JPWO2018174147A1 - 構造体、近赤外線透過フィルタ層形成用組成物および光センサ - Google Patents
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Abstract
Description
<1> 支持体と、
支持体上に設けられた隔壁と、
隔壁で区切られた領域に設けられた、可視光を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させる近赤外線透過フィルタ層と、を有し、
近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線のうち少なくとも一部の波長において、隔壁の屈折率が、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも小さい構造体。
<2> 近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線のうち少なくとも一部の波長において、隔壁の屈折率が、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも0.2以上小さい、<1>に記載の構造体。
<3> 波長700〜1000nmの範囲の全波長において、隔壁の屈折率が、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも小さい、<1>または<2>に記載の構造体。
<4> 隔壁の波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最大値が1.4以下である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の構造体。
<5> 隔壁の波長400〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最大値が1.4以下である、<1>〜<4>のいずれか1つに記載の構造体。
<6> 隔壁が、シリカ粒子、シロキサン樹脂、フッ素樹脂および二酸化ケイ素から選ばれる少なくとも1種を含む、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の構造体。
<7> 隔壁の表面に保護層を有する、<1>〜<6>のいずれか1つに記載の構造体。
<8> 支持体上に隔壁で区切られた領域を複数有し、隔壁で区切られた領域の少なくとも1つの領域には近赤外線透過フィルタ層が設けられており、隔壁で区切られた残りの領域の少なくとも1つの領域には、カラーフィルタ層および近赤外線カットフィルタ層から選ばれる少なくとも1種の層が設けられている、<1>〜<7>のいずれか1つに記載の構造体。
<9> 近赤外線透過フィルタ層に含まれる色材の含有量が50〜75質量%である、<1>〜<8>のいずれか1つに記載の構造体。
<10> <1>〜<9>のいずれか1つに記載の構造体における近赤外線透過フィルタ層の形成に用いられる組成物であって、
色材と硬化性化合物とを含む、近赤外線透過フィルタ層形成用組成物。
<11> <1>〜<9>のいずれか1つに記載の構造体を有する光センサ。
本明細書において、「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基(原子団)と共に置換基を有する基(原子団)をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、(メタ)アリル基は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定でのポリスチレン換算値として定義される。本明細書において、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、例えば、HLC−8220(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel Super AWM―H(東ソー(株)製、6.0mmID(内径)×15.0cm)を用い、溶離液として10mmol/L リチウムブロミドNMP(N−メチルピロリジノン)溶液を用いることによって求めることができる。
本明細書において、近赤外線とは、波長700〜2500nmの光をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明の構造体は、
支持体と、
支持体上に設けられた隔壁と、
隔壁で区切られた領域に設けられた、可視光を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させる近赤外線透過フィルタ層とを有し、
近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線のうち少なくとも一部の波長において、隔壁の屈折率が、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも小さいことを特徴とする。
−(R1SiO3/2)n− ・・・式(S1)
(上記式(S1)中、R1は炭素数1〜3のアルキル基を表す。nは20〜1000の整数を表す。)
R2Si(OR3)3 ・・・式(S2)
Si(OR3)4 ・・・式(S3)
(R2およびR3は、それぞれ独立してアルキル基を表す。)
また、隔壁の高さは、200nm以上であることが好ましく、300nm以上であることがより好ましく、400nm以上であることが更に好ましい。上限は、近赤外線透過フィルタ層の厚さ×200%以下であることが好ましく、近赤外線透過フィルタ層の厚さ×150%以下であることがより好ましく、近赤外線透過フィルタ層の厚さと実質的に同じであることが更に好ましい。
隔壁の高さと幅の比(高さ/幅)は、1〜100であることが好ましく、5〜50であることがより好ましく、5〜30であることが更に好ましい。上記比が上述した範囲である隔壁は、容易に形成することができ、生産性に優れる。更には、良好な近赤外線認識能を有する構造体とすることができる。
(1):厚み方向における光の透過率の、波長400〜640nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、厚み方向における光の透過率の、波長800〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長400〜640nmの範囲の光を遮光して、波長720nmの近赤外線を透過させることができる。
