JPH06159950A - 電子部品の焼成用治具 - Google Patents
電子部品の焼成用治具Info
- Publication number
- JPH06159950A JPH06159950A JP33234492A JP33234492A JPH06159950A JP H06159950 A JPH06159950 A JP H06159950A JP 33234492 A JP33234492 A JP 33234492A JP 33234492 A JP33234492 A JP 33234492A JP H06159950 A JPH06159950 A JP H06159950A
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- zirconia
- jig
- coat
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 剥離しにくい、かつセラミックス素子と殆ど
反応しないジルコニア質コートを形成することを目的と
する。 【構成】 アルミナ質又はムライト質を母材とする炉材
１の表面にジルコニア質コート２を形成し、該ジルコニ
ア質コート２の上面にセラミック素子３を載置して焼成
する電子部品の焼成用治具において、前記炉材１の表面
に任意手段で凹凸模様４を形成し、該凹凸模様面に前記
ジルコニア質コート２を形成するようにした焼成用治具
としたものである。
反応しないジルコニア質コートを形成することを目的と
する。 【構成】 アルミナ質又はムライト質を母材とする炉材
１の表面にジルコニア質コート２を形成し、該ジルコニ
ア質コート２の上面にセラミック素子３を載置して焼成
する電子部品の焼成用治具において、前記炉材１の表面
に任意手段で凹凸模様４を形成し、該凹凸模様面に前記
ジルコニア質コート２を形成するようにした焼成用治具
としたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の焼成用治具
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品中のセラミックス素子は、焼成
用の炉材面上に並べられて、所定の温度で焼成されるこ
とにより製造される。上記炉材は、一般には、アルミナ
質、アルミナ／ジルコニア質、もしくはジルコニア質に
より形成されるが、上記炉材面上に直接セラミックス素
子を載置して焼成すると、セラミックス素子と炉材が反
応して、剥がれにくくなり、無理に剥がすと炉材面を損
傷させて反復使用回数の寿命を低下させるという問題が
ある。従来公知の、特開平４−２４１７２号公報記載の
技術は、上記炉材面の損傷の問題点を解決する一つの方
法として提案されたもので、アルミナ質、アルミナ／ジ
ルコニア質原料を主材として炉材原料を調製し、この炉
材原料を成形して炉材成形体を形成し、炉材成形体の表
面をジルコニアスラリーでコーティングしてジルコニア
コーティング層を形成した後、炉材成形体とジルコニア
コーティング層とを所定の炉材焼成温度で同時焼成した
ものであり、炉材面にジルコニアコーティング層を形成
することによってセラミック素子の剥離を容易にしたも
のである。なお、特許公報としては見当らないが、コー
ティングに用いるセラミックス粒子の粒度を粗くして亀
裂を防ぐ方法とか、溶射によりコーティングして耐久性
を増す方法も別途知られている。
用の炉材面上に並べられて、所定の温度で焼成されるこ
とにより製造される。上記炉材は、一般には、アルミナ
質、アルミナ／ジルコニア質、もしくはジルコニア質に
より形成されるが、上記炉材面上に直接セラミックス素
子を載置して焼成すると、セラミックス素子と炉材が反
応して、剥がれにくくなり、無理に剥がすと炉材面を損
傷させて反復使用回数の寿命を低下させるという問題が
ある。従来公知の、特開平４−２４１７２号公報記載の
技術は、上記炉材面の損傷の問題点を解決する一つの方
法として提案されたもので、アルミナ質、アルミナ／ジ
ルコニア質原料を主材として炉材原料を調製し、この炉
材原料を成形して炉材成形体を形成し、炉材成形体の表
面をジルコニアスラリーでコーティングしてジルコニア
コーティング層を形成した後、炉材成形体とジルコニア
コーティング層とを所定の炉材焼成温度で同時焼成した
ものであり、炉材面にジルコニアコーティング層を形成
することによってセラミック素子の剥離を容易にしたも
のである。なお、特許公報としては見当らないが、コー
ティングに用いるセラミックス粒子の粒度を粗くして亀
裂を防ぐ方法とか、溶射によりコーティングして耐久性
を増す方法も別途知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記特開平４
−２４１７２号公報に記載された技術は、炉材面の損傷
防止のために炉材面をジルコニアスラリーでコーティン
グしてジルコニアコーティング層を形成するというもの
であるが、ジルコニアスラリーでコーティングするだけ
では、炉材面損傷防止の効果は充分とはならないばかり
