JP6094119B2 - 熱伝導シートの製造方法 - Google Patents
熱伝導シートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6094119B2 JP6094119B2 JP2012213149A JP2012213149A JP6094119B2 JP 6094119 B2 JP6094119 B2 JP 6094119B2 JP 2012213149 A JP2012213149 A JP 2012213149A JP 2012213149 A JP2012213149 A JP 2012213149A JP 6094119 B2 JP6094119 B2 JP 6094119B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- heat conductive
- conductive filler
- organic resin
- producing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
前記樹脂組成物を加熱しながらプレス加工して薄膜形状に成形を行うとともに、前記成形の際、または前記成形の後、加熱することにより、前記有機樹脂をBステージの半硬化状態にして複数のシートを作製する工程と、
複数の前記シートのそれぞれを更に加熱することにより前記有機樹脂を硬化させてCステージの硬化状態として複数の第1シートを作製する工程と、
複数の前記第1シートを、接着剤を介して積層して相互に一体化させることにより、積層体を作製する工程と、
前記積層体をスライスして熱伝導シートを作製する工程と、
を有し、
複数の第1シートを作製する前記工程において、前記第1シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第1シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記熱伝導性フィラーを配向させて前記第1シートを作製し、
前記熱伝導シートを作製する前記工程において、前記積層体を前記第1シートの積層方向に切断することにより、前記熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、前記熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるようにする、
熱伝導シートの製造方法を提供する。
また、本発明は、薄膜状に形成され且つ硬化状態とされた有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラーを含んでなる複数の第1シートを、前記第1シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第1シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程と、
薄膜状に形成され且つ半硬化状態とされた第2有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第2熱伝導性フィラーを含んでなる第2シートを、前記第2シートの厚み方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第2シートの面方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記第2熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程と、
隣り合う複数の前記第1シート同士の間に、接着剤又は前記第2シートが位置するように、前記第1シートと前記第2シートとを積層して、隣り合う前記第1シート同士を前記接着剤又は前記第2シートを介して相互に一体化させることにより、積層体を作製する工程と、
前記積層体をスライスして熱伝導シートを作製する工程と、
を有し、
前記熱伝導シートを作製する工程では、前記積層体を前記第1シート及び前記第2シートの積層方向に切断することにより、前記熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、前記熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるようにする熱伝導シートの製造方法を提供する。
このため、積層体を作製する段階においても、硬化状態の第1シートの内部において第1熱伝導性フィラーの配向性を維持できる。
これにより、積層体内における熱伝導性フィラーの配向性を良好にできる。その結果、積層体を積層方向にスライスすることにより得られる熱伝導シートにおける熱伝導性フィラーの配向性も良好にでき、熱伝導シートの厚み方向において、十分な熱伝導性が得られる。
図1は第1の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法を説明するための図である。このうち(a)はフローチャートを示し、(b)〜(f)の各図は、各工程による成型物を示す模式的な斜視図である。これらのうち(b)は第1シート10を、(c)は第1シート10に接着剤15を塗布した状態を、(d)は第1シート10を接着剤15を介して積層する様子を、(e)は積層体30を、(f)は熱伝導シート40を、それぞれ示す。
図2は第1の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法により得られる熱伝導シート40を示す模式図であり、このうち(a)は斜視図、(b)は正面図、(c)は(b)のA部の拡大断面図である。
(1)薄膜状に形成され且つ硬化状態とされた有機樹脂11中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラー12を含んでなる複数の第1シート10を作製する工程(図1(a)のステップS2及びS3、図1(b))。ここで、第1シート10は、第1シート10の厚み方向における熱伝導性フィラー12の寸法よりも第1シート10の面方向における熱伝導性フィラー12の寸法の方が大きくなるように熱伝導性フィラー12を配向させて作製する。
