JPWO2019035428A1

JPWO2019035428A1 - 搬送装置

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Publication number: JPWO2019035428A1
Application number: JP2019536763A
Authority: JP
Inventors: 英康上川; 浩一郎藤分; 隅田　雅之; 雅之隅田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2017-08-17
Filing date: 2018-08-10
Publication date: 2020-04-23
Anticipated expiration: 2038-08-10
Also published as: JP7021672B2; CN110997497B; WO2019035428A1; CN110997497A; US20200161693A1; US10991968B2

Abstract

搬送装置１００は、貫通孔が設けられた平板部材１０と、平板部材１０を保持した状態で貫通孔を介して搬送対象物１を吸引し、平板部材１０および搬送対象物１を、収容ケース２に搬送する第１の搬送ヘッド２０とを備える。平板部材１０は、収容ケース２への収容時に、搬送対象物１の端部が収容ケース２の内側側面２ｂに当接することを阻止できる形状に構成されている。

Description

本発明は、搬送装置に関し、特に、搬送対象物を収容ケースに搬送して収容する搬送装置に関する。

搬送対象物を搬送する搬送装置として、特許文献１には、電極箔の搬送装置が記載されている。この特許文献１に記載の搬送装置では、吸着ヘッドによって、収容ケースであるマガジンに積層されている複数枚の電極箔のうちの最上層の電極箔を吸着してマガジンから取り出し、受け取りステージへと搬送する。

特開２０１７−８４４９８号公報

しかしながら、特許文献１に記載の搬送装置では、吸着ヘッドによって電極箔を吸着してマガジンから取り出す際に、電極箔の端部がマガジンの内側側面と接触する可能性がある。また、同様に、マガジンに電極箔を搬送して収容する際にも、電極箔の端部がマガジンの内側側面と接触する可能性がある。

本発明は、上記課題を解決するものであり、搬送対象物を搬送して収容ケースに収容する際に、搬送対象物が収容ケースと接触することを防ぐことができる搬送装置を提供することを目的とする。

本発明の搬送装置は、
搬送対象物を搬送して収容ケースに収容する搬送装置であって、
貫通孔が設けられた平板部材と、
前記平板部材を保持した状態で前記貫通孔を介して前記搬送対象物を吸引し、前記平板部材および前記搬送対象物を、前記収容ケースに搬送する第１の搬送ヘッドと、
を備え、
前記平板部材は、前記収容ケースへの収容時に、前記搬送対象物の端部が前記収容ケースの内側側面に当接することを阻止できる形状に構成されていることを特徴とする。

上記搬送装置は、前記収容ケースに収容されている一番上の前記平板部材を保持するとともに、当該平板部材の前記貫通孔を介して、当該平板部材と一緒に搬送されてきた前記搬送対象物を吸引し、当該搬送対象物を所定の位置に搬送する第２の搬送ヘッドをさらに備えていてもよい。

前記第１の搬送ヘッドは、前記平板部材の前記貫通孔を介して前記搬送対象物を吸引するための吸引部と、前記平板部材を保持するための保持部とを有する構成であってもよい。

また、前記第２の搬送ヘッドは、前記平板部材の前記貫通孔を介して前記搬送対象物を吸引するための吸引部と、前記平板部材を保持するための保持部とを有する構成であってもよい。

前記保持部は、前記平板部材を吸引することによって前記平板部材を保持するように構成されていてもよい。

前記平板部材は、金属板であってもよい。

前記平板部材を回収するための回収装置をさらに備えていてもよい。

前記平板部材は、樹脂フィルムであってもよい。

前記搬送対象物は、電極箔の表面に活物質層が形成されている電極であってもよい。

前記電極は、電極箔の片面にのみ活物質層が形成されている片面電極であってもよい。

本発明の搬送装置によれば、第１の搬送ヘッドによって搬送対象物を搬送して収容ケースに収容する際に、搬送対象物が収容ケースの内側側面と接触することを防ぐことができる。すなわち、平板部材は、収容ケースへの収容時に、搬送対象物の端部が収容ケースの内側側面に当接することを阻止できる形状に構成されているので、平板部材が収容ケースの内側側面と接触したとしても、平板部材が保護部材として機能し、搬送対象物が収容ケースの内側側面と接触することを防ぐことができる。

