JPWO2019065164A1 - ポリイミド前駆体樹脂組成物、ポリイミド樹脂組成物、ポリイミド樹脂膜、積層体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、液晶素子の製造方法および有機el素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【化1】
(一般式(1)中、R1およびR2は、各々独立に、炭素数1〜20の一価の有機基を示す。mは3〜200の整数を示す。)
【化2】
(一般式(2)中、R3は二価の有機基を示し、R4は四価の有機基を示す。Y1およびY2は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜10の一価の有機基または炭素数1〜10の一価のアルキルシリル基を示す。)
Description
本発明の実施の形態に係るポリイミド前駆体樹脂組成物は、一般式(1)で表される構造および一般式(2)で表される構造単位を含むポリイミド前駆体(A)と、溶媒(B)とを含む樹脂組成物である。ポリイミド前駆体(A)は、ポリイミド前駆体(A)全体の量を100質量%とした場合、一般式(1)で表される構造を5〜30質量%含むものである。溶媒(B)は、SP値が7.7以上、9.0以下である溶媒(B1)と、SP値が9.0より大きく12.5以下である溶媒(B2)と、をそれぞれ1種以上含むものである。
本発明の実施の形態に係るポリイミド前駆体(A)は、ポリイミドを構成する酸二無水物残基およびジアミン残基のうちの少なくとも一つの中に、一般式(1)で表される構造を有する樹脂である。また、ポリイミド前駆体(A)は、一般式(2)で表される構造単位を有する。一般式(2)で表される構造単位の一部が一般式(1)で表される柔軟構造を含むため、剛直な骨格部位(一般式(1)で表される構造を有さない部位)が海部となり、柔軟な骨格部位が島部となるミクロ層分離構造を形成すると考えられる。その結果、成膜工程で発生する応力を前記柔軟な骨格部位で効率良く吸収でき、残留応力が小さく、反りの発生が抑制された膜を得ることができる。
m=(数平均分子量−両末端基(アミノプロピル基)の分子量)/(74.15×メチル基のmol%×0.01+198.29×フェニル基のmol%×0.01)
この式において、アミノプロピル基の分子量は、116.2である。
まず、ポリイミド前駆体(A)の試料が作製される。具体的には、第1段階として、測定対象となるポリイミド前駆体(A)の組成物を、シリコンウエハ上に、膜厚1μm以上10μm以下の範囲で塗布して、塗膜試料を作製する。
第1の式:
ポリイミド前駆体のイミド化率(%)=I(x)×100/I’(100)
第2の式:
I’(100)=(Ab’(1780cm−1))/(Ab’(1500cm−1))
第3の式:
I(x)=(Ab(1780cm−1))/(Ab(1500cm−1))
本発明の実施の形態に係るポリイミド前駆体樹脂組成物は、上述したポリイミド前駆体(A)と、溶媒(B)とを含む。溶媒(B)は、SP値が7.7以上、9.0以下である溶媒(B1)と、SP値が9.0より大きく12.5以下である溶媒(B2)とを、それぞれ1種以上含む。
本発明の実施の形態に係るポリイミド前駆体樹脂組成物の粘度は、ポリイミド前駆体(A)の分子量や濃度にもよるが、通常、500〜10,000mPa・sであり、好ましくは1,000〜6,000mPa・sである。ポリイミド前駆体樹脂組成物の粘度が上記の範囲にある場合、成膜中のポリイミド前駆体樹脂組成物の滞留性に優れ、膜厚均一性に優れた塗布膜を得ることが可能である。なお、本発明において、ポリイミド前駆体樹脂組成物の粘度は、E型粘度計(東機産業社製、粘度計MODEL RE100)を用いて、大気中、25℃で測定した値である。
本発明の実施の形態に係るポリイミド前駆体樹脂組成物は、イミド化促進剤を含有していることが好ましい。例えば、ポリイミド前駆体(A)を重合する際にイミド化促進剤を添加することでポリイミド前駆体(A)のイミド化率を高めることができる。また、キュア中の熱イミド化反応を触媒し、キュア後に得られるポリイミド樹脂組成物の破断伸度を高めることができる。ここでいうイミド化促進剤とは、求核性、求電子性を高める働きをもつ化合物であり、具体的には、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン等の三級アミン化合物、4−ヒドロキシフェニル酢酸、3−ヒドロキシ安息香酸等のカルボン酸化合物、3,5−ジヒドロキシアセトフェノン、3,5−ジヒドロキシ安息香酸メチル等の多価フェノール化合物、ピリジン、キノリン、イソキノリン、イミダゾール、ベンズイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2,4−トリアゾール等の複素環化合物等が挙げられる。イミド化促進剤は、ポリイミド前駆体(A)の100重量部に対し、0.1〜5重量部含有することが好ましく、0.1〜3重量部含有することがより好ましく、0.3〜3重量部含有することが特に好ましい。上記範囲内でイミド化促進剤を含有することで、ヘイズ、透過率等の色目や高温領域における脱ガス性を悪化させることなく、ポリイミド樹脂組成物の破断伸度を向上させることができる。
本発明の実施の形態に係るポリイミド樹脂組成物は、上記ポリイミド前駆体樹脂組成物をイミド化して得られるものである。イミド化の方法は、特に制限されないが、加熱によるイミド化や化学イミド化が挙げられる。中でも、得られるポリイミド樹脂組成物の耐熱性、可視光領域での透明性の観点から、加熱によるイミド化が好ましい。ポリイミド前駆体樹脂組成物膜を180℃以上650℃以下の範囲で加熱してポリイミド樹脂組成物に変換する。これを熱イミド化工程という。なお、熱イミド化工程は、塗膜から溶媒を蒸発させる工程の後に何らかの工程を経てから行われても構わない。
本発明の実施の形態に係るポリイミド樹脂組成物の膜状物とは、ポリイミド前駆体(A)をイミド化してなるポリイミドを含む膜、すなわち、ポリイミド樹脂膜である。ポリイミド樹脂組成物の膜状物(以下、ポリイミド樹脂膜と適宜略記する)は、例えば、以下の方法で得ることができる。このポリイミド樹脂膜を形成する方法としては、上記ポリイミド前駆体樹脂組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程、該塗布膜から溶媒(例えば上述した溶媒(B))を蒸発させる乾燥工程、および、ポリイミド前駆体(A)をイミド化するイミド化工程等を含む方法が挙げられる。以下、ポリイミド前駆体樹脂組成物が塗布される基板は、支持基板と適宜称し、他の基板(例えばポリイミド樹脂膜によるフレキシブル基板等)と区別する場合がある。
本発明の実施の形態に係る積層体は、上記ポリイミド樹脂組成物の膜状物(ポリイミド樹脂膜)と、無機膜とを有する。
本発明の実施の形態に係るポリイミド前駆体樹脂組成物、これを用いて得られるポリイミド樹脂組成物、ポリイミド樹脂膜および積層体は、電子デバイスに使用することができる。より具体的には、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、タッチパネル、電子ペーパー、カラーフィルタ、マイクロLEDディスプレイといった表示デバイス、太陽電池、CMOSなどの受光デバイス等に使用することができる。これらの電子デバイスは、フレキシブルデバイスであることが好ましい。前述のポリイミド樹脂膜は、これらの電子デバイスにおける基板、特にフレキシブル基板(例えばフレキシブルディスプレイ基板等)として、好ましく用いられる。
本発明の実施の形態に係るタッチパネルは、上述の積層体を備える。本発明の実施の形態に係るタッチパネルの構成の例を図面により説明する。
第一の配線層(例えば図1A、1Bに示す第一の配線層3)の形成方法は、導電性組成物をガスバリア層2上に塗布する塗布工程、その塗布膜を乾燥するプリベーク工程、そのプリベーク膜を露光および現像してメッシュパターンを形成する工程(露光工程および現像工程)、および、そのパターンをキュアするキュア工程を含むことが好ましい。