でなく、上記のような方法は、安定材としてＣａ０、Ｍ
ｇ０及びＹ2 ０3 等を使用することになるが、これらの
安定材は、その上面に載置されたセラミックス素子と反
応しやすいという別の問題があって、必ずしも充分満足
できるものではなかった。また、セラミックス粒子の粒
度を粗くして亀裂を防ぐ方法も、充分な耐久性を得るま
でには至らず、溶射によるコーティングはコスト高にな
るという問題がある。また、アルミナ質又はムライト質
を母材とする炉材とジルコニア質コートは、それぞれ熱
膨張率が異なるから、剥離現象が起るという問題もあ
る。
−２４１７２号公報に記載された技術は、炉材面の損傷
防止のために炉材面をジルコニアスラリーでコーティン
グしてジルコニアコーティング層を形成するというもの
であるが、ジルコニアスラリーでコーティングするだけ
では、炉材面損傷防止の効果は充分とはならないばかり
でなく、上記のような方法は、安定材としてＣａ０、Ｍ
ｇ０及びＹ2 ０3 等を使用することになるが、これらの
安定材は、その上面に載置されたセラミックス素子と反
応しやすいという別の問題があって、必ずしも充分満足
できるものではなかった。また、セラミックス粒子の粒
度を粗くして亀裂を防ぐ方法も、充分な耐久性を得るま
でには至らず、溶射によるコーティングはコスト高にな
るという問題がある。また、アルミナ質又はムライト質
を母材とする炉材とジルコニア質コートは、それぞれ熱
膨張率が異なるから、剥離現象が起るという問題もあ
る。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、剥離しにくい、かつセラミッ
クス素子と殆ど反応しないジルコニア質コートを形成す
ることを目的とする。
クス素子と殆ど反応しないジルコニア質コートを形成す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】よって、本発明は、アル
ミナ質又はムライト質を母材とする炉材１の表面にジル
コニア質コート２を形成し、該ジルコニア質コート２の
上面にセラミック素子３を載置して焼成する電子部品の
焼成用治具において、前記炉材１の表面に任意手段で凹
凸模様４を形成し、該凹凸模様面に前記ジルコニア質コ
ート２を形成するようにした焼成用治具としたもので、
剥離しにくいジルコニア質コートとしたものである。ま
た、本発明は、前記において、前記凹凸模様４は、全体
に粗面で水平平滑面のない凹凸模様面とした電子部品の
焼成用治具として、一層、ジルコニア質コートが剥離し
にくくしたものである。また、本発明は、前記におい
て、前記ジルコニア質コート２は、純度９９％以上の電
融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的
又は完全に安定化された電融ジルコニアをボールミルで
混合したスリップを塗布、又は吹付けにより形成した電
子部品の焼成用治具として、セラミックス素子と殆ど反
応しないジルコニア質コートとしたものである。また、
本発明は、前記において、前記ジルコニア質コート２
は、８０メッシュから２００メッシュまでの粒子からな
る電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部
分的又は完全に安定化された電融ジルコニアをボールミ
ルで混合したスリップを用いることにより、前記ジルコ
ニア質コートを多孔質とし、見かけの熱膨張の差異を小
さくして、剥離が起きず、かつ多孔部分によりガスを吸
収できるようにしたものである。また、本発明は、前記
において、前記凹凸模様４はプレス加工により形成した
電子部品の焼成用治具として、前記凹凸模様４の形成を
容易にしたものである。
ミナ質又はムライト質を母材とする炉材１の表面にジル
コニア質コート２を形成し、該ジルコニア質コート２の
上面にセラミック素子３を載置して焼成する電子部品の
焼成用治具において、前記炉材１の表面に任意手段で凹
凸模様４を形成し、該凹凸模様面に前記ジルコニア質コ
ート２を形成するようにした焼成用治具としたもので、
剥離しにくいジルコニア質コートとしたものである。ま
た、本発明は、前記において、前記凹凸模様４は、全体
に粗面で水平平滑面のない凹凸模様面とした電子部品の
焼成用治具として、一層、ジルコニア質コートが剥離し
にくくしたものである。また、本発明は、前記におい
て、前記ジルコニア質コート２は、純度９９％以上の電
融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的
又は完全に安定化された電融ジルコニアをボールミルで
混合したスリップを塗布、又は吹付けにより形成した電
子部品の焼成用治具として、セラミックス素子と殆ど反
応しないジルコニア質コートとしたものである。また、
本発明は、前記において、前記ジルコニア質コート２
は、８０メッシュから２００メッシュまでの粒子からな
る電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部
分的又は完全に安定化された電融ジルコニアをボールミ
ルで混合したスリップを用いることにより、前記ジルコ