(2)複数の第1シート10を、接着剤15を介して積層して相互に一体化させることにより、積層体30を作製する工程(図1(a)のステップS4〜S6、図1(c)〜(e))。
(3)積層体30をスライスして熱伝導シート40を作製する工程(図1(a)のステップS7、図1(f))。熱伝導シート40を作製する工程では、積層体30を第1シート10の積層方向に切断する。これにより、熱伝導シート40の厚み方向における熱伝導性フィラー12の寸法が、熱伝導シート40の面方向における熱伝導性フィラー12の寸法よりも大きくなるようにする。
以下、詳細に説明する。
以上のようにして、複数枚の第1シート10(図1(b))を作製する。
図3に示すように、熱伝導シート40は、図2に示す構成に加えて、表裏両面にそれぞれ形成された密着層45を有していても良い。この密着層45は、熱伝導シート40の設置面に対する熱伝導シート40の密着性を良好にするために設けられる。
このため、積層体30を作製する段階において、硬化状態の第1シート10の内部において熱伝導性フィラー12の配向性を維持できる。
これにより、積層体30内における熱伝導性フィラー12の配向性を良好にできる。その結果、積層体30を積層方向にスライスすることにより得られる熱伝導シート40における熱伝導性フィラー12の配向性も良好にでき、熱伝導シート40の厚み方向において、十分な熱伝導性が得られる。
次に、実施例を説明する。
熱伝導性フィラー12としては、板状(鱗片状)の窒化ホウ素粉末「PT−110(商品名)」(モメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン合同会社製、平均粒径:45μm、長軸方向と短軸方向の比率:20)を用いた。ここで、平均粒径とは、窒化ホウ素粉末の板面方向における長手寸法(最大寸法)の平均値を意味する。また、長軸方向と短軸方向の比率とは、板状の窒化ホウ素粉末の板厚と、窒化ホウ素粉末の板面方向における長手寸法(最大寸法)と、の比率を意味する。すなわち、窒化ホウ素粉末の平均的な形状は、板厚が1に対して、板面方向における長手寸法(最大寸法)が20である。
有機樹脂は、4,4'−ジアミノベンズアニリド(三井化学ファイン社製)と、ビスフェノールF型エポキシ樹脂「830S(商品名)」(DIC社製、エポキシ当量170)とにより作製した。
具体的には、66.0gの上記窒化ホウ素粉末と、8.5gの上記4,4'−ジアミノベンズアニリドと、25.5gの上記ビスフェノールF型エポキシ樹脂とを、120℃に加熱して混練することによって樹脂組成物を調製した(図1(a)のステップS1に相当)。
先に調製した樹脂組成物を、離型処理した一対のPETフィルムにより挟み込み、プレス機を用いて、ツール圧10MPa、ツール温度120℃の条件下で、一対のPETフィルムを挟み込むようにして10秒間にわたってプレスすることにより、厚さが1.0mmの一次シートを得た。すなわち、一次シートは、一方のPETフィルムと、当該PETフィルム上に形成された上記樹脂組成物の薄膜と、当該薄膜上に位置する他方のPETフィルムと、からなる。この操作を繰り返すことによって、多数枚の一次シートを作製した。ここで、この一次シートを構成する有機樹脂は、上記条件でプレス加工することによって、半硬化状態となった(Bステージとなった)(図1(a)のステップS2に相当)。
先に調整した1.0mmの一次シートの両面のPETフィルムをはがし、一次シートを1辺が10cmの正方形の小片に切り分けた。更に、このように切り分けた一次シートの上下両面に厚さ18μmの電解銅箔(古河サーキットホイル社製、GTSMP)をそれぞれ重ねて、圧力10MPa、温度220℃で180分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張板を得た。ここで、この両面銅張板を構成する有機樹脂は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった(Cステージとなった)。次に、この両面銅張板をエッチング処理することにより、両面銅張板から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ0.9mmのシート成形体である第1シート10を作製した(図1(a)のステップS3に相当)。
なお、ここで一次シートの両面に銅箔を貼る理由は、加熱加圧成形の際に、加圧面に一次シートが貼り付いてしまうことを防止する(加圧後の離型を容易にする)ためである。
球状のアルミナ粉末「スミコランダムAA−3(商品名)」(住友化学社製、平均粒径:3μm)を47.0gと、アリル変性フェノールノボラック「MEH−8000(商品名)」(明和化成社製、水酸基当量140)を23.7gと、ビスフェノールF型エポキシ樹脂「830S(商品名)」(DIC社製、エポキシ当量170)を29.2gと、2−エチル−4−メチルイミダゾール「2E4MZ(商品名)」(四国化成社製)を0.1gとを、室温でディスパーザーを用いて撹拌し、接着剤組成物を調製した。
先に成形した厚さ0.9mmの第1シート10の両面に、バーコーターを用いて、先に調整した接着剤組成物を50μmの厚みで塗工し、厚さ1.0mmの接着剤つき第1シート10を作製した(図1(a)のステップS4に相当)。
次に、上記で得られた接着剤つき第1シート10を20枚積層した。なお、各第1シート10の外形線が平面視において一致するように、各第1シート10の位置を揃えて積層した(図1(a)のステップS5に相当)。
更に、最下層の第1シート10の下面及び最上層の第1シート10の上面にそれぞれ厚さ18μmの電解銅箔(古河サーキットホイル社製、GTSMP)を重ねた後、圧力10MPa、温度220℃で180分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張積層体を得た。ここで、接着剤は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった(Cステージとなった)。その結果、隣り合う第1シート10同士が、それらの間の接着剤を介して相互に一体化した(図1(a)のステップS6に相当)。
