，２−ブタンジオン−２−（Ｏ-メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１，３−ジフェニルプロパントリオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシプロパントリオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１，２−オクタンジオン，１−[４−（フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）] （チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０１）、エタノン，１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル]−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥＯＸＥ０２）
（７）α−ヒドロキシケトン系化合物：例えば、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−[４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル]−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−[４−（２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオニル）−ベンジル]フェニル｝−２−メチルプロパン
（８）α−アミノアルキルフェノン系化合物：例えば、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ３６９）、２−ジメチルアミノ−２−（４−メチルベンジル）−１−（４−モルフォリン−４−イル−フェニル）ブタン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ３７９）
（９）フォスフィンオキサイド系化合物：例えば、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ８１９）、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＤＡＲＯＣＵＲＥ ＴＰＯ）
（１０）チタノセン化合物：例えば、ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）フェニル）チタニウム（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ７８４）
また、これらの使用にあたっては、単独でも２種以上の混合物でもかまわない。
（９）フォスフィンオキサイド系化合物：例えば、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ８１９）、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＤＡＲＯＣＵＲＥ ＴＰＯ）
（１０）チタノセン化合物：例えば、ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）フェニル）チタニウム（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ７８４）
また、これらの使用にあたっては、単独でも２種以上の混合物でもかまわない。
上記した光重合開始剤の中では、特に光感度の点で、（８）のα−アミノアルキルフェノン系化合物がより好ましい。その添加量は、感光性樹脂と架橋性モノマーの合計１００質量部に対して、０．１〜５質量部とするのが好ましく、０．２〜２質量部とするのがより好ましく、０．３〜１質量部が更に好ましい。添加量が実用的な硬化パターンを得る観点から、０．１質量部以上が好ましく、また、透明性の観点から、添加量が５質量部以下が好ましい。
（III）架橋性モノマーについて説明する。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる架橋性モノマーとしては、光重合開始剤の作用により重合可能な多官能（メタ）アクリル化合物が好ましく、例えば、ポリエチレングリコールジアクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜２０]、ポリエチレングリコールジメタクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜２０]、ポリ（１，２-プロピレングリコール）ジアクリレート[１，２-プロピレングリコールユニット数２〜２０]、ポリ（１，２−プロピレングリコール）ジメタクリレート[１，２-プロピレングリコールユニット数２〜２０]、ポリテトラメチレングリコールジアクリレート[テトラメチレングリコールユニット数２〜１０]、ポリテトラメチレングリコールジメタクリレート[テトラメチレングリコールユニット数２〜１０]、１，４-シクロヘキサンジアクリレート、１，４-シクロヘキサンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜２０]、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリ-２-ヒドロキシエチルイソシアヌレートトリアクリレート、トリ-２-ヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタクリレート、グリセロールジアクリレート、グリセロールジメタクリレート、ジトリメチロールプロパントリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、メチレンビスアクリルアミド、エチレングリコールジグリシジルエーテル-メタクリル酸付加物、グリセロールジグリシジルエーテル-アクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル-アクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル-メタクリル酸付加物、エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜３０]、エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜３０]、Ｎ，Ｎ’-ビス（２-メタクリロイルオキシエチル）尿素などが挙げられる。