第一の配線層上に第一の絶縁層(例えば図1A、1Bに示す第一の絶縁層4)を形成する方法は、絶縁性組成物を第一の配線層上に塗布する塗布工程、その塗布膜を乾燥するプリベーク工程、そのプリベーク膜を露光および現像してパターンを形成する工程(露光工程、現像工程)、および、そのパターンをキュアするキュア工程を含むことが好ましい。それぞれの工程は、第一の配線層を形成する場合と同様に行うことができる。
続いて、第一の絶縁層の上に第二の配線層(例えば図1A、1Bに示す第二の配線層5)を形成する。第二の配線層は、第一の配線層と同様の方法によって形成できる。第二の配線層の上には、例えば図1A、1B中の第二の絶縁層6に例示されるように、第二の絶縁層を形成してもよい。第二の絶縁層を形成することにより、大気中の水分が第二の配線層に到達することを抑制し、タッチパネルの耐湿熱性を向上させることができる。第二の絶縁層は、第一の絶縁層と同様の方法によって形成できる。
本発明の実施の形態に係るカラーフィルタは、上述の積層体を備える。本発明の実施の形態に係るカラーフィルタの構成の例を図面により説明する。
本発明の実施の形態に係る液晶素子は、上述の積層体を備える。本発明の実施の形態に係る液晶素子の構成の例を図面により説明する。
本発明の実施の形態に係る有機EL素子は、上述の積層体を備える。本発明の実施の形態に係る有機EL素子の構成の例を図面により説明する。
酸二無水物として、以下に示すものが適宜用いられる。
BSAA: 2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル)プロパン二無水物
ODPA:3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物
PMDA:1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物
PMDA−HS:1R,2S,4S,5R−シクロへキサンテトラカルボン酸二無水物
BPAF:4,4’−(フルオレニル)ジフタル酸無水物
X−22−168−P5−B:両末端カルボン酸無水物変性メチルフェニルシリコーンオイル(信越化学社製)
CHDA:trans−1,4−ジアミノシクロへキサン
TFMB:2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
m−TB: 2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル
4,4’−DDS:4,4’−ジアミノジフェニルスルホン
X22−1660B−3:両末端アミン変性メチルフェニルシリコーンオイル(信越化学社製)
1,3,5−TAPOB:1,3,5−トリス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
また、テトラアミン化合物として、以下に示すものが適宜用いられる。
TAB−S:3,3’,4,4’−テトラアミノジフェニルスルホン
NMP:N−メチル−2−ピロリドン(SP値:10.05、蒸気圧(20℃):39Pa)
GBL:γブチロラクトン(SP値:10.52、蒸気圧(20℃):150Pa)
MMBAc:3−メトキシ−3−メチル−1−ブチルアセテート(SP値:8.85、蒸気圧(20℃):53Pa)
DPMA:ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(SP値:8.99、蒸気圧(20℃):6.8Pa)
PGME:プロピレングリコールモノメチルエーテル(SP値:11.27、蒸気圧(20℃):1150Pa)
DMIB:N,N−ジメチルイソブチルアミド(SP値:8.81、蒸気圧(20℃):167Pa)
BDGAc:ブチルジグリコールアセテート(SP値:9.19、蒸気圧(20℃):5.3Pa)
n−オクタン(SP値:7.55、蒸気圧(20℃):1330Pa)
1,3−ブチレンジグリコール(SP値:12.75、蒸気圧(20℃):8Pa)
アルカリ可溶性樹脂(AR):メタクリル酸/メタクリル酸メチル/スチレン=54/23/23(モル%)からなる共重合体のカルボキシル基に対して、0.4当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの(重量平均分子量(Mw):29,000)
導電性粒子(A−1):表面炭素被覆層の平均厚みが1nmで、1次粒子径が40nmの銀粒子(日清エンジニアリング社製)
導電性粒子(A−2):1次粒子径が0.7μmの銀粒子(三井金属社製)
(第1項目:ワニスの外観評価)
第1項目では、ポリイミド前駆体樹脂組成物からなり、ポリイミド樹脂膜を形成するためのワニスの外観評価について説明する。ワニスの外観評価では、4つ口フラスコに入ったワニスを白色LEDで照らし、このワニスの濁りを確認した。評価結果として、ワニスに全く濁りが確認されないものは、優(EX)とした。蛍光灯下では濁りが殆ど確認されないが、白色LEDで照らすことで濁りが確認できるものは、良(G)とした。蛍光灯下で濁り、または白濁が見えるものは、不良(NG)とした。ここで言う「濁り」とは、シリコーン成分と溶媒との親和性が不十分であることにより発生する層分離現象を指す。「白濁」とは、重合して得られるポリイミド前駆体(A)が溶媒(B)に溶けきれず析出する現象を指す。
第2項目では、ポリイミド前駆体(A)の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定について説明する。実施例および比較例で得られたポリイミド前駆体樹脂組成物中のポリイミド前駆体(A)の重量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)は、TOSOH製HLC−8220型GPC装置(ガードカラム:TSK guard colomn ALPHA カラム:TSKgelALPHA―M、展開溶剤:NMP)を用いて測定した。また、重量平均分子量を算出するための検量線は、スタンダードポリスチレン(東ソー社製)を用いて作成した。
第3項目では、図5を参照しつつ、ポリイミド樹脂膜(第1のガラス基板上)の作製方法について説明する。図5は、実施例におけるポリイミド樹脂膜の作製および塗布性評価を説明するための図である。第3項目でのポリイミド樹脂膜の作製では、ワニスを、300mm×350mm×0.5mm厚のガラス基板26(旭硝子社製AN−100)に、スリットコーター(東レエンジニアリング社製)を用いてキュア後の膜厚が10±0.5μmになるように矢印29で示した方向に塗布し、その後、加熱式真空乾燥機、ホットプレートを用いてプリベークを行った。加熱式真空乾燥機は、上板を60℃、下板を40℃に加熱し、150秒かけて60Paまで内部圧力が下がる条件で乾燥を行った。ホットプレートは、予め120℃に加熱したものを用いて6分かけて乾燥を行った。このようにして得られたプリベーク膜を、イナートオーブン(光洋サーモシステム社製 INH−21CD)を用いて、窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、80分かけて400℃まで昇温し、30分間保持し、5〜8℃/minで50℃まで冷却した。これにより、図5に示すように、ガラス基板26(第1のガラス基板)上にポリイミド樹脂膜27を作製した。
第4項目では、図5を参照しつつ、ポリイミド樹脂膜の塗布性評価について説明する。この塗布性評価では、上記第3項目において示したポリイミド樹脂膜を用いて、下記の通り塗布ムラおよび面内均一性の各評価を行った。
塗布ムラ評価では、得られたポリイミド樹脂膜(10枚)について、周辺部、中央部(図5に示すポリイミド樹脂膜27の中央部分)を倍率20倍の顕微鏡にて観察し、塗布ムラが無い場合を「良好」と判定し、塗布ムラが有る場合を「不良」と判定した。後述の表には、塗布ムラ評価の結果として、塗布ムラが確認されて不良と判定したサンプルの枚数を記載した。ここでいう塗布ムラとは、ポリイミド樹脂膜の膜厚差に起因して見えるムラ(例えばスジムラ等)のことをいう。
