JPWO2019221117A1 - 電子物品、および電子物品への成膜方法 - Google Patents

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Abstract

電子物品へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とを両立するために、本発明の電子物品(10)は、下地部材(1)の表面に形成された被膜(3)は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、前記フッ素系樹脂は、被膜(3)における下地部材(1)と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布している。

Description

本発明は、電子物品、および電子物品への成膜方法に関する。
従来、例えば近接センサ等の電子物品は筺体の材料としてFe等の金属が使用されている。それゆえ、このような電子物品を溶接現場で使用したとき、溶接を行う際に発生するスパッタも筺体と同種の金属であるため、筺体にスパッタが付着または溶着する。そして、スパッタの筺体への付着または溶着のため、電子物品が誤作動を起こす。このため、溶接現場では、このような電子物品の誤作動を防止するため、定期的に金属ブラシ等で筺体に付着または融着したスパッタを除去するメンテナンス作業が必要になり、多くの手間がかかっていた。
このようなスパッタに関する問題に対して、筺体に被膜を形成することにより、筺体に対するスパッタの付着または融着を低減する方策がなされている。例えば特許文献1には、このような被膜形成に用いるスパッタ付着防止剤が開示されている。
また、特許文献2には、炊飯器の内釜、ホットプレート、フライパンなどの調理器具、複写機やレーザープリンタに配置されている定着ローラ等の部材にフッ素系樹脂被膜層を形成する方法が開示されている。
日本国公開特許公報「特開2012−081492号公報(2012年 4月26日公開)」 日本国公開特許公報「特開2013−027875号公報(2013年 2月 7日公開)」
特許文献1に記載の技術では、筺体へのスパッタの付着量が少なくなり、メンテナンス作業の周期を伸ばすことができる。しかし、依然として、メンテナンス作業を行う必要がある。そして、メンテナンスの際に、被膜が筺体から剥離し、下地である筺体表面が露出してしまう。そして、この露出した筺体表面にスパッタが付着すると、電子物品の誤作動が起きるおそれがある。溶接現場を想定した被膜には、筺体から剥離されにくい、あるいは削れにくいといったメンテナンス耐久性が要求される。
特許文献1に記載の技術は、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とを両立させる点で、改善の余地が残されていた。
本発明の一態様は、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とが両立した電子物品、および電子物品への成膜方法を実現することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る電子物品は、下地部材と、前記下地部材の表面に形成された被膜と、を有し、前記被膜は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、前記フッ素系樹脂は、前記被膜における前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布していることを特徴としている。
また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る成膜方法は、下地部材へ被膜を形成する成膜方法であって、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液を前記下地部材の表面に塗布する塗布工程と、前記被膜溶液を、前記フッ素系樹脂の融点および前記バインダー樹脂の融点のうち高いほうの温度から前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度のうち低いほうの温度までの範囲内の温度に加熱して焼成し、前記被膜溶液を硬化する焼成硬化工程と、を含むことを特徴としている。
さらに、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る被膜は、下地部材の表面に形成された被膜であって、前記被膜は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、前記フッ素系樹脂は、前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布していることを特徴としている。
本発明の一態様によれば、電子物品へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とを両立できる。
(a)〜(d)は、本発明の一実施形態に係る成膜方法の各工程を示す図である。 図1の(a)〜(d)に示す成膜方法によって形成された被膜を説明するための説明図である。 スパッタ付着性を評価する評価装置の構成を示す図である。 (a)は、比較例7の被膜の外側の膜表面からの深さに対するフッ素系樹脂の濃度の分布を示すグラフであり、(b)は、実施例5の被膜の外側の膜表面からの深さに対するフッ素系樹脂の濃度の分布を示すグラフである。
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。なお、本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「A〜B」は、「A以上、B以下」を意味する。
§1 適用例
本願発明者らは、下地部材へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とを両立し得る被膜および成膜方法の開発を目指して鋭意開発した。