また、これらの使用にあたっては、必要に応じて、単独でも２種以上を混合して用いてもかまわない。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる架橋性モノマーとしては、光重合開始剤の作用により重合可能な多官能（メタ）アクリル化合物が好ましく、例えば、ポリエチレングリコールジアクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜２０]、ポリエチレングリコールジメタクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜２０]、ポリ（１，２-プロピレングリコール）ジアクリレート[１，２-プロピレングリコールユニット数２〜２０]、ポリ（１，２−プロピレングリコール）ジメタクリレート[１，２-プロピレングリコールユニット数２〜２０]、ポリテトラメチレングリコールジアクリレート[テトラメチレングリコールユニット数２〜１０]、ポリテトラメチレングリコールジメタクリレート[テトラメチレングリコールユニット数２〜１０]、１，４-シクロヘキサンジアクリレート、１，４-シクロヘキサンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜２０]、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリ-２-ヒドロキシエチルイソシアヌレートトリアクリレート、トリ-２-ヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタクリレート、グリセロールジアクリレート、グリセロールジメタクリレート、ジトリメチロールプロパントリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、メチレンビスアクリルアミド、エチレングリコールジグリシジルエーテル-メタクリル酸付加物、グリセロールジグリシジルエーテル-アクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル-アクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル-メタクリル酸付加物、エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜３０]、エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート[エチレングリコールユニットの数２〜３０]、Ｎ，Ｎ’-ビス（２-メタクリロイルオキシエチル）尿素などが挙げられる。また、これらの使用にあたっては、必要に応じて、単独でも２種以上を混合して用いてもかまわない。
これらの中でも、ポリアルキレンオキサイドジ（メタ）アクリレートが好ましい。末端感光基は、UV照射劣化性や人への毒性の観点からは活性水素のないメタクリル基がより好ましい。低屈折率の観点からは、アルキレンオキサイドのアルキレンの炭素数が２〜４が好ましく、アルキレンオキサイドのユニット数が３〜１０が好ましい。
架橋性モノマーの液体での屈折率は、１．４５が好ましい。
好ましく用いられる架橋性モノマーとしては、例えば、ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＰ−４００：屈折率１．４５）、トリ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−１５０：屈折率１．４４）、テトラ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−２００：屈折率１．４５）、ノナ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−４００：屈折率１．４５）、テトラデカ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−６００：屈折率１．４６）、オクタ（テトラメチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＴ−６５０：屈折率１．４６）、テトラ（エチレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＥ−２００：屈折率１．４５）、ノナ（エチレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＥ−４００：屈折率１．４６）、トリ（プロピレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＰ−２００：屈折率１．４５）、ヘプタ（プロピレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＰ−４００：屈折率１．４５）が挙げられる。
架橋性モノマーの液体での屈折率は、１．４５が好ましい。
好ましく用いられる架橋性モノマーとしては、例えば、ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＰ−４００：屈折率１．４５）、トリ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−１５０：屈折率１．４４）、テトラ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−２００：屈折率１．４５）、ノナ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−４００：屈折率１．４５）、テトラデカ（エチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＥ−６００：屈折率１．４６）、オクタ（テトラメチレンオキサイド）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＤＴ−６５０：屈折率１．４６）、テトラ（エチレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＥ−２００：屈折率１．４５）、ノナ（エチレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＥ−４００：屈折率１．４６）、トリ（プロピレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＰ−２００：屈折率１．４５）、ヘプタ（プロピレンオキサイド）ジアクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＡＤＰ−４００：屈折率１．４５）が挙げられる。
