JPWO2020003925A1 - 三塩化ホウ素の製造方法 - Google Patents

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Abstract

反応容器に損傷が生じにくい三塩化ホウ素の製造方法を提供する。三塩化ホウ素の製造方法は、塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素(4)が流動している状態で、塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素(4)との反応を行う工程を有する。

Description

本発明は三塩化ホウ素の製造方法に関する。
三塩化ホウ素(BCl)の製造方法の一つとして、炭化ホウ素(BC)と塩素ガス(Cl)とを反応させる方法が知られている。この反応は、以下の反応式で表すことができる。
4C + 6Cl2 → 4BCl3 + C
例えば特許文献1には、平均粒径1〜4mmの炭化ホウ素を反応容器に入れ、600〜1200℃に加熱した後に塩素ガスを導入して三塩化ホウ素を合成する方法が開示されている。
日本国特許公開公報 2009年第227517号
しかしながら、特許文献1に開示の製造方法においては、塩素ガスと反応する炭化ホウ素の温度が局所的に1200℃を超える高温に達する場合があるが、炭化ホウ素は反応容器内の決まった位置に固定され、反応中に移動することはないので、反応容器に蓄熱が生じやすかった。その結果、反応容器の材質によっては損傷が生じるおそれがあった。
本発明は、反応容器に損傷が生じにくい三塩化ホウ素の製造方法を提供することを課題とする。
前記課題を解決するため、本発明の一態様は以下の[1]〜[7]の通りである。
[1] 塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素が流動している状態で、前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を行う工程を有する三塩化ホウ素の製造方法。
[2] 反応容器内に前記塩素ガス含有ガス及び前記炭化ホウ素を連続的に供給するとともに前記反応容器からその反応生成物を連続的に排出しながら、前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を連続的に行う[1]に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
[3] 前記炭化ホウ素の体積基準の平均粒径D50が500μm未満である[1]又は[2]に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
[4] 前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を600℃以上の温度で行う[1]〜[3]のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
[5] 前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を−0.050MPaG以上0.500MPaG以下の圧力下で行う[1]〜[4]のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
[6] 前記塩素ガス含有ガスは50体積%以上100体積%以下の塩素ガスと残部の不活性ガスとからなる[1]〜[5]のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
[7] 前記塩素ガス含有ガスの水蒸気含有量が1体積%未満である[1]〜[6]のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
本発明によれば、反応容器に損傷が生じにくい。また、連続的に反応させることによって、低コストで三塩化ホウ素を製造することができる。
本発明の一実施形態に係る三塩化ホウ素の製造方法を説明する三塩化ホウ素製造装置の概略図である。 粉粒体状の炭化ホウ素を乾燥する乾燥設備の概略図である。 比較例で用いた三塩化ホウ素製造装置の概略図である。
