JPWO2020158798A1 - 弾性波装置 - Google Patents

Abstract

漏洩モードの伝搬の抑圧を図ることができる、弾性波装置を提供する。
基板２の第１の主面２ａ側に音響反射器を構成するためのキャビティが設けられており、キャビティ上において、第１の電極３と圧電薄膜４と第２の電極５とが積層されて励振部Ｙが構成されており、第１の引き出し電極６及び第２の引き出し電極７の少なくとも一方において、励振部Ｙの辺１２ａの法線方向Ｂ１において周期的なパターン１１が設けられている弾性波装置１。

Description

本発明は、音響反射器上に励振部が設けられている構造を有する弾性波装置に関する。

従来、音響反射器を有する弾性波装置が知られている。例えば、下記の特許文献１に記載の弾性波装置では、支持基板の上面に凹部が設けられている。支持基板上に、下部電極、圧電薄膜及び上部電極から成る積層体が設けられている。上記凹部の上方において、下部電極と、上部電極とが圧電薄膜を介して重なり合っている。ここでは、凹部によるキャビティが、音響反射器を構成している。

特許第４８７７９６６号公報

特許文献１に記載のような弾性波装置では、キャビティの上方において、下部電極と上部電極とが対向している部分が励振部となる。下部電極及び上部電極は、外部と電気的接続のための引き出し電極に連ねられている。ところで、製造誤差等により、下部電極や上部電極が、キャビティの上方の領域を超えキャビティの外側へ延びることがある。このような場合、キャビティの外側の領域で、下部電極と上部電極とが圧電薄膜を介して対向することとなる。そのため、この対向部においても、圧電薄膜に電圧が印加され、振動が生じることとなる。それに伴って、下部電極又は上部電極に連ねられている引き出し電極に、この対向部分において生じた振動が漏洩することがあった。

このような、漏洩モードが引き出し電極に伝搬すると、弾性波装置において、スプリアス成分となるおそれがある。

本発明の目的は、漏洩モードの伝搬を抑圧することができる、弾性波装置を提供することである。

本発明に係る弾性波装置は、第１の主面を有する基板と、前記基板の前記第１の主面に設けられた第１の電極と、前記基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１の電極の少なくとも一部を覆っている圧電薄膜と、前記圧電薄膜上に設けられており、前記第１の電極と前記圧電薄膜を介して対向している部分を有する第２の電極と、前記第１の電極が上面に積層されるよう前記基板に設けられた音響反射器とを備え、前記第１の電極と前記第２の電極とが、前記音響反射器上において前記圧電薄膜を介して対向している部分が、励振部とされており、前記第１の電極に連ねられており、前記励振部から励振部外に引き出されている第１の引き出し電極と、前記第２の電極に連ねられており、前記励振部から励振部外に引き出されている第２の引き出し電極とをさらに備え、前記第１の引き出し電極及び前記第２の引き出し電極の少なくとも一方において、前記励振部から遠ざかる方向に沿って周期的なパターンが設けられていることを特徴とする。

本発明に係る弾性波装置によれば、第１の引き出し電極及び第２の引き出し電極の少なくとも一方への漏洩モードの伝搬を抑圧することが可能となる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の要部を説明するための正面断面図である。 図３は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置における第２の引き出し電極付近の模式的平面図である。 図４は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図５は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図６は、図５中のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。 図７は、本発明の第４の実施形態の変形例に係る弾性波装置における周期的なパターンを説明するための断面図である。 図８は、本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図９は、本発明の第６の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図１０は、本発明の第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図１１は、本発明の第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図１２は、本発明の第９の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 図１３は、本発明の第１０の実施形態に係る弾性波装置の要部を説明するための正面断面図である。 図１４は、本発明の第１１の実施形態に係る弾性波装置の要部を説明するための正面断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図であり、図２は、その要部を説明するための正面断面図である。

弾性波装置１は、基板２を有する。基板２は、アルミナ等の絶縁性セラミクス又はシリコン等からなる。基板２の材料は特に限定されるものではない。基板２は、第１の主面２ａと、第２の主面２ｂとを有する。第１の主面２ａに凹部２ｃが設けられている。凹部２ｃは、音響反射器としての後述のキャビティＸを構成するために設けられている。