（III）架橋性モノマーの添加量は、（I）感光性樹脂１００質量部に対して、１００質量部超過１２００質量部以下である。添加量は、低屈折率の観点から、１００質量部超過であり、耐熱性の観点から、１２００質量部以下である。添加量は、７００質量部以上１１００質量部以下がより好ましく、８００質量部以上１０００質量部以下が更に好ましい。
（IV）アルコキシシランについて説明する。
本発明の感光性樹脂組成物には、下記（IV）アルコキシシランを含有しても良い。
（IV）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）
（IV）アルコキシシランの具体例としては、３-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、３-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン又は３-アクリルオキシプロピルトリメトキシシランが挙げられる。中でも３-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン（以下、ＧＬＹＭＯと称する場合もある）とＭＥＭＯがより好ましい。
（IV）アルコキシシランについて説明する。
本発明の感光性樹脂組成物には、下記（IV）アルコキシシランを含有しても良い。
（IV）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）
（IV）アルコキシシランの具体例としては、３-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、３-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン又は３-アクリルオキシプロピルトリメトキシシランが挙げられる。中でも３-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン（以下、ＧＬＹＭＯと称する場合もある）とＭＥＭＯがより好ましい。
（IV）アルコキシシランの添加量は感光性樹脂と架橋性モノマーの合計１００質量部に対して、１〜１０質量部が好ましい。添加量は、３〜７質量部がより好ましい。密着性の発現の観点から１質量部以上が好ましく、耐温度衝撃性の観点から１０質量部以下が好ましい。
本発明の組成物においては、溶媒を添加して粘度を調整することもできる。好適な溶媒としては、例えば、γ―ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、炭素数１〜６程度のアルコールが挙げられ、これらは単独または二種以上の組合せで用いることができる。これらの溶媒は、塗布膜厚、粘度に応じて、本発明の組成物に適宜加えることができるが、（I）感光性樹脂１００質量部に対し、５〜１００質量部の範囲で用いることが好ましい。
本発明の組成物においては、溶媒を添加して粘度を調整することもできる。好適な溶媒としては、例えば、γ―ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、炭素数１〜６程度のアルコールが挙げられ、これらは単独または二種以上の組合せで用いることができる。これらの溶媒は、塗布膜厚、粘度に応じて、本発明の組成物に適宜加えることができるが、（I）感光性樹脂１００質量部に対し、５〜１００質量部の範囲で用いることが好ましい。
＜２＞硬化レリーフパターンの形成方法
硬化レリーフパターンの形成は、少なくとも、基材上に上述した感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を得る工程、塗布膜に活性光線を照射し露光部を光硬化させる工程、現像液を用いて該膜の未硬化の部分を除去する工程、基材ごと加熱する工程を順に行う。
具体的には、上記により得られた感光性樹脂組成物を、例えば、スピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷機で塗布するか、スプレーコーターで噴霧塗布する方法により基板、例えば、シリコンウェハの上に塗布膜を得る。塗布膜の厚みは1〜100μｍが好ましく、より好ましくは2〜50μｍである。
得られた塗布膜は、溶剤を含有する場合には、例えば、風乾、オーブン又はホットプレートによる加熱乾燥、真空乾燥により乾燥する。
このようにして得られた塗布膜は、露光装置、例えば、コンタクトアライナー、ミラープロジェクション、ステッパーを用いて、紫外線光源により露光される。光硬化型樹脂としてのパターンの解像度及び取扱い性の点で、その光源波長はi線が好ましく、装置としてはステッパーが好ましい。
硬化レリーフパターンの形成は、少なくとも、基材上に上述した感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を得る工程、塗布膜に活性光線を照射し露光部を光硬化させる工程、現像液を用いて該膜の未硬化の部分を除去する工程、基材ごと加熱する工程を順に行う。
具体的には、上記により得られた感光性樹脂組成物を、例えば、スピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷機で塗布するか、スプレーコーターで噴霧塗布する方法により基板、例えば、シリコンウェハの上に塗布膜を得る。塗布膜の厚みは1〜100μｍが好ましく、より好ましくは2〜50μｍである。
得られた塗布膜は、溶剤を含有する場合には、例えば、風乾、オーブン又はホットプレートによる加熱乾燥、真空乾燥により乾燥する。
このようにして得られた塗布膜は、露光装置、例えば、コンタクトアライナー、ミラープロジェクション、ステッパーを用いて、紫外線光源により露光される。光硬化型樹脂としてのパターンの解像度及び取扱い性の点で、その光源波長はi線が好ましく、装置としてはステッパーが好ましい。
現像は、従来知られているフォトレジストの現像方法、例えば、回転スプレー法、パドル法、超音波処理を伴う浸漬法の中から任意の方法を選んで行うことができる。
使用される現像液としては、前記の（I）感光性樹脂に対する良溶媒と貧溶媒の組み合わせが好ましい。この良溶媒としては、例えば、Ｎ-メチルピロリドン、Ｎ-アセチル-２-ピロリドン、Ｎ，Ｎ′-ジメチルアセトアミド、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、α-アセチル-γ-ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが、また、貧溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル及び水が用いられる。良溶媒に対する貧溶媒の割合は（I）感光性樹脂の溶解性により調整される。各溶媒を組み合わせて用いることもできる。