第１の実施形態における搬送装置の要部構成を示す概略図である。平板部材の平面図である。平板部材の大きさと電極の大きさを対比するための図である。（ａ）は、第１の搬送ヘッドの概略構成を示す平面図であり、（ｂ）は、第１の搬送ヘッドの側面図である。第１の搬送ヘッドによって搬送対象物を搬送する状態を示す図である。（ａ）は、第２の搬送ヘッドの概略構成を示す平面図であり、（ｂ）は、第２の搬送ヘッドの側面図である。平板部材の別の形状の一例を示す平面図である。

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに具体的に説明する。

本発明による搬送装置は、搬送対象物を搬送して収容ケースに収容する。以下では、搬送対象物が、電極箔の片面にのみ活物質層が形成されている片面電極である例について説明する。ただし、搬送対象物が片面電極に限定されることはなく、電極箔の両面に活物質層が形成されている両面電極でもよいし、電極以外のものでもよい。

＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態における搬送装置１００の要部構成を示す概略図である。第１の実施形態における搬送装置１００は、平板部材１０と、第１の搬送ヘッド２０と、第２の搬送ヘッド３０とを備える。

収容ケース２は、底面２ａおよび側面２ｂを有し、上部は開放されている。収容ケース２は、搬送対象物である電極１を一時的に収容するためのケースである。

例えば、積層型電池の電極体であって、積層方向外側の電極のみが片面電極であり、他の電極が両面電極である電極体を製造する場合、両面電極の必要枚数と比べて、片面電極の必要枚数が少ないため、製造効率上、片面電極を収容ケース２に一時的に収容しておいた方がよい場合がある。そのような場合に、本実施形態における搬送装置１００によって、片面電極を収容ケース２に搬送し、必要に応じて、収容ケース２から片面電極を取り出して、所定の位置に搬送する。

図２は、平板部材１０の平面図である。平板部材１０は、金属板、例えばステンレス製の板であって、その厚さは、例えば、０．５ｍｍである。平板部材１０には、上面と下面とを貫通する貫通孔１０ａが設けられている。図２に示す例では、４つの貫通孔１０ａが設けられているが、貫通孔１０ａの数が４つに限定されることはない。

平板部材１０は、収容ケース２への収容時に、搬送対象物の端部が収容ケース２の内側側面に当接することを阻止できる形状に構成されている。

本実施形態では、平板部材１０は、平面視で、搬送対象物である電極１よりも一回り大きい形状を有する。すなわち、電極１と平板部材１０を、それぞれの中心位置を合わせて重ねたときに、図３に示すように、平板部材１０の外周端１０Ｃが電極１の外周端１Ｃよりも外側に位置し、搬送対象物である電極１の外周端１Ｃが収容ケース２の内側側面２ｂに当接することを防止できる形状を有する。

図４（ａ）は、第１の搬送ヘッド２０の概略構成を示す平面図であり、図４（ｂ）は、第１の搬送ヘッド２０の側面図である。

第１の搬送ヘッド２０には、上面２１と下面２２とを貫通する第１の吸引孔２０ａと第２の吸引孔２０ｂが設けられている。本実施形態では、第１の吸引孔２０ａよりも外側に第２の吸引孔２０ｂが設けられているが、第１の吸引孔２０ａと第２の吸引孔２０ｂとの位置関係はこれに限定されない。また、第１の吸引孔２０ａおよび第２の吸引孔２０ｂはそれぞれ４つ設けられているが、数が４つに限定されることはない。ただし、第１の吸引孔２０ａの数は、平板部材１０の貫通孔１０ａの数と同じであることが好ましい。

この第１の搬送ヘッド２０は、上面２１側から吸引を行うことにより、下面２２に吸着対象物を吸着し、吸着した吸着対象物を搬送するように構成されている。ただし、第１の搬送ヘッド２０は、例えば吸着パッドを備え、吸引により、吸着パッドで吸着対象物を吸着するような構成であってもよい。

第１の吸引孔２０ａおよび第２の吸引孔２０ｂは、図示しない吸引装置と接続されている。なお、第１の吸引孔２０ａおよび第２の吸引孔２０ｂは、吸引ホースを介して吸引装置と接続されていてもよいし、図示しない吸引チャンバおよび吸引ホースを介して吸引装置と接続されていてもよい。第１の搬送ヘッド２０が吸引チャンバを有する場合、例えば、上面２１に吸引チャンバを設けることができる。