本発明の一実施形態について説明する。なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。また、本実施形態には種々の変更又は改良を加えることが可能であり、そのような変更又は改良を加えた形態も本発明に含まれ得る。例えば、本実施形態において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれに限定されるものではなく、本発明の効果が奏される範囲内で適宜変更して実施することが可能である。
本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法は、塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素が流動している状態で、塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応を行う工程を有する。
反応容器内において炭化ホウ素が塩素ガス含有ガス中で流動している状態で塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応を行えば、炭化ホウ素は反応容器内の決まった位置に固定されることがなく、反応中に移動するので、反応容器に反応熱による蓄熱が生じにくい。そのため、反応容器内が局所的に高温になることがなく、反応容器の損傷が生じにくい。
反応容器内において炭化ホウ素が塩素ガス含有ガス中で流動している状態にする方法は、特に限定されるものではない。例えば、反応容器内に仕込まれた炭化ホウ素に塩素ガス含有ガスを供給することによって、炭化ホウ素を吹き上げて流動させてもよい。また、炭化ホウ素と塩素ガス含有ガスを反応容器内に同時に供給することによって、炭化ホウ素を流動させてもよい。あるいは、塩素ガス含有ガスが充填された反応容器内に炭化ホウ素を供給することによって、炭化ホウ素を流動させてもよい。例えば、塩素ガス含有ガスが充填された反応容器の上部から炭化ホウ素を供給し、反応容器の上部から底部に向かって炭化ホウ素を落下させれば、炭化ホウ素が塩素ガス含有ガス中で流動している状態とすることができる。
すなわち、炭化ホウ素が塩素ガス含有ガス中で流動している状態とすることができるならば、反応容器への炭化ホウ素の導入形態は、縦型導入形態でもよいし、横型導入形態でもよい。
反応容器へ炭化ホウ素を供給する方法は、粉粒体状の炭化ホウ素を安定的に供給できるならば特に限定されるものではないが、例えば、ホッパーから自然落下させる方法や、スクリューフィーダー、振動フィーダー、サークルフィーダー等のフィーダーを用いる方法が挙げられる。
反応容器へ塩素ガス含有ガスを導入するに際して、塩素ガス含有ガスの導入方向(すなわち、塩素ガス含有ガスが流れる方向)は特に限定されるものではないが、炭化ホウ素の移動方向とは反対方向(すなわち対向する方向)に導入することが好ましい。そうすれば、炭化ホウ素の滞留時間を長くすることができ、炭化ホウ素が反応しやすくなる。
本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法は、回分式(バッチ式)の反応に適用することもできるし、連続式の反応に適用することもできる。回分式の反応を行う場合は、反応容器内に塩素ガス含有ガス及び炭化ホウ素を仕込み、塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応が終了したら、三塩化ホウ素を含む反応生成物を反応容器から排出し、反応容器内に塩素ガス含有ガス及び炭化ホウ素を新たに仕込んで、再度反応を行うという操作を繰り返す。
一方、連続式の反応を行う場合は、反応容器内に塩素ガス含有ガス及び炭化ホウ素を連続的に供給するとともに、三塩化ホウ素を含む反応生成物を反応容器から連続的に排出しながら、塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応を連続的に行う。すなわち、原料の投入、反応、生成物の回収を全て同時且つ連続的に行う。
回分式の反応は、反応終了後に反応残渣の炭化ホウ素等を反応容器から排出し、原料の炭化ホウ素を新たに投入する必要があるので、生産性が不十分である場合がある。これに対して、上記のような連続式の反応は、三塩化ホウ素を連続的に製造できるので、低コストで生産性に優れる。よって、三塩化ホウ素の工業的な製造に好適である。
以下、本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法について、さらに詳細に説明する。
