JPS63176990A - 材料焼成用のセラミツクス製炉床体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、材料焼成用のセラミックス製炉床体に関する
。更に、詳しくは、セラミックス体を焼成するために焼
成すべきものを載せる材料焼成用のセラミックス製炉床
体に関する。

［従来の技術］ 従来、セラミック体などの焼成に用いる炉床板は、！レ
ート状ヒツターであり１通常１表面はモ面であり、被焼
成物との接触面が必然的に大きく、そのために被焼成物
の接触面から、仮焼ｆ程で脱バインダーを行なうときに
、バインダー成分、及びその分解ガスが容易に抜けて行
かなく。

製品中にバインダー成分が残留することがある。

このような場合、高純度なセラミック体や電子部品用セ
ラミックス材料を製造するとき、非常な不都合が生じ易
＜、ｌｆＪ品の不良率を上げることがあり、厳しい品質
が要求される場合問題が生じやすい、特に、ｉｌ近、電
子機器の発展、高度化が進んでいるために、さらに、益
々高純度のものが求められる情勢“ドでは、更に厳格に
コンタミネーシ；ｔンの生じない製品が望まれている。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は９以上の厳しい要件に合致する各種の焼成用炉
床板、セッター材として好適な性状を有　　゛するもの
を提供することを目的とする。：【た１本発明は９以上
の問題を解決できる炉床板を提供することを目的とする
。更に１本発明は、商温焼成において、被焼成物と炉床
板との接触面が少なく、炉床板に熱を奪われることなく
、均一に被焼成物を加熱焼成することが可能な炉床板を
提供することを目的にする。また９本発明は、バンダー
等によるコンタミネイションのなく焼成きれ得る炉床板
を提供することを目的とする。

［発明の構成］ ［問題点を解決するための手段］ 本発明は、焼成するべき材料を統せる面に凹凸を形成し
た材料焼成用のセラミックス製炉床体である。形成凹凸
は、網目状、多数溝状、或いは丸型凹凸状、多数条掘の
ものを利用できる。

本発明は、炉床板の形状に関するものであり。

炉床板の表面の特殊な形状にすることにより、焼成用炉
床板と利用した場合に２種々の利点を発揮ｒることので
きる適切な炉床板が得られたものである。

本発明の材料焼成用のセラミックス製炉床体の原料とし
ては、アルミナ、ジル；１エア、マグネンア、ジル：１
ン、ムライト、スピネルなどの酸化物系量・シミックス
、及び非酸化物系セラミックス。

例λ、ばＳ　ｉ　Ｃ、並びにコンポジット系が用いられ
る。特に、ジル；１ニア、マグネシアは電ｒ材料系のセ
ラミックスの焼成に優れた炉床体素材である。

これらの材料を用い、適当な配合に混合し、スリップキ
ャスティング又は金型プレス、押出成型、吸引プレス成
形などで適当な形状に成形し。

この成形体を高温で焼成して作成できる。

金型プレス法では上下パンチに、それぞれの模様のダイ
スを用い、所望の表面形状を作成できる。プレス圧は、
取り付けで１００〜２０００ｋｇ／ａｍ”、好適には５
００〜１０００ｋｇ／ｃｍ”である、原料の粒度は、好
適には０．５ｍｍ以下のものを用いる。

セラミックス複合体を用いると２例えば、アルミナファ
イバー添加のコンポジット（ハイブリット）系のもので
あると、熱衝撃に強い焼成用のセラミックス製炉床体が
できる。

本発明のよる焼成用のセラミックス製炉床体の表面形状
は、その片面又は両面を、第１図、第２図、第３図に示
すような網目状、多数溝状、多数小孔状に加工されたも
のであることが特徴である。

このような表面形状にすることにより、被焼成物をその
上に載置し焼成処理をする場合、接触面が少なくなり、
接触による生じる不都合面をできるだけなくすることが
できる。即ち、焼成中のバインダー及びその分解ガスの
抜けの問題が少なくすることができる。接触面より熱が
逃げていくことを防ぐことができる。

