JPWO2019244665A1 - 半導体装置のレーザーアニール方法、半導体装置、レーザーアニール方法、レーザーアニール装置の制御装置およびレーザーアニール装置 - Google Patents
半導体装置のレーザーアニール方法、半導体装置、レーザーアニール方法、レーザーアニール装置の制御装置およびレーザーアニール装置 Download PDFInfo
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 189
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 title claims abstract description 121
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 132
- 238000004148 unit process Methods 0.000 claims description 49
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 39
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 39
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 8
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/20—Bonding
- B23K26/32—Bonding taking account of the properties of the material involved
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/66325—Bipolar junction transistors [BJT] controlled by field-effect, e.g. insulated gate bipolar transistors [IGBT]
- H01L29/66333—Vertical insulated gate bipolar transistors
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Abstract
Description
実施の形態にかかる半導体装置のレーザーアニール方法について、半導体装置として逆導通型IGBT(RC−IGBT)を製造する方法を例に説明する。RC−IGBTは、例えばトレンチゲート構造のIGBTと、このIGBTに逆並列に接続したFWD(Free Wheeling Diode:還流ダイオード)とを同一の半導体基板(半導体チップ)上に一体化してなる。図1は、実施の形態にかかる半導体装置の構造を示す断面図である。具体的には、同一の半導体基板上の活性領域に、IGBTの動作領域となるIGBT領域12と、FWDの動作領域となるFWD領域13とが並列に設けられている。活性領域は、オン状態のときに電流が流れる領域である。活性領域の周囲を囲むエッジ終端領域(不図示)にガードリングやフィールドプレート等の耐圧構造が設けられていてもよい。
以下、実施例について説明する。図8は、実施例および比較例のオーバーラップ率と評価結果を示す表である。実施例では、オーバーラップ率とIRレーザーの条件を変えて評価を行った。比較例は従来のオーバーラップ率67%/50%で評価した。図8において、OL率は、オーバーラップ率を示し、shot数は、半導体ウエハの1つの領域に照射されるレーザーパルスの数である。また、エネルギー密度、パルス幅、周波数は、IRレーザーの条件であり、単位はそれぞれJ/cm2、μs、kHzである。パルス幅は、図6のパルス幅t2に対応し、周波数は1秒間のレーザーパルス数である。つまり、周波数は、図6の間隔t1の逆数である。
2 n-型ドリフト領域
3 p型ベース領域
4 n+型エミッタ領域
5 p+型コンタクト領域
6 ゲート絶縁膜
7 裏面電極
8 ゲート電極
9 層間絶縁膜
10 表面電極
11 保護膜
12 IGBT領域
13 FWD領域
16 p+型コレクタ領域
17 n+型カソード領域
18 トレンチ
19 半導体ウエハ
28 コンタクトホール
31 レーザー光源
32 ビームホモジナイザ
33 ミラー
40 チャンバ
41 ステージ
42 レーザー透過窓
50 制御装置
60 アニール対象物
61 アニール対象領域
62 走査経路
65 ビーム断面
66x x軸方向のビームプロファイル
66y y軸方向のビームプロファイル
68 保護膜
70A、70B、70C、70D、70E パルスレーザービームが入射した領域
75 1回の主走査による照射回数の増分を示す領域
77 走査線
78 部分領域
Claims (14)
- 半導体基板に不純物を添加する第1工程と、
前記不純物が添加された領域に、複数回パルスレーザービームを照射して前記半導体基板のアニールを行う第2工程と、
を含み、
前記第2工程では、前記不純物が添加された領域の一部の第1領域に前記パルスレーザービームを照射した後、所定の時間間隔後、前記第1領域と隣接する第2領域に前記パルスレーザービームを照射することを特徴とする半導体装置のレーザーアニール方法。 - 前記所定の時間間隔は、前記パルスレーザービームのパルス間隔より大きいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置のレーザーアニール方法。
- 前記第2工程では、連続する前記パルスレーザービームの照射領域間が所定の間隔以上離れていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置のレーザーアニール方法。
- 前記所定の間隔は、前記照射領域の幅または高さの0%より大きく、100%以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置のレーザーアニール方法。
- 前記所定の間隔は、前記照射領域の高さの1/2、2/3または前記照射領域の高さであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置のレーザーアニール方法。
- 前記第2工程より前に、前記半導体基板の一方の面に保護膜を形成する工程をさらに含み、
前記第2工程では、前記保護膜が形成された面と反対側の面から前記パルスレーザービームを照射することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体装置のレーザーアニール方法。 - 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板のおもて面に設けられた第2導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の、前記半導体基板側に対して反対側の表面層に選択的に設けられた第1導電型の第1半導体領域と、
前記半導体基板の、前記第1半導体層に対して反対側の表面層に選択的に設けられた、前記半導体基板より高不純物濃度の第1導電型の第2半導体層と、
前記第1半導体領域と前記半導体基板とに挟まれた前記第1半導体層の表面上の少なくとも一部にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極と、
前記第1半導体領域と前記第1半導体層の表面に設けられた第1電極と、
前記第2半導体層の表面に設けられた第2電極と、
を備え、