粉粒体状の炭化ホウ素の粒子のサイズは特に限定されるものではないが、体積基準の平均粒径D50を500μm未満とすることが好ましく、100μm未満とすることがより好ましく、50μm未満とすることがさらに好ましい。炭化ホウ素の粒子のサイズが小さい方が、流動させることが容易であるので、反応容器に蓄熱が生じにくく、反応容器に損傷が生じにくい。また、炭化ホウ素と塩素ガス含有ガスとの接触時間が短い場合には、炭化ホウ素の粒子のサイズが小さい方が、炭化ホウ素の粒子の中心部にまで反応が及びやすく、炭化ホウ素の反応率が高くなりやすい。
一方、炭化ホウ素の粒子の体積基準の平均粒径D50は、10nm以上とすることが好ましく、100nm以上とすることがより好ましく、500nm以上とすることがさらに好ましい。炭化ホウ素の粒子の体積基準の平均粒径D50が上記のような範囲内であれば、静電気の影響が少なく、炭化ホウ素は反応容器に付着しにくい。また、体積基準の平均粒径D50が100nm未満の炭化ホウ素は、ハンドリングしにくい場合がある。
なお、本発明における平均粒径D50とは、体積基準の積算粒子径分布において小粒径側からの積算頻度が50%となる粒子径を意味する。D50は、レーザー回折法等により測定することができる。例えば、マイクロトラック・ベル株式会社製のレーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置マイクロトラックMT3300EXを用いて測定することができる。測定の際に粉粒体状の炭化ホウ素を分散させる分散溶媒としては、例えばエタノールを用いることができる。
以上のことから、本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法には、安価な研磨材用炭化ホウ素微粉を用いることが可能である。
また、本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法において使用する炭化ホウ素は、水分含有量が低いことが好ましい。炭化ホウ素が含有する水は、三塩化ホウ素と反応し、ホウ酸を生成する。生成したホウ酸は、三塩化ホウ素製造装置の配管等のラインを閉塞させるおそれがある。
炭化ホウ素の水分含有量は、1質量%未満であることが好ましく、0.2質量%未満であることがより好ましい。粉粒体状の炭化ホウ素の水分含有量は、通常は1質量%以上であるので、反応に供する前に乾燥させ、水分含有量を低下させることが好ましい。炭化ホウ素の乾燥方法は特に限定されるものではなく、加熱乾燥等の一般的な乾燥方法を採用することができる。
塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応温度は、反応が進行する温度であれば特に限定されるものではないが、炭化ホウ素の反応率を十分に高くするためには、600℃以上とすることが好ましく、800℃以上とすることがより好ましい。また、反応容器の損傷を抑制するとともにエネルギーコストを抑えるためには、塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応温度は、1200℃以下とすることが好ましく、1100℃以下とすることがより好ましい。
塩素ガス含有ガス及び炭化ホウ素の温度を上記反応温度にする方法は、特に限定されるものではないが、例えば、常温の塩素ガス含有ガス及び炭化ホウ素を反応容器内に導入した後に、塩素ガス含有ガス及び炭化ホウ素を慣用の加熱手段で加熱してもよいし、常温の炭化ホウ素を反応容器内に配した上で、高温(例えば600℃以上1200℃以下)の塩素ガス含有ガスを反応容器内に導入してもよい。
塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素との反応圧力は特に限定されるものではないが、反応容器の気密性を十分に保つためには、0.500MPaG以下とすることが好ましい。また、炭化ホウ素の反応率を十分に高くするためには、−0.050MPaG以上とすることが好ましい。
本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法において使用する塩素ガス含有ガスとしては、50体積%以上100体積%未満の塩素ガスと残部の不活性ガスとからなる混合ガスを用いることができるが、90体積%以上100体積%未満の塩素ガスと残部の不活性ガスとからなる混合ガスを用いることが好ましく、不活性ガスを含有しない100体積%の塩素ガスを用いることがより好ましい。塩素ガスと不活性ガスとからなる混合ガスを塩素ガス含有ガスとして用いると、生成した三塩化ホウ素と不活性ガスとが混在することとなり、これらの分離が必要となる。混合ガスに使用可能な不活性ガスの種類は特に限定されるものではないが、例えば、窒素ガス、アルゴン、ヘリウムが挙げられる。
