JPWO2019163009A1 - 有機elデバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2から図4を参照して、本発明の実施形態1によるOLED表示装置100Aの構造およびその製造方法を説明する。
工程(1):基板1’と、基板1’に支持された、それぞれが複数の有機EL素子3を含む複数のアクティブ領域R1とを有する素子基板20’を用意する工程
工程(2):複数のアクティブ領域R1のそれぞれに複数の有機EL素子3を覆う薄膜封止構造10Aを形成する工程
工程(3):工程(2)の後に、複数のアクティブ領域R1のそれぞれを分断する工程
工程A:突状構造体22aの上に、突状構造体22aを覆うように、第1無機バリア層12を形成する工程
工程B:工程Aの後で、第1無機バリア層12の上に有機バリア層14を形成する工程
工程C:工程Bの後で、第1無機バリア層12および有機バリア層14の上に、第2無機バリア層16を形成する工程
本実施形態のOLED表示装置は、薄膜封止構造の構成において、先の実施形態と異なる。本実施形態のOLED表示装置は、薄膜封止構造に特徴を有する。本実施形態の薄膜封止構造は、上述のOLED表示装置のいずれにも適用できる。
2 :バックプレーン(回路)
3 :有機EL素子
4 :偏光板
10、10A、10B :薄膜封止構造(TFE構造)
12 :第1無機バリア層
14 :有機バリア層
16 :第2無機バリア層
22a、22a1、22a2、22b、22D、22E :突状構造体
30 :引出し配線
38 :端子
100、100A、100A1、100A2 :有機EL表示装置
100B、100C、100D、100E :有機EL表示装置
200A :マザーパネル
Claims (20)
- 複数の有機EL素子を含むアクティブ領域と、前記アクティブ領域以外の領域に位置する周辺領域とを有する有機ELデバイスであって、
基板および前記基板に支持された前記複数の有機EL素子を有する素子基板と、前記複数の有機EL素子を覆う薄膜封止構造とを有し、
前記薄膜封止構造は、第1無機バリア層と、前記第1無機バリア層の上面に接する有機バリア層と、前記第1無機バリア層の前記上面および前記有機バリア層の上面に接する第2無機バリア層とを有し、
前記周辺領域は、前記基板に支持された、前記アクティブ領域の少なくとも1つの辺に沿って延びる部分を含む第1突状構造体と、前記第1突状構造体の上に延設された、前記第1無機バリア層の延設部とを有し、
前記第1突状構造体は第1部分および第2部分を含み、前記第1部分は前記第2部分よりも前記第1突状構造体の頂部に近く、前記基板の法線方向から見たとき、前記第1部分の前記基板面に平行な第1断面は、前記第2部分の前記基板面に平行な第2断面と重ならない部分を含む、有機ELデバイス。 - 前記第1突状構造体の高さは、前記第1無機バリア層の厚さよりも大きい、請求項1に記載の有機ELデバイス。
- 前記第1突状構造体の高さは、前記第1無機バリア層の厚さの3倍以上である、請求項1または2に記載の有機ELデバイス。
- 前記第1突状構造体は、前記第1突状構造体が延びる方向と直交する断面を見たとき、前記第1突状構造体の高さ方向と略直交する方向に突き出ている突出部を含み、前記突出部は前記第1部分を含む、請求項1から3のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記第1突状構造体は、前記第1突状構造体が延びる方向と直交する断面を見たとき、その側面のテーパー角が90°超である逆テーパー部を含み、前記逆テーパー部は前記第1部分および前記第2部分を含む、請求項1から4のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記周辺領域は、前記第1無機バリア層の前記延設部の上に形成された、前記第2無機バリア層の延設部を有する、請求項1から5のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記第1突状構造体の高さは、前記第1無機バリア層の厚さおよび前記第2無機バリア層の厚さの和の3倍以上である、請求項6に記載の有機ELデバイス。
- 前記基板の法線方向から見たとき、前記第2無機バリア層は、前記第1突状構造体と重ならない、請求項1から5のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記素子基板は、それぞれが前記複数の有機EL素子のいずれかを有する複数の画素のそれぞれを規定するバンク層をさらに有し、前記第1突状構造体の高さは、前記バンク層の厚さと同じまたはよりも大きい、請求項1から8のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記第1突状構造体は、前記アクティブ領域の3つの辺に沿って延びる部分を含む、請求項1から9のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記素子基板は、それぞれが前記複数の有機EL素子のいずれかに接続された複数のゲートバスラインと、それぞれが前記複数の有機EL素子のいずれかに接続された複数のソースバスラインとを有し、
前記周辺領域は、前記アクティブ領域のある辺の近傍の領域に設けられた複数の端子と、前記複数の端子と前記複数のゲートバスラインまたは前記複数のソースバスラインのいずれかとを接続する複数の引出し配線とを有し、
前記第1突状構造体は、前記アクティブ領域の前記ある辺以外の3つの辺に沿って延びる部分を含む、請求項1から10のいずれかに記載の有機ELデバイス。 - 前記有機バリア層は、離散的に分布する複数の中実部を有し、
前記第2無機バリア層は、前記第1無機バリア層の前記上面および前記有機バリア層の前記複数の中実部の上面に接する、請求項1から11のいずれかに記載の有機ELデバイス。 - 前記有機バリア層は、厚さが5μm以上の平坦化層を兼ねる、請求項1から11のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記周辺領域は、前記アクティブ領域と前記第1突状構造体との間に、前記アクティブ領域の少なくとも1つの辺に沿って延びる部分を含む第2突状構造体を有する、請求項1から13のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 前記第1突状構造体は、複数のサブ構造体を含む、請求項1から14のいずれかに記載の有機ELデバイス。
- 基板と、前記基板に支持された、それぞれが複数の有機EL素子を含む複数のアクティブ領域とを有する素子基板を用意する工程と、前記複数のアクティブ領域のそれぞれに前記複数の有機EL素子を覆う薄膜封止構造を形成する工程と、前記薄膜封止構造を形成する工程の後に、前記複数のアクティブ領域のそれぞれを分断する工程とを包含し、
前記素子基板を用意する工程は、前記複数のアクティブ領域のそれぞれに、該アクティブ領域の少なくとも1つの辺に沿って延びる部分を含む第1突状構造体を形成する工程a1を包含し、
前記第1突状構造体は第1部分および第2部分を含み、前記第1部分は前記第2部分よりも前記第1突状構造体の頂部に近く、前記基板の法線方向から見たとき、前記第1部分の前記基板面に平行な第1断面は、前記第2部分の前記基板面に平行な第2断面と重ならない部分を含み、
前記薄膜封止構造を形成する工程は、
前記第1突状構造体の上に、前記第1突状構造体を覆うように、第1無機バリア層を形成する工程Aと、
前記工程Aの後で、前記第1無機バリア層の上に有機バリア層を形成する工程Bと、
前記工程Bの後で、前記第1無機バリア層および前記有機バリア層の上に、第2無機バリア層を形成する工程Cと
を包含し、
前記複数のアクティブ領域のそれぞれを分断する工程は、前記複数のアクティブ領域のそれぞれに形成された前記第1突状構造体および該アクティブ領域を含むように、前記基板および前記第1無機バリア層を切断する工程を包含する、有機ELデバイスの製造方法。 - 前記素子基板を用意する工程は、それぞれが前記複数の有機EL素子のいずれかを有する複数の画素のそれぞれを規定するバンク層を形成する工程a2をさらに包含し、
前記工程a1および前記工程a2は、同じ樹脂膜をパターニングする工程を包含する、請求項16に記載の製造方法。 - 前記第1突状構造体は、下側層と、前記下側層上に形成された上側層とを含み、前記第1突状構造体が延びる方向と直交する断面において、前記上側層の底部の幅は前記下側層の頂部の幅よりも大きく、
前記工程a1は、
前記基板上に下側膜を形成する工程a11と、
前記下側膜上に上側膜を形成する工程a12と、
前記上側膜をパターニングすることによって前記上側層を形成する工程a13と、
前記下側膜をパターニングすることによって前記下側層を形成する工程a14と
を包含する、請求項16または17に記載の製造方法。 - 前記下側膜はアクリル樹脂を含み、前記上側膜は窒化珪素を含む、請求項18に記載の製造方法。
- 前記工程a13は、フッ酸を用いて前記上側膜をエッチングする工程を包含する、請求項18または19に記載の製造方法。
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