JPWO2019221191A1 - 石英ルツボの透過率測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】石英ルツボの一方の壁面1Wa側に配置した光源5から石英ルツボの所定の測定点に向けて平行光を照射し、石英ルツボの他方の壁面1Wb側であって他方の壁面1Wb上の平行光の出射点Pを中心とする同心円C0上の複数の位置に検出器6を配置して石英ルツボの透過光の受光レベルを複数の位置で測定し、複数の位置で測定した透過光の複数の受光レベルに基づいて所定の測定点における石英ルツボの透過率を求める。
【選択図】図2
Description
1W 石英ルツボの壁体
1Wa 石英ルツボの一方の壁面
1Wb 石英ルツボの他方の壁面
1a 石英ルツボの側壁部
1b 石英ルツボの底部
1c 石英ルツボのコーナー部
1i 石英ルツボの内面
1o 石英ルツボの外面
2 透明層(無気泡層)
3 不透明層(気泡層)
5 光源
6 検出器
10 透過率測定装置
11 支持装置
12 支持台
13 支柱
14 回転ローラ
15 上部フレーム
16 梁部
20 投光装置
21 レーザー装置
21a レーザー光源(レーザー発振器)
21b ビームエキスパンダ
21c ラインジェネレータ
22 ガイドレール
30 受光装置
31,31a〜31e カメラ
32 カメラ昇降機構
33 カメラ回動機構
34 カメラ旋回機構
35 ガイドレール
40 透過率演算部
60 ルツボ片(石英ガラス片)
61 赤外ランプ
62 検出器(パワーメーター)
C0 同心円
Claims (22)
- 石英ルツボの一方の壁面側に配置した光源から前記石英ルツボの所定の測定点に向けて平行光を照射し、
前記石英ルツボの他方の壁面側であって前記他方の壁面上の前記平行光の出射点を中心とする同心円上の複数の位置に検出器を配置して前記石英ルツボの透過光の受光レベルを前記複数の位置で測定し、
前記複数の位置で測定した前記透過光の複数の受光レベルに基づいて前記所定の測定点における前記石英ルツボの透過率を求めることを特徴とする石英ルツボの透過率測定方法。 - 前記同心円に沿って単一の検出器を旋回させることにより前記検出器を前記複数の位置に配置する、請求項1に記載の透過率測定方法。
- 前記平行光の光軸に対する前記検出器の最大旋回角度が45°以上である、請求項2に記載の透過率測定方法。
- 前記複数の位置に予め配置した複数の検出器を用いて前記石英ルツボの透過率を求める、請求項1に記載の透過率測定方法。
- 前記石英ルツボの外側に前記光源を配置し、
前記石英ルツボの内側に前記検出器を配置し、
前記光源から前記石英ルツボに照射した平行光を前記検出器で受光することにより、前記石英ルツボの透過率を非破壊で測定する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の透過率測定方法。 - 前記光源及び前記検出器の位置を前記石英ルツボの前記壁面に沿って高さ方向に移動させることにより、前記石英ルツボの高さ方向の位置が異なる複数の測定点において前記透過率を測定する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の透過率測定方法。
- 前記光源及び前記検出器と前記石英ルツボの相対的な位置を前記石英ルツボの壁面に沿って周方向に移動させることにより、前記石英ルツボの周方向の位置が異なる複数の測定点において前記透過率を測定する、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の透過率測定方法。
- 前記平行光は、レーザー光源から出力されたレーザービームのビーム径を拡大したものである、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の石英ルツボの透過率測定方法。
- 前記拡大されたレーザービームのビーム径が5mm以上である、請求項8に記載の石英ルツボの透過率測定方法。
- 前記平行光は、レーザー光源から出力されたレーザービームをレーザーライン光に変換したものである、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の石英ルツボの透過率測定方法。
- 前記レーザーライン光のスポット長さが10mm以上である、請求項10に記載の石英ルツボの透過率測定方法。
- 石英ルツボの一方の壁面側に配置され、前記石英ルツボの所定の測定点に向けて平行光を照射する光源と、
前記石英ルツボの他方の壁面側に配置され、前記石英ルツボの透過光を受光する少なくとも一つの検出器と、
前記検出器によって測定された前記透過光の受光レベルに基づいて前記石英ルツボの透過率を算出する透過率演算部とを備え、
前記検出器は、前記他方の壁面上の前記平行光の出射点を中心とする同心円上の複数の位置で前記石英ルツボの透過光の受光レベルを測定し、
前記透過率演算部は、前記複数の位置で測定した前記透過光の複数の受光レベルに基づいて前記所定の測定点における前記石英ルツボの透過率を求めることを特徴とする石英ルツボの透過率測定装置。 - 前記同心円に沿って単一の検出器を旋回させる旋回機構をさらに備える、請求項12に記載の透過率測定装置。
- 前記平行光の光軸に対する前記検出器の最大旋回角度が45°以上である、請求項13に記載の透過率測定装置。
- 前記複数の位置にそれぞれ配置された複数の検出器をさらに備える、請求項12に記載の透過率測定装置。
- 前記光源は前記石英ルツボの外側に配置されており、
前記検出器は前記石英ルツボの内側に配置されており、
前記光源から前記石英ルツボに照射した平行光を前記検出器で受光することにより、前記石英ルツボの透過率を非破壊で測定する、請求項12乃至15のいずれか一項に記載の透過率測定装置。 - 前記光源の位置を前記石英ルツボの前記一方の壁面に沿って高さ方向に移動させる投光位置変更手段と、
前記検出器の位置を前記石英ルツボの前記他方の壁面に沿って高さ方向に移動させる受光位置変更手段とをさらに備える、請求項12乃至16のいずれか一項に記載の透過率測定装置。 - 前記石英ルツボを回転させるルツボ回転機構をさらに備える、請求項12乃至17のいずれか一項に記載の透過率測定装置。
- 前記光源は、レーザービームを出力するレーザー光源と、
前記レーザー光源から出力された前記レーザービームのビーム径を拡大するビームエキスパンダを含む、請求項12乃至18のいずれか一項に記載の透過率測定装置。 - 前記拡大されたレーザービームのビーム径が5mm以上である、請求項19に記載の透過率測定装置。
- 前記光源は、レーザービームを出力するレーザー光源と、
前記レーザー光源から出力された前記レーザービームをレーザーライン光に変換するラインジェネレータを含む、請求項12乃至18のいずれか一項に記載の透過率測定装置。 - 前記レーザーライン光のスポット長さが10mm以上である、請求項21に記載の透過率測定装置。
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