また、本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法において使用する塩素ガス含有ガスは、炭化ホウ素の場合と同様の理由により、水蒸気含有量が低いことが好ましい。塩素ガス含有ガスの水蒸気含有量は、1体積%未満であることが好ましく、100体積ppm未満であることがより好ましい。塩素ガス含有ガスを反応に供する前に乾燥し、水蒸気含有量を低下させることが好ましい。
塩素ガス含有ガスの乾燥方法は特に限定されるものではなく、例えば乾燥剤に接触させることによって乾燥することができる。乾燥剤の例としてはゼオライトがあげられ、具体例としてはモレキュラーシーブス3A、モレキュラーシーブス4A、ハイシリカゼオライトAW300、ハイシリカゼオライトAW500があげられる。ゼオライトは、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。また、乾燥剤は、ゼオライト以外の他の成分を含有していてもよい。
塩素ガス含有ガスの使用量は特に限定されるものではないが、反応容器の形状によって適宜選択することができる。例えば、内径10〜100mm、長さ(反応が行われる部分の長さ)200〜2000mmの管状の反応容器を使用することができる。そして、炭化ホウ素1kg当たりの塩素ガス含有ガスの使用量は、100L以上とすることが好ましく、2000L以上とすることがより好ましい。ただし、反応条件や反応容器の形状、寸法などによっては、反応容器に供給した炭化ホウ素が完全には反応せず、未反応の炭化ホウ素が残存する場合もあるので、適宜状況に合わせて調整する。
反応容器の材質は、塩素ガス、三塩化ホウ素、塩化水素等によって腐食されないものであるならば特に限定されるものではなく、例えば、石英、黒鉛、金属、セラミックが挙げられる。
本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法によって製造された三塩化ホウ素は、不純物として、塩素ガス、酸素ガス、窒素ガス、二酸化炭素、一酸化炭素、メタン、水素ガス、ヘリウム、塩化水素、四塩化ケイ素等を含有している場合がある。これらの不純物は、一般的な蒸留によって三塩化ホウ素から除去することができる。
以下に、本実施形態の三塩化ホウ素の製造方法について、三塩化ホウ素製造装置の一例を示す図1を参照しながらさらに詳細に説明する。なお、図1においては、本発明の特徴を分かりやすくするために、説明の便宜上、要部を拡大して図示している場合があり、図1に示した各構成要素の寸法比率等は、実際の三塩化ホウ素製造装置と同じであるとは限らない。
図1に示す三塩化ホウ素製造装置は、塩素ガスが充填された塩素ガス容器1(例えばボンベ)と、不活性ガスである窒素ガスが充填された窒素ガス容器2(例えばボンベ)と、塩素ガス及び不活性ガスの乾燥を行う乾燥装置3と、塩素ガス含有ガスと粉粒体状の炭化ホウ素4との反応が行われる石英製の管状反応容器5と、粉粒体状の炭化ホウ素4を管状反応容器5に供給する供給装置6(例えばフィーダー)と、管状反応容器5内の温度を測定する温度センサー7(例えば熱電対)と、管状反応容器5を加熱する加熱装置8と、ガス中の三塩化ホウ素、水蒸気、塩化水素等を分析することができるフーリエ変換赤外分光装置9と、を備えている。
管状反応容器5は、その中心軸が鉛直方向に沿うように設置されており、その下側端部には、乾燥装置3から延びる配管10が、接続用フランジ11を介して接続されている。また、管状反応容器5の上側端部には、フーリエ変換赤外分光装置9へ延びる配管20が、接続用フランジ21を介して接続されている。フーリエ変換赤外分光装置9としては、例えば、サーモフィッシャーサイエンティフィック社の赤外分光分析装置Nicolet iS5を使用することができる。
これら接続用フランジ11、21は、冷却装置23によって冷却可能とされている。すなわち、冷却装置23が備える冷却用配管24が、接続用フランジ11、21に接するように配されており、冷却装置23によって冷却水等の冷媒を冷却用配管24に循環させることにより、接続用フランジ11、21が冷却されるようになっている。
乾燥装置3は、ゼオライト等の乾燥剤31が収容された管状の乾燥容器32と、乾燥容器32を加熱する加熱装置33と、を備えている。乾燥容器32の材質は、例えば、SUS316等の金属である。塩素ガスや不活性ガスの乾燥に供されて水を吸収したことによって乾燥剤31の乾燥能力が低下した場合には、塩素ガスの供給を停止して、加熱装置33で乾燥容器32を加熱して乾燥剤31を例えば200℃に昇温し、不活性ガスの流通下で例えば10時間焼成すれば、乾燥剤31の乾燥能力を再生することができる。