(2):厚み方向における光の透過率の、波長400〜750nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、厚み方向における光の透過率の、波長900〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長400〜750nmの範囲の光を遮光して、波長850nmの近赤外線を透過させることができる。
(3):厚み方向における光の透過率の、波長400〜850nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長400〜850nmの範囲の光を遮光して、波長940nmの近赤外線を透過させることができる。
(4):厚み方向における光の透過率の、波長400〜950nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、厚み方向における光の透過率の、波長1100〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長400〜950nmの範囲の光を遮光して、波長1040nmの近赤外線を透過させることができる。
支持体上に、上述した隔壁で区切られた領域を複数有し、
上述した隔壁で区切られた領域の少なくとも1つの領域に近赤外線透過フィルタ層が設けられており、
上述した隔壁で区切られた残りの領域の少なくとも1つの領域に、カラーフィルタ層および近赤外線カットフィルタ層から選ばれる少なくとも1種の層が設けられている態様が挙げられる。
(1)波長400nmの光の透過率は70%以上が好ましく、80%以上がより好ましく、85%以上がさらに好ましく、90%以上が特に好ましい。
(2)波長500nmの光の透過率は70%以上が好ましく、80%以上がより好ましく、90%以上がさらに好ましく、95%以上が特に好ましい。
(3)波長600nmの光の透過率は70%以上が好ましく、80%以上がより好ましく、90%以上がさらに好ましく、95%以上が特に好ましい。
(4)波長650nmの光の透過率は70%以上が好ましく、80%以上がより好ましく、90%以上がさらに好ましく、95%以上が特に好ましい。
次に、本発明の光センサについて説明する。本発明の光センサは、上述した本発明の構造体を含む。本発明の光センサは、例えば、監視用途、セキュリティ用途、モバイル用途、自動車用途、農業用途、医療用途、距離計測用途、ジェスチャー認識用途、バイタル認識用途などの用途に好ましく用いることができる。
次に、本発明の近赤外線透過フィルタ層形成用組成物について説明する。本発明の近赤外線透過フィルタ層形成用組成物は、上述した本発明の構造体の近赤外線透過フィルタ層の形成に用いられる組成物であって、色材と硬化性化合物とを含む。以下、近赤外線透過フィルタ層形成用組成物を近赤外線透過フィルタ用組成物ともいう。
Aλ=−log(Tλ/100) ・・・(1)
Aλは、波長λにおける吸光度であり、Tλは、波長λにおける透過率(%)である。
本発明において、吸光度の値は、溶液の状態で測定した値であってもよく、近赤外線透過フィルタ用組成物を用いて製膜した膜での値であってもよい。膜の状態で吸光度を測定する場合は、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜の厚さが所定の厚さとなるように近赤外線透過フィルタ用組成物を塗布し、ホットプレートを用いて100℃、120秒間乾燥して調製した膜を用いて測定することが好ましい。膜の厚さは、膜を有する基板について、触針式表面形状測定器(ULVAC社製 DEKTAK150)を用いて測定することができる。
(1):波長400〜640nmの範囲における吸光度の最小値Amin1と、波長800〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bmax1との比であるAmin1/Bmax1が5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜640nmの範囲の光を遮光して、波長720nmの近赤外線を透過可能な膜を形成することができる。
(2):波長400〜750nmの範囲における吸光度の最小値Amin2と、波長900〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bmax2との比であるAmin2/Bmax2が5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜750nmの範囲の光を遮光して、波長850nmの近赤外線を透過可能な膜を形成することができる。
(3):波長400〜850nmの範囲における吸光度の最小値Amin3と、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bmax3との比であるAmin3/Bmax3が5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長940nmの近赤外線を透過可能な膜を形成することができる。
(4):波長400〜950nmの範囲における吸光度の最小値Amin4と、波長1100〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bmax4との比であるAmin4/Bmax4が5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜950nmの範囲の光を遮光して、波長1040nmの近赤外線を透過可能な膜を形成することができる。
(11):近赤外線透過フィルタ用組成物を用いて厚さ1μm、2μm、3μm、4μmまたは5μmの膜を形成した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜640nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長800〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
(12):近赤外線透過フィルタ用組成物を用いて厚さ1μm、2μm、3μm、4μmまたは5μmの膜を形成した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜750nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長900〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