本発明による焼成用のセラミックス製炉床体の表面形状
は１片面又は両面で各々異なる形状にして、用いること
ができる。被焼成物の種類が異なっても使用できるよう
にできる。また、その形状を２片面に２種以上の形状模
様を刻むことにより、１枚のセンターで各種に被焼成物
に対応できるようにすることもできる。或いは、セッタ
ーの１−トの而に各々異なる形状模様に刻むことにより
、１枚のセッターで、各種の製品に対応可能にできる。

本発明の形状の炉床体は、焼成用セッタ一体。

焼成用ナヤ体、ＴＬ子セラミックス焼成用の支持体或い
は耐火物サヤ等に好適である。

次に１本発明の材料焼成用のセラミックス製炉床体につ
いて説明するが２本発明は１次の実施例に限定されるも
のではない。

［実施例］ 第１図に示すような網目がその表面についたプレートを
材料焼成用のヒラミックス製炉床体に用いる。網目状の
細かい溝が多数形成されたもので、比較的゛ド面な而を
得ることができる。

また、第２図に示すような小孔を表面に多数形成したも
のである。第２図では、左右で凹凸模様は異なり、左で
は少し大きな孔を多数刻んだ表面であり焼成すべき材料
が比較的に大きなサイズのものに適する。右は少し小さ
な孔の模様であり。

ナイズの小さな材料を焼成する場合適する。

また、第３図に示すような溝を多数形成した表面を用い
ることもできる。第３図の下のＡ、Ｂ。

Ｃ，Ｄは溝の断面をしめすもので１例えば、このような
種類の断面の溝を使用できる。Ａは深く大きな溝であり
、Ｂは浅く小さな溝、Ｃは細溝で。

Ｄはギザギザの溝である。焼成すべき材料の合わせて選
択使用できる。

以上のような凹凸面に焼成すべき材料を載置し炉にいれ
て焼成する。焼成すべき材料の底面と炉床体の面の間に
空間を取れるために、バインダー等が抜けるときに都合
がよい、また、焼成材料と炉床体との間の接触面が著し
く少なくなるために炉床体から熱が奪われることを少な
くできる。

［発明の効果］ 本発明の形状を有する材料焼成用のセラミックス製炉床
体は。

第１に、被焼成物と炉床体との接触面力１点接触又は線
接触になるために、炉床体に熱をそれほど奪われ−“に
、均一に加熱できる、−と。

第２に、そのために焼成される製品は良質なものが得ら
れること。

第３に、炉床体と被焼成物との間に空間があるために、
脱バインダーの際にバインダー成分及びそ　　−゛　　
　　　　　、 の分解ガスなどが抜は易く、製品中にバインダー　′成
分が残留することがないこと、　　　　　　　　　′第
４に、焼成中に焼成品に熱的な不均一の生じない材料焼
成用のセラミックス製炉床体を提供できたこと。

第５に、熱的不均一に耐性の向上した。熱的に安定した
材料焼成用のセラミックス製炉床体がイーｔられること
などの技術的効果が得られた。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明による形状の表面の１例を示ず材料焼
成用のセラミックス製炉床体の平面図及び端面図である
。 第２図は１本発明による形状の表面の１例を示す材料焼
成用のセラミックス製炉床体の平面図及び端面図である
。 第３図は９本発明による形状の表面の１例を示Ｖ材料焼
成用のセラミックス製炉床体の平面図及び端面図である
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）焼成するべき材料を載せる面に凹凸を形成したこ
   とを特徴とする材料焼成用のセラミックス製炉床体。
2. （２）形成凹凸は、網目状、多数溝状、丸型凹凸状、或
   いは多数条掘もものである特許請求の範囲第１項の材料
   焼成用のセラミックス製炉床体。