使用される現像液としては、前記の（I）感光性樹脂に対する良溶媒と貧溶媒の組み合わせが好ましい。この良溶媒としては、例えば、Ｎ-メチルピロリドン、Ｎ-アセチル-２-ピロリドン、Ｎ，Ｎ′-ジメチルアセトアミド、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、α-アセチル-γ-ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが、また、貧溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル及び水が用いられる。良溶媒に対する貧溶媒の割合は（I）感光性樹脂の溶解性により調整される。各溶媒を組み合わせて用いることもできる。
現像終了後、必要により、現像液を除去するために、洗浄液による洗浄（以下、リンスという）を行っても良い。リンス液としては、特定のアルコール系化合物を単独または混合して用いたり、更に水と適宜混合した溶媒を用いたりすることが好ましい。リンス液として好適なアルコール系化合物としては、例えば、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、ペンタノール、メチルイソブチルカルビノールが挙げられる。
リンス方法としては、スプレーリンス、浸漬リンス、超音波リンスなどが好例として挙げられるが、最も効果的なリンス効果が得られるのはスプレーリンス法である。スプレー現像法とスプレーリンス法を併用する場合は、現像からリンスへ移行する過程で、両者を同時にスプレーする、いわゆるオーバーラップ過程を数秒から数十秒挿入することが好ましい。
リンス方法としては、スプレーリンス、浸漬リンス、超音波リンスなどが好例として挙げられるが、最も効果的なリンス効果が得られるのはスプレーリンス法である。スプレー現像法とスプレーリンス法を併用する場合は、現像からリンスへ移行する過程で、両者を同時にスプレーする、いわゆるオーバーラップ過程を数秒から数十秒挿入することが好ましい。
基材ごと加熱する工程では、硬化レリーフパターン付き基材を最終的に150℃以上300℃以下に加熱し、未反応二重結合又は未反応エポキシ基を更に反応させて、キュア膜を得ることができる。加熱温度は、150℃以上250℃以下がより好ましい。加熱時の未反応二重結合又は未反応エポキシ基の反応の進行の観点から150℃以上、熱分解の観点から300℃以下である。加熱は、ホットプレート、オーブン、温度プログラムを設定できる昇温式オーブンにより行うことが出来る。加熱する際の雰囲気気体としては空気を用いてもよく、不活性ガス、例えば、窒素、アルゴンを用いることができる。加熱時間は未反応二重結合又は未反応エポキシ基の反応の進行の観点から0.5時間以上、熱分解の観点から8時間以下が好ましい。
＜３＞成形物用の型を利用したマイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子の製造方法
本発明の感光性樹脂組成物を密着性良くガラス基板に成型物用の型を使用して形成する方法を以下に述べる。成形物用の型の材質には、ゴム、ガラス、プラスチック、金属等が用いられる。金属の成形物用の型の場合は、ニッケル製が好ましい。
マイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子は、型の大きさ、種類が異なるだけであり、製造方法は同じである。
本発明の感光性樹脂組成物を密着性良くガラス基板に成型物用の型を使用して形成する方法を以下に述べる。成形物用の型の材質には、ゴム、ガラス、プラスチック、金属等が用いられる。金属の成形物用の型の場合は、ニッケル製が好ましい。
マイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子は、型の大きさ、種類が異なるだけであり、製造方法は同じである。
１）ガラス基板へのコート及び加熱ステップ：本発明の感光性樹脂組成物を、ＮＭＰなどの溶剤を使って希釈し、例えばスピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷機で塗布するか、スプレーコーターで噴霧塗布する方法により基板上にコートし、感光性樹脂組成物の薄膜を形成する。感光性樹脂組成物の厚みは０．１〜１０μｍが好ましく、より好ましくは０．５〜５μｍ、さらに好ましくは１〜３μｍである。加熱は、コートしたガラス基板の感光性樹脂組成物の薄膜形成面を上にして行う。用いる装置としては、オーブン、遠赤外線炉、ホットプレートなど、加熱できる装置であれば公知のものを用いることができ、ガラス基板と感光性樹脂組成物の密着性を高める観点から、中でもホットプレートが好ましい。加熱は、５０℃〜１５０℃、好ましくは１００℃〜１４０℃の範囲で１分〜３０分間、好ましくは５分〜１０分間行う。
２）成形物用の型を押し当てるステップ：別途、本発明の感光性樹脂組成物をマイクロプラスチックレンズの型又は液晶偏光板用光学素子の型に満たし、成形物用の型の開口部を、１）ステップで得られたガラス基板の薄膜形成面に押し当て密着させる。成形物用の型に満たす方法としてはスポイトやディスペンサーなどで滴下する。成形物用の型の材質には、ゴム、ガラス、プラスチック、金属等が用いられる。金属の成形物用の型の場合は、ニッケル製が好ましい。
３）露光ステップ：ガラス基板と成形物用の型で感光性樹脂組成物を挟んだ状態で、ガラス基板側から紫外線照射する。光硬化型樹脂としてのパターンの解像度及び取扱い性の点で、露光光源波長はｉ線が好ましく、装置としては近接露光タイプのプロジェクションアライナーが好ましい。
３）露光ステップ：ガラス基板と成形物用の型で感光性樹脂組成物を挟んだ状態で、ガラス基板側から紫外線照射する。光硬化型樹脂としてのパターンの解像度及び取扱い性の点で、露光光源波長はｉ線が好ましく、装置としては近接露光タイプのプロジェクションアライナーが好ましい。
４）型剥離ステップ：紫外線硬化後、成型用の型をガラス基板から剥離する。
５）加熱ステップ：１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱する事で、残存（メタ）アクリル基を結合させ、耐熱性に優れたマイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子を得ることができる。加熱は、ホットプレート、オーブン、温度プログラムを設定できる昇温式オーブンにより行うことが出来る。加熱変換させる際の雰囲気気体としては空気を用いてもよく、窒素、アルゴン等の不活性ガスを用いることができる。