(13):近赤外線透過フィルタ用組成物を用いて厚さ1μm、2μm、3μm、4μmまたは5μmの膜を形成した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
(14):近赤外線透過フィルタ用組成物を用いて厚さ1μm、2μm、3μm、4μmまたは5μmの膜を形成した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜950nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1100〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、色材を含む。色材の含有量は、近赤外線透過フィルタ用組成物の全固形分に対して35〜80質量%であることが好ましい。下限は、40質量%以上が好ましく、45質量%以上がより好ましく、50質量%以上が更に好ましく、55質量%以上が特に好ましい。上限は、75質量%以下が好ましく、70質量%以下がより好ましい。色材としては、後述する可視光を遮光する色材、近赤外線吸収色素などが挙げられる。色材の含有量は、近赤外線透過フィルタ用組成物の全固形分に対して50〜75質量%であることが特に好ましい。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、可視光を遮光する色材(以下、遮光材ともいう)を含有することが好ましい。本発明において、遮光材は、紫色から赤色の波長領域の光を吸収する色材であることが好ましい。また、本発明において、遮光材は、波長400〜640nmの波長領域の光を遮光する色材であることが好ましい。また、遮光材は、波長1100〜1300nmの光を透過する色材であることが好ましい。本発明において、遮光材は、以下の(1)および(2)の少なくとも一方の要件を満たすことが好ましい。
(1):2種類以上の有彩色着色剤を含み、2種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成している。
(2):有機系黒色着色剤を含む。(2)の態様において、更に有彩色着色剤を含有することも好ましい。
なお、本発明において、有彩色着色剤とは、白色着色剤および黒色着色剤以外の着色剤を意味する。また、本発明において、遮光材に用いられる有機系黒色着色剤は、可視光を吸収するが、近赤外線の少なくとも一部は透過する材料を意味する。したがって、本発明において、遮光材に用いられる有機系黒色着色剤は、可視光線および近赤外線の両方を吸収する黒色着色剤、例えば、カーボンブラックやチタンブラックは含まない。有機系黒色着色剤は、波長400nm以上700nm以下の範囲に極大吸収波長を有する着色剤が好ましい。
上記の特性は、1種類の素材で満たしていてもよく、複数の素材の組み合わせで満たしていてもよい。例えば、上記(1)の態様の場合、複数の有彩色着色剤を組み合わせて上記分光特性を満たしていることが好ましい。また、上記(2)の態様の場合、有機系黒色着色剤が上記分光特性を満たしていてもよい。また、有機系黒色着色剤と有彩色着色剤との組み合わせで上記の分光特性を満たしていてもよい。
本発明において、有彩色着色剤は、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤およびオレンジ色着色剤から選ばれる着色剤であることが好ましい。本発明において、有彩色着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。好ましくは顔料である。顔料は、平均粒径(r)が、20nm≦r≦300nmであることが好ましく、25nm≦r≦250nmであることがより好ましく、30nm≦r≦200nmであることが更に好ましい。ここでいう「平均粒径」とは、顔料の一次粒子が集合した二次粒子についての平均粒径を意味する。また、使用しうる顔料の二次粒子の粒径分布(以下、単に「粒径分布」ともいう。)は、平均粒径±100nmの範囲に含まれる二次粒子が全体の70質量%以上であることが好ましく、80質量%以上であることがより好ましい。なお、二次粒子の粒径分布は、散乱強度分布を用いて測定することができる。
カラーインデックス(C.I.)Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等(以上、黄色顔料)、
C.I.Pigment Orange 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上、オレンジ色顔料)、
C.I.Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等(以上、赤色顔料)、
C.I.Pigment Green 7,10,36,37,58,59等(以上、緑色顔料)、
C.I.Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42等(以上、紫色顔料)、
C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等(以上、青色顔料)、
これら有機顔料は、単独若しくは種々組合せて用いることができる。
(1)赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。
(2)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤とを含有する態様。
(3)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
(4)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(5)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(6)赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(7)黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
