JP2014067923A - 熱伝導シート - Google Patents

Abstract

【課題】熱伝導性フィラーの配向性が良好で厚み方向において十分な熱伝導性を有する熱伝導シートを提供する。
【解決手段】熱伝導シート４０は、硬化状態とされた有機樹脂１１中に熱伝導性フィラー１２を含んでなる。熱伝導シート４０は、熱伝導性フィラー１２を含む有機樹脂１１からなる複数の四角柱形状部４１を有する。複数の四角柱形状部４１は、互いに並列に配置され且つ互いに接合されて、一枚のシート形状をなしている。各四角柱形状部４１において、シート厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、シート面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導性フィラー１２が配向されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、熱伝導シートに関する。

半導体チップなどの発熱体と、ヒートシンクなどの放熱体と、の間などのように、高い熱伝導性が要求される接合界面に設けられる熱伝導シートが知られている（特許文献１乃至６）。

特許文献１及び２に記載された熱伝導シートの製造方法では、先ず、熱伝導性フィラーの長軸方向が一次シートの面方向に配向された樹脂製の一次シートを作製し、次に、一次シートを積層して成形体を得て、次に、成形体を加熱して硬化させる。そして、一次シートの積層方向に成形体をスライスすることにより、熱伝導性フィラーの長軸方向が熱伝導シートの厚さ方向に配向された熱伝導シートを得る。

また、特許文献３にも特許文献１、２と同様の製造方法が記載されている。ただし、特許文献３に記載された熱伝導シートの製造方法は、成形体を加熱して硬化させる工程を含まない。

更に、特許文献４及び５には、両面又は片面に粘着層が形成された熱伝導シートが記載され、特許文献６には、両面又は片面に絶縁層が形成された熱伝導シートが記載されている。

特開２０１２−３８７６３号公報 特開２０１１−１６２６４２号公報 特開２０１２−１５２７３号公報 特開２０１２−１０９３１３号公報 特開２０１２−１０９３１２号公報 特開２０１１−２３０４７２号公報

上記の製造方法では、樹脂が未硬化の状態の一次シートを積層して成形体を得るため、一次シートの相互間で樹脂が流動し、樹脂の流動につられて熱伝導性フィラーの配向が乱れてしまう。その結果、上記の製造方法により得られる熱伝導シートは、その厚み方向における熱伝導性が不十分となる可能性がある。

本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、熱伝導性フィラーの配向性が良好で厚み方向において十分な熱伝導性を有する熱伝導シートを提供する。

本発明は、硬化状態とされた有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラーを含んでなる熱伝導シートであって、
当該熱伝導シートは、前記熱伝導性フィラーを含む前記有機樹脂からなる複数の四角柱形状部を有し、
前記複数の四角柱形状部は、各々の軸方向に長尺であり、互いに並列となるように当該熱伝導シートの面方向に沿って配置され、且つ、隣り合う前記四角柱形状部の側面同士が直接又は間接に接合されて、一枚のシート形状をなし、
前記複数の四角柱形状部の各々において、当該熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、当該熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるように、前記熱伝導性フィラーが配向されている熱伝導シートを提供する。

この熱伝導シートによれば、複数の四角柱形状部の各々において、熱伝導シートの厚み方向における熱伝導性フィラーの寸法が、熱伝導シートの面方向における熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるように、熱伝導性フィラーが配向されている。すなわち、各々の四角柱形状部内において、熱伝導性フィラーが熱伝導シートの厚み方向に配向されている。よって、熱伝導シートの厚み方向において良好な熱伝導性が得られる。

また、このような構成の熱伝導シートは、個々の四角柱形状部内において熱伝導性フィラーが熱伝導シートの厚み方向に配向されているため、厚み方向において良好な熱伝導性を示す製品を、製造安定性良く、高歩留まりで製造することが可能な構造であるといえる。

本発明によれば、熱伝導シートの厚み方向において良好な熱伝導性が得られる。

第１の実施形態に係る熱伝導シートの模式図であり、このうち（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ部の拡大断面図である。 第１の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法を説明するための図であり、このうち（ａ）はフローチャートを示し、（ｂ）〜（ｆ）の各図は、各工程による成型物を示す模式的な斜視図である。（ｂ）は第１シートを、（ｃ）は第１シートに接着剤を塗布した状態を、（ｄ）は第１シートを接着剤を介して積層する様子を、（ｅ）は積層体を、（ｆ）は熱伝導シートを、それぞれ示す。 第１の実施形態に係る熱伝導シートの他の例を示す模式的な要部断面図である。 第２の実施形態に係る熱伝導シートの模式図であり、このうち（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ部の拡大断面図である。 第２の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法を示すフローチャートである。 第２の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法における各工程による成型物を示す模式的な斜視図であり、このうち（ａ）は第１シートを、（ｂ）は第２シートを、（ｃ）は第１シート及び第２シートを交互に積層する様子を、（ｄ）は積層体を、（ｅ）は熱伝導シートを、それぞれ示す。 第２の実施形態に係る熱伝導シートの他の例を示す模式的な要部断面図である。 第３の実施形態に係る熱伝導シートの模式的な要部断面図である。 第３の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法を示すフローチャートである。 第３の実施形態に係る熱伝導シートの製造方法における各工程による成型物を示す模式的な斜視図であり、このうち（ａ）は第１シートを、（ｂ）は第２シートを、（ｃ）は第１シートに接着剤を塗布した状態を、（ｄ）は第１シート（接着剤無し）と、第２シートと、第１シート（接着剤付き）とを積層する様子を、（ｅ）は積層体を、（ｆ）は熱伝導シートを、それぞれ示す。

以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。

〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係る熱伝導シート４０を示す模式図であり、このうち図１（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ部の拡大断面図である。

図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、本実施形態に係る熱伝導シート４０は、硬化状態とされた有機樹脂１１中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラー１２を含んで構成されている。熱伝導シート４０は、熱伝導性フィラー１２を含む有機樹脂１１からなる複数の四角柱形状部４１を有する。

複数の四角柱形状部４１は、各々の軸方向（四角柱形状における底面の中心と上面の中心とを結ぶ方向）に長尺である。複数の四角柱形状部４１は、互いに並列となるように熱伝導シート４０の面方向に沿って（図１（ａ）、図１（ｂ）において左右方向に）配置され、且つ、隣り合う四角柱形状部４１の側面同士が直接又は間接に接合されて、一枚のシート形状をなしている。

なお、四角柱形状部４１の軸方向に対して直交する方向で、且つ、熱伝導シート４０の面方向における四角柱形状部４１の寸法（図１の左右方向における四角柱形状部４１の寸法）は、例えば、１００μｍ以上２ｍｍ以下とすることができる。