その結果、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液を電子物品本体に塗布し、所定の範囲内の温度に加熱して焼成し、前記被膜溶液を硬化することにより、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とを両立できる電子物品を開発することに成功した。具体的には、前記被膜溶液の焼成温度を前記フッ素系樹脂の融点および前記バインダー樹脂の融点のうち高いほうの温度から前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度のうち低いほうの温度までの範囲内の温度とすることにより、上述した課題を解決し得るという新規知見を見出し、本願発明を完成させた。
通常、フッ素系樹脂からなる被膜は、スパッタが付着し難い一方、削れやすい。それゆえ、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液を焼成して被膜を形成する場合、焼成温度をフッ素系樹脂の融点以上の温度に設定すると、フッ素系樹脂からなる融解物が表面に析出されるため、被膜は、削れやすい構成となることが想定されてきた。このため、焼成温度をフッ素系樹脂の融点以上の温度に設定することは、被膜の剥離強度の向上(被膜のメンテナンス耐久性の向上)とは相反するように思われる。
しかしながら、本願発明者らは、独自の研究を重ねることにより、焼成温度をフッ素系樹脂の融点以上の温度に設定しても、被膜の削れやすさにそれ程影響しないという知見を見出した。被膜の削れやすさは、従来考えられてきたフッ素系樹脂の融解物層の表面析出よりもむしろ、被膜と下地部材との密着性が寄与していると考えられる。そして、焼成温度をフッ素系樹脂の融点以上の温度に設定することにより、被膜溶液の下地表面に対する濡れ性が向上し、得られた被膜は、下地部材との密着性が良好になるという知見を見出した。これらの知見に基づく本願発明の技術思想は、従来の知見から予測できるものではなく、本願発明者らが独自に完成させたものである。
図1の(a)〜(d)は、本発明の一実施形態に係る成膜方法の各工程を示す図である。本実施形態に係る成膜方法は、図1の(a)に示す下地部材1へ被膜3を形成する方法である。成膜対象となる下地部材1は、特に限定されないが、溶接現場で使用される電子機器を構成する筺体であることが好ましい。このような電子機器としては、例えば、近接センサ、ケーブル、コネクタ、アクチュエータ等が挙げられる。
本実施形態に係る成膜方法は、表面加工処理工程と、塗布工程と、焼成硬化工程と、を含む。
表面加工処理工程では、下地部材1に対して所定の表面粗さRaになるように処理する。図1の(b)に示されるように、表面加工処理工程により、下地部材1には、表面加工処理面1aが形成される。表面加工処理面1aは、微細な凹凸面である。
そして、図1の(c)に示されるように、塗布工程では、被膜溶液2を下地部材1の表面加工処理面1aに塗布する。被膜溶液2は、バインダー樹脂が溶媒に溶解した溶液であり、粒子状のフッ素系樹脂、および固体のセラミックフィラーを含有する。
そして、焼成硬化工程では、図1の(c)に示されるように、被膜溶液2を加熱して焼成し、被膜溶液2を硬化する。より具体的には、被膜溶液2を焼成温度Tにて焼成後、焼成温度Tから常温へ温度を下げることによって被膜溶液2を硬化する。その結果、図1の(d)に示されるように、下地部材1に被膜溶液2の硬化物からなる被膜3が形成される。
図2は、図1の(a)〜(d)に示す成膜方法によって形成された被膜3を説明するための説明図である。図2では、焼成温度T<フッ素系樹脂の融点Tmの条件で被膜3を成膜した電子物品10’と、本実施形態のような焼成温度T≧フッ素系樹脂の融点Tmの条件で被膜3を成膜した電子物品10とを示している。
図2に示されるように、本実施形態に係る電子物品10は、下地部材1と、下地部材1の表面に形成された被膜3と、を有する。被膜3は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液2の焼成硬化物からなっている。
ここで、本実施形態に係る成膜方法では、前記焼成硬化工程における被膜溶液2の焼成温度Tは、前記フッ素系樹脂の融点Tmおよび前記バインダー樹脂の融点のうち高いほうの温度から前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度のうち低いほうの温度までの範囲内に設定される。すなわち、本実施形態に係る成膜方法では、焼成温度Tは、被膜溶液2に含まれるフッ素系樹脂の融点Tm以上に設定される。
上述のように焼成温度Tを設定することにより、被膜溶液2に含まれる前記溶媒は、気化して気体となる。また、バインダー樹脂は、溶融体となり、下地部材1に対する濡れ性が向上する。これにより、被膜溶液2は、下地部材1の表面に濡れ広がった状態で硬化する。その結果、被膜溶液2の硬化物である被膜3は、下地部材1との密着性が向上する。
また、焼成温度Tがフッ素系樹脂の融点Tm以上に設定されるので、図2に示されるように、電子物品10の被膜3では、フッ素系樹脂は、被膜3における下地部材1と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布している。すなわち、被膜3は、フッ素系樹脂の融解固化物から構成されるフッ素系樹脂リッチ層3aと、被膜溶液2の硬化物から構成される溶液硬化層3bと、を有する。フッ素系樹脂リッチ層3aは、被膜3における外部との露出部分に形成されている。一方、焼成温度Tがフッ素系樹脂の融点Tm未満に設定される場合、図2に示されるように、電子物品10’の被膜3は、フッ素系樹脂リッチ層3aを有さず、全てが被膜溶液の硬化物から構成されている。
フッ素系樹脂リッチ層3aを構成するフッ素系樹脂の融解固化物は、撥水性を有する。それゆえ、被膜3における外部との露出部分に、撥水性を有するフッ素系樹脂リッチ層3aが形成されているので、スパッタが被膜3に付着しにくくなる。