次に、この両面銅張積層体をエッチング処理することにより、両面銅張積層体から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ2cmの積層体30を作製した。
なお、ここで最下層の第1シート10の下面及び最上層の第1シート10の上面に銅箔を貼る理由は、加熱加圧成形の際に、加圧面に第1シート10が貼り付いてしまうことを防止する(加圧後の離型を容易にする)ためである。
次に、積層体30を第1シート10の積層方向に切断(スライス)した。具体的には、積層体30の1cm×2cmの積層断面をカンナ(スリット部からの刃部の突出長さ:0.34mm)を用いてスライス(第1シート10のシート面の法線に対し0度の角度でスライス)し、縦1cm、横2cm、厚さ0.5mmの熱伝導シート40を得た(図1(a)のステップS7に相当)。
次に、比較例を説明する。
上記の実施例と同じ方法で樹脂組成物を調整した。
上記の実施例と同じ方法で多数枚の一次シートを作製した。すなわち、この一次シートを構成する有機樹脂は、半硬化状態となった(Bステージとなった)。
先に調整した1.0mmの一次シートのPETフィルムをはがし、一次シートを1辺が10cmの正方形の小片に切り分けた。
次に、上記のように切り分けた一次シートを22枚重ねた。なお、各一次シートの外形線が平面視において一致するように、各一次シートの位置を揃えて積層した。
更に、最下層の一次シートの下面及び最上層の一次シートの上面にそれぞれ厚さ18μmの電解銅箔(古河サーキットホイル社製、GTSMP)を重ねた後、圧力10MPa、温度220℃で180分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張積層体を得た。ここで、この両面銅張積層体の各一次シートを構成する有機樹脂は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった(Cステージとなった)。
次に、この両面銅張積層体をエッチング処理することにより、両面銅張積層体から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ2cmの積層体を作製した。
次に、積層体を一次シートの積層方向に切断(スライス)した。具体的には、積層体の1cm×2cmの積層断面をカンナ(スリット部からの刃部の突出長さ:0.34mm)を用いてスライス(一次シートのシート面の法線に対し0度の角度でスライス)し、縦1cm、横2cm、厚さ0.5mmの熱伝導シートを得た。
実施例で得られた熱伝導シート40について、断面をSEM(走査型電子顕微鏡)を用いて観察し、任意の50個の熱伝導性フィラー12について見えている方向に基づいて、鱗片の長軸方向(面方向)の熱伝導シート40の表面に対する角度を測定した。
同様に、比較例で得られた熱伝導シートについて、断面をSEMを用いて観察し、任意の50個の熱伝導性フィラーについて見えている方向に基づいて、鱗片の長軸方向(面方向)の熱伝導シートの表面に対する角度を測定した。
実施例で得られた熱伝導シート40及び比較例で得られた熱伝導シートの各々について、密度を水中置換法により測定し、比熱をDSC(示差走査熱量測定)により測定し、さらに、レーザーフラッシュ法により熱拡散率を測定した。
そして、実施例で得られた熱伝導シート40及び比較例で得られた熱伝導シートの各々について、厚み方向における熱伝導率を以下の式から算出した。
熱伝導率(W/m・K)=密度(kg/m3)×比熱(kJ/kg・K)×熱拡散率(m2/S)×1000
実施例: 角度(配向方向):85度
厚み方向における熱伝導率:25W/mK
比較例: 角度(配向方向):70度
厚み方向における熱伝導率:15W/mK
ここで、角度(配向方向)は、最頻値である。
ここに示した結果から、実施例で得られた熱伝導シート40においては、熱伝導性フィラー12の角度(配向方向)が、比較例で得られた熱伝導シートにおける熱伝導性フィラーの角度に比べて、90度に近いことが分かる。すなわち、実施例で得られた熱伝導シート40においては、比較例と比べて、熱伝導性フィラー12が熱伝導シート40の厚み方向に良好に配向している。
そして、実施例で得られた熱伝導シート40においては、比較例で得られた熱伝導シートと比べて、厚み方向における熱伝導率が飛躍的に向上していることが分かる。
図4は第2の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法を示すフローチャートである。
図5は第2の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法における各工程による成型物を示す模式的な斜視図である。このうち(a)は第1シート10を、(b)は第2シート20を、(c)は第1シート10に接着剤15を塗布した状態を、(d)は第1シート10(接着剤15無し)と、第2シート20と、第1シート10(接着剤15付き)とを積層する様子を、(e)は積層体30を、(f)は熱伝導シート40を、それぞれ示す。なお、図5(a)に示す第1シート10、及び、図5(c)に示す接着剤15付きの第1シート10は、第1の実施形態の図1(b)、図1(c)に示すものとそれぞれ同じである。
図6は第2の実施形態に係る熱伝導シート40の例を示す模式的な要部断面図である。
これにより、第2シート20の厚み方向における熱伝導性フィラーの寸法よりも、第2シート20の面方向における熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように、第2シート20内における熱伝導性フィラーが配向される。すなわち、第2シート20内においても、熱伝導性フィラーが面方向に配向される。
このように、本実施形態に係る熱伝導シートの製造方法は、薄膜状に形成され且つ半硬化状態とされた第2有機樹脂21中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第2熱伝導性フィラーを含んでなる第2シート20を、第2シート20の厚み方向における第2熱伝導性フィラーの寸法よりも第2シート20の面方向における第2熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように第2熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程を有する(図4のステップS14、図5(b))。