膜厚の面内均一性評価では、塗布端部(ポリイミド樹脂膜27の外周から10mmの部分)を除いて塗布開始部から50mmの位置のノズル方向の膜厚を、ポリイミド樹脂膜27の10箇所の部分(例えば図5に示す膜厚測定箇所28の部分)について測定し、以下の計算式にて膜厚の面内均一性を求めた。計算式中の最大膜厚、最小膜厚とは、測定した10箇所のうちで最大のもの、最小のものを意味する。平均膜厚は、測定した10箇所の膜厚の平均値を意味する。ここでいうノズル方向とは、塗布方向に対して垂直の方向を指す。
面内均一性(%)=((最大膜厚)−(最小膜厚))/(2×(平均膜厚))×100
第5項目では、ポリイミド樹脂膜(第1のシリコン基板上)の作製方法について説明する。第5項目でのポリイミド樹脂膜の作製方法では、6インチのシリコン基板(第1のシリコン基板)に、東京エレクトロン社製の塗布現像装置 Mark−7を用いて、キュア後の膜厚が10±0.5μmになるようにワニスをスピン塗布した。その後、同じくMark−7のホットプレートを用いて、120℃×6分のプリベーク処理を行った。得られたプリベーク膜を、イナートオーブン(光洋サーモシステム社製 INH−21CD)を用いて窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、4℃/minで400℃まで昇温し、30分間保持し、5〜8℃/minで50℃まで冷却した。これにより、第1のシリコン基板上にポリイミド樹脂膜を作製した。
第6項目では、ポリイミド樹脂膜(第2のガラス基板上)の作製方法について説明する。第6項目でのポリイミド樹脂膜の作製方法では、第2のガラス基板である50mm×50mm×1.1mm厚のガラス基板(テンパックス)に、ワニスを、ミカサ社製のスピンコーターMS−A200を用いてキュア後の膜厚が10±0.5μmになるようにスピン塗布した。その後、大日本スクリーン社製のホットプレートD−SPINを用いて、120℃×6分のプリベーク処理を行った。得られたプリベーク膜を、イナートオーブン(光洋サーモシステム社製 INH−21CD)を用いて窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、4℃/minで400℃まで昇温し、30分間保持し、5〜8℃/minで50℃まで冷却した。これにより、第2のガラス基板上にポリイミド樹脂膜を作製した。
第7項目では、ポリイミド樹脂膜(第2のシリコン基板上)の作製方法について説明する。第7項目でのポリイミド樹脂膜の作製方法では、1/4に切断した4インチのシリコン基板(第2のシリコン基板)に、ワニスを、ミカサ社製のスピンコーターMS−A200を用いて、キュア後の膜厚が5±0.5μmになるようにスピン塗布した。その後、大日本スクリーン社製のホットプレートD−SPINを用いて、120℃×6分のプリベーク処理を行った。得られたプリベーク膜を、イナートオーブン(光洋サーモシステム社製 INH−21CD)を用いて窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、4℃/minで400℃まで昇温し、30分間保持し、5〜8℃/minで50℃まで冷却した。これにより、第2のシリコン基板上にポリイミド樹脂膜を作製した。
第8項目では、ポリイミド樹脂膜の光透過率(T)の測定について説明する。第8項目での光透過率(T)の測定では、紫外可視分光光度計(島津製作所社製 MultiSpec1500)を用い、波長450nmにおけるポリイミド樹脂膜の光透過率を測定した。なお、この測定には、上記第6項目で示したポリイミド樹脂膜を用いた。
第9項目では、ポリイミド樹脂膜のヘイズ値の測定について説明する。第9項目でのヘイズ値の測定では、直読ヘイズコンピュータ(スガ試験機社製 HGM2DP、C光源)を用い、上記第6項目で示した第2のガラス基板上のポリイミド樹脂膜のヘイズ値(%)を測定した。なお、各々の値としては、3回測定の平均値を用いた。
第10項目では、ポリイミド樹脂膜の面内/面外複屈折の測定について説明する。第10項目での面内/面外複屈折の測定では、プリズムカプラー(METRICON社製、PC2010)を用い、波長632.8nmのTE屈折率(n(TE))およびTM屈折率(n(TM))を測定した。n(TE)、n(TM)は、それぞれポリイミド樹脂膜面に対して、平行方向、垂直方向の屈折率である。面内/面外複屈折は、n(TE)とn(TM)との差(n(TE)−n(TM))として計算した。なお、この測定には、上記第7項目で示したポリイミド樹脂膜を用いた。
第11項目では、ポリイミド樹脂膜のガラス転移温度の測定について説明する。第11項目でのガラス転移温度の測定では、熱機械分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製 EXSTAR6000TMA/SS6000)を用いて、窒素気流下で測定を行った。昇温方法は、以下の条件にて行った。第1段階で、昇温レート5℃/minで150度まで昇温して試料の吸着水を除去し、第2段階で、降温レート5℃/minで室温まで空冷した。第3段階で、昇温レート5℃/minで本測定を行い、ガラス転移温度を求めた。なお、この測定には、上記第5項目で示したポリイミド樹脂膜をシリコンウェハ(第1のシリコン基板)から剥離して用いた。
第12項目では、ポリイミド樹脂膜の1%重量減少温度の測定について説明する。第12項目での1%重量減少温度の測定では、熱重量測定装置(島津製作所社製 TGA−50)を用いて窒素気流下で測定を行った。昇温方法は、以下の条件にて行った。第1段階で、昇温レート3.5℃/minで150℃まで昇温して試料の吸着水を除去し、第2段階で、降温レート10℃/min室温まで冷却した。第3段階で、昇温レート10℃/minで本測定を行い、1%熱重量減少温度を求めた。なお、この測定には、上記第5項目で示したポリイミド樹脂膜をシリコンウェハ(第1のシリコン基板)から剥離して用いた。
第13項目では、ポリイミド樹脂膜の破断伸度および弾性率の測定について説明する。第13項目での破断伸度および弾性率の測定では、テンシロン(オリエンテック社製 RTM−100)を用いて測定を行った。各試料につき10個以上のサンプルの測定を行い、JIS個数平均(JIS K−6301)を用いてJIS平均値を算出した。なお、この測定には、上記第5項目で示したポリイミド樹脂膜をシリコンウェハ(第1のシリコン基板)から剥離して用いた。
第14項目では、ポリイミド樹脂膜の残留応力の測定について説明する。第14項目での残留応力の測定では、ケーエルエー・テンコール社製の薄膜応力測定装置FLX−3300−Tを用いて測定を行った。この測定には、上記第5項目で示したポリイミド樹脂膜を用いた。その際、当該ポリイミド樹脂膜を、測定前に室温23℃、湿度55%の部屋で24時間静置した。
第15項目では、算術平均粗さ(Ra)の評価について説明する。第15項目での算術平均粗さ(Ra)の評価では、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて、以下の条件で、ガスバリア層製膜前のポリイミド樹脂膜の表面、およびガスバリア層製膜後の無機膜の表面について算術平均粗さ(Ra)を測定した。
システム:NanoScopeIII/MMAFM(デジタルインスツルメンツ社製)
スキャナ:AS−130(J−Scanner)
プローブ:NCH−W型、単結晶シリコン(ナノワールド社製)
走査モ−ド:タッピングモ−ド
走査範囲:10μm×10μm
走査速度:0.5Hz
測定環境:温度23℃、相対湿度65%、大気中
第16項目では、積層体の耐屈曲性評価について説明する。第16項目での耐屈曲性評価では、ポリイミド樹脂膜上に無機膜を有する積層体の耐屈曲性を以下の手法で測定した。まず、ガラス基板から剥離した積層体を、100mm×140mmのサイズにサンプリングし、面上の中央部に直径30mmの金属円柱を固定し、この金属円柱に沿って、金属円柱の抱き角0°(サンプルが平面の状態)の状態に置いた(図6に示す積層体30および金属円柱31参照)。続いて、この積層体に対し、金属円柱への抱き角が180°(金属円柱で折り返した状態)となる範囲(図7に示す積層体30および金属円柱31参照)で、100回折り曲げ動作を行った。耐屈曲性は、曲げ動作前後の無機膜におけるクラック発生の有無を指標とし、試験後に光学顕微鏡(Nikon社製、OPTIPHOT300)を用いて目視で100枚の積層体について観察を行った。