ニア質コートを多孔質とし、見かけの熱膨張の差異を小
さくして、剥離が起きず、かつ多孔部分によりガスを吸
収できるようにしたものである。また、本発明は、前記
において、前記凹凸模様４はプレス加工により形成した
電子部品の焼成用治具として、前記凹凸模様４の形成を
容易にしたものである。
【０００６】
【実施例】本発明の一実施例を図面により説明すると、
１はアルミナ質又はムライト質を母材とする炉材、４は
炉材１の表面にプレス加工により形成した凹凸模様、２
は凹凸模様４の表面に塗布又は吹付けされたジルコニア
質コート、３は該ジルコニア質コート２の上面に載置さ
れたセラミック素子３である。
１はアルミナ質又はムライト質を母材とする炉材、４は
炉材１の表面にプレス加工により形成した凹凸模様、２
は凹凸模様４の表面に塗布又は吹付けされたジルコニア
質コート、３は該ジルコニア質コート２の上面に載置さ
れたセラミック素子３である。
【０００７】前記炉材１の一例は、９０重量部の電融ア
ルミナおよび電融ムライトに、焼結助剤として１０重量
部の粘土を加え、これに少量の有機結合材と水とを加え
て混練し、これをプレス加工機により、縦１５０ｍｍ・
横１５０ｍｍ・厚み１０ｍｍ程度の大きさに成形すると
ともに、表面に凹凸模様４を付ける。該凹凸模様４の一
例は、縦横の間隔を１ｍｍないし２ｍｍ、深さを０．１
ｍｍないし０．５ｍｍの斜め格子模様とし、表面は全体
に粗面とし、好適には、図３に示したような水平平滑面
は形成しない。なお、凹凸模様４の形状は前記図の実施
例に限らない。
ルミナおよび電融ムライトに、焼結助剤として１０重量
部の粘土を加え、これに少量の有機結合材と水とを加え
て混練し、これをプレス加工機により、縦１５０ｍｍ・
横１５０ｍｍ・厚み１０ｍｍ程度の大きさに成形すると
ともに、表面に凹凸模様４を付ける。該凹凸模様４の一
例は、縦横の間隔を１ｍｍないし２ｍｍ、深さを０．１
ｍｍないし０．５ｍｍの斜め格子模様とし、表面は全体
に粗面とし、好適には、図３に示したような水平平滑面
は形成しない。なお、凹凸模様４の形状は前記図の実施
例に限らない。
【０００８】この成形炉材１の凹凸模様４面上に、８０
メッシュから２００メッシュまでの粒子からなる電融純
ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は
完全に安定化された電融ジルコニア原料を、篩上で、３
５％重量比となるようにボールミルで混合し、このスラ
リーを、スプレーにより０．５ｍｍないし０．７ｍｍの
厚さにコートし、１６００℃で焼成した。上記のような
メッシュのスラリーを用いると、ジルコニア質コート２
は多孔質となる。
メッシュから２００メッシュまでの粒子からなる電融純
ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は
完全に安定化された電融ジルコニア原料を、篩上で、３
５％重量比となるようにボールミルで混合し、このスラ
リーを、スプレーにより０．５ｍｍないし０．７ｍｍの
厚さにコートし、１６００℃で焼成した。上記のような
メッシュのスラリーを用いると、ジルコニア質コート２
は多孔質となる。
【０００９】
【作用】本発明の作用効果の確認のため、上記凹凸模様
４のある実施品の外、凹凸模様のない表面平滑の治具を
用意した。本発明の前記実施例と、別途用意した比較品
とに、それぞれセラミック素子３を載置し、１３５０℃
で焼成した結果を図４に示す。図４によると、繰返し使
用可能回数は、凹凸模様ありの欄の４３に対して、凹凸
模様なしの欄は２０であるから約２倍となり、耐久性の
向上がみられた。また、被焼成物との反応は認められ
ず、外観検査の工程削除が可能となった。
４のある実施品の外、凹凸模様のない表面平滑の治具を
用意した。本発明の前記実施例と、別途用意した比較品
とに、それぞれセラミック素子３を載置し、１３５０℃
で焼成した結果を図４に示す。図４によると、繰返し使
用可能回数は、凹凸模様ありの欄の４３に対して、凹凸
模様なしの欄は２０であるから約２倍となり、耐久性の
向上がみられた。また、被焼成物との反応は認められ
ず、外観検査の工程削除が可能となった。
【００１０】また、ジルコニア質コート２の材質を、純
度９９％以上の電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、
Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は完全に安定化された電融ジルコニ
アを用いているため、前記コート材中のＣａ、Ｍｇ、Ｙ
等の成分の被焼成物との反応は殆どみられず歩留りは向
上する。
度９９％以上の電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、
Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は完全に安定化された電融ジルコニ
アを用いているため、前記コート材中のＣａ、Ｍｇ、Ｙ
等の成分の被焼成物との反応は殆どみられず歩留りは向
上する。