５）加熱ステップ：１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱する事で、残存（メタ）アクリル基を結合させ、耐熱性に優れたマイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子を得ることができる。加熱は、ホットプレート、オーブン、温度プログラムを設定できる昇温式オーブンにより行うことが出来る。加熱変換させる際の雰囲気気体としては空気を用いてもよく、窒素、アルゴン等の不活性ガスを用いることができる。
＜４＞マスクを使用してのマイクロプラスチックレンズ製造方法について
本発明のシロキサン構造を有する透明感光性樹脂組成物を密着性良くガラス基板またはシリコン基板（以下、基板という。）にマスクを使用してマイクロプラスチックレンズを形成する方法を以下に述べる。
本発明のシロキサン構造を有する透明感光性樹脂組成物を密着性良くガラス基板またはシリコン基板（以下、基板という。）にマスクを使用してマイクロプラスチックレンズを形成する方法を以下に述べる。
１）基板へのコート及び加熱ステップ：本発明の感光性樹脂組成物を、ＮＭＰなどの溶剤を使って希釈し、例えばスピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷機等で塗布するか、スプレーコーター等で噴霧塗布する方法により基板上にコートし、感光性樹脂組成物の薄膜形成する。感光性樹脂膜の厚みは１〜３０μｍが好ましく、より好ましくは２〜１０μｍ、さらに好ましくは３〜６μｍである。
加熱は、コートしたガラス基板の感光性樹脂組成物の薄膜形成面を上にして行う。用いる装置としては、オーブン、遠赤外線炉、ホットプレートなど、加熱できる装置であれば公知のものを用いることができ、基板と感光性樹脂組成物の密着性を高める観点から、中でもホットプレートが好ましい。加熱は、５０℃〜１５０℃、好ましくは１００℃〜１４０℃の範囲で１分〜３０分間、好ましくは５分〜１０分間行う。
加熱は、コートしたガラス基板の感光性樹脂組成物の薄膜形成面を上にして行う。用いる装置としては、オーブン、遠赤外線炉、ホットプレートなど、加熱できる装置であれば公知のものを用いることができ、基板と感光性樹脂組成物の密着性を高める観点から、中でもホットプレートが好ましい。加熱は、５０℃〜１５０℃、好ましくは１００℃〜１４０℃の範囲で１分〜３０分間、好ましくは５分〜１０分間行う。
２）複数回露光ステップ：マイクロプラスチックレンズの円のパターンからなる複数枚のマスクを用いる。このマスクは、円部分は露光光が透過し、残部は、露光光が透過しないようになっている。現像削れ後の残膜飽和最低露光量÷マスク枚数の一定光量で、円直径の小さいマスクから順にマスク１枚ごとに紫外線露光する。これらの複数枚のマスクは、アライメントマークを合わせると、各レンズパターンが直径の異なる同心円パターンになっている。例えば、該ネガ型透明感光樹脂を３枚マスクでマイクロプラスチックレンズ形状に露光形成するには、現像後の残膜が飽和する最低露光量÷マスク枚数（例９０ｍＪ／ｃｍ２÷３＝３０ｍＪ／ｃｍ２の露光量）で、パターンの小さいマスクから順に、同じ露光量で、アライメントマークを使って３回露光する。
３）現像ステップ：現像は、従来知られているフォトレジストの現像方法、例えば回転スプレー法、パドル法、超音波処理を伴う浸漬法などの中から任意の方法を選んで行うことができる。
使用される現像液としては、前述の感光性樹脂に対する良溶媒と貧溶媒の組み合わせが好ましい。この良溶媒としては、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ−アセチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ′−ジメチルアセトアミド、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、α−アセチル−γ−ブチロラクトン、メチルイソブチルケトンなどが、また、貧溶媒としてはトルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール及び水などが用いられる。良溶媒に対する貧溶媒の割合はシロキサン構造を有する感光性樹脂の溶解性により調整される。各溶媒を組み合わせて用いることもできる。
使用される現像液としては、前述の感光性樹脂に対する良溶媒と貧溶媒の組み合わせが好ましい。この良溶媒としては、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ−アセチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ′−ジメチルアセトアミド、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、α−アセチル−γ−ブチロラクトン、メチルイソブチルケトンなどが、また、貧溶媒としてはトルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール及び水などが用いられる。良溶媒に対する貧溶媒の割合はシロキサン構造を有する感光性樹脂の溶解性により調整される。各溶媒を組み合わせて用いることもできる。
４）加熱ステップ：１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱する事で、残存メタクリル基を結合させ、耐熱性に優れたマイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子を得ることができる。加熱は、ホットプレート、オーブン、温度プログラムを設定できる昇温式オーブンにより行うことが出来る。加熱変換させる際の雰囲気気体としては空気を用いてもよく、不活性ガス、例えば、窒素、アルゴンを用いることができる。
尚、上記現像削れ後の残膜飽和最低露光量とは以下のことを意味する。
ネガ型レジストは、露光量によって現像後の残膜率が異なる。
現像削れ後の残膜飽和最低露光量の決定方法は、表１のグラフから行う。
露光装置での露光設定値（Ｌｉｇｈｔ Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）を横軸にとり、そのときの現像後の残膜厚み（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）を縦軸に取ると、残膜厚が２．５μｍ付近で飽和していることがわかる。