第17項目では、タッチパネルの作製および耐湿熱性評価について説明する。第17項目でのタッチパネルの作製および耐湿熱性評価では、下記の方法にて、予め準備した導電性組成物および絶縁性組成物を用いてタッチパネルの作製を行い、続いて、当該タッチパネルの耐湿熱試験を行った。
製造例1では、導電性組成物(AE−1)を調製した。詳細には、導電性粒子(A−1)を80g、界面活性剤(“DISPERBYK”(登録商標)21116:DIC社製)を4.06g、PGMEAを98.07g、DPMを98.07g、混合したものに、ホモジナイザーにて、1200rpm、30分間の処理を施した。さらに、高圧湿式メディアレス微粒化装置ナノマイザー(ナノマイザー社製)を用いて、混合物を分散して、銀含有量が40質量%の銀分散液を得た。
製造例2では、絶縁性組成物(OA−1)を調製した。詳細には、クリーンボトルに、カルド系樹脂(V−259ME:新日鉄住友化学社製)を50.0g、架橋性モノマー(TAIC:日本化成社製)を18.0g、架橋性モノマー(M−315:東亞合成社製)を10.0g、エポキシ化合物(PG−100:大阪ガスケミカル社製)を20.0g、光重合開始剤(OXE−01:BASF社製)を0.2g、添加し、1時間撹拌して、絶縁性組成物(OA−1)を得た。
タッチパネルの作製では、下記の方法にてタッチパネルの第一の配線層を形成した。詳細には、導電性組成物(AE−1)を、ポリイミド樹脂膜または該ポリイミド樹脂膜を含む積層体上に、スピンコーター(ミカサ社製「1H−360S(商品名)」)を用いて、300rpmで10秒、500rpmで2秒の条件でスピンコートした。その後、ホットプレート(大日本スクリーン製造社製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。パラレルライトマスクアライナー(キヤノン社製「PLA−501F(商品名)」)を用いて、超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業社製「AD−2000(商品名)」)を用いて、0.045質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで、水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。パターン加工した基板を、オーブンを用いて、空気中(酸素濃度21%)で、250℃で30分間キュアし、第一の配線層を形成した。
タッチパネルの耐湿熱性評価では、タッチパネルの耐湿熱試験を行ってタッチパネルの耐湿熱性を測定した。この耐湿熱性の測定には、絶縁劣化特性評価システム“ETAC SIR13”(楠本化成社製)を用いた。詳細には、タッチパネルの第一の配線層および第二の配線層の端部にそれぞれ電極を取り付け、85℃、85%RH条件に設定された高温高湿槽内にタッチパネルを入れた。槽内環境が安定してから5分間経過後、第一の配線層および第二の配線層の電極間に電圧を印加し、絶縁抵抗の経時変化を測定した。第一の配線層を正極、第二の配線層を負極として、10Vの電圧を印加し、500時間の抵抗値を5分間隔で測定した。測定した抵抗値が10の5乗以下に達したとき、絶縁不良のため短絡と判断して、印圧を停止し、それまでの試験時間を短絡時間とした。その後、以下の評価基準に従って耐湿熱性を評価し、評価レベルが2以上である場合を合格とした。
評価レベル=5:短絡時間が1000時間以上
評価レベル=4:短絡時間が500時間以上1000時間未満
評価レベル=3:短絡時間が300時間以上500時間未満
評価レベル=2:短絡時間が100時間以上300時間未満
評価レベル=1:短絡時間が100時間未満
実施例1では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)と、を入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、70,000、33,000であった。
実施例2では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(75g)と、DPMA(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、72,000、32,500であった。
実施例3では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(75g)と、DMM(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、72,000、33,000であった。
実施例4では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(75g)と、DMIB(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、69,000、33,000であった。
実施例5では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.31g(20.3mmol))と、PMDA(0.49g(2.26mmol))と、m−TB(4.55g(21.4mmol))と、X−22−1660B−3(2.29g(0.52mmol))と、1,3,5−TAPOB(0.181g(0.45mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、202,000、54,000であった。
実施例6では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.24g(20.1mmol))と、PMDA(0.49g(2.23mmol))と、m−TB(4.56g(21.5mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、1,3,5−TAPOB(0.089g(0.25mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、152,000、48,000であった。
実施例7では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、GBL(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、65,000、30,500であった。
実施例8では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、PGME(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、61,000、28,000であった。
実施例9では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.37g(23.8mmol))と、PMDA(0.58g(2.64mmol))と、m−TB(4.35g(20.5mmol))と、4,4’−DDS(1.31g(5.28mmol))と、X−22−1660B−3(2.67g(0.61mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、68,000、31,500であった。
実施例10では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(5.32g(17.2mmol))と、PMDA(0.42g(1.91mmol))と、TFMB(5.97g(18.6mmol))と、X−22−1660B−3(1.93g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、68,000、31,500であった。