上記(2)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤=10〜80:20〜80:10〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:10〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:10〜20であることが更に好ましい。
上記(3)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤との質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤:紫色着色剤=10〜80:20〜80:5〜40:5〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:5〜30:5〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:5〜20:5〜20であることが更に好ましい。
上記(4)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤:紫色着色剤:緑色着色剤=10〜80:20〜80:5〜40:5〜40:5〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:5〜30:5〜30:5〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:5〜20:5〜20:5〜20であることが更に好ましい。
上記(5)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤:緑色着色剤=10〜80:20〜80:5〜40:5〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:5〜30:5〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:5〜20:5〜20であることが更に好ましい。
上記(6)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:緑色着色剤=10〜80:20〜80:10〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:10〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:10〜20であることが更に好ましい。
上記(7)の態様において、黄色着色剤と紫色着色剤の質量比は、黄色着色剤:紫色着色剤=10〜50:40〜80であることが好ましく、20〜40:50〜70であることがより好ましく、30〜40:60〜70であることが更に好ましい。
本発明において、有機系黒色着色剤としては、例えば、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ系化合物などが挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表2010−534726号公報、特表2012−515233号公報、特表2012−515234号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、BASF社製の「Irgaphor Black」として入手可能である。ペリレン化合物としては、C.I.Pigment Black 31、32などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平1−170601号公報、特開平2−34664号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックA1103」として入手できる。
また、有彩色着色剤と有機系黒色着色剤との混合割合は、有機系黒色着色剤100質量部に対して、有彩色着色剤が10〜200質量部が好ましく、15〜150質量部がより好ましい。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、色材として近赤外線吸収色素を含有することができる。近赤外線透過フィルタにおいて、近赤外線吸収色素は、透過する光(近赤外線)をより長波長側に限定する役割を有している。
A1およびA2が表すヘテロアリール基としては、5員環または6員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環または縮合数が2〜8の縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2または3の縮合環が更に好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が例示され、窒素原子、硫黄原子が好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子の数は、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。
XAおよびXBはそれぞれ独立に置換基を表し、
GAおよびGBはそれぞれ独立に置換基を表し、
kAは0〜nAの整数を表し、kBは0〜nBの整数を表し、
nAおよびnBはそれぞれ環Aまたは環Bに置換可能な最大の整数を表し、
XAとGA、XBとGBは互いに結合して環を形成しても良く、GAおよびGBがそれぞれ複数存在する場合は、互いに結合して環構造を形成していても良い。
RX1およびRX1は、それぞれ独立に水素原子または置換基を表す。置換基としてはアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、または、ヘテロアリール基が挙げられ、アルキル基が好ましい。
式(C)
R101およびR102は、それぞれ独立に、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基またはアリール基を表し、
L1は、奇数個のメチン基を有するメチン鎖を表し、
aおよびbは、それぞれ独立に、0または1であり、
aが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが二重結合で結合し、bが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが単結合で結合し、