前記第2半導体層は、前記半導体基板に不純物を添加し、前記不純物が添加された領域の一部の第1領域に前記パルスレーザービームを照射した後、所定の時間間隔後、前記第1領域と隣接する第2領域に前記パルスレーザービームを照射して、前記半導体基板のアニールを行うことで形成されることを特徴とする半導体装置。 - ショット間でパルスレーザービームが入射する領域が重ならないように、パルスレーザービームでアニール対象物の表面を走査する単位工程を複数回繰り返して前記アニール対象物をアニールするレーザーアニール方法であって、
1つの前記単位工程でパルスレーザービームが入射する領域と、他の1つの前記単位工程でパルスレーザービームが入射する領域とが部分的に重なるように、前記アニール対象物の表面を走査することを特徴とするレーザーアニール方法。 - 前記単位工程の各々は、パルスレーザービームの入射する領域をショットごとに一方向に等間隔で移動させる工程を含むことを特徴とする請求項8に記載のレーザーアニール方法。
- 前記アニール対象物の表面に、アニールすべきアニール対象領域が画定されており、
パルスレーザービームのビーム断面内において、光強度が最大値の90%以上となる部分が入射した領域が、前記アニール対象領域を隈なく覆うように、複数の前記単位工程を繰り返すことを特徴とする請求項8または9に記載のレーザーアニール方法。 - パルスレーザービームでアニール対象物の表面を走査するレーザーアニール装置の制御装置であって、
ショット間でパルスレーザービームが入射する領域が重ならないように、パルスレーザービームで前記アニール対象物の表面を走査する単位工程を複数回繰り返して前記アニール対象物をアニールする機能、及び
1つの前記単位工程でパルスレーザービームが入射する領域と、他の1つの前記単位工程でパルスレーザービームが入射する領域とが部分的に重なるように、前記アニール対象物の表面を走査する機能を有することを特徴とするレーザーアニール装置の制御装置。 - 前記単位工程の各々において、パルスレーザービームの入射する領域をショットごとに一方向に等間隔で移動させる機能をさらに有することを特徴とする請求項11に記載のレーザーアニール装置の制御装置。
- 前記アニール対象物の表面に、アニールすべきアニール対象領域が画定されており、
パルスレーザービームのビーム断面内において、光強度が最大値の90%以上となる部分が入射した領域が、前記アニール対象領域を隈なく覆うように、複数の前記単位工程を繰り返す機能を、さらに有することを特徴とする請求項11または12に記載のレーザーアニール装置の制御装置。 - パルスレーザービームを出力するレーザー光源と、
前記レーザー光源から出力されたパルスレーザービームが入射する位置に保持されたアニール対象物の表面を前記レーザー光源から出力されたパルスレーザービームで走査する走査機構と、
前記レーザー光源及び前記走査機構を制御する制御装置と、
を有し、
前記制御装置は、前記レーザー光源及び前記走査機構を制御して、
前記レーザー光源から出力されたパルスレーザービームで、ショット間でパルスレーザービームが入射する領域が重ならないように前記アニール対象物の表面を走査する単位工程を複数回繰り返して前記アニール対象物をアニールする機能、及び
1つの前記単位工程でパルスレーザービームが入射する領域と、他の1つの前記単位工程でパルスレーザービームが入射する領域とが部分的に重なるように、前記アニール対象物の表面を走査する機能を有することを特徴とするレーザーアニール装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018118611 | 2018-06-22 | ||
JP2018118611 | 2018-06-22 | ||
PCT/JP2019/022650 WO2019244665A1 (ja) | 2018-06-22 | 2019-06-06 | 半導体装置のレーザーアニール方法、半導体装置、レーザーアニール方法、レーザーアニール装置の制御装置およびレーザーアニール装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019244665A1 true JPWO2019244665A1 (ja) | 2020-07-16 |
JP6864158B2 JP6864158B2 (ja) | 2021-04-28 |
Family
ID=68983982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020519473A Active JP6864158B2 (ja) | 2018-06-22 | 2019-06-06 | 半導体装置のレーザーアニール方法およびレーザーアニール方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210111026A1 (ja) |
JP (1) | JP6864158B2 (ja) |
WO (1) | WO2019244665A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2022244837A1 (ja) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 |
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JP2015015400A (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5179099B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2013-04-10 | オリンパス株式会社 | 光刺激用照明装置および顕微鏡装置 |
JP5517832B2 (ja) * | 2010-08-20 | 2014-06-11 | 住友重機械工業株式会社 | レーザアニール装置及びレーザアニール方法 |
JP2015154000A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
KR101854282B1 (ko) * | 2017-06-29 | 2018-05-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 절단 방법 및 표시 장치 제조 방법 |
-
2019
- 2019-06-06 JP JP2020519473A patent/JP6864158B2/ja active Active
- 2019-06-06 WO PCT/JP2019/022650 patent/WO2019244665A1/ja active Application Filing
-
2020
- 2020-12-21 US US17/129,813 patent/US20210111026A1/en active Pending
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JP2015015400A (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210111026A1 (en) | 2021-04-15 |
JP6864158B2 (ja) | 2021-04-28 |
WO2019244665A1 (ja) | 2019-12-26 |
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