実施例11では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(5.40g(17.4mmol))と、PMDA(0.42g(1.93mmol))と、TFMB(5.86g(18.3mmol))と、X−22−1660B−3(1.96g(0.44mmol))と、1,3,5−TAPOB(0.154g(0.39mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、198,000、52,000であった。
実施例12では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.35g(23.7mmol))と、PMDA(0.57g(2.63mmol))と、m−TB(4.17g(19.7mmol))と、4,4’−DDS(1.31g(5.26mmol))と、X−22−1660B−3(2.66g(0.61mmol))と、1,3,5−TAPOB(0.21g(0.53mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、185,000、50,000であった。
実施例13では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.16g(19.8mmol))と、PMDA(0.49g(2.26mmol))と、X−22−168−P5−B(2.19g(0.52mmol))と、m−TB(4.80g(22.6mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、67,000、32,000であった。
実施例14では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.09g(19.6mmol))と、BSAA(0.90g(2.18mmol))と、m−TB(4.53g(21.3mmol))と、X−22−1660B−3(2.12g(0.49mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、65,000、31,000であった。
実施例15では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.18g(23.2mmol))と、BPAF(1.18g(2.57mmol))と、m−TB(5.34g(25.1mmol))と、X−22−1660B−3(2.58g(0.59mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、66,000、31,000であった。
実施例16では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.74g(25.0mmol))と、PMDA(0.61g(2.77mmol))と、CHDA(0.63g(5.55mmol))と、m−TB(4.58g(21.6mmol))と、X−22−1660B−3(2.81g(0.64mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、71,000、34,000であった。
実施例17では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(5.06g(17.2mmol))と、PMDA(0.42g(1.91mmol))と、TFMB(5.98g(18.7mmol))と、X−22−1660B−3(1.93g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、85,000、46,000であった。
実施例18では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(5.06g(17.2mmol))と、PMDA(0.42g(1.91mmol))と、TFMB(3.98g(12.4mmol))と、4,4‘−DDS(1.55g(6.23mmol))と、X−22−1660B−3(1.93g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、75,000、45,000であった。
実施例19では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(4.50g(15.3mmol))と、PMDA(0.42g(1.91mmol))と、BPAF(0.88g(1.91mmol))と、TFMB(3.99g(12.5mmol))と、4,4‘−DDS(1.55g(6.25mmol))と、X−22−1660B−3(1.94g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、73,500、40,000であった。
実施例20では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(3.38g(11.5mmol))と、PMDA(0.42g(1.91mmol))と、BPAF(2.64g(5.75mmol))と、TFMB(4.00g(12.5mmol))と、4,4’−DDS(1.55g(6.25mmol))と、X−22−1660B−3(1.93g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、73,000、44,000であった。
実施例21では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(2.25g(7.64mmol))と、PMDA(0.42g(1.91mmol))と、BPAF(4.38g(9.55mmol))と、TFMB(4.00g(12.5mmol))と、4,4’−DDS(1.55g(6.23mmol))と、X−22−1660B−3(1.93g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、70,000、42,500であった。
実施例22では、実施例20で得られたワニス(100g)に、2−エチル−4−メチルイミダゾールを0.12g(ポリイミド前駆体の100質量部に対して0.1質量部に相当する質量)添加して、実施例22におけるワニスとした。
実施例23では、実施例20で得られたワニス(100g)に、2−エチル−4−メチルイミダゾールを0.36g(ポリイミド前駆体の100質量部に対して0.3質量部に相当する質量)添加して、実施例23におけるワニスとした。
実施例24では、実施例20で得られたワニス(100g)に、3,5−ジヒドロキシ安息香酸を0.12g(ポリイミド前駆体の100質量部に対して0.1質量部に相当する質量)添加して、実施例24におけるワニスとした。
実施例25では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(3.38g(11.5mmol))と、PMDA(0.42g(1.92mmol))と、BPAF(2.64g(5.75mmol))と、TFMB(3.90g(12.2mmol))と、4,4’−DDS(1.55g(6.25mmol))と、1,3,5−TAPOB(0.077g(0.19mmol))と、X−22−1660B−3(1.94g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、95,000、49,000であった。
実施例26では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(3.38g(11.5mmol))と、PMDA(0.42g(1.92mmol))と、BPAF(2.64g(5.75mmol))と、TFMB(3.87g(12.1mmol))と、4,4’−DDS(1.55g(6.25mmol))と、TAB−S(0.053g(0.19mmol))と、X−22−1660B−3(1.94g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、96,000、49,500であった。