図１（ｃ）に示すように、複数の四角柱形状部４１の各々において、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、当該熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導性フィラー１２が配向されている。以下、このような向きに熱伝導性フィラー１２が配向されていることを、熱伝導シート４０の厚み方向に配向されている、或いは、単に、厚み方向に配向されているなどという。すなわち、複数の四角柱形状部４１の各々において、熱伝導性フィラー１２が熱伝導シート４０の厚み方向（図１（ｃ）における上下方向）に配向されている。

なお、ここで言う熱伝導性フィラー１２の配向は、必ずしも四角柱形状部４１内のすべての熱伝導性フィラー１２について、熱伝導シート４０の厚み方向に配向されていることを意味する訳ではない。例えば、四角柱形状部４１内の熱伝導性フィラー１２の６０％以上が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されていること、四角柱形状部４１内の熱伝導性フィラー１２の７０％以上が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されていること、或いは、四角柱形状部４１内の熱伝導性フィラー１２の８０％以上が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されていることなど、四角柱形状部４１内のある一定割合以上（ただし過半数以上）の熱伝導性フィラー１２が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されていることを意味する。

熱伝導シート４０は、隣り合う四角柱形状部４１間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していないことが好ましい。また、熱伝導シート４０は、隣り合う四角柱形状部４１どうしの接合部（接着層）のうち、少なくとも何れか１つの接合部において、隣り合う四角柱形状部４１間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していないことが好ましい。

熱伝導性フィラー１２の材質は、熱伝導性が良好で、有機樹脂１１の硬化処理を経ても所定の形状に維持されるものであれば良い。

熱伝導シート４０は、その厚み方向に電気伝導性を有するものであっても良いし、絶縁性のものであっても良い。厚み方向に電気伝導性を有する熱伝導シート４０を作製する場合、熱伝導性フィラー１２としては、導電性のものを用いることが好ましい。絶縁性の熱伝導シート４０を作製する場合、熱伝導性フィラー１２としては、絶縁性のものを用いる。

熱伝導性フィラー１２は、鱗片状、楕球状又は棒状の形状のものである。より具体的には、例えば、熱伝導性フィラー１２は、結晶中の六角平面が、鱗片の面方向、楕球の長軸方向又は棒の軸方向に配向している六方晶窒化ホウ素粒子又は黒鉛粒子である。或いは、熱伝導性フィラー１２は、鱗片状のアルミナであっても良い。熱伝導性フィラー１２の粒径（熱伝導性フィラー１２の個々の粒子の最大寸法）は、例えば、８μｍ以上１５０μｍ以下とすることができる。

有機樹脂１１は、エポキシ樹脂、ポリイミド又はベンゾオキサジンであることが挙げられる。エポキシ樹脂は、ビスフェノールＡ型又はビスフェノールＦ型の何れでも良い。エポキシ樹脂は、硬化剤として、イミダゾール、アミン又はフェノール化合物を含有している。

本実施形態の場合、隣り合う四角柱形状部４１の側面同士は、接着剤１５からなる層（以下、接着層という）を介して相互に接合されている。すなわち、本実施形態の場合、隣り合う四角柱形状部４１の側面同士は間接的に接合されている

接着層の内部には、熱伝導性フィラー１２が存在していない。すなわち、隣り合う四角柱形状部４１同士が、熱伝導性フィラー１２を含まない接着層を介して相互に接合されている。なお、熱伝導シート４０の面方向における接着層の厚み（図１の左右方向における接着層の寸法）は、同方向における四角柱形状部４１の寸法よりも小さい。

接着剤１５は、例えば、硬化剤を含有するエポキシ樹脂又はポリイミドなどからなる。

熱伝導シート４０の厚さは、例えば、５０μｍ以上２５０μｍ以下とすることができ、好ましくは、１８０μｍ程度とすることができる。

熱伝導シート４０は、例えば、発熱体（半導体チップなど）と放熱体（ヒートシンクなど）との間などのように、高い熱伝導性が要求される接合界面に設けられ、発熱体から放熱体への熱伝導を促進する。なお、熱伝導シート４０を有する具体的な半導体装置構造の一例としては、例えば、半導体チップが配線基板（インターポーザ）上に搭載され、且つ、この配線基板がヒートシンク上に搭載されており、半導体チップと配線基板との接合界面、並びに、配線基板とヒートシンクとの接合界面に、それぞれ熱伝導シート４０を設けた構造が挙げられる。

次に、上記のような構造の熱伝導シート４０を製造する方法の一例を説明する。

図２は熱伝導シート４０を製造する方法を説明するための図である。このうち（ａ）はフローチャートを示し、（ｂ）〜（ｆ）の各図は、各工程による成型物を示す模式的な斜視図である。これらのうち（ｂ）は第１シート１０を、（ｃ）は第１シート１０に接着剤１５を塗布した状態を、（ｄ）は第１シート１０を接着剤１５を介して積層する様子を、（ｅ）は積層体３０を、（ｆ）は熱伝導シート４０を、それぞれ示す。

この製造方法は、以下の（１）〜（３）の工程を有する。
（１）薄膜状に形成され且つ硬化状態とされた有機樹脂１１中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラー１２を含んでなる複数の第１シート１０を作製する工程（図２（ａ）のステップＳ２及びＳ３、図２（ｂ））。ここで、第１シート１０は、第１シート１０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも第１シート１０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法の方が大きくなるように熱伝導性フィラー１２を配向させて作製する。
（２）複数の第１シート１０を、接着剤１５を介して積層して相互に一体化させることにより、積層体３０を作製する工程（図２（ａ）のステップＳ４〜Ｓ６、図２（ｃ）〜（ｅ））。
（３）積層体３０をスライスして熱伝導シート４０を作製する工程（図２（ａ）のステップＳ７、図２（ｆ））。熱伝導シート４０を作製する工程では、積層体３０を第１シート１０の積層方向に切断する。これにより、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるようにする。
以下、詳細に説明する。

先ず、第１シート１０の材料である熱伝導性フィラー１２と有機樹脂１１とを準備する。

次に、硬化前、且つ半硬化前の有機樹脂１１と多数の熱伝導性フィラー１２とを混合し、有機樹脂１１中に熱伝導性フィラー１２が均一に存在するように混練する（図２（ａ）のステップＳ１）。以下、有機樹脂１１と多数の熱伝導性フィラー１２とを混練することにより得られたものを混練物（または樹脂組成物）と称する。