【００１１】ただし、上記材質のジルコニア質コート２
は、剥離しやすいという難点はあるが、本発明は、全体
に粗面で、図３に示したような水平平滑面のない凹凸模
様４としたので、剥離しやすいジルコニア質コート２
も、ミクロ的には剥離するものの、マクロ的には剥離し
なくなる。
は、剥離しやすいという難点はあるが、本発明は、全体
に粗面で、図３に示したような水平平滑面のない凹凸模
様４としたので、剥離しやすいジルコニア質コート２
も、ミクロ的には剥離するものの、マクロ的には剥離し
なくなる。
【００１２】また、ジルコニアコート２は、前記メッシ
ュの粗い粒度を用いているので、多孔質となり、見かけ
の熱膨張率が小さくでき、母材のアルミナ質の炉材１と
の熱膨張率差が小さくなって剥離が起り難くなる。さら
に、多孔質により、焼成時に発生するガスを吸収する。
ュの粗い粒度を用いているので、多孔質となり、見かけ
の熱膨張率が小さくでき、母材のアルミナ質の炉材１と
の熱膨張率差が小さくなって剥離が起り難くなる。さら
に、多孔質により、焼成時に発生するガスを吸収する。
【００１３】
【発明の効果】前記のとおり、前記特開平４−２２４１
７２号公報に記載された技術は、炉材面の炉材面をジル
コニアスラリーでジルコニアコーティングしたものであ
るが、この方法は、安定材として使用するＣａ０、Ｍｇ
０及びＹ2 ０3 等の成分Ｃａ、Ｍｇ及びＹが、セラミッ
クス素子と反応しやすく、反復使用回数の減少という難
点があった。しかるに、本発明は、アルミナ質又はムラ
イト質を母材とする炉材１の表面にジルコニア質コート
２を形成し、該ジルコニア質コート２の上面にセラミッ
ク素子３を載置して焼成する電子部品の焼成用治具にお
いて、前記炉材１の表面に任意手段で凹凸模様４を形成
し、該凹凸模様面に前記ジルコニア質コート２を形成す
るようにした焼成用治具としたものであるから、凹凸模
様４を形成することにより、剥離しにくいジルコニア質
コートとなる効果がある。また、本発明は、前記におい
て、前記凹凸模様４は、全体に粗面で水平平滑面のない
凹凸模様面とした電子部品の焼成用治具としたものであ
るから、一層、剥離しにくいジルコニア質コートとなる
効果がある。また、本発明は、前記において、前記ジル
コニア質コート２は、純度９９％以上の電融純ジルコニ
ア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は完全に安
定化された電融ジルコニアをボールミルで混合したスリ
ップを塗布、又は吹付けにより形成した電子部品の焼成
用治具としたものであるから、セラミックス素子と反応
しにくいジルコニア質コートとなる効果がある。また、
本発明は、前記において、前記ジルコニア質コート２
は、８０メッシュから２００メッシュまでの粒子からな
る電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部
分的又は完全に安定化された電融ジルコニアをボールミ
ルで混合したスリップを用いることにより、前記ジルコ
ニア質コートを多孔質としたから、見かけの熱膨張の差
異を小さくして、剥離が起きず、かつ多孔部分によりガ
スを吸収できる効果がある。また、本発明は、前記にお
いて、前記凹凸模様４はプレス加工により形成した電子
部品の焼成用治具としたものであるから、前記凹凸模様
４は容易に形成できる効果がある。
７２号公報に記載された技術は、炉材面の炉材面をジル
コニアスラリーでジルコニアコーティングしたものであ
るが、この方法は、安定材として使用するＣａ０、Ｍｇ
０及びＹ2 ０3 等の成分Ｃａ、Ｍｇ及びＹが、セラミッ
クス素子と反応しやすく、反復使用回数の減少という難
点があった。しかるに、本発明は、アルミナ質又はムラ
イト質を母材とする炉材１の表面にジルコニア質コート
２を形成し、該ジルコニア質コート２の上面にセラミッ
ク素子３を載置して焼成する電子部品の焼成用治具にお
いて、前記炉材１の表面に任意手段で凹凸模様４を形成
し、該凹凸模様面に前記ジルコニア質コート２を形成す
るようにした焼成用治具としたものであるから、凹凸模
様４を形成することにより、剥離しにくいジルコニア質
コートとなる効果がある。また、本発明は、前記におい
て、前記凹凸模様４は、全体に粗面で水平平滑面のない
凹凸模様面とした電子部品の焼成用治具としたものであ
るから、一層、剥離しにくいジルコニア質コートとなる
効果がある。また、本発明は、前記において、前記ジル
コニア質コート２は、純度９９％以上の電融純ジルコニ
ア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は完全に安
定化された電融ジルコニアをボールミルで混合したスリ
ップを塗布、又は吹付けにより形成した電子部品の焼成
用治具としたものであるから、セラミックス素子と反応
しにくいジルコニア質コートとなる効果がある。また、
本発明は、前記において、前記ジルコニア質コート２
は、８０メッシュから２００メッシュまでの粒子からな
る電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部