第１の主面２ａ上に、第１の電極３が設けられている。第１の電極３は、凹部２ｃ上に至るように設けられている。第１の電極３の端部３ａは、凹部２ｃをこえて凹部２ｃの外部の領域に至っている。第１の電極３の少なくとも一部を覆うように、圧電薄膜４が積層されている。圧電薄膜４上に、第２の電極５が設けられている。第２の電極５は、圧電薄膜４を介して第１の電極３と対向している部分を有する。

上記第１の電極３及び圧電薄膜４が積層されていることにより、凹部２ｃが閉じられ、キャビティＸが構成されている。キャビティＸは、音響反射器として作用する。

キャビティＸ上において、第１の電極３と第２の電極５とが圧電薄膜４を介して対向している部分が、励振部Ｙである。第１の電極３と第２の電極５とに交流電界が印加された際に、圧電薄膜４が伸縮し、弾性波が励振される。本実施形態では、弾性波として、厚み滑りモード又は厚み伸展モードの弾性波が励振される。すなわち、弾性波装置１は、このようなモードを利用したＢＡＷ装置である。

上記第１の電極３及び第２の電極５の材料は特に限定されない。このような材料として、例えば、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ等の金属もしくはこれらの金属を主体とする合金を用いることができる。

圧電薄膜４については、適宜の圧電材料が用いられる。このような圧電材料としては、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のような圧電薄膜材料、あるいはニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムの単結晶等を例示することができる。窒化アルミニウムには、他の元素がドープされていてもよい。このような元素として、スカンジウム、イットリウム、ランタン及びエルビウムからなる群から選択された少なくとも一種の希土類元素が好適に用いられる。

第１の電極３と第２の電極５との間に電圧を印加するために、第１の電極３及び第２の電極５は外部と電気的に接続される。このような電気的接続を果たすために、第１の引き出し電極６及び第２の引き出し電極７が、第１の電極３及び第２の電極５にそれぞれ連ねられている。

第１，第２の引き出し電極６，７は、上記第１の電極３及び第２の電極５を構成する材料と同様の材料からなる。好ましくは、同じ材料を用いて、第１，第２の引き出し電極６，７は第１，第２の電極３，５と一体に設けられる。

図２において、破線Ｚ１と破線Ｚ２とで挟まれた部分が前述した励振部Ｙになる。

ところで、弾性波装置１では、キャビティＸにおいて、より大きな面積の励振部Ｙを構成することが望ましい。そのため、第１の電極３は、キャビティＸの端部に至るように設けられるが、確実に端部に至らせるために、端部３ａはキャビティＸをこえて、第２の引き出し電極７側に延ばされることがある。この場合、圧電薄膜４を介して、キャビティＸの外周縁から端部３ａに至る第１の電極３の部分が、第２の電極５と圧電薄膜４を介して対向することになる。すなわち、図２の破線Ｚ２と破線Ｚ３とで挟まれた領域において、圧電薄膜４に交流電界が印加されることになる。したがって、破線Ｚ２と破線Ｚ３とに挟まれた部分においても振動が生じ、このような振動が漏洩モードとして、第２の引き出し電極７側に伝搬するおそれがある。

このような漏洩モードが第２の引き出し電極７側に伝搬すると、例えば、圧電共振子を構成した場合には、共振特性上にスプリアスとなって現れる。

本実施形態の弾性波装置１では、このような漏洩モードが、周期的なパターン１１が設けられていることにより抑圧される。

図１に示すように、本実施形態では、励振部Ｙは、平面視において、５つの辺１２ａ〜１２ｅを有する五角形の形状を有している。この５つの辺１２ａ〜１２ｅのうち１つの辺１２ａの法線方向Ｂ１において、複数の突出部１１ａ，１１ｂが周期的に設けられている。より詳細には、必ずしも限定されないが、本実施形態では、第２の引き出し電極７は、辺１２ａの法線方向Ｂ１に延びている。そして、第２の引き出し電極７は、一対の側縁７ａ，７ｂを有する。側縁７ａ，７ｂは、辺１２ａの法線方向Ｂ１に延びている。そして、側縁７ａから上記法線方向Ｂ１と直交する方向に複数の突出部１１ａが設けられている。側縁７ｂにおいても、側縁７ｂから上記法線方向Ｂ１と直交する方向に複数の突出部１１ｂが設けられている。複数の突出部１１ａは、法線方向Ｂ１において等間隔に配置されている。突出部１１ｂについても、上記法線方向Ｂ１において等間隔に配置されている。したがって、複数の突出部１１ａ，１１ｂを有するパターン１１は、上記法線方向Ｂ１に沿って周期的なパターンである。なお、「周期的」な場合とは、パターンに含まれる複数の突出部同士の間の距離が全て同じ場合のみではなく、いずれかの突出部同士の間の距離を基準とした場合に、突出部同士の間の距離が±２０％以内で異なっている部分を有する場合も含むものとする。