実施例27では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(3.38g(11.5mmol))と、PMDA(0.42g(1.92mmol))と、BPAF(2.64g(5.75mmol))と、TFMB(3.00g(9.36mmol))と、4,4’−DDS(2.33g(9.36mmol))と、X−22−1660B−3(1.94g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、68,000、40,000であった。
実施例28では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、BPDA(3.38g(11.5mmol))と、PMDA(0.42g(1.92mmol))と、BPAF(2.64g(5.75mmol))と、TFMB(2.00g(6.27mmol))と、4,4’−DDS(3.09g(12.46mmol))、X−22−1660B−3(1.94g(0.44mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、64,000、37,000であった。
実施例29では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.37g(23.8mmol))と、PMDA(0.58g(2.64mmol))と、m−TB(4.35g(20.5mmol))と、4,4’−DDS(1.31g(5.28mmol))と、X−22−1660B−3(2.67g(0.61mmol))と、NMP(90g)と、MMBAc(10g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、70,000、32,500であった。
実施例30では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.37g(23.8mmol))と、PMDA(0.58g(2.64mmol))と、m−TB(4.35g(20.5mmol))と、4,4’−DDS(1.31g(5.28mmol))と、X−22−1660B−3(2.67g(0.61mmol))と、NMP(63g)と、MMBAc(37g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、67,500、31,500であった。
実施例31では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(55g)と、MMBAc(45g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、63,000、30,000であった。
実施例32では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(96g)と、MMBAc(4g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、70,000、33,000であった。
実施例33では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(30g)と、MMBAc(70g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、59,000、28,000であった。
実施例34では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(4.41g(14.2mmol))と、PMDA(0.62g(2.84mmol))と、PMDA−HS(2.55g(11.4mmol))と、m−TB(5.90g(27.8mmol))と、X−22−1660B−3(2.88g(0.65mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、67,000、30,000であった。
実施例35では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、PMDA−HS(6.20g(27.7mmol))と、PMDA(0.67g(3.07mmol))と、m−TB(6.38g(30.0mmol))と、X−22−1660B−3(3.11g(0.71mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、55,000、25,000であった。
比較例1では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(75g)と、BDGAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、70,000、32,000であった。
比較例2では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(75g)と、n−オクタン(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、68,000、31,000であった。
比較例3では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、1,3−ブチレンジグリコール(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、53,000、24,000であった。
比較例4では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、DMIB(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、55,000、25,500であった。
比較例5では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、NMP(100g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたワニスは濁りが発生していたため、ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定は実施できなかった。
比較例6では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(6.25g(20.1mmol))と、PMDA(0.48g(2.24mmol))と、m−TB(4.64g(21.9mmol))と、X−22−1660B−3(2.26g(0.51mmol))と、MMBAc(100g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたワニスには不溶物があり白濁していたため、ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定は実施できなかった。
比較例7では、乾燥窒素気流下、200mLの4つ口フラスコに、ODPA(7.42g(23.9mmol))と、PMDA(0.58g(2.66mmol))と、m−TB(5.64g(26.6mmol))と、NMP(75g)と、MMBAc(25g)とを入れて80℃で加熱撹拌した。8時間後、冷却してワニスとした。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、それぞれ、73,000、36,000であった。
実施例36では、実施例1で得られたワニスを用いて、上記第3項目に示される方法によってポリイミド樹脂膜を作製した。その後、上記第17項目に示される方法によってタッチパネルの作製を行った。
