JPWO2022044414A5 - - Google Patents
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- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 10
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
Claims (14)
- セラミックス製の基材と、前記基材の表面に設けられているセラミックス製の被覆層と、を有するセラミックス材であって、
前記基材の表面に、前記被覆層に向けて突出している複数の凸部が設けられており、
隣り合う凸部間の間隔が、１００μｍ以上２０００μｍ以下であり、
前記凸部の幅が１０μｍ以上２００μｍ以下であるセラミックス材。 - 前記基材と前記凸部との熱膨張率差が１０％以下である請求項１に記載のセラミックス材。
- 前記基材と前記凸部とが、同質の材料である請求項１または２に記載のセラミックス材。
- 前記凸部の突出高さが１μｍ以上２００μｍ以下である請求項１から３のいずれか一項に記載のセラミックス材。
- 前記凸部の突出高さが１０μｍ以上２００μｍ以下である請求項１から３のいずれか一項に記載のセラミックス材。
- （削除）
- セラミックス製の基材と、前記基材の表面に設けられているセラミックス製の被覆層と、を有するセラミックス材であって、
前記基材の表面に、複数の凹部が設けられており、
隣り合う凹部間の間隔が、１００μｍ以上２０００μｍ以下であるセラミックス材。 - 前記基材の表面に、第１方向に沿って伸びる複数の第１凸部と、第１方向に交差する第２方向に沿って伸びる複数の第２凸部と、によって形成されている格子状の連続部が設けられており、
前記複数の凹部が、前記連続部によって区画された凹部である請求項７に記載のセラミックス材。 - 前記基材と前記連続部との熱膨張率差が１０％以下である請求項８に記載のセラミックス材。
- 前記基材と前記連続部が同質の材料である請求項８に記載のセラミックス材。
- 前記被覆層は、厚み方向に伸びる複数の亀裂を有し、
隣り合う亀裂間の間隔が、１０μｍ以上２０００μｍ以下である請求項１から１０のいずれか一項に記載のセラミックス材。 - 前記基材がＳｉＣ質である請求項１から１１のいずれか一項に記載のセラミックス材。
- 前記被覆層が、Ａｌ、Ｓｉ、Ｚｒ、ＹまたはＭｇの酸化物の単体もしくは、混合物から構成されている請求項１から１２のいずれか一項に記載のセラミックス材。
- 請求項１から１３のいずれか一項に記載のセラミックス材によって構成されている焼成用セッター。
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Family Applications (1)
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