次に、第１シート１０を作製する。第１シート１０は、上記混練物、すなわち熱伝導性フィラー１２を含有する有機樹脂１１を薄膜形状に成形した後、当該有機樹脂１１を硬化させることにより得られる（図２（ａ）のステップＳ２及びステップＳ３）。有機樹脂１１として、エポキシ樹脂やポリイミドを用いる場合、有機樹脂１１を薄膜形状に成形した後、当該有機樹脂１１をＣステージにすることにより、第１シート１０が得られる。

ここで、プレス成形などによって上記混練物を薄膜形状に成形する。これにより、第１シート１０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも、第１シート１０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法の方が大きくなるように、第１シート１０内における熱伝導性フィラー１２が配向される。以下、このような向きに熱伝導性フィラー１２を配向することを、面方向に配向する、などという。

なお、ここで言う熱伝導性フィラー１２の配向は、必ずしも第１シート１０内のすべての熱伝導性フィラー１２について、面方向に配向されていることを意味する訳ではない。例えば、第１シート１０内の熱伝導性フィラー１２の６０％以上が面方向に配向されていること、第１シート１０内の熱伝導性フィラー１２の７０％以上が面方向に配向されていること、或いは、第１シート１０内の熱伝導性フィラー１２の８０％以上が面方向に配向されていることなど、第１シート１０内のある一定割合以上（ただし過半数以上）の熱伝導性フィラー１２が面方向に配向されていることを意味する。

なお、上記混練物を薄膜形状に成形する方法は、プレス成形に限らず、圧延成形、押出成形、又は塗布成形であっても良い。

図２（ａ）のステップＳ２において、例えば、上記混練物を薄膜形状に成形する際に、或いは、上記混練物を薄膜形状に成形した後で、第１シート１０を構成する有機樹脂１１を第１所定温度に加熱することにより、当該有機樹脂１１を半硬化状態にする。すなわち、有機樹脂１１として、エポキシ樹脂やポリイミドを用いる場合、有機樹脂１１をＢステージにする。具体的には、例えば、加熱しながらプレス加工を行うことなどにより、上記混練物を薄膜形状に成形しつつ、第１シート１０を構成する有機樹脂１１を半硬化状態にする。

その後、第１シート１０を構成する有機樹脂１１を更に加熱（上記第１所定温度よりも高温の第２所定温度に加熱）することにより、当該有機樹脂１１を硬化させる。すなわち、有機樹脂として、エポキシ樹脂やポリイミドを用いる場合、当該有機樹脂１１をＣステージにする。これにより、第１シート１０が得られる（図２（ａ）のステップＳ３）。この際に、第１シート１０の平坦性を良好にするため、例えば、平坦な一対の加熱加圧板を用いて第１シート１０を加熱加圧成形することが好ましい。
以上のようにして、複数枚の第１シート１０（図２（ｂ））を作製する。
第１シート１０の厚さは、例えば、５０μｍ以上２ｍｍ以下とすることができる。

次に、第１シート１０に接着剤１５を塗布する（図２（ａ）のステップＳ４、図２（ｃ））。ここで、第１シート１０の片面の全面に接着剤１５を塗布しても良いし、第１シート１０の両面の全面に接着剤１５を塗布しても良い。或いは、第１シート１０の片面又は両面の複数箇所にスポット的に接着剤１５を塗布しても良い。或いは、予めシート状に形成された接着剤１５を第１シート１０の片面又は両面に貼り付けても良い。なお、積層体３０の最上層又は最下層となる第１シート１０については、接着剤１５を塗布（或いは貼り付け）しなくても良い。

接着剤１５としては、例えば、硬化剤を含有するエポキシ樹脂又はポリイミドを用いることができる。

次に、複数の第１シート１０を、隣り合う第１シート１０同士の間に接着剤１５が位置するように積層する（図２（ａ）のステップＳ５、図２（ｄ））。

次に、積層された第１シート１０を、それらの積層方向にプレス加工（加熱加圧成形）することにより、接着剤１５を硬化させる。これにより、隣り合う第１シート１０同士を、接着剤１５を介して相互に一体化させて、直方体形状の積層体３０を成形する（図２（ａ）のステップＳ６、図２（ｅ））。

次に、積層体３０を第１シート１０の積層方向に切断（スライス）することにより、熱伝導シート４０を作製する（図２（ａ）のステップＳ７、図２（ｆ））。ここで、積層体３０をスライスする方法としては、カンナを用いてスライスする方法や、その他の切断刃によりスライスする方法が挙げられる。

これにより、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導シート４０内における熱伝導性フィラー１２が配向される。すなわち、熱伝導性フィラー１２が厚み方向に配向される。なお、四角柱形状部４１は、第１シート１０の一部分からなる。

ここで、上記の製造方法においては、硬化状態の有機樹脂１１中に熱伝導性フィラー１２を含む第１シート１０を、接着剤１５を介して積層して相互に一体化させることにより、積層体３０を作製し、その積層体３０をスライスして熱伝導シート４０を作製する。
このため、積層体３０を作製する段階において、硬化状態の第１シート１０の内部において熱伝導性フィラー１２の配向性を維持できる。
これにより、積層体３０内における熱伝導性フィラー１２の配向性を良好にできる。その結果、積層体３０を積層方向にスライスすることにより得られる熱伝導シート４０における熱伝導性フィラー１２の配向性も良好にでき、熱伝導シート４０の厚み方向において、十分な熱伝導性が得られる。

図３は第１の実施形態に係る熱伝導シート４０の他の例を示す模式的な要部断面図である。
図３に示すように、熱伝導シート４０は、図１に示す構成に加えて、表裏両面にそれぞれ形成された密着層４５を有していても良い。この密着層４５は、熱伝導シート４０の設置面に対する熱伝導シート４０の密着性を良好にするために設けられる。

密着層４５の材質としては、例えば、（メタ）アクリル酸ブチル、又は（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等の（メタ）アクリル酸エステルなどが挙げられる。なお、密着層４５は、熱伝導シート４０の何れか一方の面にのみ形成されていても良い。

熱伝導シート４０が密着層４５を有する場合、密着層４５の厚さは、熱伝導シート４０における密着層４５を除く部分の厚さよりも薄い。密着層４５の厚さは、例えば、５μｍ以上２０μｍ以下とすることができ、好ましくは、１０μｍ程度とすることができる。

以上のような第１の実施形態によれば、複数の四角柱形状部４１の各々において、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導性フィラー１２が配向されている。各々の四角柱形状部４１内において、熱伝導性フィラー１２が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されている。よって、熱伝導シート４０の厚み方向において良好な熱伝導性が得られる。つまり、個々の四角柱形状部４１の限られた空間内に熱伝導性フィラー１２が閉じ込められているため、熱伝導シート４０の高い熱伝導性を実現できる。