実施例37では、ポリイミド樹脂膜の上にSiON(製膜温度:350℃、膜厚200nm)をプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例36と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例38では、ポリイミド樹脂膜の上にSiO2(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とSiN(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とをこの順にプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例36と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例39では、ポリイミド樹脂膜の上にSiN(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とSiO2(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とをこの順にプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例36と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例40では、ポリイミド樹脂膜の上にSiO2(製膜温度:350℃、膜厚200nm)をプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例36と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例41では、実施例5で得られたワニスを用いて、上記第3項目に示される方法によってポリイミド樹脂膜を作製した。その後、上記第17項目に示される方法によってタッチパネルの作製を行った。
実施例42では、ポリイミド樹脂膜の上にSiON(製膜温度:350℃、膜厚200nm)をプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例41と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例43では、ポリイミド樹脂膜の上にSiO2(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とSiN(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とをこの順にプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例41と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例44では、ポリイミド樹脂膜の上にSiN(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とSiO2(製膜温度:350℃、膜厚100nm)とをこの順にプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例41と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例45では、ポリイミド樹脂膜の上にSiO2(製膜温度:350℃、膜厚200nm)をプラズマCVDで製膜した。この製膜以外は実施例41と同様にして、タッチパネルの作製を行った。
実施例46では、実施例14で得られたワニスを用いて、上記第3項目に示される方法によってポリイミド樹脂膜を作製した。その後、上記第17項目に示される方法によってタッチパネルの作製を行った。
実施例47では、実施例4で得られたワニスを用いて、上記第3項目に示される方法によってポリイミド樹脂膜を作製した。その後、上記第17項目に示される方法によってタッチパネルの作製を行った。
実施例48では、実施例22で得られたワニスを用いて、上記第3項目に示される方法によってポリイミド樹脂膜を作製した。その後、上記第17項目に示される方法によってタッチパネルの作製を行った。
実施例49では、実施例26で得られたワニスを用いて、上記第3項目に示される方法によってポリイミド樹脂膜を作製した。その後、上記第17項目に示される方法によってタッチパネルの作製を行った。
2 ガスバリア層
3 第一の配線層
4 第一の絶縁層
5 第二の配線層
6 第二の絶縁層
7 タッチパネル
8 カラーフィルタ
9 ブラックマトリックス
10R 赤色画素
10G 緑色画素
10B 青色画素
11 オーバーコート層
12 液晶素子
13 画素電極
14 第一配向膜
15 第二配向膜
16 対向電極
17 液晶層
18 偏光板
19 有機EL素子
20 TFT層
21 平坦化層
22 第一電極
23 絶縁層
24R 赤色有機EL発光層
24G 緑色有機EL発光層
24B 青色有機EL発光層
25 第二電極
26 ガラス基板
27 ポリイミド樹脂膜
28 膜厚測定箇所
29 矢印(塗布方向を示すもの)
30 積層体
31 金属円柱
Claims (17)
- 一般式(1)で表される構造および一般式(2)で表される構造単位を含むポリイミド前駆体(A)と、溶媒(B)とを含むポリイミド前駆体樹脂組成物であって、
前記ポリイミド前駆体(A)は、前記ポリイミド前駆体(A)全体の量を100質量%とした場合、一般式(1)で表される構造を5〜30質量%含み、
前記溶媒(B)は、
SP値が7.7以上、9.0以下である溶媒(B1)と、
SP値が9.0より大きく12.5以下である溶媒(B2)と、
をそれぞれ1種以上含む、
ことを特徴とするポリイミド前駆体樹脂組成物。
- 前記溶媒(B)は、前記溶媒(B)全体の量を100質量%とした場合、前記溶媒(B1)を5〜40質量%含み、前記溶媒(B2)を60〜95質量%含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記溶媒(B)は、前記溶媒(B)全体の量を100質量%とした場合、20℃における蒸気圧が10Pa以上100Pa以下である溶媒を70〜100質量%含む、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記溶媒(B)中、20℃における蒸気圧が最も高い溶媒と最も低い溶媒との蒸気圧の差は、100Pa以下である、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記ポリイミド前駆体(A)が、フルオレン骨格を有する酸無水物残基を、前記ポリイミド前駆体(A)の100モル%中、5モル%以上55モル%以下含む、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記ポリイミド前駆体(A)が、ジフェニルスルホン基を有するジアミン残基を、前記ポリイミド前駆体(A)の100モル%中、合計で15モル%以上60モル%未満含む、
ことを特徴とする請求項5に記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記ポリイミド前駆体(A)が、ジフェニルエーテル基を有する酸無水物残基と、ジフェニルエーテル基を有するジアミン残基とを、前記ポリイミド前駆体(A)の100モル%中、合計で30モル%以上含む、
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記ポリイミド前駆体(A)がトリアミン骨格を含む、
ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 前記ポリイミド前駆体(A)がテトラアミン骨格を含む、
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - イミド化促進剤をさらに含み、
前記イミド化促進剤の含有量が、前記ポリイミド前駆体(A)の100質量部に対して0.1〜3質量部である、
ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物。 - 請求項1〜10のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物をイミド化して得られる、
