JPWO2021085383A1 - 熱伝導性シート及びその製造方法 - Google Patents
熱伝導性シート及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2021085383A1 JPWO2021085383A1 JP2021507107A JP2021507107A JPWO2021085383A1 JP WO2021085383 A1 JPWO2021085383 A1 JP WO2021085383A1 JP 2021507107 A JP2021507107 A JP 2021507107A JP 2021507107 A JP2021507107 A JP 2021507107A JP WO2021085383 A1 JPWO2021085383 A1 JP WO2021085383A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filler
- conductive sheet
- scaly
- heat conductive
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 275
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 45
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 44
- 239000012765 fibrous filler Substances 0.000 claims description 85
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 14
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 9
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 8
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 8
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical group C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 54
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 35
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 32
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 22
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 21
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 18
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 17
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 16
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 15
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 13
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 11
- 239000011357 graphitized carbon fiber Substances 0.000 description 10
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 8
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 8
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 7
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 7
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011302 mesophase pitch Substances 0.000 description 6
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 3
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920006136 organohydrogenpolysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- 229910008051 Si-OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006358 Si—OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 208000012886 Vertigo Diseases 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000007348 radical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3737—Organic materials with or without a thermoconductive filler
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
- C08J5/18—Manufacture of films or sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/0004—Cutting, tearing or severing, e.g. bursting; Cutter details
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
- B29C70/58—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts comprising fillers only, e.g. particles, powder, beads, flakes, spheres
- B29C70/62—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts comprising fillers only, e.g. particles, powder, beads, flakes, spheres the filler being oriented during moulding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
- B29C70/88—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts characterised primarily by possessing specific properties, e.g. electrically conductive or locally reinforced
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
- B32B27/20—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4871—Bases, plates or heatsinks
- H01L21/4882—Assembly of heatsink parts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B2038/0052—Other operations not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2250/00—Layers arrangement
- B32B2250/24—All layers being polymeric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2250/00—Layers arrangement
- B32B2250/44—Number of layers variable across the laminate
