JPWO2018221131A1 - 電子部品 - Google Patents

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Abstract

電子部品であるフェライト基板モジュール10は、第1の絶縁体(第2の磁性体層22)と第1の絶縁体よりも抵抗率の大きい第2の絶縁体(第2の非磁性体層25)とを備えた積層体(フェライト基板20)と、第1の絶縁体と第2の絶縁体との間に位置し、所定の端面が少なくとも積層体の端面近傍に位置する金属導体(配線導体421、422)と、金属導体の所定の端面に形成され、かつ、第2の絶縁体の端面よりも前記第1の絶縁体の端面の方に広がる態様で形成されているめっき膜81、82と、めっき膜81、82の外側に形成され、当該めっき膜を介して金属導体と電気的に接続されている外側導体60とを備える。

Description

本発明は、電子部品に関し、特に、絶縁体の間に金属導体が配置された構造を有する電子部品に関する。
絶縁体の間に金属導体が挟まれた構造を有する電子部品が知られている。
そのような電子部品の一つとして、特許文献1には、卑金属を主成分とする金属導体の端面を、Pd、Au、PtおよびAgから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属膜で被覆し、さらにその上に、めっき膜を形成した電子部品が記載されている。この電子部品によれば、金属導体の端面を貴金属で覆うことにより、金属導体の端面に均一にめっき膜を形成することができる。
特開2010−93112号公報
しかしながら、特許文献1に記載の電子部品では、金属導体を挟み込むように配置されている絶縁体は同じものが用いられているため、金属導体の端面に形成されるめっき膜は、引用文献1の図4で示されているように、金属膜の位置を中心として外側に膨らむように形成されてしまい、平坦に広がった平面面積の大きいめっき膜を形成することは困難である。このため、めっき膜の外側に、めっき膜を介して金属導体と電気的に接続される外側導体を配置する構成とする場合、外側導体とめっき膜との接続面積を十分に広くすることができず、金属導体と外側導体との間の接続信頼性に改善の余地があった。
本発明は、上記課題を解決するものであり、外側導体とめっき膜との接続面積を広くし、金属導体と外側導体との間の接続信頼性を向上させることが可能な電子部品を提供することを目的とする。
本発明の電子部品は、
第1の絶縁体と、前記第1の絶縁体よりも抵抗率の大きい第2の絶縁体とを備えた積層体と、
前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体との間に位置し、所定の端面が少なくとも前記積層体の端面近傍に位置する金属導体と、
前記金属導体の所定の端面に形成され、かつ、前記第2の絶縁体の端面よりも前記第1の絶縁体の端面の方に広がる態様で形成されているめっき膜と、
前記めっき膜の外側に形成され、当該めっき膜を介して前記金属導体と電気的に接続されている外側導体と、
を備えることを特徴とする。
前記金属導体の所定の端面は、前記積層体の端面よりも内側に位置するように構成されていてもよい。
前記第1の絶縁体は磁性体であり、前記第2の絶縁体は非磁性体であってもよい。
前記第1の絶縁体の内部にはコイルが形成されており、
前記外側導体は、シールドとしての機能を有するように構成されていてもよい。
前記金属導体は、グランドと電気的に接続されていてもよい。
本発明の電子部品によれば、金属導体の端面に形成されているめっき膜は、第2の絶縁体の端面よりも抵抗率の小さい第1の絶縁体の端面の方に広がる態様で形成されているので、金属導体の端面を中心として外側に膨らむような態様でめっき膜が形成されている構成と比べて、めっき膜と外側導体との接続面積が広くなる。これにより、金属導体と外側導体との間の接続信頼性を向上させることができる。
本発明の一実施形態における電子部品としてのフェライト基板モジュールの概略構成を示す断面図である。 一実施形態における電子部品としてのフェライト基板モジュールが適用される電源回路例を示す概略回路図である。 第4の配線導体の外側端面部分の拡大図である。 第4の配線導体の外側端面を含む周辺領域を、図3の矢印Y1の方向から見た図である。 (A)、(B)、(C)は、フェライト基板モジュールの製造方法を説明するための図である。 (A)、(B)は、フェライト基板モジュールの製造方法を説明するための図である。
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに具体的に説明する。