ことを特徴とするポリイミド樹脂組成物。 - 支持基板上に請求項1〜10のいずれか一つに記載のポリイミド前駆体樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
塗布された前記ポリイミド前駆体樹脂組成物から溶剤を除去する除去工程と、
前記溶剤が除去された前記ポリイミド前駆体樹脂組成物をイミド化してポリイミド樹脂組成物の膜状物を得るポリイミド樹脂膜形成工程と、
得られた前記ポリイミド樹脂組成物の膜状物の上に無機膜を形成する無機膜形成工程と、
を含むことを特徴とする積層体の製造方法。 - 請求項14に記載の積層体の製造方法によって製造される積層体の上に、ブラックマトリックスおよび着色画素を形成する形成工程と、
前記支持基板から前記積層体を剥離する剥離工程と、
を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 請求項14に記載の積層体の製造方法によって製造される積層体上に、透明電極、配向膜および液晶層を形成する形成工程と、
前記支持基板から前記積層体を剥離する剥離工程と、
を含むことを特徴とする液晶素子の製造方法。 - 請求項14に記載の積層体の製造方法によって製造される積層体上に、有機EL発光回路を形成する形成工程と、
前記支持基板から前記積層体を剥離する剥離工程と、
を含むことを特徴とする有機EL素子の製造方法。
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WO2021060058A1 (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 東レ株式会社 | 樹脂膜、電子デバイス、樹脂膜の製造方法および電子デバイスの製造方法 |
WO2021241763A1 (ja) * | 2020-05-28 | 2021-12-02 | 旭化成株式会社 | 樹脂組成物 |
CN111812943A (zh) * | 2020-08-07 | 2020-10-23 | 武汉柔显科技股份有限公司 | 一种感光性树脂组合物、感光性树脂膜及图案形成方法 |
JP2023521590A (ja) * | 2020-09-21 | 2023-05-25 | エルジー・ケム・リミテッド | フレキシブルディスプレイ装置製造用複合基板、これを利用したフレキシブルディスプレイ装置の製造方法、およびフレキシブルディスプレイ装置用積層体 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0291124A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Nippon Steel Chem Co Ltd | ポリイミド共重合体及びその製造方法 |
JPH0291125A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Nippon Steel Chem Co Ltd | シリコーンポリイミド及びその製造方法 |
WO1991010699A1 (en) * | 1990-01-18 | 1991-07-25 | Nippon Steel Chemical Co., Ltd. | Resin for protecting semiconductors |
WO2006082814A1 (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-10 | National University Corporation Nagoya Institute Of Technology | シロキサン変性多分岐ポリイミド |
JP2010155895A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 組成物、組成物からなる塗膜、塗膜を含む積層体、及び積層体を組み込んだ電子機器 |
WO2011122199A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Jsr株式会社 | 基板の製造方法およびそれに用いられる組成物 |
JP2013050549A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Asahi Glass Co Ltd | ネガ型感光性樹脂組成物、隔壁、光学素子 |
WO2013047451A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Jsr株式会社 | 樹脂組成物およびそれを用いた膜形成方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5948545B2 (ja) | 1976-01-17 | 1984-11-27 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置用のリ−ド線 |
US5094919A (en) * | 1988-06-30 | 1992-03-10 | Nippon Steel Chemical Co., Ltd. | Polyimide copolymers and process for preparing the same |
WO2014098235A1 (ja) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ポリイミド前駆体及びそれを含有する樹脂組成物 |
-
2018
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0291124A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Nippon Steel Chem Co Ltd | ポリイミド共重合体及びその製造方法 |
JPH0291125A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Nippon Steel Chem Co Ltd | シリコーンポリイミド及びその製造方法 |
WO1991010699A1 (en) * | 1990-01-18 | 1991-07-25 | Nippon Steel Chemical Co., Ltd. | Resin for protecting semiconductors |
WO2006082814A1 (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-10 | National University Corporation Nagoya Institute Of Technology | シロキサン変性多分岐ポリイミド |
JP2010155895A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 組成物、組成物からなる塗膜、塗膜を含む積層体、及び積層体を組み込んだ電子機器 |
WO2011122199A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Jsr株式会社 | 基板の製造方法およびそれに用いられる組成物 |
JP2013050549A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Asahi Glass Co Ltd | ネガ型感光性樹脂組成物、隔壁、光学素子 |
WO2013047451A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Jsr株式会社 | 樹脂組成物およびそれを用いた膜形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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