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2262/00—Composition or structural features of fibres which form a fibrous or filamentary layer or are present as additives
- B32B2262/10—Inorganic fibres
- B32B2262/106—Carbon fibres, e.g. graphite fibres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2264/00—Composition or properties of particles which form a particulate layer or are present as additives
- B32B2264/10—Inorganic particles
- B32B2264/102—Oxide or hydroxide
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2264/00—Composition or properties of particles which form a particulate layer or are present as additives
- B32B2264/10—Inorganic particles
- B32B2264/107—Ceramic
- B32B2264/108—Carbon, e.g. graphite particles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2264/00—Composition or properties of particles which form a particulate layer or are present as additives
- B32B2264/30—Particles characterised by physical dimension
- B32B2264/303—Average diameter greater than 1µm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2264/00—Composition or properties of particles which form a particulate layer or are present as additives
- B32B2264/30—Particles characterised by physical dimension
- B32B2264/308—Aspect ratio of particles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2305/00—Condition, form or state of the layers or laminate
- B32B2305/30—Fillers, e.g. particles, powders, beads, flakes, spheres, chips
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
- B32B2307/302—Conductive
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/70—Other properties
- B32B2307/732—Dimensional properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2313/00—Elements other than metals
- B32B2313/02—Boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2383/00—Characterised by the use of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Derivatives of such polymers
- C08J2383/04—Polysiloxanes
- C08J2383/07—Polysiloxanes containing silicon bound to unsaturated aliphatic groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2483/00—Characterised by the use of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Derivatives of such polymers
- C08J2483/04—Polysiloxanes
- C08J2483/05—Polysiloxanes containing silicon bound to hydrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/18—Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
- C08K3/20—Oxides; Hydroxides
- C08K3/22—Oxides; Hydroxides of metals
- C08K2003/2227—Oxides; Hydroxides of metals of aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/38—Boron-containing compounds
- C08K2003/382—Boron-containing compounds and nitrogen
- C08K2003/385—Binary compounds of nitrogen with boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/02—Elements
- C08K3/04—Carbon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K7/00—Use of ingredients characterised by shape
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K7/00—Use of ingredients characterised by shape
- C08K7/02—Fibres or whiskers
- C08K7/04—Fibres or whiskers inorganic
- C08K7/06—Elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K7/00—Use of ingredients characterised by shape
- C08K7/16—Solid spheres
- C08K7/18—Solid spheres inorganic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L83/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L83/04—Polysiloxanes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K5/00—Heat-transfer, heat-exchange or heat-storage materials, e.g. refrigerants; Materials for the production of heat or cold by chemical reactions other than by combustion
- C09K5/08—Materials not undergoing a change of physical state when used
- C09K5/14—Solid materials, e.g. powdery or granular
Abstract
Description
熱伝導性シートは、一般的には、高分子マトリクスと、高分子マトリクス中に分散された熱伝導性充填材とを含有する。また、熱伝導性シートは、特定の方向の熱伝導性を高めるために、形状に異方性を有する異方性充填材を一方向に配向することがある。
そうした一方で、従来の流動配向法などにより得られる、異方性充填材をシートの厚さ方向に配向した熱伝導シートは、発熱体で生じた熱を放熱体に伝える効率に優れるものの、シートの面方向に沿う方向に熱伝導性が高めることが難しい。
[1]高分子マトリクス中に鱗片状充填材を含む熱伝導性シートであって、