以上のことから、本実施形態に係る成膜方法によれば、電子物品本体(下地部材1)へのスパッタの付着の低減と被膜3のメンテナンス耐久性の向上とが両立した電子物品を実現できる。また、このような成膜方法で作成された、本実施形態に係る電子物品は、上述のように、フッ素系樹脂が、被膜3における下地部材1と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布している。それゆえ、本実施形態に係る電子物品は、電子物品本体(下地部材1)へのスパッタの付着の低減と被膜3のメンテナンス耐久性の向上とが両立した物品となる。
本実施形態に係る成膜方法では、下地部材1に表面加工処理する表面加工処理工程を含む。そして、本実施形態に係る電子物品10では、下地部材1における被膜3側の面に微細な凹凸面である表面加工処理面1aが形成されている。このように表面加工処理面1aが形成されているので、電子物品10では、下地部材1と被膜3との間の密着性がより一層向上する。
なお、前記表面加工処理工程は、被膜溶液2のバインダー樹脂の組成または量に応じて、適宜追加される工程である。すなわち、本実施形態に係る成膜方法では、表面加工処理を用いることなく、前記焼成硬化工程における焼成温度Tを上述のように設定することにより、被膜3と下地部材1との密着性を向上させることが可能である。
§2 構成例
(下地部材1)
下地部材1は、焼成硬化工程における焼成温度Tに耐え得る材料であれば、特に限定されない。特に、溶接現場にて電子物品本体の筺体の材料であるステンレス鋼(SUS)であることが好ましい。このようなステンレス鋼として、具体的には、SUS303、SUS303CU、SUS304等が挙げられる。これらの中でも、SUS304が好ましい。
また、下地部材1の材料は、前記ステンレス鋼以外にも、融点が焼成温度T以上の材料であってもよい。例えば、下地部材1の材料は、ポリベンゾイミダゾール(PBI)、ポリイミド(PI)、エポキシ樹脂(EP)、液晶ポリマー(LCP)といった、融点が360℃以上の材料であってもよい。
(被膜溶液2)
上述したように、被膜溶液2は、バインダー樹脂が溶媒に溶解した溶液であり、粒子状のフッ素系樹脂、および固体のセラミックフィラーを含有する。前記バインダー樹脂、前記フッ素系樹脂、および前記セラミックフィラーは、被膜3と下地部材1との密着性を向上させるとともに撥水性のフッ素系樹脂リッチ層3aを形成可能な化合物であれば、特に限定されない。
バインダー樹脂は、粒子状のフッ素系樹脂、および固体のセラミックフィラーと、下地部材1とを結合するための樹脂であり、熱可塑性樹脂であるが、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂等の硬化性樹脂であってもよく、焼成温度Tにおいて液状となる樹脂であればよい。バインダー樹脂は、溶媒に溶解する樹脂であればよく、フッ素系樹脂、セラミックフィラー、溶媒、及び下地部材1の材料に応じて適宜設定可能である。バインダー樹脂は、好ましくはフッ素系樹脂の融点以上の温度で融解し、かつ熱分解しない熱可塑性樹脂であり、例えば、ポリアミドイミド(PAI)およびポリフェニレンサルファイド(PPS)からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂である。また、バインダー樹脂は、PAIとPPSとの混合物であってもよい。なお、PAIの融点、分解温度はそれぞれ、300℃、410℃である。PPSの融点、分解温度はそれぞれ、290℃、350℃である。
また、被膜溶液2に対するバインダー樹脂の濃度(重量%)は、焼成温度Tにて下地部材1に対し十分に濡れ広がることが可能である濃度であればよい。バインダー樹脂の濃度は、被膜溶液2に対して、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上であり、また、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。バインダー樹脂の濃度が5重量%未満である場合、被膜溶液2が下地部材1に均一に広がらない。また、バインダー樹脂の濃度が30重量%を超える場合、十分に濡れ広がらないため好ましくない。また、使用される被膜溶液2の形態は、特に限定されないが、使用直前に2液混合する形態であることが好ましい。
また、成膜後の被膜3に対するバインダー樹脂の割合は、好ましくは55重量%以上、より好ましくは57.5重量%以上であり、また、好ましくは65重量%以下、より好ましくは62.5重量%以下である。
また、前記溶媒は、前記バインダー樹脂を溶解でき、かつ、沸点がバインダー樹脂およびフッ素系樹脂の融点以下であれば特に限定されない。前記溶媒として、例えば、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、ジメチルアセトアミド(DMAc)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、キシレン等が挙げられる。なお、NMPの沸点は、202℃である。DMAcの沸点は、165℃である。DMFの沸点は、153℃である。また、キシレンの沸点は、144℃である。
セラミックフィラーは、フッ素系樹脂およびバインダー樹脂に対する補強剤として機能する。セラミックフィラーの材料は、上述した下地部材1と被膜3との間の密着性およびスパッタの付着抑制性(撥水性)を損なわない材料であれば特に限定されない。セラミックフィラーの材料は、例えば、スパッタを構成する鉄よりも融点が高い材料であればよく、二酸化ジルコニウム(ZrO)、二酸化チタン(TiO)、窒化チタン(TiN)、酸化アルミニウム(Al)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ホウ素(BN)、炭化ケイ素(SiC)、炭化タングステン(WC)等が挙げられる。また、セラミックフィラーは、上述の例示した材料を少なくとも2種組み合わせた混合物であってもよい。