また、このような構成の熱伝導シート４０は、個々の四角柱形状部４１内において熱伝導性フィラー１２が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されているため、厚み方向において良好な熱伝導性を示す製品を、製造安定性良く、高歩留まりで製造することが可能な構造であるといえる。

なお、隣り合う四角柱形状部４１間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していない構造の場合、各々の四角柱形状部４１内における熱伝導性フィラー１２の配向性が極めて良好であることを意味する。よって、熱伝導シート４０の厚み方向において極めて良好な熱伝導性が得られる。
少なくとも何れか１つの接合部（接着層）において、隣り合う四角柱形状部４１間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していない構造の場合にも、同様の理由から、熱伝導シート４０の厚み方向において極めて良好な熱伝導性が得られる。

〔第２の実施形態〕
図４は実施形態に係る熱伝導シート４０を示す模式図であり、このうち図４（ａ）は斜視図、図４（ｂ）は正面図、図４（ｃ）は図４（ｂ）のＡ部の拡大断面図である。

本実施形態の場合、隣り合う四角柱形状部同士が直接接着されている。すなわち、本実施形態に係る熱伝導シート４０は、第１の実施形態における接着層を有していない。

本実施形態の場合、熱伝導シート４０は、第１の四角柱形状部（四角柱形状部４１）と、第２の四角柱形状部（四角柱形状部４２）と、交互に有している。四角柱形状部４１の構造については、上述したとおりである。

また、四角柱形状部４２は、四角柱形状部４１と同様のものである。四角柱形状部４２は、熱伝導性フィラー１２を含む有機樹脂２１からなり、四角柱形状部４１と同形状に形成されている。図４（ｃ）に示すように、複数の四角柱形状部４２の各々において、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導性フィラー１２が配向されている。すなわち、複数の四角柱形状部４２の各々において、熱伝導性フィラー１２が熱伝導シート４０の厚み方向に配向されている。

複数の四角柱形状部４１と複数の四角柱形状部４２とが、互いに並列となるように熱伝導シート４０の面方向に沿って配置され、且つ、隣り合う四角柱形状部４１、４２の側面同士が直接に接着されて、一枚のシート形状をなしている。
より具体的には、四角柱形状部４２が、隣り合う四角柱形状部４１同士を相互に接着している。
四角柱形状部４１と四角柱形状部４２との境界には、例えば、平坦な接合界面４３が形成されている。

本実施形態においても、熱伝導シート４０は、隣り合う四角柱形状部間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していないことが好ましい。また、熱伝導シート４０は、隣り合う四角柱形状部４１どうしの接合部である接合界面４３のうち、少なくとも何れか１つの接合界面４３において、隣り合う四角柱形状部４１間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していないことが好ましい。

次に、第２の実施形態の構造の熱伝導シート４０を製造する方法の一例を説明する。

図５は第２の実施形態に係る熱伝導シート４０を製造する方法を示すフローチャートである。
図６はこの製造方法における各工程による成型物を示す模式図であり、このうち図６（ａ）は第１シート１０を示す斜視図、図６（ｂ）は第２シート２０を示す斜視図、図６（ｃ）は第１シート２０及び第２シート２０を交互に積層する様子を示す分解斜視図、図６（ｄ）は積層体を示す斜視図、図６（ｅ）は熱伝導シートを示す斜視図である。なお、図６（ａ）に示す第１シート１０は、第１の実施形態の図２（ｂ）に示すものと同じである。

この製造方法は、以下の（１）〜（５）の工程を有する。
（１）薄膜状に形成され且つ硬化状態とされた第１有機樹脂１１中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第１熱伝導性フィラー（熱伝導性フィラー１２）を含んでなる複数の第１シート１０を作製する工程（図５のステップＳ２及びＳ３、図６（ａ））。ここで、第１シート１０は、第１シート１０の厚み方向における第１熱伝導性フィラーの寸法よりも第１シート１０の面方向における第１熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように第１熱伝導性フィラーを配向させて作製する。
（２）薄膜状に形成され且つ半硬化状態とされた第２有機樹脂２１中に、鱗片状、楕球状又は棒状の第２熱伝導性フィラー（熱伝導性フィラー１２）を含んでなる複数の第２シート２０を作製する工程（図５のステップＳ１４、図６（ｂ））。ここで、第２シート２０は、第２シート２０の厚み方向における第２熱伝導性フィラーの寸法よりも第２シート２０の面方向における第２熱伝導性フィラーの寸法の方が大きくなるように第２熱伝導性フィラーを配向させて作製する。
ここで、第１有機樹脂１１と第２有機樹脂２１とは、同一の種類の有機樹脂であっても良いし、互いに異なる種類の有機樹脂であっても良い。本実施形態では、第１有機樹脂１１と第２有機樹脂２１とが同一の種類の有機樹脂であるものとする。
また、第１有機樹脂１１中の第１熱伝導性フィラーと第２有機樹脂２１中の第２熱伝導性フィラーとは、同一の種類の熱伝導性フィラーであっても良いし、互いに異なる種類の熱伝導性フィラーであっても良い。本実施形態では、第１有機樹脂１１中の第１熱伝導性フィラーと第２有機樹脂２１中の第２熱伝導性フィラーとは、同一の種類の熱伝導性フィラー（熱伝導性フィラー１２）であるものとする。
（３）第１シート１０と第２シート２０とを交互に積層する工程（図５のステップＳ１５、図６（ｃ））。
（４）第２有機樹脂２１を硬化させることによって、隣り合う第１シート１０同士を第２シート２０を介して相互に一体化させて、積層体３０を作製する工程（図５のステップＳ１６、図６（ｄ））。
（５）積層体３０をスライスして熱伝導シート４０を作製する工程（図５のステップＳ１７、図６（ｅ））。熱伝導シート４０を作製する工程では、積層体３０を第１シート１０及び第２シート２０の積層方向に切断する。これにより、熱伝導シート４０の厚み方向における第１熱伝導性フィラーの寸法及び第２熱伝導性フィラーの寸法が、熱伝導シート４０の面方向における第１熱伝導性フィラーの寸法及び第２熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるようにする。
以下、詳細に説明する。

先ず、第１シート１０及び第２シート２０の材料である熱伝導性フィラー１２と有機樹脂（第１有機樹脂１１、第２有機樹脂２１）とを準備する。

次に、硬化前、且つ半硬化前の有機樹脂と多数の熱伝導性フィラー１２とを混合し、有機樹脂中に熱伝導性フィラー１２が均一に存在するように混練し、混練物（樹脂組成物）を得る（図５のステップＳ１）。