前記鱗片状充填材が、鱗片面の長軸方向が、前記熱伝導性シートの厚さ方向である第1の方向及び前記第1の方向に垂直である第2の方向のいずれか一方に沿い、かつ前記鱗片面において長軸方向に垂直となる横軸方向が、前記第1の方向及び前記第2の方向の他方に沿うように配向する、熱伝導性シート。
[2]前記鱗片状充填材は、前記長軸方向が前記第1の方向に沿い、かつ前記横軸方向が前記第2の方向に沿うように配向する上記[1]に記載の熱伝導性シート。
[3]前記鱗片状充填材は、前記横軸方向が前記第1の方向に沿い、かつ前記長軸方向が前記第2の方向に沿うように配向する、上記[1]に記載の熱伝導性シート。
[4]前記鱗片状充填材の前記横軸方向の長さに対する、前記長軸方向の長さの比(長軸方向の長さ/横軸方向の長さ)で表される第1のアスペクト比が1.5以上である上記[1]〜[3]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[5]前記鱗片状充填材の平均粒径が20μm以上である上記[1]〜[4]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[6]前記鱗片状充填材が、鱗片状黒鉛粉末を含む上記[1]〜[5]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[7]前記鱗片状充填材が、鱗片状窒化ホウ素粉末を含む上記[1]〜[6]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[8]前記高分子マトリクス中にさらに繊維状充填材を含む上記[1]〜[7]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[9]前記繊維状充填材が、炭素繊維である上記[8]に記載の熱伝導性シート。
[10]複数の単位層を有し、かつ前記複数の単位層のうち、少なくとも1つが前記鱗片状充填材を含み、
複数の単位層が、前記第1及び第2の方向に垂直な第3の方向に沿って積層される上記[1]〜[9]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[11]前記高分子マトリクス中にさらに非異方性充填材を含有する上記[1]〜[10]のいずれかに記載の熱伝導性シート。
[12]上記[1]〜[11]のいずれか1項に記載の熱伝導性シートの製造方法であって、
前記高分子マトリクスの前駆体である樹脂と、前記鱗片状充填材とを含む混合物を調製する工程と、
前記混合物を流動配向処理して、前記鱗片状充填材を配向させつつ、1次シートを得る工程と、
前記1次シートを積層して積層ブロックを得る工程と、
前記積層ブロックを積層方向に沿って切断する工程と
を備える熱伝導性シートの製造方法。
[第1の実施形態]
図1は、第1の実施形態の熱伝導性シート10の模式図、図2は、鱗片状充填材12の詳細を説明するための模式図である。第1の実施形態に係る熱伝導性シート10は、高分子マトリクス11と、高分子マトリクス11中に分散される鱗片状充填材12とを含む。図2に示すように、鱗片状充填材12は、鱗片面において長さ方向を長軸方向Yとし、鱗片面において長軸方向に垂直となる方向を横軸方向X、これら長軸方向Yと横軸方向Xに垂直で、鱗片状充填材12の厚さ方向を厚さ方向Zとする。鱗片状充填材12は、熱伝導性シート10の熱伝導性を高める熱伝導性充填材である。
熱伝導性シート10は、厚さ方向に加えて、面方向における一方向にも熱伝導性が良好となることで、放熱効果を高めつつ、面方向にも熱を逃がしてヒートスポットを生じにくくする。さらに、面方向における一方向以外の方向には、熱伝導性がそれほど高められないので、例えば基板上に耐熱性の低い素子が存在する場合には、その方向に伝熱しないようにすることも可能になる。
なお、本明細書において、異方性充填材とは、形状に異方性を有する充填材であり、配向が可能な充填材である。異方性充填材は、通常は、いずれかのアスペクト比が2より大きくなる。また、非異方性充填材は、形状に異方性を実質的に有しない充填材であり、後述する剪断力作用下など、異方性充填材が所定の方向に配向する環境下においても、その所定の方向に配向しない充填材である。非異方性充填材は、後述する通り、例えば、そのアスペクト比が2以下となるものである。
(高分子マトリクス)
高分子マトリクス11は、鱗片状充填材12等の熱伝導性充填材を保持する部材であり、柔軟なゴム状弾性体でなることが好ましい。高分子マトリクスは、その前駆体である樹脂から形成される。なお、本明細書でいう前駆体とは、後述するように反応することで高分子マトリクス11となる物質のみならず、反応せず高分子マトリクス11と同一の物質も含む概念である。
鱗片状充填材12等の異方性充填材を配向した状態で高分子マトリクス11中に含有させるためには、配向させる工程の際に樹脂が流動性を有していることが要求される。例えば、高分子マトリクス11の前駆体である樹脂が熱可塑性樹脂であれば、加熱して可塑化した状態で異方性充填材を配向させることができる。また、反応性液状樹脂であれば、硬化前に異方性充填材を配向させて、その状態を維持したまま硬化すれば、異方性充填材が配向した硬化物を得ることができる。熱可塑性樹脂は比較的粘度が高く、また低粘度になるまで可塑化すると樹脂が熱劣化するおそれがあるため、反応性液状樹脂を採用することが好ましい。
硬化剤は、ヒドロシリル基の数や分子量、主剤に対する配合量比を適宜調整することで、後述する1次シートの硬さを調整できる。具体的には、1分子中のヒドロシリル基が少ないか、分子量の大きい硬化剤を用いたり、主剤に対する硬化剤の配合量比を少なくしたりすることで、1次シートの硬さを低くできる。
鱗片状充填材12は、横軸方向Xの長さに対する、長軸方向Yの長さの比(長軸方向Yの長さ/横軸方向Xの長さ)で表される第1のアスペクト比が、1.5以上であることが好ましい。
上記第1のアスペクト比を1.5以上とすることで、第1の方向(厚さ方向)の熱伝導性を、第2の方向(面方向の一方向)の熱伝導性よりも有意に高くできる。これにより、面方向に必要以上に伝熱することを防止しつつ、厚さ方向の熱伝導性が高められ、放熱効果を高めやすくなる。また、第1の方向(厚さ方向)の熱伝導性を、面方向に沿う熱伝導性よりも十分に高くする観点からは、第1のアスペクト比は、1.7以上がより好ましい。
ただし、第1のアスペクト比は、1以上であればよく、第1のアスペクト比が例えば、1.5未満であると、第1の方向と第2の方向の熱伝導性に有意に差をつけることが難しくなるが、厚さ方向及び面方向の両方に高い熱伝熱性が要求される用途には好適である。
第1のアスペクト比は、第2の方向にも一定以上の熱伝導性を付与するために、例えば5以下、好ましくは3以下、より好ましくは2.5以下である。
また、鱗片状充填材12の嵩が低くなり、高分子マトリクス11に高充填としやすくする観点から、鱗片状充填材12の平均粒径は、400μm以下が好ましく、300μm以下がより好ましく、200μm以下がさらに好ましく、150μm以下がよりさらに好ましい。
鱗片状充填材12は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。例えば、鱗片状充填材12として、少なくとも2つの互いに異なる平均粒径を有するものを使用してもよい。
同様に、任意の50個の鱗片状充填材12の長軸方向Yの長さ、横軸方向Xの長さ、及び厚さ方向Zの長さ(すなわち、厚さ)を測定して、平均値(相加平均値)の比により、第1及び第2のアスペクト比を求めるとよい。
なお、本明細書において、任意のものとは無作為に選んだものをいう。
鱗片状黒鉛粉末は、グラファイトの結晶面が鱗片面の面内方向に連なっており、その面内方向に高い熱伝導率を備える。そのため、その鱗片面を所定の方向に揃えることで、特定方向の熱伝導率を高めることができる。鱗片黒鉛粉末は、高い黒鉛化度をもつものが好ましい。
なお、熱伝導性シート10は、上記のとおり、繊維状充填材13などの他の異方性充填材と併用してもよいが、鱗片状充填材12を繊維状充填材13と併用する場合の鱗片状充填材12と繊維状充填材13の合計量の好適値は後述する通りである。
ここで、長軸方向Yが第1の方向に沿うとは、熱伝導性シート10の第1の方向に対して長軸方向Yのなす角度(配向角度)が30°未満の鱗片状充填材12の数の割合が、鱗片状充填材全量に対して、50%を超える状態にあることをいい、該割合は、好ましくは80%を超える。
また、横軸方向Xが第2の方向に沿うとは、熱伝導性シート10の第2の方向に対して横軸方向Xのなす角度が30°未満の鱗片状充填材12の数の割合が、鱗片状充填材全量に対して、50%を超える状態にあることをいい、該割合は、好ましくは80%を超える。
なお、第1の方向の熱伝導率を高める観点から、鱗片状充填材12の第1の方向に対する長軸方向Yのなす角度(配向角度)は、0°以上30°未満とすることが好ましく、該角度は、一定数(例えば、任意の鱗片状充填材12を50個)の鱗片状充填材12の配向角度の平均値である。
また、第2の方向における熱伝導率を高める観点から、鱗片状充填材12の第2の方向に対する横軸方向Xのなす角度は、0°以上30°未満とすることが好ましく、該角度は、一定数(例えば、任意の鱗片状充填材12を50個)の鱗片状充填材12がなす角度の平均値である。