また、被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度(重量%)は、下地部材1と被膜3との間の密着性およびスパッタの付着抑制性を損なわない濃度であればよい。セラミックフィラーの濃度は、被膜溶液2に対して、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは1重量%以上であり、また、好ましくは6重量%以下、より好ましくは4重量%以下である。セラミックフィラーの濃度が0.5重量%未満である場合、メンテナンス耐久性およびスパッタの付着性のうちメンテナンス耐久性が低下する。また、セラミックフィラーの濃度が6重量%を超える場合、メンテナンス耐久性およびスパッタの付着性のうちスパッタ付着性が低下する。
また、成膜後の被膜3に対するセラミックフィラーの割合は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは8重量%以上であり、また、好ましくは15重量%以下、より好ましくは12重量%以下である。
また、フッ素系樹脂は、特に限定されないが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE,CTFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリフッ化ビニル(PVF)、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、エチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、クロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)等が挙げられ、特に、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、およびエチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂であることが好ましい。フッ素系樹脂は、上述の例示した材料を少なくとも2種組み合わせた混合物であってもよい。なお、PTFEの融点、分解温度はそれぞれ、327℃、390℃である。PFAの融点、分解温度はそれぞれ、310℃、380℃である。ETFEの融点、分解温度はそれぞれ、270℃、350℃である。
また、被膜溶液2に対するフッ素系樹脂の濃度(重量%)は、下地部材1と被膜3との間の密着性およびスパッタの付着抑制性を損なわない濃度であればよい。フッ素系樹脂の濃度は、被膜溶液2に対して、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上であり、また、好ましくは15重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。フッ素系樹脂の濃度が3重量%未満である場合、溶液固化層の表面フッ素濃度が低くなり、耐スパッタ性が落ちるため好ましくない。また、フッ素系樹脂の濃度が15重量%を超える場合、溶液固化層の表面フッ素濃度が高くなり、硬度が低下し、メンテナンス耐久性が低下するため好ましくない。
また、成膜後の被膜3に対するフッ素系樹脂の割合は、好ましくは25重量%以上、より好ましくは28重量%以上であり、また、好ましくは35重量%以下、より好ましくは33重量%以下である。
(塗布工程)
前記塗布工程における下地部材1に対する被膜溶液2の塗布方法は、従来公知の方法を採用することができる。被膜溶液2の塗布方法として、例えば、ディッピング法、スピンコーティング法、スプレーコーティング法等が挙げられる。これらの方法でも、特に、スプレーコーティング法により、被膜溶液2を塗布することが好ましい。
また、塗布工程では、下地部材1を加温した後、または下地部材1を加温しながら被膜溶液2を塗布してもよい。これにより、下地部材1に対する被膜溶液2の濡れ性が向上する。下地部材1の加温温度は、100℃以上、好ましくは120℃以上であり、また、140℃以下である。また、下地部材1の加温時間は、10分以上、好ましくは20分以上である。より具体的には、下地部材1の加温温度は120℃であり、加温時間は20分である。
(表面加工処理工程)
前記表面加工処理は、下地部材1に対して所定の表面粗さRaの表面加工が可能な処理であれば、任意の従来公知技術を採用することができる。特に、下地部材1と被膜3との密着性を向上させる表面粗さRaを実現する観点から、ブラスト処理を採用することが好ましい。
また、ブラスト処理は、従来公知の技術を適用することができる。例えば、コンプレッサーにより圧縮された圧縮空気に、微粒子を混ぜて吹き付けるサンドブラスト処理を適用することができる。
サンドブラスト処理に使用される微粒子は、従来使用されている材料を用いることができる。好適なサンドブラスト処理として、例えば、♯100のアルミナ微粒子によるショットブラストが挙げられる。
また、下地部材1における表面加工処理面1aの表面粗さRa(JIS B 0601)は、被膜3との密着性が損なわれない範囲であればよく、好ましくは0.3μmよりも大きく、より好ましくは1μmよりも大きい。表面加工処理面1aの表面粗さRaが0.3μm未満である場合、被膜とのアンカー効果が小さくなり、密着性が低下するため好ましくない。
(焼成硬化工程)
前記焼成硬化工程における被膜溶液2の焼成温度Tは、前記フッ素系樹脂の融点Tmおよび前記バインダー樹脂の融点のうち高いほうの温度から前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度のうち低いほうの温度までの範囲内に設定される。すなわち、焼成温度Tの下限温度は、前記フッ素系樹脂の融点Tmおよび前記バインダー樹脂の融点に応じて決定される。また、焼成温度Tの上限温度は、前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度に応じて決定される。