第１の吸引孔２０ａは、搬送対象物である電極１を吸引するための吸引部を構成する。また、第２の吸引孔２０ｂは、平板部材１０を吸引して保持するための保持部を構成する。

本実施形態では、第１の搬送ヘッド２０は、図５に示すように、第２の吸引孔２０ｂを介して平板部材１０を吸引して保持した状態で、第１の吸引孔２０ａおよび貫通孔１０ａを介して、電極１を吸引し、吸着した平板部材１０および電極１を、収容ケース２へと搬送する。このため、第１の搬送ヘッド２０は、平板部材１０を吸着する際に、第１の吸引孔２０ａが、平板部材１０の貫通孔１０ａと鉛直方向において重なるように位置合わせを行ってから、平板部材１０を吸引する。

第１の吸引孔２０ａと、平板部材１０の貫通孔１０ａとの間の位置合わせを容易にするために、平板部材１０の貫通孔１０ａの径と第１の搬送ヘッド２０の第１の吸引孔２０ａの径とは、いずれか一方が他方よりも大きいほうが好ましい。本実施形態では、平板部材１０の貫通孔１０ａの径が第１の搬送ヘッド２０の第１の吸引孔２０ａの径よりも大きくなるように形成されている。ただし、貫通孔１０ａの径が大きすぎると、電極１が貫通孔１０ａ内に吸い込まれるおそれがあるので、適切な径に設定しておく必要がある。

なお、本実施形態では、第１の搬送ヘッド２０の第１の吸引孔２０ａと第２の吸引孔２０ｂ、および、平板部材１０の貫通孔１０ａの平面視での形状は円形であるが、円形に限定されることはない。

第１の搬送ヘッド２０は、吸着した平板部材１０および電極１を収容ケース２に搬送すると、収容ケース２内で第１の吸引孔２０ａおよび第２の吸引孔２０ｂを介した吸引を停止する。これにより、収容ケース２内に、平板部材１０および電極１が収容される。

上述したように、第１の搬送ヘッド２０は、平板部材１０を吸着して保持した状態で、電極１を吸引し、平板部材１０と電極１を一緒に収容ケース２内に収容する。このとき、外周端１０Ｃが電極１の外周端１Ｃの外側に位置する平板部材１０は、収容ケース２の内側側面２ｂに対する電極１の外周端１Ｃの保護部材として機能するため、電極１が収容ケース２の内側側面２ｂと接触することを防ぐことができる。すなわち、平板部材１０の外周端１０Ｃが収容ケース２の内側側面２ｂと接触したとしても、平板部材１０の外周端１０Ｃよりも内側に位置する電極１の外周端１Ｃが収容ケース２の内側側面２ｂと接触することはない。

第１の搬送ヘッド２０が上述した動作を繰り返すことにより、収容ケース２内には、下から順に、電極１と平板部材１０が交互に積層されていく。

図６（ａ）は、第２の搬送ヘッド３０の概略構成を示す平面図であり、図６（ｂ）は、第２の搬送ヘッド３０の側面図である。第２の搬送ヘッド３０は、上述した第１の搬送ヘッド２０と同様の構造を有する。

第２の搬送ヘッド３０には、上面３１と下面３２とを貫通する第１の吸引孔３０ａと、上面３１と下面３２とを貫通し、第１の吸引孔３０ａよりも外側に位置する第２の吸引孔３０ｂが設けられている。第１の吸引孔３０ａは、電極１を吸引するための吸引部を構成し、第２の吸引孔３０ｂは、平板部材１０を吸引して保持する保持部を構成する。本実施形態では、第１の吸引孔３０ａおよび第２の吸引孔３０ｂはそれぞれ４つ設けられているが、数が４つに限定されることはない。ただし、第１の吸引孔３０ａの数は、平板部材１０の貫通孔１０ａの数と同じであることが好ましい。

第２の搬送ヘッド３０も、上面３１側から吸引を行うことにより、下面３２に吸着対象物を吸着し、吸着した吸着対象物を搬送するように構成されている。ただし、第２の搬送ヘッド３０は、例えば吸着パッドを備え、吸引により、吸着パッドで吸着対象物を吸着するような構成であってもよい。