三塩化ホウ素を製造する際には、まず塩素ガスを塩素ガス容器1から配管12、10を介して管状反応容器5に導入する。塩素ガスを不活性ガスで希釈した混合ガスを管状反応容器5に導入する場合は、配管12の中間部分において(すなわち、管状反応容器5よりも上流側で)塩素ガスと窒素ガスを混合し、配管12内で調製された混合ガスを配管10を介して管状反応容器5に導入する。すなわち、窒素ガス容器2と配管12の中間部分とを連通する配管13が配されており、窒素ガスが窒素ガス容器2から配管13を介して配管12の中間部分に導入されて、塩素ガスと窒素ガスが混合されるようになっている。
なお、配管10と配管12の間に乾燥装置3が配されているので、塩素ガス又は混合ガス(以下、これら両ガスをまとめて「塩素ガス含有ガス」と記す)は乾燥装置3の乾燥容器32内を通った後に管状反応容器5に導入される。よって、塩素ガス含有ガスは、乾燥容器32内の乾燥剤31に接し乾燥された後に管状反応容器5に導入される。
粉粒体状の炭化ホウ素4は、供給装置6によって管状反応容器5に供給され、管状反応容器5内で塩素ガス含有ガスと接触する。管状反応容器5内は加熱装置8によって所望の温度(例えば600℃以上の温度)に加熱されているので、管状反応容器5内で塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと炭化ホウ素4とが接触して反応し、三塩化ホウ素が生成する。生成した三塩化ホウ素は、塩素ガス含有ガスによって送り出され、管状反応容器5の上側端部から排出される。
管状反応容器5内の温度(すなわち反応温度)は、温度センサー7で測定した温度に基づいて加熱装置8の出力を調節することにより制御することができる。温度センサー7は、例えば、管状反応容器5の内部の軸方向中央部の温度を測定するように設置すればよい。例えば、温度センサー7が熱電対である場合であれば、熱電対の測温接点を管状反応容器5の内部の軸方向中央部に配置すればよい。
また、管状反応容器5内の圧力(すなわち反応圧力)は、圧力センサー15、26で測定した圧力に基づいて調節することができる。圧力センサー15、26は、例えば、配管10における管状反応容器5の下側端部近傍部分と、配管20における管状反応容器5の上側端部近傍部分に設置すればよい。
炭化ホウ素4は、供給装置6によって、上側端部から管状反応容器5に供給される。管状反応容器5は、その中心軸が鉛直方向に沿うように設置されているので、上側端部から供給された炭化ホウ素4は、管状反応容器5内を上方から下方に落下する。一方、塩素ガス含有ガスは、管状反応容器5の下側端部から導入されるので、炭化ホウ素の移動方向とは反対方向に流れることとなり、塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素4が流動している状態となる。例えば、内径10〜1000mm、長さ(反応が行われる部分の長さ)200〜2000mmの管状反応容器の場合には、塩素ガス含有ガスの流量を500〜10000ccm(cm3/min)の範囲で適宜選択できる。
塩素ガス含有ガスが流れる方向と炭化ホウ素4の移動方向とを反対方向とすることにより、炭化ホウ素4の移動速度が低下し反応容器内での滞留時間が長くなるため、炭化ホウ素4の反応率がより高くなる。なお、塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素4が流動している状態となるならば、塩素ガス含有ガスについても、炭化ホウ素4と同様に管状反応容器5の上側端部から導入してもよい。この場合には、生成した三塩化ホウ素を含有する塩素ガス含有ガスは、管状反応容器5の下側端部から排出される。
反応条件や管状反応容器5の形状、寸法などによって、管状反応容器5に供給した炭化ホウ素4の全量が反応する場合と、全量は反応することができず未反応の炭化ホウ素4が残存する場合がある。残存した炭化ホウ素4の粒子は、管状反応容器5の下側端部まで落下し、管状反応容器5の下方に設置されて管状反応容器5の下側端部に連続する受取容器28に回収される。
管状反応容器5の上側端部から排出された三塩化ホウ素は、塩素ガス含有ガスとともに、フーリエ変換赤外分光装置9を経由した後に配管20を介して三塩化ホウ素製造装置の外部に送られ、精製工程等の後処理工程に供される。フーリエ変換赤外分光装置9においては、三塩化ホウ素等の分析を行うことができるので、三塩化ホウ素の純度、収量、収率等を算出することができる。