また、有機樹脂11中の熱伝導性フィラーと第2有機樹脂21中の熱伝導性フィラー(第2熱伝導性フィラー)とは、同一の種類の熱伝導性フィラーであっても良いし、互いに異なる種類の熱伝導性フィラーであっても良い。本実施形態では、有機樹脂11中の熱伝導性フィラーと第2有機樹脂21中の第2熱伝導性フィラーとは、同一の種類の熱伝導性フィラー(熱伝導性フィラー12)であるものとする。
以下、参考形態の例を付記する。
1.薄膜状に形成され且つ硬化状態とされた有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラーを含んでなる複数の第1シートを、前記第1シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第1シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程と、
複数の前記第1シートを、接着剤を介して積層して相互に一体化させることにより、積層体を作製する工程と、
前記積層体をスライスして熱伝導シートを作製する工程と、
を有し、
前記熱伝導シートを作製する工程では、前記積層体を前記第1シートの積層方向に切断することにより、前記熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、前記熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるようにする熱伝導シートの製造方法。
2.薄膜状に形成され且つ半硬化状態とされた第2有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第2熱伝導性フィラーを含んでなる第2シートを、前記第2シートの厚み方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第2シートの面方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記第2熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程を更に有し、
前記積層体を作製する工程では、隣り合う前記第1シート同士の間に、前記接着剤又は前記第2シートが位置するように、前記第1シートと前記第2シートとを積層して、隣り合う前記第1シート同士を前記接着剤又は前記第2シートを介して相互に一体化させることにより、前記積層体を作製し、
前記熱伝導シートを作製する工程では、前記積層体を前記第1シート及び前記第2シートの積層方向に切断する1.に記載の熱伝導シートの製造方法。
3.前記熱伝導性フィラーは、結晶中の六角平面が、鱗片の面方向、楕球の長軸方向又は棒の軸方向に配向している六方晶窒化ホウ素粒子又は黒鉛粒子である1.に記載の熱伝導シートの製造方法。
4.前記有機樹脂は、エポキシ樹脂、ポリイミド又はベンゾオキサジンである1.に記載の熱伝導シートの製造方法。
5.前記第1シートを作製する工程は、
硬化前の前記有機樹脂と前記熱伝導性フィラーとを混練する工程と、
前記熱伝導性フィラーを含有する前記有機樹脂を薄膜形状に成形する工程と、
前記有機樹脂を硬化させる工程と、
を含む1.に記載の熱伝導シートの製造方法。
11 有機樹脂
12 熱伝導性フィラー(第2熱伝導性フィラー)
15 接着剤
20 第2シート
21 第2有機樹脂
30 積層体
40 熱伝導シート
41 四角柱形状部
42 四角柱形状部
43 接合界面
45 密着層
Claims (9)
- エポキシ樹脂またはポリイミドである有機樹脂と、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラーと、を含む樹脂組成物を準備する工程と、
前記樹脂組成物を加熱しながらプレス加工して薄膜形状に成形を行うとともに、前記成形の際、または前記成形の後、加熱することにより、前記有機樹脂をBステージの半硬化状態にして複数のシートを作製する工程と、
複数の前記シートのそれぞれを更に加熱することにより前記有機樹脂を硬化させてCステージの硬化状態として複数の第1シートを作製する工程と、
複数の前記第1シートを、接着剤を介して積層して相互に一体化させることにより、積層体を作製する工程と、
前記積層体をスライスして熱伝導シートを作製する工程と、
を有し、
複数の第1シートを作製する前記工程において、前記第1シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第1シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記熱伝導性フィラーを配向させて前記第1シートを作製し、
前記熱伝導シートを作製する前記工程において、前記積層体を前記第1シートの積層方向に切断することにより、前記熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、前記熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるようにする、
熱伝導シートの製造方法。 - 複数の前記シートを作製する前記工程において、前記有機樹脂を第1所定温度で加熱することによりBステージの前記半硬化状態にし、
複数の前記第1シートを、前記第1所定温度よりも高温の第2所定温度に加熱することにより前記有機樹脂を硬化させてCステージの前記硬化状態とする、
請求項1に記載の熱伝導シートの製造方法。 - 薄膜状に形成され且つ半硬化状態とされた第2有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第2熱伝導性フィラーを含んでなる第2シートを、前記第2シートの厚み方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第2シートの面方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記第2熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程を更に有し、