第２の搬送ヘッド３０は、収容ケース２内に複数収容されている平板部材１０のうち、一番上の平板部材１０を保持するとともに、保持した平板部材１０の貫通孔１０ａを介して、その平板部材１０と一緒に収容ケース２に搬送されてきた電極１を吸引する。そして、吸着した平板部材１０および電極１を所定の位置に搬送する。

第２の搬送ヘッド３０が収容ケース２から平板部材１０と電極１とを取り出す際も、平板部材１０が収容ケース２の内側側面２ｂに対する電極１の外周端１Ｃの保護部材として機能するため、電極１が収容ケース２の内側側面２ｂと接触することを防ぐことができる。

本実施形態では、第２の搬送ヘッド３０は、吸着した平板部材１０および電極１を、長尺状のセパレータ材の上まで搬送する。そして、第２の吸引孔３０ｂを介した吸引は継続した状態で、第１の吸引孔３０ａを介した吸引を停止する。これにより、電極１は、長尺状のセパレータ材の上に載置される。

この後、図示していない圧着装置により電極１を長尺状のセパレータ材に圧着し、圧着後にセパレータ材を電極１の周囲の所定の位置で切断する。このような、セパレータの上に片面電極が積層されたものは、積層型電池の電極体の製造に用いられる。すなわち、積層型電池の電極体は、正極と負極がセパレータを介して交互に積層された構造を有するが、積層方向外側には、片面電極が配置される。すなわち、上述した方法により作製された、セパレータの上に片面電極が積層されたものは、積層型電池の電極体の積層方向外側に配置される。

なお、電極１を長尺状のセパレータ材の上に搬送するまでの間に、電極１に付着している塵などを除去するためのクリーニングを行うようにしてもよい。

その後、第２の搬送ヘッド３０は、吸着している平板部材１０を所定の回収位置へと回収する。すなわち、本実施形態では、第２の搬送ヘッド３０が回収装置としても機能する。ただし、第２の搬送ヘッド３０とは別に、平板部材１０を回収するための回収装置を設けるようにしてもよい。平板部材１０を回収することにより、一度使用した平板部材１０を再利用することができる。

なお、平板部材１０を所定の回収位置に回収するまでの間に、平板部材１０に付着している異物などを除去するためのクリーニングを行うようにしてもよい。

平板部材１０の回収タイミングが上述したタイミングに限定されることはない。例えば、平板部材１０を電極１とともに長尺状のセパレータ材の上に載置した後に回収するようにしてもよい。この場合、第２の搬送ヘッド３０は、平板部材１０および電極１を長尺状のセパレータ材の上まで搬送し、第１の吸引孔３０ａおよび第２の吸引孔３０ｂの吸引を停止して、平板部材１０と電極１とを長尺状のセパレータ材の上に載置する。そして、例えば、電極１の上に平板部材１０が載置された状態で、図示しない圧着装置により、セパレータ材と電極１の圧着を行い、圧着後に、平板部材１０を回収する。

第１の実施形態における搬送装置１００によれば、第１の搬送ヘッド２０は、平板部材１０を保持した状態で、平板部材１０の貫通孔１０ａを介して、搬送対象物である電極１を吸引し、平板部材１０および電極１を収容ケース２に搬送する。平板部材１０は、収容ケース２への収容時に、電極１の外周端１Ｃが収容ケース２の内側側面２ｂに当接することを阻止できる形状に構成されている。このような構成により、搬送対象物である電極１を収容ケース２に収容する際に、電極１が収容ケース２の内側側面２ｂと接触することを防ぐことができる。すなわち、収容ケース２内に一緒に収容される平板部材１０の外周端１０Ｃが収容ケース２の内側側面２ｂと接触したとしても、電極１の外周端１Ｃが収容ケース２の内側側面２ｂと接触することはない。

また、第１の実施形態における搬送装置１００によれば、第２の搬送ヘッド３０は、収容ケース２に収容されている一番上の平板部材１０を保持するとともに、保持した平板部材１０の貫通孔１０ａを介して、その平板部材１０と一緒に収容ケース２に搬送されてきた電極１を吸引し、電極１を所定の位置に搬送する。これにより、電極１を収容ケース２から取り出して搬送する際も、平板部材１０が保護部材として機能するので、電極１が収容ケース２の内側側面２ｂと接触することを防ぐことができる。