なお、炭化ホウ素4は水分を含有する場合があるため、乾燥した上で反応に供することが好ましい。炭化ホウ素4の乾燥は、例えば、図2に示す乾燥設備により行うことができる。図2に示す乾燥設備は、気密性を有する金属製容器41と、金属製容器41を加熱するヒーター43と、を備えている。金属製容器41に粉粒体状の炭化ホウ素4を充填し、金属製容器41に窒素ガスを流しながら、ヒーター43により金属製容器41を加熱して例えば200℃に昇温し、例えば4時間保温する。乾燥が終了したら室温まで冷却し、金属製容器41内の炭化ホウ素4を三塩化ホウ素製造装置の供給装置6に移動させ、反応に供する。
以下に実施例及び比較例を示して、本発明をより具体的に説明する。
〔実施例1〕
図1の三塩化ホウ素製造装置と同様の構成の三塩化ホウ素製造装置を用い、上記実施形態と同様の操作を行って粉粒体状の炭化ホウ素と塩素ガス含有ガスとを反応させ、三塩化ホウ素を製造した。管状反応容器の径は38mm、長さは1400mm、材質は石英である。以下に詳細を説明する。
塩素ガス含有ガスとしては、純度99.999体積%、水蒸気含有量0.9体積ppmの市販の高純度塩素ガスを用いた。
炭化ホウ素としては、レーザー回折法により測定したD50が20.88μmである粉粒体状の炭化ホウ素(製造会社名:理研コランダム株式会社)を用いた。そして、この炭化ホウ素は、図2に示す乾燥設備を用いて乾燥したものである。乾燥条件は、上記と同様の条件であり、窒素ガス流通下で200℃で4時間保温するというものである。
乾燥容器32に収容した乾燥剤31は、ハイシリカゼオライトAW500(製造会社名:ユニオン昭和株式会社)であり、窒素ガス流通下で200℃で10時間焼成したものである。
反応を開始する前に、窒素ガス容器2から三塩化ホウ素製造装置の全体に窒素ガスを1500ccmの流量で流通し、1時間以上パージした。パージ時は、冷却装置23で接続用フランジ11、21を冷却しながら、加熱装置8で管状反応容器5を800℃(設定温度)に加熱した。
パージ終了後、窒素ガスの流通を止め、塩素ガス容器1から管状反応容器5に塩素ガスを導入した。そして、温度25℃、圧力0MPaG(1気圧)の状態で、塩素ガスの流量を1800ccm(cm3/min)として、供給装置6から管状反応容器5に炭化ホウ素を1g/minの速度で供給して、塩素ガスと炭化ホウ素とを2時間反応させた。なお、塩素ガスの流量1800ccmはモル換算すると4.42モル/hであり、炭化ホウ素の供給速度1g/minはモル換算すると1.085モル/hである。
炭化ホウ素が過剰量供給されるので、塩素ガスの流量に応じた量の三塩化ホウ素が生成する。塩素ガスの転化率が100%、選択率が100%、収率が100%と仮定すると、三塩化ホウ素の生成速度は2.94モル/h(4.42モル/h×4/6)となる。
加熱装置8の設定温度は800℃であったが、反応中に温度センサー7により測定された管状反応容器5内の温度は807℃であり、設定温度との差はほとんど無かった。
すなわち、実施例1においては、塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素が流動している状態で反応が行われるので、管状反応容器5に蓄熱が生じにくく、管状反応容器5内の温度が設定温度から乖離した高温に上昇することはなかった。その結果、実施例1においては、管状反応容器5に高温による損傷は生じなかった。
生成した三塩化ホウ素を含有する塩素ガスをフーリエ変換赤外分光装置9(製造会社名:サーモフィッシャーサイエンティフィック社)に送って分析を行い、塩素ガス中の三塩化ホウ素の含有率を算出した。分析条件は以下の通りである。フーリエ変換赤外分光装置9の窓板の材質は塩化銀(AgCl)、セル長は1cm、データ間隔は0.964cm-1、スキャン回数は16である。分析に用いた波数は、1908cm-1である。一方、塩素ガス濃度はチオ硫酸ナトリウムによる滴定で求めた。分析の結果、三塩化ホウ素の生成速度は、273g/h(2.33モル/h)であった。したがって、塩素ガス基準での収率は79%である。
実施例2〜13として、表1に示す通りの条件で反応と分析を行った。実施例2〜5、12に示す通り、管状反応容器の温度を580〜1100℃の範囲で設定したが、管状反応容器の損傷もなく、良好に三塩化ホウ素を生成できた。また、実施例6〜8に示す通り、原料の炭化ホウ素の平均粒径D50を、50nm〜480μmの範囲で変化させたが、管状反応容器の損傷もなく、良好に三塩化ホウ素を生成できた。