前記積層体を作製する工程では、隣り合う前記第1シート同士の間に、前記接着剤又は前記第2シートが位置するように、前記第1シートと前記第2シートとを積層して、隣り合う前記第1シート同士を前記接着剤又は前記第2シートを介して相互に一体化させることにより、前記積層体を作製し、
前記熱伝導シートを作製する工程では、前記積層体を前記第1シート及び前記第2シートの積層方向に切断する請求項1または2に記載の熱伝導シートの製造方法。 - 前記熱伝導性フィラーは、結晶中の六角平面が、鱗片の面方向、楕球の長軸方向又は棒の軸方向に配向している六方晶窒化ホウ素粒子又は黒鉛粒子である請求項1から3のいずれか1項に記載の熱伝導シートの製造方法。
- 前記シートを作製する工程は、
硬化前の前記有機樹脂と前記熱伝導性フィラーとを混練する工程を含む請求項1から4のいずれか1項に記載の熱伝導シートの製造方法。 - 薄膜状に形成され且つ硬化状態とされた有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラーを含んでなる複数の第1シートを、前記第1シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第1シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程と、
薄膜状に形成され且つ半硬化状態とされた第2有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第2熱伝導性フィラーを含んでなる第2シートを、前記第2シートの厚み方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法よりも前記第2シートの面方向における前記第2熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように前記第2熱伝導性フィラーを配向させて作製する工程と、
隣り合う複数の前記第1シート同士の間に、接着剤又は前記第2シートが位置するように、前記第1シートと前記第2シートとを積層して、隣り合う前記第1シート同士を前記接着剤又は前記第2シートを介して相互に一体化させることにより、積層体を作製する工程と、
前記積層体をスライスして熱伝導シートを作製する工程と、
を有し、
前記熱伝導シートを作製する工程では、前記積層体を前記第1シート及び前記第2シートの積層方向に切断することにより、前記熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、前記熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるようにする熱伝導シートの製造方法。 - 前記熱伝導性フィラーは、結晶中の六角平面が、鱗片の面方向、楕球の長軸方向又は棒の軸方向に配向している六方晶窒化ホウ素粒子又は黒鉛粒子である請求項6に記載の熱伝導シートの製造方法。
- 前記有機樹脂は、エポキシ樹脂、ポリイミド又はベンゾオキサジンである請求項6または7に記載の熱伝導シートの製造方法。
- 前記第1シートを作製する工程は、
硬化前の前記有機樹脂と前記熱伝導性フィラーとを混練する工程と、
前記熱伝導性フィラーを含有する前記有機樹脂を薄膜形状に成形する工程と、
前記有機樹脂を硬化させる工程と、
を含む請求項6から8のいずれか1項に記載の熱伝導シートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012213149A JP6094119B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | 熱伝導シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012213149A JP6094119B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | 熱伝導シートの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014067924A JP2014067924A (ja) | 2014-04-17 |
JP6094119B2 true JP6094119B2 (ja) | 2017-03-15 |
Family
ID=50744013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012213149A Expired - Fee Related JP6094119B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | 熱伝導シートの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6094119B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102282967B1 (ko) * | 2020-03-24 | 2021-07-28 | 실리콘밸리(주) | 종방향 배열형 열확산시트 및 그 제조방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6574667B2 (ja) * | 2015-10-05 | 2019-09-11 | 積水化学工業株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シート積層体及び熱伝導シート成形体 |
JP2019131705A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 帝人株式会社 | 絶縁熱伝導シートおよびその製造方法 |
JP7103057B2 (ja) * | 2018-08-23 | 2022-07-20 | トヨタ自動車株式会社 | ロータコア及びその製造方法 |