熱伝導性シート10は、上記のとおり、高分子マトリクス11に分散される繊維状充填材13を含有することが好ましい。繊維状充填材13は、その繊維軸方向を第1の方向に配向させやすくして熱伝導性を高める観点から、アスペクト比が、4以上であることが好ましく、7〜100であることがより好ましく、15〜50であることがさらに好ましい。なお、アスペクト比は、繊維状充填材13の繊維軸方向の長さ(繊維長)/繊維の直径を意味する。
したがって、鱗片状充填材12の第1のアスペクト比と、繊維状充填材13のアスペクト比の加重平均値(「第1の方向/第2の方向のアスペクト比」ともいう)は、異方性充填材が第2の方向に対して、第1の方向にどの程度配向しているかを示す比率ともいえる。
なお、アスペクト比の加重平均値とは、各異方性充填材のアスペクト比(鱗片状充填材12であれば第1のアスペクト比、繊維状充填材13であればアスペクト比)に配合量(体積比率)を加重させて平均した値である。
第1の方向/第2の方向のアスペクト比は、具体的には、1以上であればよいが、1.5以上が好ましく、1.7以上がより好ましく、3以上がさらに好ましい。このアスペクト比を1.5以上にすると、本実施形態では厚さ方向の熱伝導率が高くなり、電子機器などに使用した場合の放熱効果が高くなる。また、第1の方向/第2の方向のアスペクト比は、例えば8以下であることが好ましく、7以下がより好ましく、5以下がさらに好ましい。このアスペクト比を8以下とすると、本実施形態では面方向の熱伝導率が高くなり、ヒートスポットなどを防止しやすくなる。
なお、上記の平均繊維長は、繊維状充填材13を顕微鏡で観察して算出することができる。例えば、熱伝導性シート10のマトリクス成分を溶かして分離した繊維状充填材13について、電子顕微鏡や光学顕微鏡を用いて、任意の50個の繊維状充填材13の繊維長を測定して、その平均値(相加平均値)を平均繊維長とすることができる。この際、繊維を粉砕しないように大きなシェアがかからないようにする。また、熱伝導性シート10から繊維状充填材13を分離することが難しい場合は、X線CT装置を用いて、繊維状充填材13の繊維長を測定して、平均繊維長を算出してもよい。
また、繊維状充填材13の直径についても同様に電子顕微鏡や光学顕微鏡、X線CT装置を用いて測定することができる。
炭素繊維としては、黒鉛化炭素繊維が好ましい。黒鉛化炭素繊維は、グラファイトの結晶面が繊維軸方向に連なっており、その繊維軸方向に高い熱伝導率を備える。そのため、その繊維軸方向を所定の方向に揃えることで、特定方向の熱伝導率を高めることができる。黒鉛化炭素繊維は、高い黒鉛化度をもつものが好ましい。
黒鉛化炭素繊維におけるメソフェーズピッチの使用態様は、紡糸可能ならば特に限定されず、メソフェーズピッチを単独で用いてもよいし、他の原料と組み合わせて用いてもよい。ただし、メソフェーズピッチを単独で用いること、すなわち、メソフェーズピッチ含有量100%の黒鉛化炭素繊維が、高熱伝導化、紡糸性及び品質の安定性の面から最も好ましい。
繊維状充填材13は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。例えば、繊維状充填材13として、少なくとも2つの互いに異なる平均繊維長を有する充填材を使用してもよい。
なお、繊維状充填材13の配向方向は、熱伝導率を高める観点から、第1の方向に対する繊維状充填材13の繊維軸方向のなす角度(配向角度)を0°以上5°未満とすることが好ましく、該角度は、一定数(例えば、任意の繊維状充填材13を50個)の繊維状充填材13の配向角度の平均値である。
これら観点から、熱伝導性シート10における鱗片状充填材12と繊維状充填材13との上記合計含有量は、50〜350質量部であることがより好ましく、80〜250質量部であることがより好ましい。また、上記の合計含有量は、体積基準の充填率(体積充填率)で表すと、熱伝導性シート全量に対して、好ましくは2〜50体積%、より好ましくは8〜40体積%であり、さらに好ましくは15〜30体積%である。
また、鱗片状充填材12及び繊維状充填材13は、導電性を有していてもよいし、絶縁性を有していてもよい。鱗片状充填材12及び繊維状充填材13が絶縁性を有すると、本実施形態では熱伝導性シート10の厚さ方向の絶縁性を高めることができるため、電気機器において好適に使用することが可能になる。なお、本発明において導電性を有するとは例えば体積抵抗率が1×109Ω・cm以下の場合をいうものとする。また、絶縁性を有するとは例えば体積抵抗率が1×109Ω・cmを超える場合をいうものとする。
熱伝導性シート10は、上記のとおり、高分子マトリクス11中に、非異方性充填材(図示しない)を含有することが好ましい。非異方性充填材は、鱗片状充填材12などの異方性充填材とともに熱伝導性シート10に熱伝導性を付与する材料である。非異方性充填材が含有されることで、配向した鱗片状充填材12などの異方性充填材の間に当該充填材が介在し、熱伝導率のより高い熱伝導性シートが得られる。
非異方性充填材は、形状に異方性を実質的に有しない充填材であり、後述する剪断力作用下など、鱗片状充填材12などの異方性充填材が所定の方向に配向する環境下においても、その所定の方向に配向しない充填材である。
非異方性充填材において、金属としては、アルミニウム、銅、ニッケルなど、金属酸化物としては、アルミナに代表される酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛など、金属窒化物としては窒化アルミニウムなどを例示することができる。金属水酸化物としては、水酸化アルミニウムが挙げられる。さらに、炭素材料としては球状黒鉛などが挙げられる。金属以外の酸化物、窒化物、炭化物としては、石英、窒化ホウ素、炭化ケイ素などが挙げられる。上記した中では、絶縁性を有する非異方性充填材として、金属酸化物、金属窒化物、金属水酸化物、金属炭化物が挙げられる。
また、非異方性充填材は、上記した中でも、酸化アルミニウム及びアルミニウムは、熱伝導率が高く、球状のものが入手しやすい点で好ましく、水酸化アルミニウムは入手し易く熱伝導性シートの難燃性を高めることができる点で好ましい。これらのなかでは、酸化アルミニウムがより好ましい。
なお、非異方性充填材の平均粒径は、電子顕微鏡等で観察して測定できる。より具体的には、鱗片状充填材12及び繊維状充填材13における測定と同様に電子顕微鏡や光学顕微鏡、X線CT装置を用いて、任意の非異方性充填材50個の粒径を測定して、その平均値(相加平均値)を平均粒径とすることができる。
非異方性充填材は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。なお、各充填材の平均粒径とは、各充填材を2種以上含むときはそれらを区別せずに算出した値とする。
なお、非異方性充填材の含有量は、体積%で表すと、熱伝導性シート全量に対して、10〜75体積%が好ましく、30〜60体積%がより好ましく、35〜50体積%がさらに好ましい。
熱伝導性シート10において、高分子マトリクス11には、さらに熱伝導性シート10としての機能を損なわない範囲で種々の添加剤を配合させてもよい。添加剤としては、例えば、分散剤、カップリング剤、粘着剤、難燃剤、酸化防止剤、着色剤、沈降防止剤などから選択される少なくとも1種以上が挙げられる。また、上記したように硬化性シリコーン組成物を硬化させる場合には、添加剤として硬化を促進させる硬化触媒などが配合されてもよい。硬化触媒としては、白金系触媒が挙げられる。
熱伝導シート10は、特に限定されないが、後述の製造方法で製造されることで、複数の単位層14からなる。熱伝導シート10における各単位層14は鱗片状充填材12を含有する。複数の単位層14は、図1に示すように、第3の方向に沿って積層されており、隣接する単位層14同士が互いに接着されている。
また、各単位層14は、実質的に同一の組成を有する。したがって、各単位層14における鱗片状充填材12、繊維状充填材13、非異方性充填材、及び高分子マトリクスの含有量は、熱伝導性シートにおける含有量と同様であり、各単位層14における鱗片状充填材12、繊維状充填材13、非異方性充填材、及び高分子マトリクス11の含有量及び充填率も、上記で述べたとおりとなる。
熱伝導性シート10の第1の方向の熱伝導率は、例えば5W/(m・K)以上であり、8W/(m・K)以上とすることが好ましく、11W/(m・K)以上がより好ましい。これら下限値以上とすることで、熱伝導性シート10の厚さ方向における熱伝導性を優れたものにできる。上限は特にないが、熱伝導性シート10の厚さ方向の熱伝導率は、例えば50W/(m・K)以下である。なお、熱伝導率はASTM D5470−06に準拠した方法で測定するものとする。
また、第2の方向の熱特性レベルは、100%以下であってもよいが、厚さ方向の熱伝導性を面方向の熱伝導性よりも高めて放熱性を優れたものとする観点から、90%以下が好ましく、80%以下がより好ましい。
第2の方向の熱特性レベル(%)=(λ2−λ3)/(λ1−λ3)×100
λ1:第1の方向の熱伝導率
λ2:第2の方向の熱伝導率
λ3:第3の方向の熱伝導率