例えば、被膜溶液2が前記フッ素系樹脂としてのPTFEおよび前記バインダー樹脂としてのPAIを含む場合、焼成温度Tは、PTFEの融点TmとPTFEの分解温度との間の温度、すなわち、327℃と390℃との間の温度に設定される。また、前記フッ素系樹脂がETFEであり、かつ、前記バインダー樹脂がPAIである場合、焼成温度Tは、PAIの融点とETFEの分解温度との間の温度、すなわち、290℃と410℃との間の温度に設定される。
このような焼成温度Tの温度範囲では、被膜溶液2中のフッ素系樹脂は融解している。このため、焼成硬化工程では、フッ素系樹脂の融解物は、被膜溶液2における下地部材1と反対側の表面に析出される。また、バインダー樹脂も融解しているので、被膜溶液2の下地部材1に対する濡れ性が向上する。それゆえ、焼成硬化物である被膜3は、下地部材との密着性が向上し、被膜3のメンテナンス耐久性が向上する。
被膜溶液2中のフッ素系樹脂およびバインダー樹脂を完全に融解する観点では、焼成温度Tの下限温度は、フッ素系樹脂の融点Tmがバインダー樹脂の融点よりも高い場合、好ましくはフッ素系樹脂の融点Tm+0℃、より好ましくはフッ素系樹脂の融点Tm+5℃、特に好ましくはフッ素系樹脂の融点Tm+15℃である。また、バインダー樹脂の融点がフッ素系樹脂の融点Tmよりも高い場合、好ましくはバインダー樹脂の融点+0℃、より好ましくはバインダー樹脂の融点+5℃、特に好ましくはバインダー樹脂の融点+15℃である。
また、被膜溶液2中のフッ素系樹脂およびバインダー樹脂を分解することなく維持する観点では、焼成温度Tの上限温度は、フッ素系樹脂の分解温度がバインダー樹脂の分解温度よりも低い場合、好ましくはフッ素系樹脂の分解温度−0℃、より好ましくはフッ素系樹脂の分解温度−10℃、特に好ましくはフッ素系樹脂の分解温度−20℃である。また、バインダー樹脂の分解温度がフッ素系樹脂の分解温度よりも低い場合、好ましくはバインダー樹脂の分解温度−0℃、より好ましくはバインダー樹脂の分解温度−10℃、特に好ましくはバインダー樹脂の分解温度−20℃である。
より具体的な焼成温度Tの設定として、前記フッ素系樹脂がPTFEであり、かつ、前記バインダー樹脂がPAIである場合、焼成温度Tは、327℃以上、好ましくは330℃以上、より好ましくは340℃以上であり、また、390℃以下、好ましくは380℃以下、より好ましくは370℃以下である。
また、焼成硬化工程における焼成時間は、焼成温度Tにもよるが、通常、30〜90分間、好ましくは40〜60分間の範囲内である。焼成時間が短すぎると、溶媒の気化が不十分となり、硬度を確保できないため、好ましくない。また、焼成時間が長すぎると、フッ素樹脂もしくはバインダー樹脂が分解し、強度が低下するため、好ましくない。
前記フッ素系樹脂がPTFEであり、かつ、前記バインダー樹脂がPAIである場合、より具体的な焼成温度Tは、360℃であり、焼成時間は40分である。
また、被膜3の厚さは、焼成硬化工程により均一に硬化できる範囲内であればよく、溶接現場にて必要とされるスパッタ付着性およびメンテナンス耐久性といった特性を十分に発揮し得る範囲内であることが好ましい。被膜3の厚さは、10μm以上、好ましくは15μm以上である。
(スパッタ付着性)
スパッタ付着性は、被膜3に付着するスパッタの堆積量により評価される。スパッタ付着性の評価方法としては、鋼材のアーク溶接点から飛散するスパッタが被膜3に堆積する量を、堆積速度として評価する方法が挙げられる。図3は、スパッタ付着性を評価する評価装置の構成を示す図である。
図3に示されるように、この評価装置は、左右方向に移動する溶接対象である鋼材板と、鋼材板に対してアーク溶接する溶接トーチと、を備えている。そして、評価対象であるサンプルは、鋼材板のアーク溶接点から、鋼材板に対する角度45°の方向に50mm離間した位置に配置されている。なお、図3には示されていないが、被膜3は、サンプルにおける溶接点と対向する面に形成されている。
図3に示される評価装置を用いて、鋼材板を左右方向に移動させながら、溶接トーチによるアーク溶接を所定時間行う。鋼材板が左右方向に移動すると、鋼材板におけるアーク溶接点は左右方向に移動する一方、アーク溶接点に対するサンプルの位置は変化しない。このような状態で、サンプルに形成された被膜3のスパッタ堆積量を計測する。そして、スパッタ付着性を、スパッタ堆積量を被膜3の面積および溶接時間で割った単位面積当たりのスパッタ堆積速度(以下、単にスパッタ堆積速度、またはスパッタ付着速度と称することもある)として評価する。
図3に示される装置を用いてスパッタ付着性を評価した場合、スパッタ堆積速度が0.7mg/min/cm以下であれば、スパッタ付着性が良好であると評価し得る。スパッタ堆積速度が0.7mg/min/cm以下という基準は、溶接現場にて近接センサを用いた場合、スパッタ付着による誤検知にかかる日数が1週間になることに相当する。
(メンテナンス耐久性)
メンテナンス耐久性は、被膜3の削れ易さにより評価される。より具体的には、JIS
K 7218 A〜C法の何れかに準拠した方法により計測される被膜3の摩耗量により評価される。
例えばJIS K 7218 B法に準拠した方法にて、単位時間当たりの被膜3の摩耗量、すなわち被膜3の削れ速度(単位:nm/min)を測定する。そして、この測定値をメンテナンス耐久性として評価する。このような評価では、例えば、被膜3の削れ速度が20nm/min以下であれば、メンテナンス耐久性が良好であると評価し得る。被膜3の削れ速度が20nm/min以下という基準は、溶接現場にて使用した場合、メンテナンス作業の周期が1年に相当する。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
本発明の実施形態に係る電子物品は、以上のように、下地部材と、前記下地部材の表面に形成された被膜と、を有し、前記被膜は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、前記フッ素系樹脂は、前記被膜における前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布していることを特徴としている。
また、本発明の実施形態に係る成膜方法は、以上のように、下地部材へ被膜を形成する成膜方法であって、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液を前記下地部材の表面に塗布する塗布工程と、前記被膜溶液を、前記フッ素系樹脂の融点および前記バインダー樹脂の融点のうち高いほうの温度から前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度のうち低いほうの温度までの範囲内の温度に加熱して焼成し、前記被膜溶液を硬化する焼成硬化工程と、を含むことを特徴としている。
さらに、本発明の実施形態に係る被膜は、以上のように、下地部材の表面に形成された被膜であって、前記被膜は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、前記フッ素系樹脂は、前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布していることを特徴としている。
本発明の実施形態に係る成膜方法では、前記のように被膜溶液の焼成温度を設定することによって、前記被膜溶液に含まれる溶媒は、気化して気体となる。また、前記バインダー樹脂は、融解し液体となり、前記下地部材に対する濡れ性が向上する。これにより、前記被膜溶液は、前記下地部材の表面に濡れ広がった状態で硬化する。その結果、前記溶液の硬化物である前記被膜は、前記下地部材との密着性が向上する。
また、前記焼成温度がフッ素系樹脂の融点以上に設定することで、前記被膜では、フッ素系樹脂は、前記被膜における前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布している。それゆえ、前記被膜における外部と露出する前記反対側の表面に、撥水性を有するフッ素系樹脂の融解物からなる層が形成されているので、スパッタが被膜に付着しにくくなる。
したがって、上記の構成によれば、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とが両立した電子物品を実現できる。
上記実施形態に係る電子物品および成膜方法において、前記セラミックフィラーは、前記被膜溶液に対して、1重量%以上、6重量%以下であることが好ましい。これにより、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とが両立できる。
上記実施形態に係る電子物品において、前記下地部材の前記表面の表面粗さRaは、0.3μmよりも大きいことが好ましい。また、上記一態様に係る成膜方法において、前記下地部材に対して、表面粗さRaが0.3μm以上になるように表面加工処理する表面加工処理工程を含むことが好ましい。これにより、前記下地部材と前記被膜との間の密着性がより一層向上する。
上記実施形態に係る電子物品および成膜方法において、前記フッ素系樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、エチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)およびクロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂であることが好ましい。これにより、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とが両立できる。
上記実施形態に係る電子物品および成膜方法において、前記バインダー樹脂は、前記被膜溶液の溶媒に溶解する樹脂であることが好ましい。これにより、電子物品本体へのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とが両立できる。
上記実施形態に係る電子物品において、前記下地部材が近接センサを構成する筺体であることが好ましい。これにより、近接センサへのスパッタの付着の低減と被膜のメンテナンス耐久性の向上とが両立できる。
以下、実施例および比較例により、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
〔測定方法〕
実施例および比較例における各測定は以下の方法で行った。
(1)表面粗さ
日本工業規格のJIS B 0601の規定に準拠して、表面粗さRaを算出した。
(2)メンテナンス耐久性
日本工業規格のJIS K 7218のB法に準拠して、被膜3の削れ速度を測定した。より具体的には、サンプル(被膜3)に所定の荷重をかけて所定の回転速度で回転する回転板に接触させる。回転板におけるサンプルと接触する位置には、接触子が設けられ、接触子によるサンプルの削れ量を測定した。そして、当該測定値を回転時間で割り、単位時間当たりの被膜3の削れ量、すなわち被膜3の削れ速度を算出した。被膜3の削れ速度が20nm/min以下であれば、メンテナンス耐久性が良好である(○)と評価した。一方、被膜3の削れ速度が20nm/minを超えた場合、メンテナンス耐久性が不良である(×)と評価した。
回転板の回転速度、サンプル荷重、接触子の具体的な設定は、以下の通りである。
サンプル荷重:1000g、回転板の回転速度:0.6m/s、接触子:φ10mmのアルミボール。
(3)水接触角
日本工業規格のJIS K 6894の規定に準拠して、被膜3の水接触角を算出した。なお、被膜3に対する滴下液として精製水を用い、液滴径をφ2mmとした。
(4)スパッタ付着性
図3に示される装置を用いてスパッタ付着性を評価した。スパッタ堆積速度が0.7mg/min/cm以下であれば、スパッタ付着性が良好である(○)と評価した。一方、スパッタ堆積速度が0.7mg/min/cmを超えた場合、スパッタ付着性が不良である(×)と評価した。
〔実施例1〕
まず、ステンレス鋼SUS304からなる下地部材1に♯100のアルミナ粒子のショットブラストによる表面加工処理を20秒行った。そして、下地部材1を120℃で20分加温した後、スプレーコーティング法により表面加工処理面1aに被膜溶液2を塗布した。被膜溶液2は、バインダー樹脂としてPAI、フッ素系樹脂としてPTFEを含み、セラミックフィラーとしてSiCを含み、溶媒は、NMPである。被膜溶液2に対して、PAIの濃度は、10重量%であり、PTFEの濃度は、5重量%であり、セラミックフィラーの濃度は、3重量%である。
次いで、被膜溶液2が塗布された下地部材1を焼成温度280℃、焼成時間40分で焼成することにより、被膜溶液2を硬化した。そして、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔実施例2〕
ステンレス鋼SUS304からなる下地部材1に♯100のアルミナ粒子のショットブラストによる表面加工処理を10秒行ったこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔実施例3〕
ステンレス鋼SUS304からなる下地部材1に♯100のアルミナ粒子のショットブラストによる表面加工処理を5秒行ったこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例1〕
下地部材1に表面加工処理を行わなかったこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例2〕
下地部材1に硫酸/塩化ナトリウム混合液による酸エッチングで表面加工処理を行ったこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
実施例1、並びに比較例1および2の被膜3について、表面粗さRaを測定するとともに、削れ速度を測定してメンテナンス耐久性を評価した。その評価結果を表1に示す。
Figure 2019221117
表1に示されるように、下地部材1に対してブラスト処理した実施例1の被膜3について、メンテナンス耐久性が良好であることがわかった。また、実施例1における下地部材1の表面加工処理面1aの表面粗さRaの測定値から、表面加工処理面1aの表面粗さRaが0.3μm以上であれば、メンテナンス耐久性が良好になることがわかった。
〔実施例4〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を1重量%としたこと、および焼成温度を360℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔実施例5〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を3重量%としたこと、および焼成温度を360℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔実施例6〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を6重量%としたこと、および焼成温度を360℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例3〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を0重量%としたこと、および焼成温度を360℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例4〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を10重量%としたこと、および焼成温度を360℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
実施例4〜6、並びに比較例3および4の被膜3について、削れ速度およびスパッタ付着速度を測定して、メンテナンス耐久性およびスパッタ付着性を評価した。その評価結果を表2に示す。
Figure 2019221117
表2の結果からセラミックフィラーの濃度が5〜20重量%である場合、メンテナンス耐久性が良好であることがわかった。また、セラミックフィラーの濃度が0〜12重量%である場合、スパッタ付着性が良好であることがわかった。これらの結果から、セラミックフィラーの濃度が5〜12重量%である場合、メンテナンス耐久性およびスパッタ付着性の両方が良好となり、メンテナンス耐久性の向上とスパッタ付着性の向上との両立を実現できた。
〔実施例7〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を1重量%としたこと、および焼成温度を360℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔実施例8〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を1重量%としたこと、および焼成温度を340℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例5〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を1重量%としたこと、および焼成温度を320℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例6〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を1重量%としたこと、および焼成温度を300℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
〔比較例7〕
被膜溶液2に対するセラミックフィラーの濃度を1重量%としたこと、および焼成温度を280℃としたこと以外、実施例1と同様の方法で、被膜溶液2の焼成硬化物からなる被膜3が形成された下地部材1を得た。
実施例7および8、並びに比較例5〜7の被膜3について、水接触角を測定した。また、これら実施例および比較例の被膜3について、削れ速度およびスパッタ付着速度を測定して、メンテナンス耐久性およびスパッタ付着性を評価した。その評価結果を表3に示す。
Figure 2019221117
表3の結果から、焼成温度が340℃、360℃である実施例7および8の被膜3は、メンテナンス耐久性およびスパッタ付着性の両方が良好となった。一方、焼成温度をPTFEの融点以下に設定した比較例5〜7の被膜3は、メンテナンス耐久性およびスパッタ付着性の両方が不良となっていた。これらの結果から、焼成温度をPTFEの融点以上の温度に設定することによって、被膜3について、メンテナンス耐久性の向上とスパッタ付着性の向上との両立を実現できることがわかった。これは、焼成温度をPTFEの融点以上の温度にすることにより、被膜溶液2の下地部材1に対する濡れ性が向上し、被膜溶液2の焼成硬化物である被膜3の下地部材1に対する密着性が向上したためであると考えられる。
また、実施例7および8の被膜3は、比較例5〜7の被膜3と比較して、水接触角が顕著に高いことがわかった。実施例7および8の被膜3の表面に、撥水性を有するフッ素系樹脂リッチ層3aが形成されていると考えられる。このことを確かめるために、焼成温度が360℃である実施例7の被膜3および焼成温度が280℃である比較例7の被膜3について、被膜表面からの深さに対するフッ素系樹脂の濃度の分布を測定した。その結果を、図4に示す。図4の(a)は、比較例7の被膜3の外側の膜表面からの深さに対するフッ素系樹脂の濃度の分布を示すグラフであり、図4の(b)は、実施例7の被膜3の外側の膜表面からの深さに対するフッ素系樹脂の濃度の分布を示すグラフである。図4の(a)および(b)では、フッ素系樹脂の濃度を「F濃度(wt%)」と示している。
図4の(a)に示されるように、焼成温度が280℃である比較例7の被膜3では、被膜3の外側の膜表面からの深さに対してフッ素系樹脂が均一に分布していることがわかる。一方、図4の(b)に示されるように、焼成温度が360℃である実施例5の被膜3では、被膜3の外側の膜表面へ向かうに従って濃度が上昇するフッ素系樹脂の濃度勾配ができていることがわかった。このことから、実施例7では、被膜3の表面に、撥水性を有するフッ素系樹脂リッチ層3aが形成されていることがわかった。
本発明は、溶接現場に使用される近接センサ、ケーブル、コネクタ、アクチュエータ等の電子機器に利用することができる。
1 下地部材
1a 表面加工処理面
2 被膜溶液
3 被膜
3a フッ素系樹脂リッチ層
3b 溶液硬化層
10 電子物品

Claims (12)

  1. 下地部材と、
    前記下地部材の表面に形成された被膜と、を有し、
    前記被膜は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、
    前記フッ素系樹脂は、前記被膜における前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布していることを特徴とする電子物品。
  2. 前記セラミックフィラーは、前記被膜溶液に対して、1重量%以上、6重量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の電子物品。
  3. 前記下地部材の前記表面の表面粗さRaは、0.3μmよりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の電子物品。
  4. 前記フッ素系樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、エチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)およびクロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の電子物品。
  5. 前記バインダー樹脂は、前記被膜溶液の溶媒に溶解する樹脂であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の電子物品。
  6. 前記下地部材が近接センサを構成する筺体であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の電子物品。
  7. 下地部材へ被膜を形成する成膜方法であって、
    フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液を前記下地部材の表面に塗布する塗布工程と、
    前記被膜溶液を、前記フッ素系樹脂の融点および前記バインダー樹脂の融点のうち高いほうの温度から前記フッ素系樹脂の分解温度および前記バインダー樹脂の分解温度のうち低いほうの温度までの範囲内の温度に加熱して焼成し、前記被膜溶液を硬化する焼成硬化工程と、を含むことを特徴とする成膜方法。
  8. 前記下地部材に対して、表面粗さRaが0.3μm以上になるように表面加工処理する表面加工処理工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の成膜方法。
  9. 前記セラミックフィラーは、前記被膜溶液に対して、1重量%以上、6重量%以下であることを特徴とする請求項7または8に記載の成膜方法。
  10. 前記フッ素系樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、エチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)およびクロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂であることを特徴とする請求項7〜9の何れか1項に記載の成膜方法。
  11. 前記バインダー樹脂は、前記被膜溶液の溶媒に溶解する樹脂であることを特徴とする請求項7〜10の何れか1項に記載の成膜方法。
  12. 下地部材の表面に形成された被膜であって、
    前記被膜は、フッ素系樹脂、およびセラミックフィラーを含むバインダー樹脂の被膜溶液の焼成硬化物からなり、
    前記フッ素系樹脂は、前記下地部材と反対側の表面へ向かうに従って、多く分布していることを特徴とする被膜。

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