式中のCyで表される部位がカチオン部である場合、X1はアニオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、X1はカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、cは0である。
メチン基は置換基を有していてもよい。置換基を有するメチン基は、中央の(メソ位の)メチン基であることが好ましい。置換基の具体例としては、式(SQ)で説明した置換基、および、式(a)で表される基などが挙げられる。また、メチン鎖の二つの置換基が結合して5または6員環を形成しても良い。
式(C)において、式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、X1はカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表す。カチオンとしては、アルカリ金属イオン(Li+、Na+、K+など)、アルカリ土類金属イオン(Mg2+、Ca2+、Ba2+、Sr2+など)、遷移金属イオン(Ag+、Fe2+、Co2+、Ni2+、Cu2+、Zn2+など)、その他の金属イオン(Al3+など)、アンモニウムイオン、トリエチルアンモニウムイオン、トリブチルアンモニウムイオン、ピリジニウムイオン、テトラブチルアンモニウムイオン、グアニジニウムイオン、テトラメチルグアニジニウムイオン、ジアザビシクロウンデセニウムイオンなどが挙げられる。カチオンとしては、Na+、K+、Mg2+、Ca2+、Zn2+、ジアザビシクロウンデセニウムイオンが好ましい。
式(C)において、式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、X1は存在しない。すなわち、cは0である。
L1AおよびL1Bは、それぞれ独立に奇数個のメチン基を有するメチン鎖を表し、
Y1およびY2は、各々独立に−S−、−O−、−NRX1−または−CRX2RX3−を表し、
RX1、RX2およびRX3は、各々独立に水素原子またはアルキル基を表し、
V1A、V2A、V1BおよびV2Bは、それぞれ独立に、置換基を表し、
m1およびm2は、それぞれ独立に0〜4を表し、
式中のCyで表される部位がカチオン部である場合、X1はアニオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、
式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、X1はカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、
式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、X1は存在しない。
V1A、V2A、V1BおよびV2Bが表す置換基は、式(SQ)で説明した置換基が挙げられる。
m1およびm2は、それぞれ独立に0〜4を表し、0〜2が好ましい。
X1が表すアニオンおよびカチオンは、式(C)のX1で説明した範囲と同義であり、好ましい範囲も同様である。
近赤外線透過フィルタ用組成物においては、近赤外線吸収色素は1種単独で用いてもよく、2種以上併用してもよい。近赤外線吸収色素を2種以上併用する場合は、その合計が上記範囲であることが好ましい。
近赤外線透過フィルタ用組成物において、近赤外線吸収色素以外の他の近赤外線吸収剤を含有することができる。他の近赤外線吸収剤として、無機粒子などが挙げられる。無機粒子の形状は特に制限されず、球状、非球状を問わず、シート状、ワイヤー状、チューブ状であってもよい。無機粒子としては、金属酸化物粒子または金属粒子が好ましい。金属酸化物粒子としては、例えば、酸化インジウムスズ(ITO)粒子、酸化アンチモンスズ(ATO)粒子、酸化亜鉛(ZnO)粒子、Alドープ酸化亜鉛(AlドープZnO)粒子、フッ素ドープ二酸化スズ(FドープSnO2)粒子、ニオブドープ二酸化チタン(NbドープTiO2)粒子などが挙げられる。金属粒子としては、例えば、銀(Ag)粒子、金(Au)粒子、銅(Cu)粒子、ニッケル(Ni)粒子など挙げられる。また、無機粒子としては酸化タングステン系化合物を用いることもできる。酸化タングステン系化合物は、セシウム酸化タングステンであることが好ましい。酸化タングステン系化合物の詳細については、特開2016−006476号公報の段落番号0080を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、硬化性化合物を含有することが好ましい。硬化性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物、環状エーテル基を有する化合物等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。本発明において、硬化性化合物は、ラジカル重合性化合物またはカチオン重合性化合物が好ましく、ラジカル重合性化合物がより好ましい。
ラジカル重合性化合物としては、ラジカルの作用により重合可能な化合物であればよく、特に限定はない。ラジカル重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を1個以上有する化合物が好ましく、エチレン性不飽和結合を有する基を2個以上有する化合物がより好ましく、エチレン性不飽和結合を有する基を3個以上有する化合物が更に好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基の個数の上限は、たとえば、15個以下が好ましく、6個以下がより好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、スチリル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられ、(メタ)アクリロイル基が好ましい。ラジカル重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
カチオン重合性化合物としては、カチオン重合性基を有する化合物が挙げられる。カチオン重合性基としては、エポキシ基、オキセタニル基などの環状エーテル基や、ビニルエーテル基やイソブテン基などの不飽和炭素二重結合基などが挙げる。カチオン重合性化合物は、環状エーテル基を有する化合物であることが好ましく、エポキシ基を有する化合物であることがより好ましい。