また、本実施形態では、１つの突出部１１ａと１つの突出部１１ｂとが第２の引き出し電極７を介して、上記辺１２ａと平行な方向において対向している。そしてこの１つの突出部１１ａと１つの突出部１１ｂとからなる一対の突出部対が複数対設けられている。

もっとも、複数の突出部１１ａ，１１ｂは、必ずしも対を成すものでなくともよい。また、複数の突出部１１ａ，１１ｂは、側縁７ａ，７ｂに直交する方向に、すなわち、上記法線方向Ｂ１と直交する方向に延ばされていたが、直交する方向以外の交差する方向に延ばされていてもよい。

弾性波装置１では、第１の電極３と第２の電極５との間に交流電界を印加した場合、励振部Ｙにおいて前述した厚み滑りモード又は厚み伸展モードの弾性波が励振され、共振特性を得ることができる。

そして、破線Ｚ２と破線Ｚ３とに挟まれた部分においても、交流電界が印加され漏洩モードが生じる。この漏洩モードは、励振部Ｙから上記辺１２ａの法線方向Ｂ１に向かって第２の引き出し電極７側に伝搬する。しかしながら、伝搬してきた漏洩モードは、前記周期的なパターン１１によりブラッグ反射され、第２の引き出し電極７側への漏洩モードの伝搬を抑圧することができる。したがって、共振特性の良好な共振子を得ることができる。

本実施形態では、周期的なパターン１１は、上記法線方向Ｂ１に沿って設けられているが、パターン１１は、第１の引き出し電極６や第２の引き出し電極７において、励振部Ｙから遠ざかる方向に周期的に設けられていればよい。

上記周期的なパターン１１を構成する材料は、第２の引き出し電極７と同じ金属から成ることが好ましい。もっとも、第２の引き出し電極７と異なる金属を用いてもよい。また、金属に限定されず、酸化ケイ素のような誘電体を用いてもよい。

上記周期的なパターン１１を設けるだけで良いため、製造コストを上げることなく、漏洩モードの伝搬を抑圧することができる。

図１に示すように、複数の突出部１１ａは側縁７ａに連なるように、第２の引き出し電極７と同じ材料で構成されている。複数の突出部１１ｂについても同様である。もっとも、複数の突出部１１ａ，１１ｂは、第２の引き出し電極７と異なる材料で構成されていてもよい。また、複数の突出部１１ａ，１１ｂの厚みは特に限定されず、上記圧電薄膜４及び第２の引き出し電極７の厚みの合計と同等であってもよく、同等以下であってもよい。さらにこれらの厚みの合計よりも大きな厚みを有していてもよい。

好ましくは、複数の突出部１１ａ，１１ｂは、第２の引き出し電極７と同じ材料で一体に形成される。その場合には、プロセスを簡略化することができる。

また、図３に示す第２の実施形態では、突出部１１ａと突出部１１ｂとが、連結部１１ｃにより連結され一体化されている。このように、連結部１１ｃにより突出部１１ａと突出部１１ｂとを一体化してもよい。この場合、図３では、連結部１１ｃは、第２の引き出し電極７上に設けられているが、連結部１１ｃは、第２の引き出し電極７の下面側に設けられていてもよい。この場合には、パターン１１を形成した後に、第２の引き出し電極７を形成すればよい。

図４は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。弾性波装置３１では、複数の突出部１１ａ及び複数の突出部１１ｂが、それぞれ、矩形ではなく、曲線状の外周縁を有する。すなわち、突出部１１ａ及び突出部１１ｂは楕円の一部を分割した形状とされている。このようにパターン１１を構成する突出部１１ａ，１１ｂの外周は、曲線状であってもよい。