以下では、本発明の電子部品として、フェライト基板モジュールを例に挙げて説明する。
図1は、本発明の一実施形態における電子部品としてのフェライト基板モジュール10の概略構成を示す断面図である。また、図2は、一実施形態における電子部品としてのフェライト基板モジュール10が適用される電源回路例を示す概略回路図である。
図1に示すように、フェライト基板モジュール10は、フェライト基板20と、封止樹脂30と、第1の実装型電子部品51および第2の実装型電子部品52と、外側導体60とを備える。
フェライト基板20は、略直方体の形状を有する。すなわち、フェライト基板20は、互いに対向する第1主面203Aおよび第2主面203Bと、当該第1主面203Aと第2主面203Bとを連接させる第1側面201および第2側面202とを少なくとも有する。
積層体であるフェライト基板20は、第1の磁性体層21、第2の磁性体層22、第1の非磁性体層24、第2の非磁性体層25、および、第3の非磁性体層23を備える。第1の磁性体層21、第2の磁性体層22、第1の非磁性体層24、第2の非磁性体層25、および、第3の非磁性体層23はいずれもセラミック絶縁体層である。また、第1の磁性体層21および第2の磁性体層22は、複数のセラミック絶縁体層が積層されたものである。第2の磁性体層22は、本発明の第1の絶縁体に対応し、第2の非磁性体層25は、本発明の第2の絶縁体に対応する。
第3の非磁性体層23は、第1の磁性体層21と第2の磁性体層22の間に配置されている。この第3の非磁性体層23は、省略することも可能である。第3の非磁性体層23を省略した場合、第1の磁性体層21および第2の磁性体層22からなる磁性体層が本発明の第1の絶縁体に対応することになる。ただし、第3の非磁性体層23を設けることによって、後述するコイル401の直流重畳特性を向上させることができる。
第1の非磁性体層24は、第1の磁性体層21の両面のうち、第3の非磁性体層23との当接面とは反対側の面に当接している。
第2の非磁性体層25は、第2の磁性体層22の両面のうち、第3の非磁性体層23との当接面とは反対側の面に当接している。
すなわち、厚み方向に沿って、第1の非磁性体層24、第1の磁性体層21、第3の非磁性体層23、第2の磁性体層22、および、第2の非磁性体層25が順に積層されている。
第1の磁性体層21、第3の非磁性体層23、および第2の磁性体層22の積層部分には、コイル401が形成されている。
コイル401は、平面視で、フェライト基板20の中央に開口部を有し、厚み方向を軸方向とする螺旋形の導体として構成されている。この構成を実現するため、コイル401は、複数のコイル導体と複数の層間接続導体とを備える。
複数のコイル導体のそれぞれは、巻回形、すなわち、周上の一部を切り欠いた環状の形状を有する。複数のコイル導体は、フェライト基板20の第1の磁性体層21および第2の磁性体層22における厚み方向の異なる位置に形成されている。これら複数のコイル導体は、第1の磁性体層21、第2の磁性体層22、および、第3の非磁性体層23に形成された層間接続導体によって、1本の導体となるように接続されている。接続されたコイル導体の端部は、第1の非磁性体層24に形成された層間接続導体を介して第1の非磁性体層24上に搭載された実装型電子部品(例えば制御用IC)に電気的に接続されている。
第1の非磁性体層24には、第1の部品実装用ランド導体441、第2の部品実装用ランド導体442、第1の配線導体451、第2の配線導体452、第1の層間接続導体461、および、第2の層間接続導体462が形成されている。
第1の部品実装用ランド導体441および第2の部品実装用ランド導体442は、フェライト基板20の第1主面203A、すなわち、第1の非磁性体層24の両面のうち、第1の磁性体層21との当接面とは反対側の面に形成されている。第1の部品実装用ランド導体441には、第1の実装型電子部品51が実装されている。また、第2の部品実装用ランド導体442には、第2の実装型電子部品52が実装されている。
第1の配線導体451は、第1の非磁性体層24と第1の磁性体層21との界面に形成されている。第1の配線導体451の一方端付近は、第1の層間接続導体461を介して、第1の部品実装用ランド導体441と電気的に接続されている。第1の配線導体451の他方端は、後述する外側導体60と接続されている。
第2の配線導体452は、第1の非磁性体層24と第1の磁性体層21との界面に形成されている。第2の配線導体452の一方端付近は、第2の層間接続導体462を介して、第2の部品実装用ランド導体442と電気的に接続されている。第2の配線導体452の他方端は、後述する外側導体60と接続されている。
第2の非磁性体層25には、第1の端子導体411、第2の端子導体412、第3の配線導体421、第4の配線導体422、第3の層間接続導体431、および、第4の層間接続導体432が形成されている。
第1の端子導体411および第2の端子導体412は、第2の非磁性体層25の両面のうち、第2の磁性体層22との当接面とは反対側の面に形成されている。第1の端子導体411および第2の端子導体412は、基準電位用の端子導体、例えば、グランド(接地)用の端子導体である。
第3の配線導体421は、本発明の金属導体に対応する。第3の配線導体421は、第2の非磁性体層25と第2の磁性体層22との界面に形成されている。すなわち、第3の配線導体421は、第2の非磁性体層25と第2の磁性体層22との間に配置されている。第3の配線導体421の一方端付近は、第3の層間接続導体431を介して、第1の端子導体411と電気的に接続されている。
第3の配線導体421の他方端側の端面は、フェライト基板20の第1側面201の近傍に位置する。この第3の配線導体421の他方端側の端面には、めっき膜81が形成されている。めっき膜81の詳細については後述する。
第4の配線導体422は、本発明の金属導体に対応する。第4の配線導体422は、第2の非磁性体層25と第2の磁性体層22との界面に形成されている。すなわち、第4の配線導体422は、第2の非磁性体層25と第2の磁性体層22との間に配置されている。第4の配線導体422の一方端付近は、第4の層間接続導体432を介して、第2の端子導体412と電気的に接続されている。
第4の配線導体422の他方端側の端面は、フェライト基板20の第2側面202の近傍に位置する。この第4の配線導体422の他方端側の端面には、めっき膜82が形成されている。めっき膜82の詳細については、図3を用いて後述する。
封止樹脂30は、フェライト基板20の第1主面203Aと、第1の実装型電子部品51および第2の実装型電子部品52とを覆っている。
シールドとしての機能を有する外側導体60は、封止樹脂30の表面、フェライト基板20の第1側面201および第2側面202を覆っている。外側導体60は、例えば、ステンレス鋼、銅、および、ステンレス鋼の三層により構成されている。
第1の配線導体451および第2の配線導体452は、外側導体60と電気的に接続されている。また、第3の配線導体421は、めっき膜81を介して、外側導体60と電気的に接続され、第4の配線導体422は、めっき膜82を介して、外側導体60と電気的に接続されている。
第1の端子導体411および第2の端子導体412がグランド(接地)用の端子導体である場合、第3の配線導体421および第4の配線導体422もグランドと電気的に接続される。したがって、外側導体60もグランドと電気的に接続される。
ここで、第1の配線導体451、第2の配線導体452、第3の配線導体421、および、第4の配線導体422は、Agを主成分とすることが好ましい。これにより、第1の配線導体451、第2の配線導体452、第3の配線導体421、および、第4の配線導体422の導電率が向上し、グランドを、より安定化することができる。
なお、本発明の金属導体である第3の配線導体421および第4の配線導体422の主成分がAgに限定されることはない。
上述した構成のフェライト基板モジュール10は、図2に示すような回路に適用される。図2に示すように、フェライト基板モジュール10は、入力端子PIN、出力端子POUT、グランド端子PGND、制御IC71、入力コンデンサ72、インダクタ(チョークコイル)73、および、出力コンデンサ74を備える。
入力端子PINには、制御IC71の入力端が接続されている。入力端子PINとグランド端子PGNDとの間には、入力コンデンサ72が接続されている。制御IC71の出力端にはインダクタ73の一端が接続されており、当該インダクタ73の他端は、出力端子POUTに接続されている。出力端子POUTとグランド端子PGNDとの間には、出力コンデンサ74が接続されている。グランド端子PGNDは、基準電位である外部のグランド(接地電位)に接続されている。
このような構成により、フェライト基板モジュール10は、制御IC71によるスイッチング制御により、入力端子PINに与えられた入力電圧Vinを、出力電圧Voutとして出力端子POUTから出力する。すなわち、フェライト基板モジュール10は、降圧型のDCDCコンバータとして機能する。
図2の制御IC71は、図1の第1の実装型電子部品51によって実現され、図2の入力コンデンサ72および出力コンデンサ74は、図1の第2の実装型電子部品52によって実現され、図2のインダクタ73は、図1のコイル401によって実現される。そして、これらをシールドする外側導体60とグランド端子PGNDとの接続の安定性が向上することにより、ノイズを抑制したDCDCコンバータを実現することができる。
図3は、第4の配線導体422の外側端面部分の拡大図である。以下では、第4の配線導体422の外側端面に形成されているめっき膜82について説明するが、第3の配線導体421の外側端面に形成されているめっき膜81についても同様の構成を有する。
第4の配線導体422の外側端面422aは、第2の磁性体層22の端面22aおよび第2の非磁性体層25の端面25aよりも内側に位置する。第4の配線導体422の外側端面422aには、めっき膜82が形成されている。
めっき膜82は、第2の非磁性体層25の端面25aよりも第2の磁性体層22の端面22aの方に広がる態様で形成されている。図4は、第4の配線導体422の外側端面422aを含む周辺領域を、図3の矢印Y1の方向から見た図である。
めっき膜82は、電解めっき膜であってもよいし、無電解めっき膜であってもよい。めっき膜82の金属種は特に限られるものではなく、例えば、Ni+Au、Ni+Snなどを用いることができる。
第2の磁性体層22の抵抗率は、第2の非磁性体層25の抵抗率と比べて小さい。言い換えれば、第2の磁性体層22は、導体に対して親和性が高い。このため、フェライト基板モジュール10の製造工程において、第4の配線導体422の端面422aにめっき膜を形成すると、抵抗率の小さい第2の磁性体層22の方へめっき析出が進む。これにより、第4の配線導体422の端面422aに形成されためっき膜82は、第2の非磁性体層25の端面25aよりも第2の磁性体層22の端面22aの方に広がった形状を有する。換言すると、めっき膜82が第2の磁性体層22の端面22aを覆っている面積は、第2の非磁性体層25の端面25aを覆っている面積よりも大きい。
上記のように、めっき膜82は、積層方向における、第4の配線導体422の厚さよりも広い範囲に形成されている。より詳しくは、めっき膜82は、図4に示すように、第2の磁性体層22の端面22aにおいて、第4の配線導体422の厚さ以上の長さに延びている。これにより、第4の配線導体422の端面422aに、外側に突出するような形状を有し、かつ、積層方向外側にそれほど広がりを有していないような形状のめっき膜が形成された場合と比べて、めっき膜82と外側導体60との接続面積が増えるので、めっき膜82を介した第4の配線導体422と外側導体60との電気的接続性が向上する。したがって、外側導体60のグランドがより安定化し、フェライト基板モジュール10から発せられる高周波の放射ノイズを効果的に低減することができる。
また、第4の配線導体422の端面422aに形成されているめっき膜82は、外側に突出するような形状ではなく、第2の磁性体層22の端面22aの方に広がる形状を有するので、フェライト基板モジュール10の製造工程において、めっき膜82の外側に外側導体60を容易に形成することが可能となる。
上述したように、本実施形態では、第4の配線導体422の端面422aは、第2の磁性体層22の端面22aおよび第2の非磁性体層25の端面25aよりも内側に位置する。このため、図3に示すように、めっき膜82は、第4の配線導体422の端面422aよりも外側であって、第2の磁性体層22と第2の非磁性体層25との間の領域に形成される。これにより、めっき膜82と、絶縁体層である第2の磁性体層22および第2の非磁性体層25との間の接触面積が増えるため、めっき膜82と、第2の磁性体層22および第2の非磁性体層25との間の固着力が高くなる。
なお、図4に示す、第4の配線導体422の幅H1は、任意の長さとすることができる。
ここで、上記フェライト基板モジュール10は、以下のような方法で製造することができる。
まず、図5(A)に示すように、磁性体層21M、22Mを構成する複数の磁性体シート、および、非磁性体層24M、25Mを構成する複数の非磁性体シートに、それぞれ導体パターンを形成する。磁性体層21M、22Mを構成する複数の磁性体シート、および、非磁性体層24M、25Mを構成する複数の非磁性体シートは、複数のフェライト基板20を一括で形成できる大きさのマザーシートである。
導体パターンとして、磁性体層21M、22Mを構成する複数の磁性体シートに、コイル401を構成するコイル導体および層間接続導体を形成する。また、非磁性体層24Mを構成する複数の非磁性体シートに、第1の部品実装用ランド導体441、第2の部品実装用ランド導体442、配線導体450、第1の層間接続導体461、および、第2の層間接続導体462を形成する。さらに、非磁性体層25Mを構成する複数の非磁性体シートに、第1の端子導体411、第2の端子導体412、配線導体420、第3の層間接続導体431、および、第4の層間接続導体432を形成する。
配線導体420、450は、複数の素子部を跨ぐ形状である。なお、素子部とは、最終的に1個のフェライト基板モジュール10(フェライト基板20)となる部分を示す。
そして、磁性体層21M、22Mを構成する複数の磁性体シート、非磁性体層24M、25Mを構成する複数の非磁性体シート、および、非磁性体層23Mを構成する非磁性体シートを積層し、マザー積層体20Mを形成する。
次に、図5(B)に示すように、マザー積層体20Mを個々の素子部に分割するためのブレイク溝210を形成する。これにより、配線導体420は、第3の配線導体421と第4の配線導体422に分割される。また、第3の配線導体421および第4の配線導体422の外側端部は、ブレイク溝210に露出する。
その後、マザー積層体20Mを焼成する。焼成により、金属導体である第3の配線導体421および第4の配線導体422は収縮する。これにより、図5(C)に示すように、第3の配線導体421の外側端面の位置は、ブレイク溝210に露出している磁性体層22Mの端面および非磁性体層25Mの端面よりも内側の位置となる。同様に、第4の配線導体422の外側端面の位置は、ブレイク溝210に露出している磁性体層22Mの端面および非磁性体層25Mの端面よりも内側の位置となる。
続いて、第3の配線導体421および第4の配線導体422の外側端面に、めっき膜を形成する。このとき、非磁性体層25Mと比べて抵抗率の小さい磁性体層22Mの方にめっき析出が進む。これにより、図6(A)に示すように、めっき膜81、82は、非磁性体層25Mと比べて磁性体層22Mの方に広がる態様で形成される。
その後、図6(B)に示すように、焼成後のマザー積層体20Mの第1主面203Aに、第1の実装型電子部品51および第2の実装型電子部品52を実装する。具体的には、第1の部品実装用ランド導体441に第1の実装型電子部品51を実装し、第2の部品実装用ランド導体442に第2の実装型電子部品52を実装する。
続いて、図6(B)に示すように、マザー積層体20Mの第1主面203A側に、封止樹脂30Mを形成する。そして、ブレイク溝210に沿って、マザー積層体20Mを複数の素子部に個片化する。最後に、個片化した各素子部の外側に、外側導体60を形成する。外側導体60は、例えば、スパッタリング法により形成することができる。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
例えば、第4の配線導体422の端面422aは、第2の磁性体層22の端面22aおよび第2の非磁性体層25の端面25aよりも内側に位置するものとして説明したが、第2の磁性体層22の端面22aおよび第2の非磁性体層25の端面25aと、厚み方向の同じ位置であってもよい。同様に、第3の配線導体421の端面は、第2の磁性体層22の端面および第2の非磁性体層25の端面よりも内側に位置するものとして説明したが、厚み方向の同じ位置であってもよい。すなわち、本発明の金属導体の所定の端面は、少なくとも積層体としてのフェライト基板20の端面近傍に位置していればよい。
上述した実施形態では、フェライト基板モジュール10を、降圧型のDCDCコンバータとして用いる例を示したが、インダクタ73と制御IC71を少なくとも備える昇圧型のDCDCコンバータ、または昇降圧型のDCDCコンバータとして用いることも可能である。
上述したフェライト基板モジュール10において、第1の実装型電子部品51および第2の実装型電子部品52を備えていない構成とすることもできる。
上記実施形態では、電子部品がフェライト基板モジュール10である例を示し、フェライト基板モジュール10の第2の磁性体層22が第1の絶縁体に対応し、第2の非磁性体層25が第2の絶縁体に対応するものとして説明した。しかし、本発明の電子部品がフェライト基板モジュールに限定されることはない。また、第1の絶縁体が磁性体層に限定されることはなく、第2の絶縁体が非磁性体層に限定されることもない。
すなわち、本発明の電子部品は、第1の絶縁体と第1の絶縁体よりも抵抗率の大きい第2の絶縁体とを備えた積層体と、第1の絶縁体と前記第2の絶縁体との間に位置し、所定の端面が少なくとも積層体の端面近傍に位置する金属導体と、金属導体の所定の端面に形成され、かつ、第2の絶縁体の端面よりも第1の絶縁体の端面の方に広がる態様で形成されているめっき膜と、めっき膜の外側に形成され、当該めっき膜を介して金属導体と電気的に接続されている外側導体とを備える構成であればよい。
10 フェライト基板モジュール
20 フェライト基板
20M マザー積層体
21 第1の磁性体層
22 第2の磁性体層
22a 第2の磁性体層の端面
23 第3の非磁性体層
24 第1の非磁性体層
25 第2の非磁性体層
25a 第2の非磁性体層の端面
30 封止樹脂
51 第1の実装型電子部品
52 第2の実装型電子部品
60 外側導体
71 制御IC
72 入力コンデンサ
73 インダクタ
74 出力コンデンサ
81、82 めっき膜
201 第1側面
202 第2側面
203 第2主面
401 コイル
411 第1の端子導体
412 第2の端子導体
421 第3の配線導体
422 第4の配線導体
422a 第4の配線導体の端面
431 第3の層間接続導体
432 第4の層間接続導体
441 第1の部品実装用ランド導体
442 第2の部品実装用ランド導体
461 第1の層間接続導体
462 第2の層間接続導体
本発明の一実施形態における電子部品としてのフェライト基板モジュールの概略構成を示す断面図である。 一実施形態における電子部品としてのフェライト基板モジュールが適用される電源回路例を示す概略回路図である。 第4の配線導体の外側端面と周辺の拡大図である。 第4の配線導体の外側端面を含む周辺領域を、図3の矢印Y1の方向から見た図である。 (A)、(B)、(C)は、フェライト基板モジュールの製造方法を説明するための図である。 (A)、(B)は、フェライト基板モジュールの製造方法を説明するための図である。
図3は、第4の配線導体422の外側端面と周辺の拡大図である。以下では、第4の配線導体422の外側端面に形成されているめっき膜82について説明するが、第3の配線導体421の外側端面に形成されているめっき膜81についても同様の構成を有する。
10 フェライト基板モジュール
20 フェライト基板
20M マザー積層体
21 第1の磁性体層
22 第2の磁性体層
22a 第2の磁性体層の端面
23 第3の非磁性体層
24 第1の非磁性体層
25 第2の非磁性体層
25a 第2の非磁性体層の端面
30 封止樹脂
51 第1の実装型電子部品
52 第2の実装型電子部品
60 外側導体
71 制御IC
72 入力コンデンサ
73 インダクタ
74 出力コンデンサ
81、82 めっき膜
201 第1側面
202 第2側面
203A 第1主面
203 第2主面
401 コイル
411 第1の端子導体
412 第2の端子導体
421 第3の配線導体
422 第4の配線導体
422a 第4の配線導体の端面
431 第3の層間接続導体
432 第4の層間接続導体
441 第1の部品実装用ランド導体
442 第2の部品実装用ランド導体
461 第1の層間接続導体
462 第2の層間接続導体

Claims (5)

  1. 第1の絶縁体と、前記第1の絶縁体よりも抵抗率の大きい第2の絶縁体とを備えた積層体と、
    前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体との間に位置し、所定の端面が少なくとも前記積層体の端面近傍に位置する金属導体と、
    前記金属導体の所定の端面に形成され、かつ、前記第2の絶縁体の端面よりも前記第1の絶縁体の端面の方に広がる態様で形成されているめっき膜と、
    前記めっき膜の外側に形成され、当該めっき膜を介して前記金属導体と電気的に接続されている外側導体と、
    を備えることを特徴とする電子部品。
  2. 前記金属導体の所定の端面は、前記積層体の端面よりも内側に位置することを特徴とする請求項1に記載の電子部品。
  3. 前記第1の絶縁体は磁性体であり、前記第2の絶縁体は非磁性体であることを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品。
  4. 前記第1の絶縁体の内部にはコイルが形成されており、
    前記外側導体は、シールドとしての機能を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電子部品。
  5. 前記金属導体は、グランドと電気的に接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の電子部品。
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