この時の最低露光量が表１のグラフより１００ｍＪ／ｃｍ２と分かる。
この様な最低露光量（例えば、「１００ｍＪ／ｃｍ２」）を現像削れ後の残膜飽和最低露光量という。
尚、上記現像削れ後の残膜飽和最低露光量とは以下のことを意味する。
ネガ型レジストは、露光量によって現像後の残膜率が異なる。
現像削れ後の残膜飽和最低露光量の決定方法は、表１のグラフから行う。
露光装置での露光設定値（Ｌｉｇｈｔ Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）を横軸にとり、そのときの現像後の残膜厚み（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）を縦軸に取ると、残膜厚が２．５μｍ付近で飽和していることがわかる。
この時の最低露光量が表１のグラフより１００ｍＪ／ｃｍ２と分かる。
この様な最低露光量（例えば、「１００ｍＪ／ｃｍ２」）を現像削れ後の残膜飽和最低露光量という。
次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
［実施例１］
１）ドイツ国 Fraunhofer ISC社からORMOCER ONEとして販売されている感光性樹脂9.5質量％に、光重合開始剤IRGACURE369 0.4質量％（チバガイギー社製）と、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン４.7質量％（旭化成ワッカー社製）と ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤＰ−４００、屈折率1.45）とを85.4質量％とを添加混合し、0.2μｍのフィルターでろ過した後、感光性樹脂組成物とする。最終粘度としては0.5ポイズであった。
２）この組成液をガラス基板に滴下し、１０ｒｐｍでスピンコートした膜を１２０℃で５分間プリベークし、残存揮発成分を除去した。この際、膜の凝集も平坦性低下もなかった。
３）コート樹脂の上からＰＥＴフィルムでカバーし、４００ｍJ／ｃｍ２でUV露光（波長365nm）を行った。
４）最後にN2中で２時間、200℃の加熱を行った。加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
［実施例１］
１）ドイツ国 Fraunhofer ISC社からORMOCER ONEとして販売されている感光性樹脂9.5質量％に、光重合開始剤IRGACURE369 0.4質量％（チバガイギー社製）と、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン４.7質量％（旭化成ワッカー社製）と ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤＰ−４００、屈折率1.45）とを85.4質量％とを添加混合し、0.2μｍのフィルターでろ過した後、感光性樹脂組成物とする。最終粘度としては0.5ポイズであった。
２）この組成液をガラス基板に滴下し、１０ｒｐｍでスピンコートした膜を１２０℃で５分間プリベークし、残存揮発成分を除去した。この際、膜の凝集も平坦性低下もなかった。
３）コート樹脂の上からＰＥＴフィルムでカバーし、４００ｍJ／ｃｍ２でUV露光（波長365nm）を行った。
４）最後にN2中で２時間、200℃の加熱を行った。加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
[実施例２]
ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤＰ−４００）に替えて、ノナエチレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤＥ−４００、屈折率1.45）を同量用いた以外は、実施例１と同様に行った。２）では膜の凝集も平坦性低下もなく、４）では加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤＰ−４００）に替えて、ノナエチレンオキサイドジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤＥ−４００、屈折率1.45）を同量用いた以外は、実施例１と同様に行った。２）では膜の凝集も平坦性低下もなく、４）では加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
[実施例３]
ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレートに替えて、オクタ（テトラエチレングリコール）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤT−６５０、屈折率1.46）を同量用いた以外は実施例１と同様に行った。２）では膜の凝集も平坦性低下もなく、４）では加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレートに替えて、オクタ（テトラエチレングリコール）ジメタクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ブレンマーＰＤT−６５０、屈折率1.46）を同量用いた以外は実施例１と同様に行った。２）では膜の凝集も平坦性低下もなく、４）では加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
[比較例１]
１）[実施例１]において、ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレートの添加量を２０質量部とした以外は、実施例１と同様におこなった。２）では膜の凝集も平坦性低下もなく、４）では加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
＜屈折率評価＞
アッベ屈折計（アタゴ製、DR-M2）にて、上記試験片の２５℃における屈折率（589nm）を測定した。
＜膜厚＞
光硬化した膜表面をカッターにて引っかき傷を付け、キュア熱硬化前後での膜厚を、接触段差計（Tencor製 P-15）にて評価し、収縮率を計算した。
＜密着性試験＞
ガラス基板上に各実施例及び比較例の１）〜４）で成膜後、碁盤目テープ剥離試験（ＪＩＳ Ｋ５４００）にて、クロスカットガイド１．０を用いて、１ｍｍ角の正方形１００個が出来るようにカッターナイフで傷を付け、上からセロハンテープを貼り付けた後剥離し、セロハンテープに付着せず基板上に残った正方形の数を数えることにより、密着性を評価した。