また、凹凸の大きな被着体に用いる場合などは極めて柔軟なことが好ましく、熱伝導性シート10のタイプOO硬さは、62以下であることが好ましい。熱伝導性シート10は、タイプOO硬さが62以下となることで、極めて柔軟な熱伝導性シートとなり、発熱体と放熱体などに対する追従性が極めて良好となる。また、柔軟性を向上させて、追従性などを優れたものとする観点から、熱伝導性シート10のタイプOO硬さは、好ましくは50以下、より好ましくは45以下である。一方、熱伝導性シート10のタイプOO硬さは、特に限定されないが、例えば15以上、好ましくは18以上、より好ましくは25以上である。
また、熱伝導性シート10の取扱性を優先する場合は、熱伝導性シート10のタイプE硬さで15以上であることが好ましく、35以上であることが特に好ましい。熱伝導性シート10の硬さが柔らかいほど、圧縮したときに発熱体や放熱体またはそれらが配置される基板等への応力を小さくできるため好ましいが、硬さをタイプOO硬さで15以上とすることで、熱伝導性シート10が所定の取扱性を良くして、被着体へ貼着しやすいものとすることができる。特にタイプE硬さで35以上とすれば、取扱性と柔らかさのバランスに優れるものとすることができる。
なお、上記タイプE硬さおよびタイプOO硬さはASTM D2240−05に規定された方法に従って、所定のデュロメータを用いて測定される値である。
ただし、両表面10A,10Bのいずれか一方又は両方は、異方性充填材が露出せずに粘着面となってもよい。
なお、圧縮率は、例えば熱伝導性シートを、10mm×10mmのサイズでカットして、表面が平坦な台座と、平行に押圧する押圧子の間に試験片を挟んで測定するとよい。
本実施形態における熱伝導性シート10は、上記の通り、第1の方向(厚さ方向)に高い熱伝導性を有するので放熱性に優れ、かつ面方向に一定の熱伝導性を有するので、ヒートスポットなどが生じるのを防止しやすくなる。さらに、面方向における一方向以外の方向には、熱伝導性は高められないので、例えば電子機器内部に耐熱性の低い素子が存在する場合には、その方向に伝熱しないようにすることも可能になる。
次に、上記した熱伝導性シート10の製造方法の一例について説明する。
本製造方法は、高分子マトリクスの前駆体である樹脂と、熱伝導性充填材として少なくとも鱗片状充填材12とを含む混合物を調製する混合物調製工程と、上記した混合物を流動配向処理して、鱗片状充填材12などの異方性充填材を配向させつつ、1次シートを得る1次シート準備工程と、1次シートを積層して積層ブロックを得る積層工程と、積層ブロックを積層方向に沿って切断する切断工程とを備える。以下、各工程について詳細に説明する。
混合物調製工程では、高分子マトリクスの前駆体である樹脂(例えばシリコーン樹脂であれば、硬化性シリコーン組成物)と、鱗片状充填材12を含む混合物(液状組成物)を調製する。混合物には、さらに繊維状充填材13、非異方性充填材が適宜配合されてもよく、さらに添加成分が配合されてもよい。液状組成物は、通常スラリーとなる。液状組成物を構成する各成分の混合は、例えば公知のニーダー、混練ロール、ミキサーなどを使用するとよい。
なお、粘度とは、回転粘度計(ブルックフィールド粘度計DV−E、スピンドルSC4−14)を用いて、回転速度1rpmで測定された粘度であり、測定温度は液状組成物の塗工時の温度である。
1次シート準備工程では、液状組成物を、剪断力を付与しながらシート状に成形し、1次シートを得る。液状組成物は、例えば、バーコータ又はドクターブレード等の塗布用アプリケータ、もしくは、押出成形やノズルからの吐出等により、基材フィルム上に塗工するとよく、このような方法により、液状組成物の塗工方向(流動方向)に沿った剪断力を与えることができる。このように剪断力を付与しながらシート状に成形することで、鱗片状充填材12が、長軸方向Yが流動方向(シート面方向における一方向)に沿い、かつ横軸方向Xが流動方向に垂直である方向(シート面方向における他の方向)に沿うように配向する。また、液状組成物に繊維状充填材が配合される場合には、繊維状充填材13は、その繊維軸方向が流動方向に沿うように配向される。
また、液状組成物の硬化は、液状組成物に例えば硬化性シリコーン組成物が含まれる場合には、硬化性シリコーン組成物を硬化することで行う。液状組成物の硬化は、加熱により行うとよいが、例えば、50〜150℃程度の温度で行うとよい。また、加熱時間は、例えば10分〜3時間程度である。なお、硬化性の液状組成物に溶剤が配合される場合には、溶剤は硬化時の加熱により揮発させるとよい。
また、得られる熱伝導性シート10の柔軟性を確保する観点から、1次シートのタイプOO硬さは、55以下が好ましく、50以下がより好ましく、40以下がさらに好ましい。
また、得られる熱伝導性シート10の取扱性を高める観点からは、1次シートのタイプE硬さは、70以下が好ましく、40以下がより好ましい。また、1次シートのタイプE硬さは、10以上が好ましく、30以上がより好ましい。
次に、1次シート準備工程で得られた複数の1次シート17を、異方性充填材の配向方向が同じになるように積層する(図3(a)及び(b)参照)。すなわち、上記した鱗片状充填材12の長軸方向Yが沿う一方向、横軸方向Xが沿う他の方向それぞれが、複数の1次シート17の間で互いに一致するように積層される。そして、積層された複数の1次シート17を互いに接着させ一体化させて積層ブロック18を得る。例えば、積層された複数の1次シート17は、樹脂が熱可塑性樹脂である場合、プレス成形により、1次シート17中の高分子マトリクス11を溶融固着させて積層ブロック18を形成するとよい。また、1次シート17、17間に公知の接着剤などを配置させて1次シート17、17間を接着させてもよい。
さらに、高分子マトリクスの前駆体が、硬化性である場合には、半硬化された複数の1次シート17を積層して、積層後に各1次シート17を全硬化して、その全硬化により1次シート17を互いに接着させ一体化させて積層ブロック18としてもよい。
VUV照射条件は、1次シート17の表面を活性化できる条件であれば特に限定されないが、例えば積算光量が5〜100mJ/cm2、好ましくは積算光量が10〜50mJ/cm2となるようにVUVを照射するとよい。
すなわち、図3(a)に示すように、1次シート17は、VUV照射された一方の面17Aを、他の1次シート17に接触するように重ね合わせるとよいが、この際、一方の面17Aに接触する、他の1次シート17の他方の面17BもVUV照射されることが好ましい。
積層された1次シート17は、例えば加圧するときなどに適宜加熱されてもよいが、VUV照射により活性化された1次シート17は、加熱しなくても接着できるので、積層された1次シート17は、加熱しないことが好ましい。したがって、プレス時の温度は、例えば0〜50℃、好ましくは10〜40℃程度である。
次に、図3(c)に示すように、刃物19によって、積層ブロック18を1次シート17の積層方向(第3の方向)に沿って切断し、熱伝導性シート10を得る。この際、積層ブロック18は、鱗片状充填材12の長軸方向が沿う一方向(第1の方向)に直交する方向に切断するとよい。刃物19としては、例えば、カミソリ刃やカッターナイフ等の両刃や片刃、丸刃、ワイヤー刃、鋸刃等を用いることができる。積層ブロック18は、刃物19を用いて、例えば、押切、剪断、回転、摺動等の方法により切断される。
次に、本発明の第1の実施形態について図4を用いて説明する。
第1の実施形態では、鱗片状充填材12の長軸方向Yに沿う方向がシートの厚さ方向(第1の方向)であったが、図4に示すように、本実施形態における熱伝導性シート20では、鱗片状充填材12の長軸方向Y(図2参照)に沿う方向が、シートの厚さ方向に垂直である一方向(第2の方向)となり、横軸方向Xに沿う方向が、シートの厚さ方向(第1の方向)となる点において相違する。
このような構成により、本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、厚さ方向のみならず、厚さ方向に垂直な面方向に沿う一方向にも熱伝導性が良好となる。ただし、鱗片状充填材12の長軸方向Yに沿う方向が第2の方向であるので、面方向に沿う一方向(第2の方向)の熱伝導性が厚さ方向(第1の方向)の熱伝導性よりも高くなる。そのため、本実施形態の熱伝導性シート20は、面方向に沿って高い熱伝導性が必要とされる用途において好適に使用できる。
第2の方向における熱伝導率は、第1の方向における熱伝導率よりも高く、例えば5W/(m・K)以上、好ましくは8W/(m・K)以上、より好ましくは11W/(m・K)以上であり、また、例えば50W/(m・K)以下である。
第3の方向の熱伝導率は、第1の方向および第2の方向の熱伝度率よりも低くなり、好ましくは4.5W/(m・K)未満、より好ましくは3W/(m・K)未満であり、さらに好ましくは2.5W/(m・K)未満であり、また、例えば0.2W/(m・K)以上である。また、第2の方向における熱特性レベルは、上記のとおり、10%以上が好ましいが、通常は100%を超える。