REP1〜REP3、QEPの詳細について、特開2014−089408号公報の段落番号0087〜0088の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。式(EP1)で表される化合物の具体例としては、特開2014−089408号公報の段落0090に記載の化合物、特開2010−054632号公報の段落番号0151に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
また、近赤外線透過フィルタ用組成物が、ラジカル重合性化合物とカチオン重合性化合物とを含む場合、両者の質量比は、ラジカル重合性化合物:カチオン重合性化合物=100:1〜100:400が好ましく、100:1〜100:100がより好ましい。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、光開始剤を含有することができる。光開始剤としては、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤などが挙げられる。硬化性化合物の種類に応じて選択して用いることが好ましい。硬化性化合物としてラジカル重合性化合物を用いた場合においては、光開始剤として光ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。また、硬化性化合物としてカチオン重合性化合物を用いた場合においては、光開始剤として光カチオン重合開始剤を用いることが好ましい。光開始剤としては、特に制限はなく、公知の光開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。
光ラジカル重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など)、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および3−アリール置換クマリン化合物が好ましく、オキシム化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光ラジカル重合開始剤としては、特開2014−130173号公報の段落0065〜0111の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
オキシム化合物の365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計(Varian社製Cary−5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
光カチオン重合開始剤としては、光酸発生剤が挙げられる。光酸発生剤としては、光照射により分解して酸を発生する、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩などのオニウム塩化合物、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネート等のスルホネート化合物などを挙げることができる。光カチオン重合開始剤の詳細については特開2009−258603号公報の段落番号0139〜0214の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、樹脂を含有することが好ましい。樹脂は、例えば顔料などを組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などを分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。
近赤外線透過フィルタ用組成物が酸基を有する樹脂を含有する場合、酸基を有する樹脂の含有量は、近赤外線透過フィルタ用組成物の全固形分に対し、14〜70質量%が好ましい。下限は、17質量%以上が好ましく、20質量%以上がより好ましい。上限は、56質量%以下が好ましく、42質量%以下がより好ましい。
また、ラジカル重合性化合物と酸基を有する樹脂との質量比は、ラジカル重合性化合物/酸基を有する樹脂=0.4〜1.4であることが好ましい。上記質量比の下限は0.5以上が好ましく、0.6以上がより好ましい。上記質量比の上限は1.3以下が好ましく、1.2以下がより好ましい。上記質量比が、上記範囲であれば、より矩形性に優れたパターンを形成することができる。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、更に顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、顔料の一部を、酸基、塩基性基、塩構造を有する基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体としては、式(B1)で表される化合物が好ましい。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤の例としては、例えば、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0223を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ジクロロメタン、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられる。本発明において有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等)は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、有機溶剤全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下とすることもでき、10質量ppm以下とすることもでき、1質量ppm以下とすることもできる)。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、p−メトキシフェノールが好ましい。重合禁止剤の含有量は、近赤外線透過フィルタ用組成物の全固形分に対して、0.001〜5質量%が好ましい。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の市販品としては、例えば、KBM−602(信越シリコーン製)などが挙げられる。