図５は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。弾性波装置４１では、図５に示すように、平面視において、第２の引き出し電極７内に、複数の凸部１１ｄが設けられている。これによって、周期的なパターン１１が構成されている。この図５のＢ−Ｂ線に沿う部分を図６に断面図で示す。図６に示すように、複数の凸部１１ｄが第２の引き出し電極７上から上方に突出するように設けられている。この複数の凸部１１ｄは、辺１２ａの法線方向において等間隔に配置されている。それによって、法線方向において周期的なパターン１１が形成されている。

図６に示すような凸部１１ｄを設けることにより、すなわち質量付加により周期的なパターン１１を設けてもよい。

図７は、本発明の第４の実施形態の変形例に係る弾性波装置における周期的なパターンを説明するための断面図である。図７も図５のＢ−Ｂ線に相当する部分についての断面図である。この変形例では、凸部１１ｄに代えて、複数の凹部１１ｅが設けられている。すなわち、複数の凹部１１ｅが、図５における辺１２ａの法線方向において等間隔に配置されている。それによって、周期的なパターン１１が設けられている。このように、凸部１１ｄに代えて凹部１１ｅを用いて周期的なパターンを形成してもよい。

また、図７では凹部１１ｅの底部に、第２の引き出し電極７の一部が残存していた。これに対して、凹部１１ｅは、その底部が圧電薄膜４上に位置していてもよい。すなわち、凹部１１ｅは、電極材料が存在しない電極欠落部として設けられてもよい。

上記パターン１１を構成する材料は、第２の引き出し電極７と同じ金属から成ることが好ましい。

もっとも、第２の引き出し電極７と異なる金属を用いてもよい。また、金属に限定されず、酸化ケイ素のような誘電体を用いてもよい。

その場合には、上記周期的なパターン１１を設けるだけで良いため、製造コストを上げることなく、漏洩モードの伝搬を抑圧することができる。

なお、図６及び図７に示す凸部１１ｄ及び凹部１１ｅを設けた場合には、第２の引き出し電極７内に、周期的な不整合が与えられる。したがって、漏洩モードの伝搬をより効果的に抑圧することができる。

図８は、本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。第５の実施形態の弾性波装置５１では、励振部Ｙは、第１の実施形態と同様に平面視で五角形の形状を有しており、５つの辺１２ａ〜１２ｅを有する。本実施形態では、辺１２ａの法線方向Ｂ１と辺１２ｂの法線方向Ｂ２に、それぞれ、周期的なパターン１１が設けられている。すなわち、第２の引き出し電極７は、辺１２ａと辺１２ｂの双方から励振部Ｙの外側に引き出されている。そして、辺１２ａ及び辺１２ｂのそれぞれの法線方向Ｂ１，Ｂ２に沿って、複数の突出部１１ａ又は複数の突出部１１ｂが設けられている。このように、第２の引き出し電極７は、多角形の平面形状を有する励振部Ｙの複数の辺１２ａ，１２ｂにまたがっていてもよい。その場合には、好ましくは、本実施形態のように、辺１２ａ及び辺１２ｂの双方の法線方向Ｂ１，Ｂ２に沿って周期的なパターン１１を設けることが望ましい。この場合、辺１２ａの法線方向Ｂ１における複数の突出部１１ａの周期と、辺１２ｂの法線方向Ｂ２に配置されている複数の突出部１１ｂの周期は等しくてもよく、異なっていてもよい。この周期または突出部１１ａ間及び突出部１１ｂ間のピッチ等については、音響スタックの音響特性などを考慮して、決定すればよい。

また、弾性波装置５１では複数の突出部１１ａ，１１ｂは、第２の引き出し電極７内に至るように設けられていた。

これに対して、図９に示す本発明の第６の実施形態に係る弾性波装置６１のように、突出部１１ａと突出部１１ｂとを連結部１１ｃにより連結してもよい。この場合には、突出部１１ａと連結部１１ｃと突出部１１ｂとからなる構造が、励振部Ｙから遠ざかるにつれて放射状に広がっている。