さらに、鱗片状充填材12の第1のアスペクト比と、繊維状充填材13のアスペクト比の加重平均値は、本実施形態では、第2の方向/第1の方向のアスペクト比といえる。本実施形態における第2の方向/第1の方向のアスペクト比は、具体的には、1以上であればよいが、1.5以上が好ましく、1.7以上がより好ましく、3以上がさらに好ましく、8以下であることが好ましく、また、7以下がより好ましく、5以下がさらに好ましい。
また、シートの厚さ、単位層の厚さ14L、熱伝導性シートのタイプE硬さ及び0.276MPaで厚さ方向に圧縮したときの圧縮率などの各物性、寸法などは上記の第1の実施形態で説明したとおりであり、その他の第2の実施形態における各構成も、上記第1の実施形態と同様であり、その詳細な説明は省略する。
なお、本実施形態における熱伝導シート20の製造方法は、切断工程において、鱗片状充填材12の横軸方向が沿う一方向に直交する方向に切断する点以外は、第1の実施と同様に行えばよい。
例えば、各単位層14は、鱗片状充填材12、又は鱗片状充填材12及び繊維状充填材13の含有量が互いに同一である必要はなく、一部の単位層14における鱗片状充填材12又は繊維状充填材13の含有量を、他の単位層14における鱗片状充填材12又は繊維状充填材13の含有量と異ならせてもよい。同様に、一部の単位層14における非異方充填材の含有量も、他の単位層14における非異方性充填材の含有量と異ならせてもよい。また、一部の単位層14における鱗片状充填材12、繊維状充填材13、及び非異方性充填材の少なくともいずれかの種類を、他の単位層14におけるこれらの種類と異ならせてもよい。
さらに、複数の単位層14は、すべての単位層14が鱗片状充填材12を含有する必要はなく、一部の単位層14が鱗片状充填材12を含有してもよく、例えば、複数の単位層14のうち少なくとも1つの単位層14が鱗片状充填材12を含有する態様であってもよい。すなわち、上記各実施形態では、熱伝導性シート20の全ての領域において、第1及び第2の方向の一方向に沿う鱗片状充填材12が含有される必要はなく、熱伝導性シート20の一部において第1及び第2の方向のいずれかに沿う鱗片状充填材12が含有されるとよい。
同様に、複数の単位層14のうち一部が、繊維状充填材13を含有し、その他が繊維状充填材13を含有しなくてもよい。また、複数の単位層14のうち一部が、非異方性充填材を含有し、その他が非異方性充填材を含有しなくてもよい。
例えば、一部の単位層14のシリコーン樹脂の種類又は量、熱伝導性充填材の種類又は量の少なくとも一部を、他の単位層14と異ならせることで、一部の単位層14の硬さ(タイプE硬さまたはタイプOO硬さ)を他の単位層14の硬さと異ならせてもよい。
[液状組成物(混合物)の粘度の測定]
各例の液状組成物の粘度を、粘度計(BROOKFIELD製の回転粘度計DV−E)で、スピンドルSC4−14の回転子を用い、回転速度1rpm、測定温度25℃で測定した。結果を表1に示す。
作製した熱伝導性シートの厚み方向(第1の方向)の熱伝導率をASTM D5470−06に準拠した方法で測定した。また第2の方向及び第3の方向の熱伝導率もASTM D5470−06に準拠した方法で測定した。結果を表1に示す。
なお、第2の方向の熱伝導率は、後述の各例の積層ブロックを、第2の方向が厚さ方向となるように切断した試験片(厚さ2mm)を測定した熱伝導率であり、第3の方向の熱伝導率は、各例の1次シート(厚さ2mm)を測定した熱伝導率である。
なお、第2の方向の熱特性のレベルを百分率で示した。具体的には、第1の方向と同等を“100%”、第3の方向と同等を“0%”となるように下記式で計算した。
第2の方向の熱特性レベル(%)=(λ2−λ3)/(λ1−λ3)×100
λ1:第1の方向の熱伝導率
λ2:第2の方向の熱伝導率
λ3:第3の方向の熱伝導率
タイプE硬さは、各実施例、比較例で得られた熱伝導性シート及び1次シートを5枚重ねて10mmの試験片として、ASTM D2240−05の規定に従って測定した。結果を表1に示す。
[圧縮率]
圧縮率は、各実施例、比較例で得られた熱伝導性シートを、外形が10mm×10mmのサンプルに調製して、明細書記載のとおりに0.276MPa(=40psi)で圧縮したときの圧縮率を測定した。結果を表1に示す。
硬化性シリコーン組成物として、アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(主剤)とハイドロジェンオルガノポリシロキサン(硬化剤)(合計で100質量部、体積充填率38体積%)と、鱗片状充填材として窒化ホウ素粉末(平均長軸長40μm、第1のアスペクト比=1、第2のアスペクト比=4〜8、熱伝導率100W/(m・K))180質量部(体積充填率30体積%)と、非異方性充填材としての酸化アルミニウム(球状、平均粒径3μm、アスペクト比1.0)340質量部(体積充填率32体積%)とを混合して、スラリー状の液状組成物(混合物)を得た。液状組成物の25℃における粘度は480Pa・sであった。
熱伝導シートにおいて、鱗片状充填材は、長軸方向が厚さ方向(第1の方向)に沿って、横軸方向がシート面方向における第1の方向に垂直な方向(第2の方向)に沿って配向していた。なお、以下の各実施例でも同様であった。
液状組成物の調製において、鱗片状充填材として鱗片状黒鉛粉末(平均長軸長130μm、第1のアスペクト比=2、第2のアスペクト比=6〜13、熱伝導率400W/(m・K))を使用し、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例1と同様に実施した。
なお、シリコーン樹脂の体積充填率が38体積%、鱗片状充填材の体積充填率が23体積%、非異方性充填材の体積充填率39体積%、液状組成物の25℃における粘度は600Pa・sであった。
液状組成物の調製において、鱗片状充填材として鱗片状黒鉛粉末(平均長軸長80μm、第1のアスペクト比=1.85、第2のアスペクト比=4〜8、熱伝導率400W/(m・K))を使用し、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例1と同様に実施した。シリコーン樹脂、及び各充填材の体積充填率は実施例2と同じであり、液状組成物の25℃における粘度は750Pa・sであった。
液状組成物の調製において、鱗片状充填材として鱗片状黒鉛粉末(平均長軸長40μm、第1のアスペクト比=1.7、第2のアスペクト比=3〜6、熱伝導率400W/(m・K))を使用し、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例1と同様に実施した。シリコーン樹脂、及び各充填材の体積充填率は実施例2と同じであり、液状組成物の25℃における粘度は940Pa・sであった。
液状組成物の調製において、さらに繊維状充填材として黒鉛化炭素繊維(平均繊維長100μm、アスペクト比10、熱伝導率500W/(m・K))を配合し、かつ各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例4と同様に実施した。なお、繊維状充填材は繊維軸方向が厚さ方向(第1の方向)に沿うように配向しており、以下の実施例、比較例においても同様であった。
なお、シリコーン樹脂の体積充填率が38体積%、鱗片状充填材の体積充填率が9体積%、繊維状充填材の体積充填率14体積%、非異方性充填材の体積充填率39体積%、液状組成物の25℃における粘度は750Pa・sであった。
液状組成物の調製において、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例5と同様に実施した。なお、シリコーン樹脂の体積充填率が38体積%、鱗片状充填材の体積充填率が14体積%、繊維状充填材の体積充填率9体積%、非異方性充填材の体積充填率39体積%、液状組成物の25℃における粘度は540Pa・sであった。
液状組成物の調製において、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例4と同様に実施した。なお、シリコーン樹脂の体積充填率が38体積%、鱗片状充填材の体積充填率が22体積%、非異方性充填材の体積充填率40体積%、液状組成物の25℃における粘度は960Pa・sであった。
液状組成物の調製において、鱗片状充填材を使用せず、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例1と同様に実施した。なお、シリコーン樹脂の体積充填率が37体積%、繊維状充填材の体積充填率20体積%、非異方性充填材の体積充填率43体積%、液状組成物の25℃における粘度は360Pa・sであった。
液状組成物の調製において、鱗片状充填材を使用せず、各充填材の配合部数を表1に記載のとおりに変更した点を除いて実施例1と同様に実施した。なお、シリコーン樹脂の体積充填率が38体積%、繊維状充填材の体積充填率22体積%、非異方性充填材の体積充填率40体積%、液状組成物の25℃における粘度は450Pa・sであった。
それに対して、各比較例の熱伝導性シートでは、長軸方向Yを第1の方向に、横軸方向Xを第2の方向に沿って配向させた鱗片状充填材を含有させなかったので、厚さ方向及び面方向に沿う一方向の両方の熱伝導率が向上せず、そのため、厚さ方向及び面方向に沿う一方向の両方の熱抵抗値を低くできなった。