さらに実施例9、10、13に示す通り、管状反応容器の圧力を−0.06〜0.05MPaGの範囲で変化させたが、管状反応容器の損傷もなく、良好に三塩化ホウ素を生成できた。さらに、実施例11に示す通り、塩素ガス含有ガスの塩素ガス含有量を50体積%にしたが、管状反応容器の損傷もなく、良好に三塩化ホウ素を生成できた。
Figure 2020003925
〔比較例1〕
原料の炭化ホウ素として粒径1〜3mmの粒状の炭化ホウ素を使用し、塩素ガス含有ガス中で炭化ホウ素が流動していない状態で反応を行う点と、管状反応容器105を加熱する加熱装置108の設定温度が850℃である点と、塩素ガスの流量が567ccmである点以外は、実施例1と同様にして反応と分析を行った。
すなわち、炭化ホウ素104を落下させながら反応を行うのではなく、図3に示す三塩化ホウ素製造装置を用い、反応開始前に炭化ホウ素104を管状反応容器105に充填し、炭化ホウ素104の位置が移動せず固定された状態で反応を行った。
なお、図3中の符号101は塩素ガス容器、符号102は窒素ガス容器、符号103は乾燥装置、符号107は温度センサー、符号109はフーリエ変換赤外分光装置、符号110、112、113、120は配管、符号111、121は接続用フランジ、符号115、126は圧力センサー、符号123は冷却装置、符号124は冷却用配管、符号131は乾燥剤、符号132は乾燥容器、符号133は加熱装置を示す。
その結果、炭化ホウ素と塩素ガスの反応は、管状反応容器105の下部から上部へ向かって約1cm/hの速度で進行した。反応中に温度センサー107により測定された反応点(ホットスポット)の温度は1210℃であり、設定温度との間に大きな差があった。すなわち、比較例1においては、炭化ホウ素の位置が移動せず固定された状態で反応が行われるので、管状反応容器105に蓄熱が生じやすく、管状反応容器105内の温度が設定温度から乖離した高温に上昇したと考えられる。その結果、比較例1においては、管状反応容器105に高温による損傷が生じた。
反応開始から約5時間で三塩化ホウ素の生成量がゼロになり、反応は終了した。分析の結果、塩素ガス中の三塩化ホウ素の含有率は95体積%以上であり、三塩化ホウ素の生成速度は、117g/hであった。
1 塩素ガス容器
2 窒素ガス容器
4 炭化ホウ素
5 管状反応容器
6 供給装置
8 加熱装置
9 フーリエ変換赤外分光装置

Claims (7)

  1. 塩素ガス含有ガス中で粉粒体状の炭化ホウ素が流動している状態で、前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を行う工程を有する三塩化ホウ素の製造方法。
  2. 反応容器内に前記塩素ガス含有ガス及び前記炭化ホウ素を連続的に供給するとともに前記反応容器からその反応生成物を連続的に排出しながら、前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を連続的に行う請求項1に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
  3. 前記炭化ホウ素の体積基準の平均粒径D50が500μm未満である請求項1又は請求項2に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
  4. 前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を600℃以上の温度で行う請求項1〜3のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
  5. 前記塩素ガス含有ガス中の塩素ガスと前記炭化ホウ素との反応を−0.050MPaG以上0.500MPaG以下の圧力下で行う請求項1〜4のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
  6. 前記塩素ガス含有ガスは50体積%以上100体積%以下の塩素ガスと残部の不活性ガスとからなる請求項1〜5のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
  7. 前記塩素ガス含有ガスの水蒸気含有量が1体積%未満である請求項1〜6のいずれか一項に記載の三塩化ホウ素の製造方法。
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