また、シランカップリング剤は、特開2009−288703号公報の段落番号0018〜0036に記載の化合物、特開2009−242604号公報の段落番号0056〜0066に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤は、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0238〜0245を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開2012−208374号公報の段落番号0052〜0072、特開2013−68814号公報の段落番号0317〜0334の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。共役ジエン化合物の市販品としては、例えば、UV−503(大東化学(株)製)などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)を用いてもよい。紫外線吸収剤としては、式(UV−1)〜式(UV−3)で表される化合物が好ましく、式(UV−1)または式(UV−3)で表される化合物がより好ましく、式(UV−1)で表される化合物が更に好ましい。
式(UV−2)において、R201及びR202は、各々独立に、水素原子またはアルキル基を表し、R203及びR204は、各々独立に、置換基を表す。
式(UV−3)において、R301〜R303は、各々独立に、水素原子またはアルキル基を表し、R304及びR305は、各々独立に、置換基を表す。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性水酸基に隣接する部位(オルト位)に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数1〜22の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。リン系酸化防止剤としてはトリス[2−[[2,4,8,10−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)ジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、トリス[2−[(4,6,9,11−テトラ−tert−ブチルジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−2−イル)オキシ]エチル]アミン、亜リン酸エチルビス(2,4−ジ−tert−ブチル−6−メチルフェニル)などが挙げられる。酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブ AO−20、アデカスタブ AO−30、アデカスタブ AO−40、アデカスタブ AO−50、アデカスタブ AO−50F、アデカスタブ AO−60、アデカスタブ AO−60G、アデカスタブ AO−80、アデカスタブ AO−330(以上、(株)ADEKA)などが挙げられる。
近赤外線透過フィルタ用組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開2012−003225号公報の段落番号0183以降(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落番号0237)の記載、特開2008−250074号公報の段落番号0101〜0104、0107〜0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
次に、カラーフィルタ層の形成に好ましく用いることができる組成物(カラーフィルタ層形成用組成物)について説明する。カラーフィルタ層形成用組成物は、有彩色着色剤を含むことが好ましい。有彩色着色剤としては、顔料であってもよく、染料であってもよい。有彩色着色剤の詳細については、上述したものが挙げられる。有彩色着色剤の含有量は、カラーフィルタ層形成用組成物の全固形分に対して0.1〜70質量%が好ましい。下限は、0.5質量%以上が好ましく、1.0質量%以上がより好ましい。上限は、60質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましい。
次に、近赤外線カットフィルタ層の形成に好ましく用いることができる組成物(近赤外線カットフィルタ層形成用組成物)について説明する。近赤外線カットフィルタ層形成用組成物は、近赤外線吸収色素を含むことが好ましい。近赤外線吸収色素の詳細については、上述したものが挙げられる。近赤外線吸収色素の含有量は、近赤外線カットフィルタ層形成用組成物の全固形分に対して0.1〜70質量%が好ましい。下限は、0.5質量%以上が好ましく、1.0質量%以上がより好ましい。上限は、60質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましい。
次に、透明層の形成に好ましく用いることができる組成物(透明層形成用組成物)について説明する。透明層形成用組成物は、樹脂を含有することが好ましい。樹脂としては、上述した近赤外線透過フィルタ用組成物に用いられる前述の材料が挙げられ、好ましい範囲も同様である。また、樹脂の好ましい含有量についても近赤外線透過フィルタ用組成物における含有量と同様である。
<収容容器>
次に、本発明の構造体の製造方法について説明する。本発明の構造体は、支持体上に隔壁を形成する工程と、支持体上であって、隔壁で区画された領域に近赤外線透過フィルタ層を形成する工程を経て製造できる。
まず、支持体上に隔壁材料層を形成する。例えば、シリカ粒子にて隔壁を形成する場合、シリカ粒子を含む硬化性組成物を支持体上に塗布した後、硬化などを行って製膜して隔壁材料層を形成することができる。シリカ粒子を含む硬化性組成物としては特開2015−166449号公報、特開2014−63125号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、シロキサン樹脂またはフッ素樹脂で隔壁を形成する場合、シロキサン樹脂またはフッ素樹脂を含む樹脂組成物を支持体上に塗布した後、硬化などを行って製膜して隔壁材料層を形成することができる。また、例えば、二酸化ケイ素などの無機材料で構成された隔壁を形成する場合、支持体上に、二酸化ケイ素などの無機材料を、化学蒸着(CVD)、真空蒸着などの蒸着法や、スパッタリングなどの方法で製膜して隔壁材料層を形成することができる。次いで、隔壁の形状に沿ったパターンを有するマスクを使用して隔壁材料層上にレジストパターンを形成する。次いで、このレジストパターンをマスクとして、隔壁材料層に対してドライエッチング法でエッチングを行う。次いで、レジストパターンを隔壁材料層から剥離除去する。このようにして隔壁を形成することができる。ドライエッチング法については、特開2016−14856号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、隔壁は、特開2006−128433号公報に記載された方法を用いて形成することもできる。