図１０は、本発明の第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。弾性波装置７１では、励振部Ｙは平面視において楕円の形状を有している。このように、励振部Ｙの平面形状は、複数の辺を有する多角形に限らず、曲線を少なくとも一部に有する形状であってもよい。励振部Ｙが楕円形であるため、この形状は、前述した実施形態における励振部Ｙの多角形の辺が極めて多い場合と同じように考えることができる。したがって、図１０に示すように、第２の引き出し電極７が、励振部Ｙの外周縁から外側に延ばされている場合、第２の引き出し電極７の側縁７ａ，７ｂとが励振部Ｙに接続している二点の接続点を結ぶ仮想線に対し直交する方向を法線方向Ｂ１とすればよい。そしてこの場合においても、上記法線方向Ｂ１において、複数の突出部１１ａ，１１ｂが、上記法線方向Ｂ１において等間隔に配置されている。それによって、周期的なパターン１１が設けられている。この場合にも、第１の実施形態の場合と同様に、上記周期的なパターン１１が設けられていることにより、漏洩モードの伝搬を抑圧することができる。

図１１は、本発明の第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。弾性波装置８１では、側縁７ａ，７ｂと励振部Ｙの外周縁との接点を通る、励振部Ｙの外周縁の接線に直交する方向が上記法線方向Ｂ１，Ｂ２にあたる。そして、この場合、上記接点から上記法線方向Ｂ１，Ｂ２に延びる仮想線に至るように、第２の引き出し電極７の側縁７ａ，７ｂから突出する、複数の突出部１１ａ、１１ｂが設けられている。したがって、放射状のパターン１１が構成されることになる。この場合、上記突出部１１ａ，１１ｂは、上記法線方向Ｂ１，Ｂ２に直交するように交わっている。

図１２は、本発明の第９の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。弾性波装置９１では、第２の引き出し電極７は、分割引き出し部７Ａ〜７Ｃに分割されている。このように、第２の引き出し電極７は、複数本の分割引き出し部７Ａ〜７Ｃに分割されていてもよい。そして、分割引き出し部７Ａ〜７Ｃの側縁から辺１２ａの法線方向Ｂ１と直交する方向に、複数の突出部１１ａ，１１ｂが設けられている。なお、隣り合う分割引き出し部７Ａ−７Ｂ間及び隣り合う分割引き出し部７Ｂ−７Ｃ間では、突出部１１ａ及び突出部１１ｂとが共通化されている。

本実施形態においても、複数の突出部１１ａ，１１ｂが、上記法線方向Ｂ１において周期的に配置されているため、漏洩モードの伝搬を抑圧することができる。好ましくは、分割引き出し部７Ａ〜７Ｃは、上記法線方向Ｂ１と平行であり、互いに平行とされる。この場合には、寄生抵抗を小さくすることができる。したがって、エネルギー閉じ込め効果を高めることができる。

また、分割引き出し部７Ａ〜７Ｃは、辺１２ａの延びる方向において、等間隔に配置されていることが好ましい。それによって、上記法線方向Ｂ１だけでなく、辺１２ａの延びる方向においても、ブラッグ反射効果が得られる。したがって、漏洩モードの伝搬をより効果的に抑制することができる。なお、上記分割引き出し部７Ａ〜７Ｃは必ずしも等間隔に配置されていなくてもよく、周期的に配置されていれば、上記ブラッグ反射効果を得ることができる。したがって、好ましくは、少なくとも３本の分割引き出し部７Ａ〜７Ｃが設けられる。

図１３は、本発明の第１０の実施形態に係る弾性波装置の要部を説明するための正面断面図である。弾性波装置１０１では、第２の引き出し電極７が、キャビティＸをこえて第１の引き出し電極６側に至っている。したがって、上記励振部Ｙの第１の引き出し電極６側においても、破線Ｚ４と破線Ｚ１とで挟まれる部分において振動が生じ、漏洩モードが生じる。したがって、この場合には、第１の引き出し電極６において、上記周期的なパターン１１を設ければよい。すなわち、第１０の実施形態に係る弾性波装置１０１では、第１の引き出し電極６及び第２の引き出し電極７の双方に周期的なパターン１１が設けられ、いずれの側においても漏洩モードの伝搬を抑圧することができる。

なお、図１３において、第１の電極３の端部３ａがキャビティＸ内に位置している場合には、第２の引き出し電極７側に周期的なパターン１１を設けずともよい。

上記のように、本発明においては、第１の引き出し電極６及び第２の引き出し電極７の少なくとも一方において、周期的なパターン１１が設けられれば良い。

図１４は、本発明の第１１の実施形態に係る弾性波装置の要部を説明するための正面断面図である。弾性波装置１１１では、キャビティＸに替えて、音響ブラッグ反射器１１２が設けられている。音響ブラッグ反射器１１２は、音響反射器として作用するものである。この音響ブラッグ反射器１１２は、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス材料層１１２ａ，１１２ｃ，１１２ｅと、相対的に音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス材料層１１２ｂ，１１２ｄ，１１２ｆとを交互に積層した構造を有する。このように、本発明においては、音響反射器としては、低音響インピーダンス材料層と、高音響インピーダンス材料層とを積層して成る音響ブラッグ反射器を用いてもよい。この場合、低音響インピーダンス材料層及び高音響インピーダンス材料層の積層数は特に限定されない。