ここで、搬送対象物である電極１が片面電極である場合、電極箔と活物質層との間の残留応力により、電極箔の中心部に対して端部が、活物質層が形成されている側に湾曲した形状となっている場合がある。しかしながら、本実施形態における搬送装置１００によれば、片面電極である電極１を、平板部材１０とともに収容ケース２内に収容することにより、平板部材１０が重しとなって、片面電極の湾曲を補正することができる。

また、本実施形態における搬送装置１００では、搬送対象物である電極１を、平板部材１０と交互に積層されるような態様で収容ケース２内に収容し、収容ケース２から電極１を取り出す際も平板部材１０とともに取り出す。これにより、収容ケース２から電極１を取り出す際に、意図せずに複数枚の電極１をまとめて取り出してしまうことを防ぐことができる。また、収容ケース２内では、電極１同士が接触しないので、例えば、１つの電極１に付着していた異物が別の電極１と接触することにより、別の電極１にも異物が付着するようなことを防ぐことができる。

また、第１の実施形態における搬送装置１００によれば、第１の搬送ヘッド２０は、平板部材１０の貫通孔１０ａを介して電極１を吸引するための第１の吸引孔２０ａ（吸引部）と、平板部材１０を保持するための第２の吸引孔２０ｂ（保持部）とを有する。また、第２の搬送ヘッド３０は、平板部材１０の貫通孔１０ａを介して電極１を吸引するための第１の吸引孔３０ａ（吸引部）と、平板部材１０を保持するための第２の吸引孔３０ｂ（保持部）とを有する。これにより、平板部材１０の保持および分離と、電極１の吸着および分離をそれぞれ独立して行うことができる。

特に、第１の実施形態における搬送装置１００によれば、上記保持部は、平板部材１０を吸引することによって平板部材１０を保持するように構成されているので、吸引により、平板部材１０の保持および分離と、電極１の吸着および分離をそれぞれ独立して行うことができる。

また、平板部材１０を金属板とすることにより、搬送対象物である電極１の外周端１Ｃを確実に保護することができる。

また、使用した平板部材１０を回収することにより、回収した平板部材１０を再度使用することができる。

＜第２の実施形態＞
上述した第１の実施形態では、平板部材１０として金属板を用いる例について説明した。第２の実施形態では、平板部材１０として樹脂フィルムを用いる例について説明する。

本実施形態でも、平板部材１０は、収容ケース２への収容時に、搬送対象物の端部が収容ケース２の内側側面２ｂに当接することを阻止できる形状に構成されている。また、平板部材１０は、収容ケース２の内側側面２ｂと接触した場合でも、平板部材１０が保護部材となって、平板部材１０とともに保持されている搬送対象物が収容ケース２の内側側面２ｂと接触しないような剛性を有している必要がある。

本実施形態では、そのような剛性を有する樹脂フィルムを、平板部材１０として使用する。例えば、ＰＥＴフィルムを平板部材１０として用いることができる。ＰＥＴフィルムの厚さは例えば０．２ｍｍから０．６ｍｍとすることができる。

平板部材１０として樹脂フィルムを用いる場合も、金属板を用いる場合と同様に、図２に示すような貫通孔１０ａを設ける。例えば、長尺状の樹脂フィルム材を所定の大きさに切断し、所定の位置に貫通孔１０ａを設けたものを、平板部材１０として使用することができる。この場合、金属板に貫通孔を設ける場合と比べて、容易に貫通孔を設けることができる。

平板部材１０として樹脂フィルムを用いることにより、一度使用した平板部材１０を使い捨てすることができる。これにより、平板部材１０を回収して、クリーニングしてから再使用する場合と比べて、クリーニング工程および回収工程を省略することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

上述した実施形態において、搬送装置１００は、搬送対象物を搬送して収容ケース２に収容し、その後に、収容ケース２に収容されている搬送対象物を取り出して所定の位置に搬送するように構成されているが、搬送対象物を搬送して収容ケースに収容する装置として構成されていてもよい。その場合、搬送装置１００の構成として、第２の搬送ヘッド３０を省略することができる。

上述した実施形態において、第１の搬送ヘッド２０および第２の搬送ヘッド３０はそれぞれ、吸引によって平板部材１０を吸着して保持するものとして説明したが、吸引以外の方法により平板部材１０を保持してもよい。例えば、平板部材１０が磁石にくっつく金属板の場合、第１の搬送ヘッド２０および第２の搬送ヘッド３０に磁石を設けて、磁力により平板部材１０を保持するようにしてもよい。また、第１の搬送ヘッド２０および第２の搬送ヘッド３０は、平板部材１０を挟み込んで保持するなど、機械的に平板部材１０を保持するように構成されていてもよい。

上述した実施形態では、第１の搬送ヘッド２０と、第２の搬送ヘッド３０は、同じような構造を有するものとして説明したが、異なる構造を有していてもよい。

平板部材１０は、収容ケース２への収容時に、搬送対象物の端部が収容ケース２の内側側面２ｂに当接することを阻止できる形状に構成されていればよく、形状が図２に示す形状に限定されることはない。

図７は、平板部材１０の別の形状の一例を示す平面図である。図７では、理解を容易にするために、搬送対象物である電極１も示している。

図７に示す平板部材１０は、図２に示す平板部材１０と比べて、長辺側の外周端が内側に凹んでいる部分がある。すなわち、図７に示す平板部材１０は、電極１の長辺と平行な外周端のうち、内側に位置する第１の外周端１０１と、第１の外周端１０１よりも外側に位置する第２の外周端１０２とを有する。収容ケース２への搬送時および収容ケース２からの搬送時に電極１と重なった状態では、図７に示すように、第１の外周端１０１は、電極１の長辺側外周端１１よりも内側に位置する。しかしながら、第２の外周端１０２は、電極１の長辺側外周端１１よりも外側に位置するため、この第２の外周端１０２が電極１の長辺側外周端１１を保護する機能を果たす。

なお、図７に示すように、平板部材１０の短辺側外周端１０３は、電極１の短辺側外周端１２よりも外側に位置しており、電極１の短辺側外周端１２を保護する機能を果たす。

すなわち、平板部材１０は、収容ケース２への収容時に、収容ケース２の内側側面２ｂと最も近い搬送対象物の端部よりも、収容ケース２の内側側面２ｂと近い端部を有する。第１の搬送ヘッド２０の搬送態様に着目すると、第１の搬送ヘッド２０は、搬送対象物の端部よりも平板部材１０の端部が収容ケース２の内側側面２ｂと近い位置になるような態様で、平板部材１０と搬送対象物を搬送するとも言える。

１電極
２収容ケース
２ａ底面
２ｂ側面
１０平板部材
１０ａ貫通孔
２０第１の搬送ヘッド
２０ａ第１の搬送ヘッドの第１の吸引孔
２０ｂ第１の搬送ヘッドの第２の吸引孔
３０第２の搬送ヘッド
３０ａ第２の搬送ヘッドの第１の吸引孔
３０ｂ第２の搬送ヘッドの第２の吸引孔
１００搬送装置

Claims

搬送対象物を搬送して収容ケースに収容する搬送装置であって、
貫通孔が設けられた平板部材と、
前記平板部材を保持した状態で前記貫通孔を介して前記搬送対象物を吸引し、前記平板部材および前記搬送対象物を、前記収容ケースに搬送する第１の搬送ヘッドと、
を備え、
前記平板部材は、前記収容ケースへの収容時に、前記搬送対象物の端部が前記収容ケースの内側側面に当接することを阻止できる形状に構成されていることを特徴とする搬送装置。
前記収容ケースに収容されている一番上の前記平板部材を保持するとともに、当該平板部材の前記貫通孔を介して、当該平板部材と一緒に搬送されてきた前記搬送対象物を吸引し、当該搬送対象物を所定の位置に搬送する第２の搬送ヘッドをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
前記第１の搬送ヘッドは、前記平板部材の前記貫通孔を介して前記搬送対象物を吸引するための吸引部と、前記平板部材を保持するための保持部とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
前記第２の搬送ヘッドは、前記平板部材の前記貫通孔を介して前記搬送対象物を吸引するための吸引部と、前記平板部材を保持するための保持部とを有することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
前記保持部は、前記平板部材を吸引することによって前記平板部材を保持するように構成されていることを特徴とする請求項３または４に記載の搬送装置。
前記平板部材は、金属板であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。
前記平板部材を回収するための回収装置をさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置。
前記平板部材は、樹脂フィルムであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。
前記搬送対象物は、電極箔の表面に活物質層が形成されている電極であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の搬送装置。
前記電極は、電極箔の片面にのみ活物質層が形成されている片面電極であることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。