10A 一方の面
10B 他方の面
11 高分子マトリクス
12 鱗片状充填材
13 繊維状充填材
14 単位層
17 1次シート
18 積層ブロック
19 刃物
Claims (12)
- 高分子マトリクス中に鱗片状充填材を含む熱伝導性シートであって、
前記鱗片状充填材が、鱗片面の長軸方向が、前記熱伝導性シートの厚さ方向である第1の方向及び前記第1の方向に垂直である第2の方向のいずれか一方に沿い、かつ前記鱗片面において長軸方向に垂直となる横軸方向が、前記第1の方向及び前記第2の方向の他方に沿うように配向する、熱伝導性シート。 - 前記鱗片状充填材は、前記長軸方向が前記第1の方向に沿い、かつ前記横軸方向が前記第2の方向に沿うように配向する請求項1に記載の熱伝導性シート。
- 前記鱗片状充填材は、前記横軸方向が前記第1の方向に沿い、かつ前記長軸方向が前記第2の方向に沿うように配向する、請求項1に記載の熱伝導性シート。
- 前記鱗片状充填材の前記横軸方向の長さに対する、前記長軸方向の長さの比(長軸方向の長さ/横軸方向の長さ)で表される第1のアスペクト比が1.5以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。
- 前記鱗片状充填材の平均粒径が20μm以上である請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。
- 前記鱗片状充填材が、鱗片状黒鉛粉末を含む請求項1〜5のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。
- 前記鱗片状充填材が、鱗片状窒化ホウ素粉末を含む請求項1〜6のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。
- 前記高分子マトリクス中にさらに繊維状充填材を含む請求項1〜7のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。
- 前記繊維状充填材が、炭素繊維である請求項8に記載の熱伝導性シート。
- 複数の単位層を有し、かつ前記複数の単位層のうち、少なくとも1つが前記鱗片状充填材を含み、
複数の単位層が、前記第1及び第2の方向に垂直な第3の方向に沿って積層される請求項1〜9のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。 - 前記高分子マトリクス中にさらに非異方性充填材を含有する請求項1〜10のいずれか1項に記載の熱伝導性シート。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の熱伝導性シートの製造方法であって、
前記高分子マトリクスの前駆体である樹脂と、前記鱗片状充填材とを含む混合物を調製する工程と、
前記混合物を流動配向処理して、前記鱗片状充填材を配向させつつ、1次シートを得る工程と、
前記1次シートを積層して積層ブロックを得る工程と、
前記積層ブロックを積層方向に沿って切断する工程と
を備える熱伝導性シートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021086144A JP2021145134A (ja) | 2019-11-01 | 2021-05-21 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019200095 | 2019-11-01 | ||
JP2019200095 | 2019-11-01 | ||
PCT/JP2020/040121 WO2021085383A1 (ja) | 2019-11-01 | 2020-10-26 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021086144A Division JP2021145134A (ja) | 2019-11-01 | 2021-05-21 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6892725B1 JP6892725B1 (ja) | 2021-06-23 |
JPWO2021085383A1 true JPWO2021085383A1 (ja) | 2021-11-25 |
Family
ID=75715943
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021507107A Active JP6892725B1 (ja) | 2019-11-01 | 2020-10-26 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
JP2021086144A Pending JP2021145134A (ja) | 2019-11-01 | 2021-05-21 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021086144A Pending JP2021145134A (ja) | 2019-11-01 | 2021-05-21 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11618247B2 (ja) |
JP (2) | JP6892725B1 (ja) |
KR (2) | KR102452165B1 (ja) |
CN (2) | CN116355425A (ja) |
DE (1) | DE112020005404T5 (ja) |
TW (1) | TW202124585A (ja) |
WO (1) | WO2021085383A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020067141A1 (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 積水ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート |
WO2021230047A1 (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導性シート及び熱伝導性シートの製造方法 |
JP6980868B1 (ja) * | 2020-08-25 | 2021-12-15 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導性シート及び熱伝導性シートの製造方法 |
JP6999003B1 (ja) | 2020-09-09 | 2022-01-18 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導性シート及び熱伝導性シートの製造方法 |
WO2024018635A1 (ja) * | 2022-07-22 | 2024-01-25 | 株式会社レゾナック | 熱伝導シート、放熱装置及び熱伝導シートの製造方法 |
US11615999B1 (en) * | 2022-07-22 | 2023-03-28 | GuangDong Suqun New Material Co., Ltd | Oriented heat conducting sheet and preparation method thereof, and semiconductor heat dissipating device |
WO2024090364A1 (ja) * | 2022-10-28 | 2024-05-02 | 帝人株式会社 | 積層体及びその製造方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283955A (ja) | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 放熱シート |
JP2001110961A (ja) | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Fujikura Rubber Ltd | 放熱シート |
JP2002026202A (ja) | 2000-06-29 | 2002-01-25 | Three M Innovative Properties Co | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
JP2002121393A (ja) | 2000-10-12 | 2002-04-23 | Sekisui Chem Co Ltd | 熱伝導性樹脂組成物及び熱伝導性シート |
JP2004051852A (ja) | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Polymatech Co Ltd | 熱伝導性高分子成形体及びその製造方法 |