分的又は完全に安定化された電融ジルコニアをボールミ
ルで混合したスリップを用いることにより、前記ジルコ
ニア質コートを多孔質としたから、見かけの熱膨張の差
異を小さくして、剥離が起きず、かつ多孔部分によりガ
スを吸収できる効果がある。また、本発明は、前記にお
いて、前記凹凸模様４はプレス加工により形成した電子
部品の焼成用治具としたものであるから、前記凹凸模様
４は容易に形成できる効果がある。
【図１】 縦断側面図。
【図２】 炉材の斜視図。
【図３】 水平平滑面のある凹凸模様の一例断面図。
【図４】 繰返し使用可能回数を示した表図。
【符号の説明】 １…炉材、２…ジルコニア質コート、３…セラミック素
子、４…凹凸模様。
子、４…凹凸模様。
Claims (5)
- 【請求項１】 アルミナ質又はムライト質を母材とする
炉材１の表面にジルコニア質コート２を形成し、該ジル
コニア質コート２の上面にセラミック素子３を載置して
焼成する電子部品の焼成用治具において、前記炉材１の
表面に任意手段で凹凸模様４を形成し、該凹凸模様面に
前記ジルコニア質コート２を形成するようにした焼成用
治具。 - 【請求項２】 請求項１において、前記凹凸模様４は、
全体に粗面にして水平平滑部のない凹凸模様面とした電
子部品の焼成用治具。 - 【請求項３】 請求項１において、前記ジルコニア質コ
ート２は、純度９９％以上の電融純ジルコニア又はＣａ
Ｏ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 で部分的又は完全に安定化された
電融ジルコニアをボールミルで混合したスリップを塗
布、又は吹付けにより形成した電子部品の焼成用治具。 - 【請求項４】 請求項１において、前記ジルコニア質コ
ート２は、８０メッシュから２００メッシュまでの粒子
からなる電融純ジルコニア又はＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ
3 で部分的又は完全に安定化された電融ジルコニアをボ
ールミルで混合したスリップとしたものを用いることに
より多孔質とした電子部品の焼成用治具。 - 【請求項５】 請求項１において、前記凹凸模様４はプ
レス加工により形成した電子部品の焼成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33234492A JPH06159950A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 電子部品の焼成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33234492A JPH06159950A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 電子部品の焼成用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159950A true JPH06159950A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18253918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33234492A Pending JPH06159950A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 電子部品の焼成用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06159950A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022044414A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材 |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP33234492A patent/JPH06159950A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022044414A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材 |
| JPWO2022044414A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | ||
| KR20220027808A (ko) * | 2020-08-28 | 2022-03-08 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 세라믹스재 |
| TWI784472B (zh) * | 2020-08-28 | 2022-11-21 | 日商日本碍子股份有限公司 | 陶瓷材 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010313 |