１）[実施例１]において、ヘプタプロピレンオキサイドジメタクリレートの添加量を２０質量部とした以外は、実施例１と同様におこなった。２）では膜の凝集も平坦性低下もなく、４）では加熱の前後で、膜収縮率は極めて小さく、極めて平坦な膜構造を保持していた。
＜屈折率評価＞
アッベ屈折計（アタゴ製、DR-M2）にて、上記試験片の２５℃における屈折率（589nm）を測定した。
＜膜厚＞
光硬化した膜表面をカッターにて引っかき傷を付け、キュア熱硬化前後での膜厚を、接触段差計（Tencor製 P-15）にて評価し、収縮率を計算した。
＜密着性試験＞
ガラス基板上に各実施例及び比較例の１）〜４）で成膜後、碁盤目テープ剥離試験（ＪＩＳ Ｋ５４００）にて、クロスカットガイド１．０を用いて、１ｍｍ角の正方形１００個が出来るようにカッターナイフで傷を付け、上からセロハンテープを貼り付けた後剥離し、セロハンテープに付着せず基板上に残った正方形の数を数えることにより、密着性を評価した。
＜２６０℃リフロー耐性試験＞
２６０℃に温度設定したオーブン（ヤマト製ファインオーブンＤＨ−４２）に、５分間、大気中、ベークを行い、前後での膜剥れを目視による評価を行った。
＜耐湿性試験＞
恒温恒湿装置（ヤマト化学製ＩＷ２２１）で温度６０℃、湿度９０％の条件で、１０００時間までストレス試験を行い、ストレス前後の光透過率の変化（４００ｎｍ波長）、剥がれ、クラックなどを評価した。
＜耐温度衝撃性試験＞
温度衝撃装置（ＴＡＢＡＩ製 型式ＴＳＥ−１０）で温度−４０℃と１００℃を３０分毎に設定変化させる試験を５００サイクル試験を行い、ストレス前後の剥がれ、クラックなどを評価した。
２６０℃に温度設定したオーブン（ヤマト製ファインオーブンＤＨ−４２）に、５分間、大気中、ベークを行い、前後での膜剥れを目視による評価を行った。
＜耐湿性試験＞
恒温恒湿装置（ヤマト化学製ＩＷ２２１）で温度６０℃、湿度９０％の条件で、１０００時間までストレス試験を行い、ストレス前後の光透過率の変化（４００ｎｍ波長）、剥がれ、クラックなどを評価した。
＜耐温度衝撃性試験＞
温度衝撃装置（ＴＡＢＡＩ製 型式ＴＳＥ−１０）で温度−４０℃と１００℃を３０分毎に設定変化させる試験を５００サイクル試験を行い、ストレス前後の剥がれ、クラックなどを評価した。
[実施例４]
成形物用の型を利用したマイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子
マイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子は成型物用の型の種類が異なるだけであり、製造方法は同じである。成形物用の型の材質には、ゴム、ガラス、プラスチック、金属等が用いられる。金属の成形物用の型の場合は、ニッケル製が好ましい。
１）ガラス基板へのコート及び加熱ステップ：コーニング製無アルカリガラス基板（１０ｃｍ正方形、厚み０．７ｍｍ）上に、実施例１で得られた感光性樹脂組成物をＮＭＰ溶剤で７０重量％添加し希釈したのち、スピンコーターで塗布する（２５００ｒｐｍ３０秒）。コートしたガラス基板面を上にしてホットプレート上で１２０℃で５分間加熱する。ＮＭＰ乾燥除去後の感光性樹脂組成物の厚みは１μｍである。
２）型を押し当てるステップ：実施例１で得られた感光性樹脂組成物を、Ｎｉ金属製のマイクロプラスチックレンズ用型又は液晶偏光板用光学素子の型にスポイトを用い、型を満たす量を滴下し、加熱処理後冷却したガラスの樹脂コート面を下にして、型内の滴下樹脂に押し当て密着させる。
成形物用の型を利用したマイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子
マイクロプラスチックレンズ及び液晶偏光板用光学素子は成型物用の型の種類が異なるだけであり、製造方法は同じである。成形物用の型の材質には、ゴム、ガラス、プラスチック、金属等が用いられる。金属の成形物用の型の場合は、ニッケル製が好ましい。
１）ガラス基板へのコート及び加熱ステップ：コーニング製無アルカリガラス基板（１０ｃｍ正方形、厚み０．７ｍｍ）上に、実施例１で得られた感光性樹脂組成物をＮＭＰ溶剤で７０重量％添加し希釈したのち、スピンコーターで塗布する（２５００ｒｐｍ３０秒）。コートしたガラス基板面を上にしてホットプレート上で１２０℃で５分間加熱する。ＮＭＰ乾燥除去後の感光性樹脂組成物の厚みは１μｍである。
２）型を押し当てるステップ：実施例１で得られた感光性樹脂組成物を、Ｎｉ金属製のマイクロプラスチックレンズ用型又は液晶偏光板用光学素子の型にスポイトを用い、型を満たす量を滴下し、加熱処理後冷却したガラスの樹脂コート面を下にして、型内の滴下樹脂に押し当て密着させる。
３）露光ステップ：ガラス基板と成型物用の型で感光性樹脂を挟んだ状態で、ガラス基板側からＣＡＮＯＮ製近接露光装置ミラープロジェクションアライナーを使って、紫外線を全面マスク無しで照射する。ｉ線波長（３６５ｎｍ）での照射量は４００ｍＪ／ｃｍ２である。
４）型剥離ステップ：紫外線硬化後、成型物用の型をガラス基板から剥離する。
５）加熱ステップ：キュアオーブンを使って、Ｎ２中２５０℃の温度で２時間加熱する。
４）型剥離ステップ：紫外線硬化後、成型物用の型をガラス基板から剥離する。
５）加熱ステップ：キュアオーブンを使って、Ｎ２中２５０℃の温度で２時間加熱する。
[実施例５]
マスクを使用してのマイクロプラスチックレンズ
１）基板へのコート及び加熱ステップ：実施例２で得られた感光性樹脂組成物にＮＭＰを４０質量％添加混合して希釈した後、シリコン基板上に滴下し、スピンコーター（２５００ｒｐｍ３０秒）をつかってコートする。：コートしたシリコン基板面を上にしてホットプレート上で１２０℃で５分間加熱する。ＮＭＰ乾燥除去後の感光性樹脂の厚みは６μｍである。
２）複数回露光ステップ：マイクロプラスチックレンズの同心円パターンからなる３枚のマスクを予め準備する。Ｓｉウエハ上でのレンズ寸法が、直径２μｍ、４μｍ、６μｍのネガ型感光レジスト用パターンのレンズアレイ（縦横５個、計２５個）をＣＡＤにて作成し、マスクとする。現像削れ後の残膜飽和値が３μｍであり、この時の必要最低露光量が９０ｍＪ／ｃｍ２であるため、９０÷３＝３０ｍＪ／ｃｍ２の一定光量で、同心円直径の小さい２μｍのマスクから順に同心円に重ねて紫外線露光する。
３）現像ステップ：回転スプレー法で現像する。使用される現像液としてはシクロヘキサノンを用いて、２０秒間スプレー現像し、リンス液としてイソプロピルアルコールを用いて、１０秒間リンスする。