１，３１，４１，５１，６１，７１，８１，９１，１０１，１１１…弾性波装置
２…基板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
２ｃ…凹部
３…第１の電極
３ａ…端部
４…圧電薄膜
５…第２の電極
６，７…第１，第２の引き出し電極
７Ａ〜７Ｃ…分割引き出し部
７ａ，７ｂ…側縁
１１…パターン
１１ａ，１１ｂ…突出部
１１ｃ…連結部
１１ｄ…凸部
１１ｅ…凹部
１２ａ〜１２ｅ…辺
１１２…音響ブラッグ反射器
１１２ａ，１１２ｃ，１１２ｅ…低音響インピーダンス材料層
１１２ｂ，１１２ｄ，１１２ｆ…高音響インピーダンス材料層

Claims (14)

1. 第１の主面を有する基板と、
   前記基板の前記第１の主面に設けられた第１の電極と、
   前記基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１の電極の少なくとも一部を覆っている圧電薄膜と、
   前記圧電薄膜上に設けられており、前記第１の電極と前記圧電薄膜を介して対向している部分を有する第２の電極と、
   前記第１の電極が上面に積層されるよう前記基板に設けられた音響反射器とを備え、
   前記第１の電極と前記第２の電極とが、前記音響反射器上において前記圧電薄膜を介して対向している部分が、励振部とされており、
   前記第１の電極に連ねられており、前記励振部から励振部外に引き出されている第１の引き出し電極と、
   前記第２の電極に連ねられており、前記励振部から励振部外に引き出されている第２の引き出し電極とをさらに備え、
   前記第１の引き出し電極及び前記第２の引き出し電極の少なくとも一方において、前記励振部から遠ざかる方向に沿って周期的なパターンが設けられている、弾性波装置。
2. 平面視において、前記励振部が複数の辺を有する多角形の形状であり、
   前記第１の引き出し電極及び前記第２の引き出し電極の少なくとも一方において、前記励振部の前記辺の法線方向に沿って周期的なパターンが設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
3. 前記励振部が、平面視において、外周縁が曲線状の形状を有し、
   前記第１の引き出し電極及び前記第２の引き出し電極の少なくとも一方において、前記励振部に接続されている二点の接続点を結ぶ仮想線に対する法線方向に沿って周期的なパターンが設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
4. 前記周期的なパターンが設けられている前記第１及び第２の引き出し電極の少なくとも一方が、複数に分割された複数の分割引き出し部を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
5. 前記複数の分割引き出し部が互いに平行である、請求項４に記載の弾性波装置。
6. 前記複数の分割引き出し部が、前記励振部の前記辺に対して平行な方向において等間隔に配置されている、請求項４又は５に記載の弾性波装置。
7. 前記周期的なパターンが、前記第１の引き出し電極又は前記第２の引き出し電極の引き出されている方向と交差する方向において、前記第１の引き出し電極又は前記第２の引き出し電極から突出された複数の突出部を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
8. 前記第１の引き出し電極又は前記第２の引き出し電極において、前記法線方向と直交する方向に対向している一対の突出部が複数対設けられている、請求項７に記載の弾性波装置。
9. 前記一対の突出部が、前記第１の引き出し電極又は前記第２の引き出し電極に連なるように設けられている、請求項８に記載の弾性波装置。
10. 前記一対の突出部と前記一対の突出部間を連結している連結部を有する、請求項８又は９に記載の弾性波装置。
11. 前記周期的なパターンが、前記第１の引き出し電極又は前記第２の引き出し電極内に設けられており、前記法線方向において周期的に配置された凸部又は凹部を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
12. 前記音響反射器がキャビティである、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の弾性波装置。
13. 前記音響反射器が、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス材料層と、相対的に音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス材料層とが積層されている、音響ブラッグ反射器である、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の弾性波装置。
14. ＢＡＷ装置である、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の弾性波装置。

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