JP4629475B2 (ja) | 2005-03-30 | 2011-02-09 | 株式会社カネカ | 放熱シート用組成物およびそれを硬化させてなる放熱シート |
JP2007012913A (ja) | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Polymatech Co Ltd | 放熱シート及び放熱構造 |
CN101535383B (zh) | 2006-11-01 | 2012-02-22 | 日立化成工业株式会社 | 导热片、其制造方法以及使用了导热片的散热装置 |
JP2009094110A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 放熱部材、及びそのシート、およびその製造方法 |
JP5882581B2 (ja) | 2008-10-21 | 2016-03-09 | 日立化成株式会社 | 熱伝導シート、その製造方法及びこれを用いた放熱装置 |
JP2011184663A (ja) | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 熱伝導シート、その製造方法及びこれを用いた放熱装置 |
JP5454300B2 (ja) | 2010-03-30 | 2014-03-26 | 日立化成株式会社 | 熱伝導シート、その製造方法及びこれを用いた放熱装置 |
WO2013099089A1 (ja) | 2011-12-27 | 2013-07-04 | パナソニック株式会社 | 異方性熱伝導組成物およびその成形品 |
JP2014014809A (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Fujifilm Corp | 二酸化炭素分離用複合体の製造方法、二酸化炭素分離用複合体、二酸化炭素分離モジュール、二酸化炭素分離装置、及び二酸化炭素分離システム |
JP5953160B2 (ja) | 2012-07-27 | 2016-07-20 | ポリマテック・ジャパン株式会社 | 熱伝導性成形体の製造方法 |
JP6094119B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2017-03-15 | 住友ベークライト株式会社 | 熱伝導シートの製造方法 |
JP6123314B2 (ja) | 2013-02-01 | 2017-05-10 | 住友ベークライト株式会社 | 熱伝導シートおよび熱伝導シートの製造方法 |
JP5798210B2 (ja) | 2013-07-10 | 2015-10-21 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導性シート |
JP6071935B2 (ja) | 2013-09-06 | 2017-02-01 | バンドー化学株式会社 | 樹脂成形品の製造方法 |
JP6532047B2 (ja) * | 2016-04-11 | 2019-06-19 | 積水ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート |
US20190176448A1 (en) * | 2016-08-08 | 2019-06-13 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Heat transfer sheet and method for producing same |
JP6876569B2 (ja) * | 2017-07-28 | 2021-05-26 | 昭和電工株式会社 | 金属−炭素粒子複合材 |
JP7087372B2 (ja) | 2017-12-19 | 2022-06-21 | 日本ゼオン株式会社 | 熱伝導シート及びその製造方法 |
WO2019160004A1 (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 積水ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート |
WO2021065522A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 積水ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
-
2020
- 2020-10-26 CN CN202310426568.9A patent/CN116355425A/zh active Pending
- 2020-10-26 WO PCT/JP2020/040121 patent/WO2021085383A1/ja active Application Filing
- 2020-10-26 DE DE112020005404.7T patent/DE112020005404T5/de active Pending
- 2020-10-26 US US17/770,539 patent/US11618247B2/en active Active
- 2020-10-26 CN CN202080072965.5A patent/CN114555714B/zh active Active
- 2020-10-26 KR KR1020227013284A patent/KR102452165B1/ko active IP Right Grant
- 2020-10-26 JP JP2021507107A patent/JP6892725B1/ja active Active
- 2020-10-26 KR KR1020227030763A patent/KR20220129092A/ko unknown
- 2020-10-28 TW TW109137460A patent/TW202124585A/zh unknown
-
2021
- 2021-05-21 JP JP2021086144A patent/JP2021145134A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220054713A (ko) | 2022-05-03 |
CN114555714B (zh) | 2023-05-09 |
DE112020005404T5 (de) | 2022-08-18 |
CN116355425A (zh) | 2023-06-30 |
US11618247B2 (en) | 2023-04-04 |
KR102452165B1 (ko) | 2022-10-11 |
US20220347996A1 (en) | 2022-11-03 |
CN114555714A (zh) | 2022-05-27 |
JP6892725B1 (ja) | 2021-06-23 |
WO2021085383A1 (ja) | 2021-05-06 |
KR20220129092A (ko) | 2022-09-22 |
TW202124585A (zh) | 2021-07-01 |
JP2021145134A (ja) | 2021-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6844806B2 (ja) | 熱伝導性シート及びその製造方法 | |
JP6892725B1 (ja) | 熱伝導性シート及びその製造方法 | |
WO2021065522A1 (ja) | 熱伝導性シート及びその製造方法 | |
JP7221487B2 (ja) | 熱伝導性シート | |
WO2020050334A1 (ja) | 熱伝導性シート | |
JPWO2020067141A1 (ja) | 熱伝導性シート | |
JP6978148B1 (ja) | 熱伝導性シート及びその製造方法 | |
WO2019244890A1 (ja) | 熱伝導性シート | |
WO2022137762A1 (ja) | 熱伝導性シート、その装着方法及び製造方法 | |
JP7473103B2 (ja) | 熱伝導性シート及びその製造方法 | |
JP7248222B2 (ja) | 熱伝導性部材の製造方法、及びディスペンサ装置 | |
WO2022070568A1 (ja) | 熱伝導性シート、その装着方法及び製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210209 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210209 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20210406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210427 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6892725 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |