JPWO2019141733A5 - - Google Patents
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Claims (15)
- レーザ部品(100)のためのハウジングカバー(200)を製造する方法であって、
酸化アルミを含む少なくとも部分的に放射透過性の窓(201)を設けることと、
前記窓(201)のための銅担体(202)を設けることと、
前記銅担体上の酸化物領域(203)内に酸化銅(204)を形成することと、
前記酸化物領域(203)に前記窓(201)を配置することと、
前記酸化物領域(203)内の前記窓(201)と前記酸化銅(204)との間に共晶接合(205)を形成することと、
それによって、前記窓(201)を前記銅担体(202)に固定することと、
を含む、方法。 - 前記窓(201)は、サファイヤ窓(206)を有し、前記方法は、
前記サファイヤ窓(206)と前記酸化銅(204)が共通接触面(207)を有するように、前記サファイヤ窓(206)を直接的に前記酸化物領域(203)上に配置することと、
前記サファイヤ窓(206)と前記酸化銅(204)との間に直接的に前記共晶接合(205)を形成することと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記銅担体(202)の表面(208)上に平坦な前記酸化銅(204)を形成すること、
前記サファイヤ窓(206)と前記銅担体(202)の前記表面(208)との間の前記接触面(207)の全体上に前記共晶接合(205)を形成することと、
を含む、請求項2に記載の方法。 - 前記サファイヤ窓(206)の表面(211)上に被膜を形成することと、
前記被膜の外側の前記サファイヤ窓(206)の前記表面(211)上に前記共晶接合(205)を形成することと、
を含む、請求項2に記載の方法。 - 前記窓(201)の所定の領域(213)に酸化アルミ層(212)を適用することであって、前記領域(213)を前記酸化物領域(203)に対応させる、適用することと、
前記酸化アルミ層(212)と前記酸化銅(204)との間に前記共晶接合(205)を形成することと、
を含む、請求項1乃至4のいずれか1項記載の方法。 - 前記窓が前記所定の領域(213)の外部に酸化アルミを含まないよう、前記酸化アルミ層(212)を前記窓の前記所定の領域(213)に適用することと、
前記窓(201)及び前記銅担体(202)が、前記所定の領域(213)の外部で互いに距離(215)を有するように、前記窓(201)を前記銅担体(202)に固定することと、
を含む、請求項5に記載の方法。 - 前記酸化銅(204)を前記銅担体(202)の表面(208)上に平坦に形成することと、
前記窓(201)の表面(211)の全体にわたって酸化アルミ層(212)を適用することと、
前記銅担体(202)の前記表面(208)の前記窓(201)間に接触面(207)の全体上に前記共晶接合(206)を形成することと、
を含む、請求項5に記載の方法。 - 気相蒸着の手段によって酸化アルミ層(212)を適用すること、
を含む、請求項5乃至7のいずれか1項記載の方法。 - レーザ部品(100)の製造方法であって、
請求項1乃至8のいずれか1項記載の方法により製造されたハウジングカバー(200)を設けることと、
ハウジング本体(101)を設けることと、
前記ハウジング本体(101)に半導体レーザダイオード(105)を配置することと、
前記ハウジングカバー(200)と共に前記ハウジング本体(101)を前記レーザ部品(100)のビーム出力側(106)上に封止することと、
を含む、方法。 - レーザ部品(100)のためのハウジングカバーであって、
酸化アルミを含む少なくとも部分的に放射透過性の窓(201)と、
酸化物領域(203)に酸化銅(204)を含む銅担体(202)と、
前記窓(201)と酸化物領域(203)にある前記酸化銅(204)との間に前記窓(201)を前記銅担体(202)に固定する、共晶接合(205)と、
を含む、ハウジングカバー。 - 前記窓(201)は、サファイヤ窓(206)を有し、
前記共晶接合(205)は、前記サファイヤ窓(206)と前記酸化銅(204)との間に直接的に存在する、
請求項10に記載のハウジングカバー。 - 前記サファイヤ窓(206)は、前記銅担体(202)に対向する表面(211)上に被覆を有し、
前記共晶接合(205)は、前記被覆の外部に形成される、
請求項11に記載のハウジングカバー。 - 前記窓(201)は、前記窓(201)の所定の領域(213)に酸化アルミ層(212)を有し、前記領域(213)は、前記酸化物領域(203)に対応し、
前記共晶接合(205)は、前記酸化アルミ層(212)と前記酸化銅(204)との間にある、
請求項10乃至12のいずれか1項記載のハウジングカバー。 - 前記共晶接合(205)の外側の前記窓(201)が、前記銅担体(202)からの距離(215)を有する、請求項10乃至13のいずれか1項記載のハウジングカバー。
- 請求項10乃至14のいずれか1項記載のハウジングカバー(200)と、
ハウジング本体(101)と、
前記ハウジング本体(101)に配置された半導体レーザダイオード(105)であって、前記ハウジング本体(101)は、前記レーザ部品(100)のビーム出力側(106)において前記ハウジングカバー(200)で封止されている、半導体レーザダイオード(105)と、
を含む、レーザ部品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102018101198.9 | 2018-01-19 | ||
DE102018101198.9A DE102018101198A1 (de) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | Verfahren zum herstellen eines gehäusedeckels für ein laserbauelement und gehäusedeckel für ein laserbauelement sowie laserbauelement |
PCT/EP2019/051060 WO2019141733A1 (de) | 2018-01-19 | 2019-01-16 | Verfahren zum herstellen eines gehäusedeckels für ein laserbauelement und gehäusedeckel für ein laserbauelement sowie laserbauelement |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021510928A JP2021510928A (ja) | 2021-04-30 |
JPWO2019141733A5 true JPWO2019141733A5 (ja) | 2022-01-26 |
JP7242679B2 JP7242679B2 (ja) | 2023-03-20 |
Family
ID=65036809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020536888A Active JP7242679B2 (ja) | 2018-01-19 | 2019-01-16 | レーザ部品のためのハウジングカバーを製造する方法、並びにレーザ部品のためのハウジングカバー及びレーザ部品 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11652331B2 (ja) |
JP (1) | JP7242679B2 (ja) |
DE (1) | DE102018101198A1 (ja) |
WO (1) | WO2019141733A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7500317B2 (ja) | 2020-07-22 | 2024-06-17 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3766634A (en) * | 1972-04-20 | 1973-10-23 | Gen Electric | Method of direct bonding metals to non-metallic substrates |
US3994430A (en) * | 1975-07-30 | 1976-11-30 | General Electric Company | Direct bonding of metals to ceramics and metals |
US4129243A (en) | 1975-07-30 | 1978-12-12 | General Electric Company | Double side cooled, pressure mounted semiconductor package and process for the manufacture thereof |
DE69013124T2 (de) * | 1989-09-25 | 1995-05-04 | Gen Electric | Direktverbundene Metallsubstratstrukturen. |
US5418002A (en) | 1990-12-24 | 1995-05-23 | Harris Corporation | Direct bonding of copper to aluminum nitride substrates |
JPH0799368A (ja) * | 1993-09-29 | 1995-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体装置 |
JPH10135592A (ja) | 1996-03-27 | 1998-05-22 | Toshiba Corp | 窒化ケイ素回路基板およびその製造方法 |
JP4374300B2 (ja) | 2004-09-02 | 2009-12-02 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置用キャップ |
JP5095091B2 (ja) | 2005-06-08 | 2012-12-12 | シャープ株式会社 | レーザ装置の製造方法 |
US7790484B2 (en) * | 2005-06-08 | 2010-09-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing laser devices |
TWI347825B (en) * | 2007-02-14 | 2011-08-21 | Univ Nat Taiwan | Method of manufacturing ceramic/metal composite structure |
DE102007062047A1 (de) | 2007-12-21 | 2009-07-16 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Kompaktgehäuse |
JP5699853B2 (ja) | 2011-08-12 | 2015-04-15 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
DE102012103257A1 (de) | 2012-04-16 | 2013-10-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Laserdiodenvorrichtung |
DE102013224420A1 (de) | 2013-05-13 | 2014-11-13 | Osram Gmbh | Laserbauelement und Verfahren zur seiner Herstellung |
JP6602622B2 (ja) | 2014-09-25 | 2019-11-06 | 山村フォトニクス株式会社 | 光デバイス装置および光デバイスを覆うための保護カバー |
DE102015208704A1 (de) | 2015-05-11 | 2016-11-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Bauteil |
US10277271B2 (en) * | 2015-07-28 | 2019-04-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical module |
-
2018
- 2018-01-19 DE DE102018101198.9A patent/DE102018101198A1/de active Pending
-
2019
- 2019-01-16 US US16/962,391 patent/US11652331B2/en active Active
- 2019-01-16 JP JP2020536888A patent/JP7242679B2/ja active Active
- 2019-01-16 WO PCT/EP2019/051060 patent/WO2019141733A1/de active Application Filing
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