次に、第１シート１０と第２シート２０とを作製する。

第１シート１０については、上記混練物を用いて、第１の実施形態と同様の方法により作製する（図５のステップＳ２及びステップＳ３）。ここで、熱伝導性フィラー１２が第１シート１０の面方向に配向されている。

一方、第２シート２０は、上記混練物、すなわち熱伝導性フィラー１２を含有する有機樹脂（第２有機樹脂２１）を薄膜形状に成形した後、当該有機樹脂を半硬化させることにより得られる（図５のステップＳ１４）。有機樹脂として、エポキシ樹脂やポリイミドを用いる場合、有機樹脂を薄膜形状に成形した後、当該有機樹脂をＢステージにすることにより、第２シート２０が得られる。第２シート２０の作製は、第１シート１０の作製におけるステップＳ２と同様の処理、すなわち、プレス成形などによって上記混練物を薄膜形状に成形する処理により行う。
これにより、第２シート２０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも、第２シート２０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法の方が大きくなるように、第２シート２０内における熱伝導性フィラー１２が配向される。すなわち、第２シート２０内においても、熱伝導性フィラー１２が面方向に配向される。

なお、ここで言う熱伝導性フィラー１２の配向は、必ずしも第２シート２０内のすべての熱伝導性フィラー１２について、面方向に配向されていることを意味する訳ではない。例えば、第２シート２０内の熱伝導性フィラー１２の６０％以上が面方向に配向されていること、第２シート２０内の熱伝導性フィラー１２の７０％以上が面方向に配向されていること、或いは、第２シート２０内の熱伝導性フィラー１２の８０％以上が面方向に配向されていることなど、第２シート２０内のある一定割合以上（ただし過半数以上）の熱伝導性フィラー１２が面方向に配向されていることを意味する。

以上にようにして、第１シート１０（図６（ａ））と第２シート２０（図６（ｂ））とをそれぞれ複数枚ずつ作製する。

第１シート１０及び第２シート２０の厚さは、例えば、５０μｍ以上２ｍｍ以下とすることができる。

次に、第１シート１０と第２シート２０とを交互に積層する（図５のステップＳ１５）。ここで、図６（ｃ）に示すように、積層体３０の最上層と最下層がそれぞれ第１シート１０となるように、第１シート１０と第２シート２０とを交互に積層する。

次に、積層された第１シート１０及び第２シート２０を、それらの積層方向にプレス加工（加熱加圧成形）することにより、第２シート２０を構成する有機樹脂（第２有機樹脂２１）を硬化させる。これにより、隣り合う第１シート１０同士を、第２シート２０を介して相互に一体化させて、直方体形状の積層体３０を成形する（図５のステップＳ１６、図６（ｄ））。ここで、第２シート２０を構成する有機樹脂は、第１シート１０同士を接着する接着剤として機能する。

次に、積層体３０を第１シート１０及び第２シート２０の積層方向に切断（スライス）することにより、熱伝導シート４０を作製する（図５のステップＳ１７、（図６（ｅ））。ここで、積層体３０をスライスする方法は、第１の実施形態と同じである。

これにより、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導シート４０内における熱伝導性フィラー１２が配向される。すなわち、熱伝導性フィラー１２が厚み方向に配向される。なお、四角柱形状部４１は、第１シート１０の一部分からなり、四角柱形状部４２は、第２シート２０の一部分からなる。

ここで、上記の製造方法においては、硬化状態の第１有機樹脂１１中に熱伝導性フィラー１２を含む第１シート１０と、半硬化状態の第２有機樹脂２１中に熱伝導性フィラー１２を含む第２シート２０とを交互に積層した後で、第２シート２０の第２有機樹脂２１を硬化させることにより隣り合う第１シート１０同士を第２シート２０を介して相互に一体化させて積層体３０を作製し、その積層体３０をスライスして熱伝導シート４０を作製する。
このため、積層体３０を作製する段階において、硬化状態の第１シート１０の内部において熱伝導性フィラー１２の配向性を維持できるだけでなく、各第１シート１０は、第２シート２０の内部の熱伝導性フィラー１２の配向性を維持する機能も兼ねる。すなわち、各第１シート１０は、第２シート２０の内部の熱伝導性フィラー１２が第２有機樹脂２１の流動につられて隣接する第１シート１０側に移動することによる熱伝導性フィラー１２の配向の乱れを規制することで、第２シート２０内の熱伝導性フィラー１２の配向性を維持する。
これにより、積層体３０内における熱伝導性フィラー１２の配向性を良好にできる。その結果、積層体３０を積層方向にスライスすることにより得られる熱伝導シート４０における熱伝導性フィラー１２の配向性も良好にでき、熱伝導シート４０の厚み方向において、十分な熱伝導性が得られる。

図７は第２の実施形態に係る熱伝導シート４０の他の例を示す模式的な要部断面図である。
図７に示すように、本実施形態に係る熱伝導シート４０は、図４に示す構成に加えて、表裏両面にそれぞれ形成された密着層４５を有していても良い。この密着層４５は、第１の実施形態の密着層４５と同様のものである。

第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、隣り合う四角柱形状部同士が直接接着されている。すなわち、熱伝導シート４０は、熱伝導性フィラー１２を含まない接着層を有していない。これにより、熱伝導シート４０の全体における熱伝導性フィラー１２の含有率を第１の実施形態よりも高めることができるとともに、熱伝導シート４０の全体における熱伝導性フィラー１２の分布を第１の実施形態よりも均一にできる。よって、熱伝導シート４０の熱伝導性を第１の実施形態よりも均一にすることができる。

〔第３の実施形態〕
図８は実施形態に係る熱伝導シート４０の例を示す模式的な要部断面図である。

本実施形態に係る熱伝導シート４０は、複数の四角柱形状部４１と、１つ以上の四角柱形状部４２と、接着剤１５からなる接着層と、を有する。複数の四角柱形状部４１と１つ以上の四角柱形状部４２とが、互いに並列となるように熱伝導シート４０の面方向に沿って（図８では左右方向に）配列されている。隣り合う四角柱形状部４１どうしの間には、接着剤１５からなる接着層（熱伝導性フィラー１２を含まない接着層）、又は、四角柱形状部４２が存在している。隣り合う四角柱形状部４１同士は、接着層又は四角柱形状部４２を介して相互に接合されている。
なお、熱伝導シート４０は、密着層４５を有していても良いし、有していなくても良い。密着層４５を有する場合、熱伝導シート４０の表裏両面に密着層４５を有していても良いし、片面にのみ密着層４５を有していても良い。

本実施形態においても、熱伝導シート４０は、隣り合う四角柱形状部間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していないことが好ましい。また、熱伝導シート４０は、隣り合う四角柱形状部どうしの接合部（接着層又は接合界面４３）のうち、少なくとも何れか１つの接合部において、隣り合う四角柱形状部間にまたがって配置された熱伝導性フィラー１２を有していないことが好ましい。

次に、第３の実施形態の構造の熱伝導シート４０を製造する方法の一例を説明する。

図９は第３の実施形態に係る熱伝導シート４０を製造する方法を示すフローチャートである。
図１０はこの製造方法における各工程による成型物を示す模式的な斜視図である。このうち図１０（ａ）は第１シート１０を、図１０（ｂ）は第２シート２０を、図１０（ｃ）は第１シート１０に接着剤１５を塗布した状態を、図１０（ｄ）は第１シート１０（接着剤１５無し）と、第２シート２０と、第１シート１０（接着剤１５付き）とを積層する様子を、図１０（ｅ）は積層体３０を、図１０（ｆ）は熱伝導シート４０を、それぞれ示す。なお、図１０（ａ）に示す第１シート１０、及び、図１０（ｃ）に示す接着剤１５付きの第１シート１０は、第１の実施形態の図２（ｂ）、図２（ｃ）に示すものとそれぞれ同じである。また、図１０（ｂ）に示す第２シート２０は、第２の実施形態の図６（ｂ）に示すものと同じである。

この製造方法は、半硬化状態の第２シート２０を作製する点（図９のステップＳ１４）と、隣り合う第１シート１０同士の間に接着剤１５又は第２シート２０が位置するように、第１シート１０と第２シート２０とを積層する点（図９のステップＳ２６）で、第１の実施形態と相違し、その他の点では、第１の実施形態と同様である。

本実施形態の場合、複数枚の第１シート１０と、１枚以上の第２シート２０とを作製した後、一部の第１シート１０に対して、第１の実施形態と同様に接着剤１５を塗布或いは貼り付ける（図９のステップＳ２５、図１０（ｃ））。

次に、隣り合う第１シート１０同士の間に接着剤１５又は第２シート２０が位置するように、第１シート１０と第２シート２０とを積層する（図９のステップＳ２６、図１０（ｄ））。なお、第１シート１０において、第２シート２０に対して対向する（接する）面には、接着剤１５を設けておく必要がない。ここで、積層体３０の最上層と最下層がそれぞれ第１シート１０となるように、（積層体３０の最上層及び最下層に第２シート２０が位置しないように）第１シート１０と第２シート２０とを積層する。

次に、積層された第１シート１０及び第２シート２０を、それらの積層方向にプレス加工（加熱加圧成形）することにより、接着剤１５と、第２シート２０を構成する有機樹脂（第２有機樹脂２１）と、を硬化させる。これにより、隣り合う第１シート１０同士を接着剤１５又は第２シート２０を介して相互に一体化させることにより、直方体形状の積層体３０を作製する（図９のステップＳ２７、（図１０（ｅ））。ここで、接着剤１５だけでなく、第２シート２０を構成する第２有機樹脂２１も、第１シート１０同士を接着する接着剤として機能する。

次に、積層体３０を第１シート１０及び第２シート２０の積層方向に切断（スライス）することにより、熱伝導シート４０を作製する（図９のステップＳ２８、（図１０（ｆ））。

これにより、熱伝導シート４０の厚み方向における熱伝導性フィラー１２の寸法が、熱伝導シート４０の面方向における熱伝導性フィラー１２の寸法よりも大きくなるように、熱伝導シート４０内における熱伝導性フィラー１２が配向される。

ここで、上記の製造方法においては、積層体３０を作製する際に、一部の層（第２シート２０）については、半硬化状態のものを用いるため（予め硬化状態にしておく必要がないため）、第１の実施形態と比べて、工程の短縮化が期待できる。

以上のような第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、一部の四角柱形状部については、隣の四角柱形状部に対して直接接着された構造となる。このため、熱伝導シート４０の全体における熱伝導性フィラー１２の含有率を第１の実施形態よりも高めることができるとともに、熱伝導シート４０の全体における熱伝導性フィラー１２の分布を第１の実施形態よりも均一にできる。よって、熱伝導シート４０の熱伝導性を第１の実施形態よりも均一にすることができる。

（実施例１）
次に、実施例１を説明する。実施例１では、上記の第１の実施形態の構造の熱伝導シート４０を作製した。

（樹脂組成物の調整）
熱伝導性フィラー１２としては、板状（鱗片状）の窒化ホウ素粉末「ＰＴ−１１０（商品名）」（モメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン合同会社製、平均粒径：４５μｍ、長軸方向と短軸方向の比率：２０）を用いた。ここで、平均粒径とは、窒化ホウ素粉末の板面方向における長手寸法（最大寸法）の平均値を意味する。また、長軸方向と短軸方向の比率とは、板状の窒化ホウ素粉末の板厚と、窒化ホウ素粉末の板面方向における長手寸法（最大寸法）と、の比率を意味する。すなわち、窒化ホウ素粉末の平均的な形状は、板厚が１に対して、板面方向における長手寸法（最大寸法）が２０である。
有機樹脂は、４，４'−ジアミノベンズアニリド（三井化学ファイン社製）と、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂「８３０Ｓ（商品名）」（ＤＩＣ社製、エポキシ当量１７０）とにより作製した。
具体的には、６６．０ｇの上記窒化ホウ素粉末と、８．５ｇの上記４，４'−ジアミノベンズアニリドと、２５．５ｇの上記ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂とを、１２０℃に加熱して混練することによって樹脂組成物を調製した（図２（ａ）のステップＳ１に相当）。

（一次シートの調整）
先に調製した樹脂組成物を、離型処理した一対のＰＥＴフィルムにより挟み込み、プレス機を用いて、ツール圧１０ＭＰａ、ツール温度１２０℃の条件下で、一対のＰＥＴフィルムを挟み込むようにして１０秒間にわたってプレスすることにより、厚さが１．０ｍｍの一次シートを得た。すなわち、一次シートは、一方のＰＥＴフィルムと、当該ＰＥＴフィルム上に形成された上記樹脂組成物の薄膜と、当該薄膜上に位置する他方のＰＥＴフィルムと、からなる。この操作を繰り返すことによって、多数枚の一次シートを作製した。ここで、この一次シートを構成する有機樹脂は、上記条件でプレス加工することによって、半硬化状態となった（Ｂステージとなった）（図２（ａ）のステップＳ２に相当）。

（１次シートの成形）
先に調整した１．０ｍｍの一次シートの両面のＰＥＴフィルムをはがし、一次シートを１辺が１０ｃｍの正方形の小片に切り分けた。更に、このように切り分けた一次シートの上下両面に厚さ１８μｍの電解銅箔（古河サーキットホイル社製、ＧＴＳＭＰ）をそれぞれ重ねて、圧力１０ＭＰａ、温度２２０℃で１８０分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張板を得た。ここで、この両面銅張板を構成する有機樹脂は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった（Ｃステージとなった）。次に、この両面銅張板をエッチング処理することにより、両面銅張板から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ０．９ｍｍのシート成形体である第１シート１０を作製した（図２（ａ）のステップＳ３に相当）。
なお、ここで一次シートの両面に銅箔を貼る理由は、加熱加圧成形の際に、加圧面に一次シートが貼り付いてしまうことを防止する（加圧後の離型を容易にする）ためである。

（接着剤組成物の調整）
球状のアルミナ粉末「スミコランダムＡＡ−３（商品名）」（住友化学社製、平均粒径：３μｍ）を４７．０ｇと、アリル変性フェノールノボラック「ＭＥＨ−８０００（商品名）」（明和化成社製、水酸基当量１４０）を２３．７ｇと、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂「８３０Ｓ（商品名）」（ＤＩＣ社製、エポキシ当量１７０）を２９．２ｇと、２−エチル−４−メチルイミダゾール「２Ｅ４ＭＺ（商品名）」（四国化成社製）を０．１ｇとを、室温でディスパーザーを用いて撹拌し、接着剤組成物を調製した。

（接着剤組成物の塗布）
先に成形した厚さ０．９ｍｍの第１シート１０の両面に、バーコーターを用いて、先に調整した接着剤組成物を５０μｍの厚みで塗工し、厚さ１．０ｍｍの接着剤つき第１シート１０を作製した（図２（ａ）のステップＳ４に相当）。

（積層体の作製）
次に、上記で得られた接着剤つき第１シート１０を２０枚積層した。なお、各第１シート１０の外形線が平面視において一致するように、各第１シート１０の位置を揃えて積層した（図２（ａ）のステップＳ５に相当）。
更に、最下層の第１シート１０の下面及び最上層の第１シート１０の上面にそれぞれ厚さ１８μｍの電解銅箔（古河サーキットホイル社製、ＧＴＳＭＰ）を重ねた後、圧力１０ＭＰａ、温度２２０℃で１８０分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張積層体を得た。ここで、接着剤は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった（Ｃステージとなった）。その結果、隣り合う第１シート１０同士が、それらの間の接着剤を介して相互に一体化した（図２（ａ）のステップＳ６に相当）。
次に、この両面銅張積層体をエッチング処理することにより、両面銅張積層体から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ２ｃｍの積層体３０を作製した。
なお、ここで最下層の第１シート１０の下面及び最上層の第１シート１０の上面に銅箔を貼る理由は、加熱加圧成形の際に、加圧面に第１シート１０が貼り付いてしまうことを防止する（加圧後の離型を容易にする）ためである。

（熱伝導シートの作製（積層体のスライス））
次に、積層体３０を第１シート１０の積層方向に切断（スライス）した。具体的には、積層体３０の１ｃｍ×２ｃｍの積層断面をカンナ（スリット部からの刃部の突出長さ：０．３４ｍｍ）を用いてスライス（第１シート１０のシート面の法線に対し０度の角度でスライス）し、縦１ｃｍ、横２ｃｍ、厚さ０．５ｍｍの熱伝導シート４０を得た（図２（ａ）のステップＳ７に相当）。

（比較例）
次に、比較例を説明する。

（樹脂組成物の調整）
上記の実施例１と同じ方法で樹脂組成物を調整した。

（１次シートの調整）
上記の実施例１と同じ方法で多数枚の一次シートを作製した。すなわち、この一次シートを構成する有機樹脂は、半硬化状態となった（Ｂステージとなった）。

（１次シートの成形）
先に調整した１．０ｍｍの一次シートのＰＥＴフィルムをはがし、一次シートを１辺が１０ｃｍの正方形の小片に切り分けた。

（積層体の作製）
次に、上記のように切り分けた一次シートを２２枚重ねた。なお、各一次シートの外形線が平面視において一致するように、各一次シートの位置を揃えて積層した。
更に、最下層の一次シートの下面及び最上層の一次シートの上面にそれぞれ厚さ１８μｍの電解銅箔（古河サーキットホイル社製、ＧＴＳＭＰ）を重ねた後、圧力１０ＭＰａ、温度２２０℃で１８０分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張積層体を得た。ここで、この両面銅張積層体の各一次シートを構成する有機樹脂は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった（Ｃステージとなった）。
次に、この両面銅張積層体をエッチング処理することにより、両面銅張積層体から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ２ｃｍの積層体を作製した。

（熱伝導シートの作製（積層体のスライス））
次に、積層体を一次シートの積層方向に切断（スライス）した。具体的には、積層体の１ｃｍ×２ｃｍの積層断面をカンナ（スリット部からの刃部の突出長さ：０．３４ｍｍ）を用いてスライス（一次シートのシート面の法線に対し０度の角度でスライス）し、縦１ｃｍ、横２ｃｍ、厚さ０．５ｍｍの熱伝導シート（比較例）を得た。

（実施例２）
次に、実施例２を説明する。実施例１では、上記の第２の実施形態の構造の熱伝導シート４０を作製した。

（樹脂組成物の調整）
上記の実施例１と同じ方法で樹脂組成物を調整した（図５のステップＳ１に相当）。

（１次シートの調整）
上記の実施例１と同じ方法で一次シートを調整した（図５のステップＳ２、Ｓ１４に相当）。

（１次シートの成形）
先に調整した１．０ｍｍの一次シートの両面のＰＥＴフィルムをはがし、一次シートを１辺が１０ｃｍの正方形の小片に切り分けた。ここで、このように切り分けた多数枚の一次シートのうちの一部は、第２シート２０として用いた。
また、残りの一次シートについては、実施例１と同様の加工を行うことによって、実施例１と同様の第１シート１０を作製した（図５のステップＳ３に相当）。

（積層体の作製、交互積層）
次に、第１シート１０と第２シート２０とを交互に積層した。ここで、第１シート１０を合計１１枚、第２シート２０を合計１０枚用いて、最も外側（最下層及び最上層）にそれぞれ第１シート１０が位置するように（最も外側に第２シート２０が位置しないように）積層した。なお、各第１シート１０及び各第２シート２０の外形線が平面視において一致するように、各第１シート１０及び各第２シート２０の位置を揃えて積層した（図５のステップＳ１５に相当）。
更に、最下層の第１シート１０の下面及び最上層の第１シート１０の上面にそれぞれ厚さ１８μｍの電解銅箔（古河サーキットホイル社製、ＧＴＳＭＰ）を重ねた後、圧力１０ＭＰａ、温度２２０℃で１８０分間の加熱加圧成形を行い、両面銅張積層体を得た。ここで、この両面銅張積層体の各第２シート２０を構成する有機樹脂は、上記条件で加熱加圧成形を行うことによって、硬化状態となった（Ｃステージとなった）。その結果、隣り合う第１シート１０同士が、それらの間の第２シート２０を介して相互に一体化した（図５のステップＳ１６に相当）。
次に、この両面銅張積層体をエッチング処理することにより、両面銅張積層体から、その上下面の銅箔を除去し、厚さ２ｃｍの積層体３０を作製した。
なお、ここで最下層の第１シート１０の下面及び最上層の第１シート１０の上面に銅箔を貼る理由は、加熱加圧成形の際に、加圧面に第１シート１０が貼り付いてしまうことを防止する（加圧後の離型を容易にする）ためである。

（熱伝導シートの作製（積層体のスライス））
次に、積層体３０を第１シート１０及び第２シート２０の積層方向に切断（スライス）した。具体的には、積層体３０の１ｃｍ×２ｃｍの積層断面をカンナ（スリット部からの刃部の突出長さ：０．３４ｍｍ）を用いてスライス（第１シート１０（及び第２シート２０）のシート面の法線に対し０度の角度でスライス）し、縦１ｃｍ、横２ｃｍ、厚さ０．５ｍｍの熱伝導シート４０を得た（図５のステップＳ１７に相当）。

（配向方向の確認）
実施例１、２で得られた熱伝導シート４０の各々について、断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いて観察し、任意の５０個の熱伝導性フィラー１２について見えている方向に基づいて、鱗片の長軸方向（面方向）の熱伝導シート４０の表面に対する角度を測定した。
同様に、比較例で得られた熱伝導シートについて、断面をＳＥＭを用いて観察し、任意の５０個の熱伝導性フィラーについて見えている方向に基づいて、鱗片の長軸方向（面方向）の熱伝導シートの表面に対する角度を測定した。

（熱伝導率の測定）
実施例１、２で得られた熱伝導シート４０及び比較例で得られた熱伝導シートの各々について、密度を水中置換法により測定し、比熱をＤＳＣ（示差走査熱量測定）により測定し、さらに、レーザーフラッシュ法により熱拡散率を測定した。
そして、実施例１、２で得られた熱伝導シート４０及び比較例で得られた熱伝導シートの各々について、厚み方向における熱伝導率を以下の式から算出した。
熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）＝密度（ｋｇ／ｍ^３）×比熱（ｋＪ／ｋｇ・Ｋ）×熱拡散率（ｍ^２／Ｓ）×１０００

（結果）
実施例１： 角度（配向方向）：８５度
厚み方向における熱伝導率：２５Ｗ／ｍＫ
実施例２： 角度（配向方向）：８４度
厚み方向における熱伝導率：２３Ｗ／ｍＫ
比較例： 角度（配向方向）：７０度
厚み方向における熱伝導率：１５Ｗ／ｍＫ
ここで、角度（配向方向）は、最頻値である。
ここに示した結果から、実施例１、２で得られた熱伝導シート４０においては、熱伝導性フィラー１２の角度（配向方向）が、比較例で得られた熱伝導シートにおける熱伝導性フィラーの角度に比べて、９０度に近いことが分かる。すなわち、実施例１、２で得られた熱伝導シート４０においては、比較例と比べて、熱伝導性フィラー１２が熱伝導シート４０の厚み方向に良好に配向している。
そして、実施例１、２で得られた熱伝導シート４０においては、比較例で得られた熱伝導シートと比べて、厚み方向における熱伝導率が飛躍的に向上していることが分かる。

１０ 第１シート
１１ 第１有機樹脂
１２ 熱伝導性フィラー（第１熱伝導性フィラー、第２熱伝導性フィラー）
１５ 接着剤
２０ 第２シート
２１ 第２有機樹脂
３０ 積層体
４０ 熱伝導シート
４１ 四角柱形状部（第１の四角柱形状部）
４２ 四角柱形状部（第２の四角柱形状部）
４３ 接合界面
４５ 密着層

Claims (7)

1. 硬化状態とされた有機樹脂中に、鱗片状、楕球状又は棒状の熱伝導性フィラーを含んでなる熱伝導シートであって、
   当該熱伝導シートは、前記熱伝導性フィラーを含む前記有機樹脂からなる複数の四角柱形状部を有し、
   前記複数の四角柱形状部は、各々の軸方向に長尺であり、互いに並列となるように当該熱伝導シートの面方向に沿って配置され、且つ、隣り合う前記四角柱形状部の側面同士が直接又は間接に接合されて、一枚のシート形状をなし、
   前記複数の四角柱形状部の各々において、当該熱伝導シートの厚み方向における前記熱伝導性フィラーの寸法が、当該熱伝導シートの面方向における前記熱伝導性フィラーの寸法よりも大きくなるように、前記熱伝導性フィラーが配向されている熱伝導シート。
2. 隣り合う前記四角柱形状部同士が、前記熱伝導性フィラーを含まない接着層を介して相互に接着されている請求項１に記載の熱伝導シート。
3. 隣り合う前記四角柱形状部同士が直接接着されている請求項１に記載の熱伝導シート。
4. 当該熱伝導シートは、第１の前記四角柱形状部と、第２の前記四角柱形状部と、を交互に有し、
   前記第２の四角柱形状部が、隣り合う前記第１の四角柱形状部同士を相互に接着している請求項３に記載の熱伝導シート。
5. 当該熱伝導シートは、第１の前記四角柱形状部と、第２の前記四角柱形状部と、を有し、
   隣り合う前記第１の四角柱形状部同士が、前記熱伝導性フィラーを含まない接着層を介して、又は、前記第２の四角柱形状部を介して、相互に接着されている請求項１に記載の熱伝導シート。
6. 前記熱伝導性フィラーは、結晶中の六角平面が、鱗片の面方向、楕球の長軸方向又は棒の軸方向に配向している六方晶窒化ホウ素粒子又は黒鉛粒子である請求項１乃至５の何れか一項に記載の熱伝導シート。
7. 前記有機樹脂は、エポキシ樹脂、ポリイミド又はベンゾオキサジンからなる請求項１乃至６の何れか一項に記載の熱伝導シート。

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