JPWO2020217406A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7642419B2 (ja) * 2021-03-30 2025-03-10 第一セラモ株式会社 サポート材用樹脂組成物および焼結体の製造方法
JP7650697B2 (ja) * 2021-03-30 2025-03-25 第一セラモ株式会社 中子用樹脂組成物および焼結体の製造方法
JP7569772B2 (ja) 2021-10-07 2024-10-18 日本碍子株式会社 半導体製造装置用部材
CN119365971A (zh) 2022-06-30 2025-01-24 日本碍子株式会社 半导体制造装置用部件
JP7764356B2 (ja) * 2022-12-21 2025-11-05 日本碍子株式会社 プラグ、プラグ製造方法及び半導体製造装置用部材
JP7744328B2 (ja) * 2022-12-21 2025-09-25 日本碍子株式会社 半導体製造装置用部材、プラグ及びプラグ製造方法
CN117754687A (zh) * 2024-01-23 2024-03-26 长春长光精瓷复合材料有限公司 一种具有内部连通结构的陶瓷结构件成型方法

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3848040A (en) * 1969-04-17 1974-11-12 Corning Glass Works Apparatus and method for forming slii cast bodies with cavities
KR890003502B1 (ko) * 1985-02-08 1989-09-23 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 슬립캐스팅 성형법 및 성형용 주형
US5387380A (en) * 1989-12-08 1995-02-07 Massachusetts Institute Of Technology Three-dimensional printing techniques
JPH0813446B2 (ja) * 1990-05-30 1996-02-14 株式会社日立製作所 スリツプキヤステイング法
US6189483B1 (en) * 1997-05-29 2001-02-20 Applied Materials, Inc. Process kit
US6375880B1 (en) * 1997-09-30 2002-04-23 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Mold shape deposition manufacturing
JP4343421B2 (ja) 2000-12-13 2009-10-14 菊水化学工業株式会社 セラミック薄板の生成形体の成形方法及び成形装置
US7517490B2 (en) * 2002-10-16 2009-04-14 Ngk Insulators, Ltd. Method of manufacturing ceramic green body
KR100906346B1 (ko) * 2005-08-17 2009-07-06 주식회사 코미코 세라믹 성형체의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 세라믹성형체
US8336891B2 (en) * 2008-03-11 2012-12-25 Ngk Insulators, Ltd. Electrostatic chuck
JP5331519B2 (ja) * 2008-03-11 2013-10-30 日本碍子株式会社 静電チャック
JP2010132487A (ja) 2008-12-04 2010-06-17 Panasonic Corp セラミック多孔体の製造方法
EP2360291A1 (de) * 2010-02-24 2011-08-24 Singulus Technologies AG Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Heizen und Kühlen eines Substrates und sofort anschließender Beschichtung desselben unter Vakuum
KR101167838B1 (ko) * 2010-05-07 2012-07-24 한국기계연구원 탄소몰드를 이용한 금속 함침 주조품의 제조방법
CN102487029B (zh) * 2010-12-02 2014-03-19 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 静电卡盘和具有它的等离子体装置
JP5458050B2 (ja) 2011-03-30 2014-04-02 日本碍子株式会社 静電チャックの製法
JP5890795B2 (ja) * 2013-03-18 2016-03-22 日本碍子株式会社 半導体製造装置用部材
JP5633766B2 (ja) 2013-03-29 2014-12-03 Toto株式会社 静電チャック
KR101680334B1 (ko) * 2015-06-15 2016-11-29 주식회사 퓨쳐캐스트 3차원 프린팅 방식을 이용한 금형 제작방법
US10697305B2 (en) * 2016-01-08 2020-06-30 General Electric Company Method for making hybrid ceramic/metal, ceramic/ceramic body by using 3D printing process
JP2019522105A (ja) * 2016-04-14 2019-08-08 デスクトップ メタル インコーポレイテッドＤｅｓｋｔｏｐ Ｍｅｔａｌ， Ｉｎｃ． 支持構造を有する付加製造
JP2018020441A (ja) * 2016-08-01 2018-02-08 株式会社オメガ 三次元形状造形物の製造方法
CN107500781B (zh) * 2017-09-28 2020-10-09 上海应用技术大学 一种多孔陶瓷的制备方法
CN108101519A (zh) * 2017-12-19 2018-06-01 西安交通大学 一种用于复杂结构零件定向凝固成形的陶瓷铸型制备方法
CN108649012B (zh) * 2018-05-11 2021-10-01 北京华卓精科科技股份有限公司 新型陶瓷塞及具有该新型陶瓷塞的静电卡盘装置

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