４）加熱ステップ：キュアオーブンを使って、Ｎ２中２５０℃の温度で２時間加熱する。
マスクを使用してのマイクロプラスチックレンズ
１）基板へのコート及び加熱ステップ：実施例２で得られた感光性樹脂組成物にＮＭＰを４０質量％添加混合して希釈した後、シリコン基板上に滴下し、スピンコーター（２５００ｒｐｍ３０秒）をつかってコートする。：コートしたシリコン基板面を上にしてホットプレート上で１２０℃で５分間加熱する。ＮＭＰ乾燥除去後の感光性樹脂の厚みは６μｍである。
２）複数回露光ステップ：マイクロプラスチックレンズの同心円パターンからなる３枚のマスクを予め準備する。Ｓｉウエハ上でのレンズ寸法が、直径２μｍ、４μｍ、６μｍのネガ型感光レジスト用パターンのレンズアレイ（縦横５個、計２５個）をＣＡＤにて作成し、マスクとする。現像削れ後の残膜飽和値が３μｍであり、この時の必要最低露光量が９０ｍＪ／ｃｍ２であるため、９０÷３＝３０ｍＪ／ｃｍ２の一定光量で、同心円直径の小さい２μｍのマスクから順に同心円に重ねて紫外線露光する。
３）現像ステップ：回転スプレー法で現像する。使用される現像液としてはシクロヘキサノンを用いて、２０秒間スプレー現像し、リンス液としてイソプロピルアルコールを用いて、１０秒間リンスする。
４）加熱ステップ：キュアオーブンを使って、Ｎ２中２５０℃の温度で２時間加熱する。
本発明の感光性樹脂組成物は、耐熱性、破断点伸度、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性、耐湿性が要求されるプラスチックレンズや光導波路、プロジェクター向け液晶偏光板用光学素子を製造するための材料に用いることができる。また型成形し難いＬＳＩウエハ上にも、複数枚マスク露光と現像削れ方式で、耐熱性マイクロプラスチックレンズアレイを形成する事ができるため極めて有用である。
Claims (8)
- 下記（I）感光性樹脂；１００質量部、（II）光重合開始剤；該（I）感光性樹脂と下記（III）架橋性モノマーとの合計１００質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下、及び（III）架橋性モノマー；１００質量部超過１２００質量部以下を含有する感光性樹脂組成物。
（I）少なくとも、ａ）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。）と、
ｂ）（Ｃ６Ｈ５）２-Ｓｉ-（ＯＨ）２、ＣＨ３−Ｓｉ−Ｃｌ３、及びＣＨ３−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）３からなる群より選ばれる一種以上の化合物とを、
ｂ）の化合物１００モルに対して、ａ）の化合物を６０〜１４０モルの割合で混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる感光性樹脂。 - 前記（III）架橋性モノマーが、ポリアルキレンオキサイドジアクリレート及びポリアルキレンオキサイドジメタクリレートからなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、下記（IV）アルコキシシラン；上記（I）感光性樹脂と上記（III）架橋性モノマーの合計１００質量部に対して１〜１０質量部、を含有する請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物。
（IV）Ｒ１ ａＲ２ ｂＳｉ （ＯＲ３ ）４-ａ-ｂ
（Ｒ１ はエポキシ基及び炭素−炭素二重結合を有する基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基を含む炭素数２〜１７の有機基である。Ｒ２及びR３はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基である。ａは１及び２から選ばれる整数である。ｂは０及び１から選ばれる整数である。ａ＋ｂは２を超えることはない。） - 少なくとも、基材上に請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を得る工程、塗布膜に活性光線を照射し露光部を光硬化させる工程、現像液を用いて該膜の未硬化の部分を除去する工程、基材ごと加熱する工程を順に含む、硬化レリーフパターンの形成方法。
- 請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物をガラス基板にコートし、５０〜１５０℃で１分〜３０分間加熱して感光性樹脂組成物付着ガラス基板を得るステップと、該感光性樹脂組成物付着ガラス基板の該感光性樹脂組成物面に、別に用意した請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を満たした成形物用の型の開口部を押し当てるステップと、該ガラス基板側から露光するステップと、該成形物用の型を該ガラス基板から剥離するステップと、１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱するステップとを順次行うことを特徴とするマイクロプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子の製造方法。
- 請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を、ガラス基板又はシリコン基板にコートし、５０〜１５０℃で１分〜３０分間加熱して感光性樹脂組成物付着ガラス基板又はシリコン基板を得るステップと、マイクロプラスチックレンズ成刑用の円パターンからなる複数枚のマスクで、各マスクにはアライメントマークがあり、該アライメントマークで各マスクを重ねた時に直径の異なる同心円パターンになっている複数枚のマスクを使い、円直径の小さいマスクから順にマスク１枚ごとに紫外線を複数回露光するステップと、露光後に現像するステップと、現像後１５０℃〜２５０℃の温度で０．５時間〜２時間加熱するステップとを順次行うことを特徴とするマイクロプラスチックレンズの製造方法。
- 屈折率が１．４７〜１．５３である請求項５又は６に記載の製造方法によって得られたプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子。
- 硬化後の屈折率が１．４７〜１．５３である請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物。
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