JP7240226B2 (ja) * | 2018-11-21 | 2023-03-15 | 信越化学工業株式会社 | 異方性フィルム |
CN115516570A (zh) * | 2019-07-30 | 2022-12-23 | 快帽系统公司 | 热界面材料 |
KR102452165B1 (ko) * | 2019-11-01 | 2022-10-11 | 세키수이 폴리머텍 가부시키가이샤 | 열전도성 시트 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164481A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-06-07 | Three M Innovative Properties Co | 熱伝導性シート |
JP5217745B2 (ja) * | 2007-08-01 | 2013-06-19 | 日立化成株式会社 | 熱伝導シート及びその製造方法 |
JP2010003981A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Kaneka Corp | 厚み方向にグラファイトが配向した熱伝導シート |
JP5740864B2 (ja) * | 2010-08-03 | 2015-07-01 | 日立化成株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、及び熱伝導シートを用いた放熱装置 |
JP5699556B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2015-04-15 | 日立化成株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、及び放熱装置 |
-
2012
- 2012-09-26 JP JP2012213149A patent/JP6094119B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102282967B1 (ko) * | 2020-03-24 | 2021-07-28 | 실리콘밸리(주) | 종방향 배열형 열확산시트 및 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014067924A (ja) | 2014-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6094119B2 (ja) | 熱伝導シートの製造方法 | |
JP6023474B2 (ja) | 熱伝導性絶縁シート、金属ベース基板及び回路基板、及びその製造方法 | |
JP6161864B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、プリプレグ、積層板、金属基板、及びプリント配線板 | |
JP5698932B2 (ja) | 熱伝導性シート | |
TWI677529B (zh) | 環氧樹脂組成物、薄膜狀環氧樹脂組成物、硬化物及電子裝置 | |
JP2006210597A (ja) | 絶縁シートおよびその製造方法、並びに上記絶縁シートを用いたパワーモジュール | |
JP2009024126A (ja) | ポリマー組成物、熱伝導性シート、金属箔付高熱伝導接着シート、金属板付高熱伝導接着シート、金属ベース回路基板ならびにパワーモジュール | |
JP6559136B2 (ja) | 絶縁シート | |
TW201203477A (en) | Power module | |
JP6123314B2 (ja) | 熱伝導シートおよび熱伝導シートの製造方法 | |
JP2012253167A (ja) | 熱伝導性絶縁シート、金属ベース基板及び回路基板 | |
JPWO2018235920A1 (ja) | 樹脂材料、樹脂材料の製造方法及び積層体 | |
JP6881429B2 (ja) | 積層体およびその製造方法、ならびに二次シートおよび二次シートの製造方法 | |
JP2014150161A (ja) | 熱伝導シートの製造方法および熱伝導シート | |
JPWO2018235919A1 (ja) | 放熱シート、放熱シートの製造方法及び積層体 | |
JP2009130251A (ja) | 絶縁層付きヒートシンクの製造方法 | |
JP5987603B2 (ja) | 熱伝導シートの製造方法 | |
JP2020105412A (ja) | 熱伝導性絶縁接着シート、及び該シートの製造方法 | |
WO2018235918A1 (ja) | 樹脂材料、樹脂材料の製造方法及び積層体 | |
JP2015189884A (ja) | 熱硬化性樹脂組成物、樹脂シート、プリプレグ及び積層板 | |
TW202100716A (zh) | 導熱性樹脂片、積層散熱片、散熱性電路基板、以及功率半導體裝置 | |
JP2014067923A (ja) | 熱伝導シート | |
JPWO2017122350A1 (ja) | エポキシ樹脂組成物、熱伝導材料前駆体、bステージシート、プリプレグ、放熱材料、積層板、金属基板及びプリント配線板 | |
JP5879782B2 (ja) | 熱伝導複合シート及びその製造方法、並びに放熱装置 | |
TW201904366A (zh) | 電路基板的製造方法、電路薄片及電路基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150702 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160419 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160817 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6094119 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |