JPWO2018207553A1 - 液体材料気化供給装置及び制御プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
10 第1タンク
20 第2タンク
30 第1開閉バルブ
40 第2開閉バルブ
50 流体制御バルブ
L1 接続路
L2 導入路
L3 導出路
H ヒータ
PS 圧力センサ
FS 流量センサ
本実施形態に係る液体材料気化供給装置100は、図1に示すように、液体材料を気化して材料ガスを生成する第1タンク10と、第1タンク10で生成された材料ガスが一時的に所定圧力で収容される第2タンク20と、第1タンク10及び第2タンク20を接続する接続路L1と、第1タンク10に液体材料を導入する導入路L2と、第2タンク20から材料ガスを導出する導出路L3と、を具備している。なお、接続路L1は、第1タンク10に接続される一端がその第1タンク10内の気相空間に接続されている。また、導入路L2は、第1タンク10に接続される一端とは反対側の他端が図示しない液体材料供給装置に接続されており、導出路L3は、第2タンク20に接続される一端とは反対側の他端が図示しないチャンバに接続されている。
PV=nRT 式(1)
ΔP=Δn×(RT/V) 式(2)
ここで、Pは、第2タンク20内の圧力、Vは、第2タンク20の容積、nは、第2タンク20内に収容される材料ガスの物理量、Rは、第2タンク20内に収容された材料ガスのモル気体定数、Tは、第2タンク内の材料ガスの温度、である。因みに、第2タンク20内の温度は一定に保たれる。
そして、第2タンク20から導出される材料ガスの単位時間内における算出流量Qを、式(3)によって算出する。
Q=A×(ΔP/Δt) 式(3)
ここで、Aは、係数であり、材料ガスの種類、温度T、圧力Pに基づいて補正される値である。なお、Aの補正値は、無視できる程度に小さい値になる場合もある。なお、前記各式におけるΔtは、単位時間に限定されず、任意の時間間隔であってもよい。
本実施形態の液体材料気化供給装置は、前記実施形態1の変形例であり、図2に示すように、前記実施形態1における導出路L3の流体制御バルブ50の下流側に流量センサFSが設置されている。また、本実施形態における流量制御部は、流量センサFSによって検知される検知流量が予め設定された設定流量に近づくように、流体制御バルブ50の開度を制御するバルブ制御部と、圧力センサPSで検知される検知圧力の単位時間当たりの低下量に基づいて、その単位時間内に第2タンク20から導出される材料ガスの流量を算出する流量算出部と、流量算出部で算出された算出流量と設定流量との偏差に基づいて、設定流量を補正する設定流量補正部と、を備える。なお、その他の構成は、前記実施形態1と同様である。
本実施形態の液体材料気化供給装置は、前記実施形態1の変形例であり、前記実施形態1と流量制御部の構成が異なる他は同様の構成である。本実施形態における流量制御部は、圧力センサPSによって所定タイミングで検知される検知圧力と前記所定タイミングから所定時間経過後に検知される検知圧力との間の圧力低下量に基づいて、その所定時間内に第2タンク20から導出される材料ガスの流量を算出する流量算出部と、第2タンク20から材料ガスが予め設定された設定流量に従って導出された場合を仮定し、その仮定下において前記所定時間内に導出される材料ガスの流量を算出する仮定流量算出部と、流量算出部で算出される算出流量と仮定流量算出部で算出される仮定流量との偏差に基づいて、算出流量が仮定流量に近づくように、流体制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、を備える。
本実施形態の液体材料気化供給装置は、前記実施形態1の変形例であり、前記実施形態1と流量制御部の構成が異なる他は同様の構成である。本実施形態における流量制御部は、第2タンク20から材料ガスが予め設定された設定流量に従って導出された場合を仮定し、その仮定下において材料ガスが導出され始めてから所定時間経過後の第2タンク20内の仮定圧力を算出する仮定圧力算出部と、第2タンク20から材料ガスが導出され始めてから前記所定時間経過後に圧力センサPSによって検出される検知圧力と仮定圧力との偏差に基づいて、検知圧力が仮定圧力に近づくように、流体制御バルブ50の開度を制御するバルブ制御部と、を備える。
本実施形態の液体材料気化供給装置は、前記実施形態1の変形例であり、図3に示すように、前記実施形態1の第1タンク10に対して二つの第2タンク20a,20bが接続されており、また、設定流量に基づいて、第1タンク10から材料ガスを導入する第2タンク20a,20bの数を調節する導入タンク数調節部(図示せず)を制御装置に備えている。なお、二つの第2タンク20a,20bは、同じ容積を有している。そして、第1タンク10から伸びる接続路L1の下流側が分岐して各第2タンク20a,20bに接続されており、その接続路L1の分岐点に対して下流側にそれぞれ第1開閉バルブ30a,30bが設置されている。また、圧力センサPSから伸びる接続管の先端側が分岐して各第2タンク20a,20bに接続されており、その接続管の一方の第2タンク20aに接続される先端側に第3開閉バルブ60が設置されている。また、各第2タンク20a,20bから伸びる導出路L3の下流側が合流しており、一方の第2タンク20aから伸びる導出路L3の合流点に対して上流側に第4開閉バルブ70が設置されており、その導出路L3の合流点に対して下流側に流体制御バルブ50が設置されている。
その他の実施形態としては、前記実施形態1及び2において、流量制御部に、設定流量に基づいて、単位時間の間隔を変更し、設定流量が小さいほど単位時間を長く変更する単位時間変更部を設けてもよい。
Claims (15)
- 液体材料を気化して材料ガスを生成する第1タンクと、
前記第1タンクに接続され、前記第1タンクで生成された前記材料ガスが所定圧力で収容される第2タンクと、
前記第2タンク内の圧力を検知する圧力センサと、
前記第2タンクから前記材料ガスを導出する導出路と、
前記導出路に設けられ、その導出路を開閉する流体制御バルブと、
前記第2タンクに所定圧力で収容された前記材料ガスを前記導出路から導出する場合に、前記圧力センサによって検知される検知圧力の低下に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御して前記導出路から導出される前記材料ガスの流量を制御する流量制御部と、を具備することを特徴とする液体材料気化供給装置。 - 前記流量制御部が、
前記圧力センサで検知される検知圧力の単位時間当たりの低下量に基づいて、その単位時間内に前記第2タンクから導出される前記材料ガスの流量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部で算出された算出流量と予め設定された設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、を備える請求項1記載の液体材料気化供給装置。 - 前記導出路から導出される前記材料ガスの流量を検知する流量センサをさらに具備し、
前記流量制御部が、
前記流量センサによって検知される検知流量と予め設定された設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、
前記圧力センサで検知される検知圧力の単位時間当たりの低下量に基づいて、その単位時間内に前記充填タンクから導出される前記材料ガスの流量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部で算出された算出流量と前記設定流量との偏差に基づいて、前記設定流量を補正する設定流量補正部と、を備える請求項1記載の液体材料気化供給装置。 - 前記流量制御部が、
前記設定流量に基づいて、前記単位時間を変更し、前記設定流量が小さいほど前記単位時間を長く変更する単位時間変更部をさらに備える請求項2記載の液体材料気化供給装置。 - 前記流量制御部が、
前記圧力センサによって所定タイミングで検知される検知圧力と前記所定タイミングから所定時間経過後に検知される検知圧力との間の低下量に基づいて、その所定時間内に前記第2タンクから導出される前記材料ガスの流量を算出する流量算出部と、
前記第2タンクから前記材料ガスが予め設定された設定流量に従って導出された場合を仮定し、その仮定下において前記所定時間内に導出される前記材料ガスの流量を算出する仮定流量算出部と、
前記流量算出部で算出される算出流量と前記仮定流量算出部で算出される仮定流量との偏差に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、を備える請求項1記載の液体材料気化供給装置。 - 前記流量算出部が、
前記圧力センサによって前記所定タイミングから単位時間毎に検知される検知圧力の単位時間当たりの低下量に基づいて、各単位時間内に前記第2タンクから導出される前記材料ガスの流量を算出し、その各算出流量に基づいて前記所定時間内に前記第2タンクから導出される前記材料ガスの流量を算出する請求項5記載の液体材料気化供給装置。 - 前記流量制御部が、
前記第2タンクから前記材料ガスが予め設定された設定流量に従って導出された場合を仮定し、その仮定下において前記材料ガスが導出され始めてから所定時間経過後の前記第2タンク内の仮定圧力を算出する仮定圧力算出部と、
前記第2タンクから前記材料ガスが導出され始めてから前記所定時間経過後に前記圧力センサによって検出される検知圧力と前記仮定圧力算出部で算出される仮定圧力との偏差に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、を備える請求項1記載の液体材料気化供給装置。 - 前記第2タンク内の温度を検知する温度センサをさらに具備し、
前記流量制御部が、
前記温度センサによって検知される検知温度に基づいて、前記圧力センサによって検知される検知圧力を補正する検知圧力補正部をさらに備える請求項1記載の液体材料気化供給装置。 - 前記第1タンクから前記第2タンクに導入される前記材料ガスを所定圧力に制御する圧力制御機構をさらに具備する請求項1記載の液体材料気化供給装置。
- 前記圧力制御機構が、
前記第1タンクから前記第2タンクに導入される前記材料ガスの流量を調節する開閉バルブと、
前記開閉バルブを開閉し、前記第1タンクと前記第2タンクとの間の差圧によって、前記第2タンクに導入される前記材料ガスの圧力を制御する圧力制御部と、を備える請求項9記載の液体材料気化供給装置。 - 前記圧力制御部が、
前記第1タンクを加熱するヒータの温度を調節し、前記第1タンクと前記第2タンクとの間の差圧を制御する請求項10記載の液体材料気化供給装置。 - 前記圧力制御機構が、
前記第1タンクから前記第2タンクに前記材料ガスを強制的に導入するポンプと、
前記ポンプを駆動停止し、前記第2タンクに導入される前記材料ガスの圧力を制御する圧力制御部と、を備える請求項9記載の液体材料気化供給装置。 - 前記圧力制御部が、
前記圧力センサによって検知される検知圧力が所定圧力になった場合に、前記第2タンクに対する前記材料ガスの導入を停止する請求項10記載の液体材料気化供給装置。 - 前記第2タンクが、前記第1タンクに対して複数接続されており、
前記設定流量に基づいて、前記材料ガスを導入する前記第2タンクの数を調節する導入タンク数調節部をさらに具備する請求項2記載の液体材料気化供給装置。 - 液体材料を気化して材料ガスを生成する第1タンクから前記材料ガスが所定圧力で収容される第2タンク内の圧力を検知する圧力センサと、前記第2タンクから前記材料ガスを導出する導出路を開閉する流体制御バルブと、前記流体制御バルブの開度を制御する流量制御部と、を具備する液体材料気化供給装置の制御プログラムであって、
前記流量制御部が、前記第2タンクに所定圧力で収容された前記材料ガスを前記導出路から導出する場合に、前記圧力センサによって検知される検知圧力の低下に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御して前記導出路から導出される前記材料ガスの流量を制御する機能を発揮できるようにする制御プログラム。
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