フォトリソグラフィ法でのパターン形成方法は、支持体上の組成物層に対しパターン状に露光する工程(露光工程)と、未露光部の組成物層を現像除去してパターンを形成する工程(現像工程)と、を含むことが好ましい。必要に応じて、現像されたパターンをベークする工程(ポストベーク工程)を設けてもよい。以下、各工程について説明する。
露光工程では組成物層をパターン状に露光する。例えば、組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、組成物層をパターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく、i線がより好ましい。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cm2が好ましく、0.05〜1.0J/cm2がより好ましく、0.08〜0.5J/cm2が最も好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(例えば、15体積%、5体積%、実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(例えば、22体積%、30体積%、50体積%)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常1000W/m2〜100000W/m2(例えば、5000W/m2、15000W/m2、35000W/m2)の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m2、酸素濃度35体積%で照度20000W/m2などとすることができる。
次に、露光後の組成物層における未露光部の組成物層を現像除去してパターンを形成する。未露光部の組成物層の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが支持体上に残る。現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを与えない、アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、更に新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上の組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、この硬化物層上にパターニングされたフォトレジスト層を形成し、次いで、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングするなどの方法で行うことができる。フォトレジスト層の形成においては、更にプリベーク処理を施すことが好ましい。特に、フォトレジストの形成プロセスとしては、露光後の加熱処理、現像後の加熱処理(ポストベーク処理)を実施する形態が望ましい。ドライエッチング法でのパターン形成については、特開2013−064993号公報の段落番号0010〜0067の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
(顔料分散液R−1、R−2、B−1、B−2、Y−1、Y−2、V−1、IR−1、Bk−2の調製)
下記の表に記載の原料を混合し、更に直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して各顔料分散液を製造した。
下記の表に記載の原料を混合して、IR透過組成物1〜4を調製した。
下記の表に記載の原料を混合して、IR吸収組成物1〜3を調製した。なお、分散液は、下記表の分散液の欄に記載の種類の近赤外線吸収剤、誘導体、分散剤および溶剤を、それぞれ下記の表の分散液の欄に記載の質量部で混合し、更に直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して製造した分散液を用いた。
(色材)
PR254 : C.I.Pigment Red 254
PB15:6 : C.I.Pigment Blue 15:6
PY139 : C.I.Pigment Yellow 139
PV23 : C.I.Pigment Violet 23
Pigment Black 32 : C.I.Pigment Black 32
A1〜A4:下記構造の化合物(近赤外線吸収色素)。以下の式中、Meはメチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
C1:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=21000)
C2:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=26000)
C3:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=21000)
C4:Disperbyk−111(BYKChemie社製)
P1:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=10,000、酸価=70mgKOH/g)
P2:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=10,000、酸価=70mgKOH/g)
D1:KAYARAD RP−1040(日本化薬(株)製、ラジカル重合性化合物)
D2:アロニックス TO−2349(東亞合成(株)製、ラジカル重合性化合物)
D3:アロニックス M−305(東亞合成(株)製、ラジカル重合性化合物)
D4:NKエステル A−TMMT(新中村化学工業(株)製、ラジカル重合性化合物)
D5:KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、ラジカル重合性化合物)
I1:IRGACURE OXE02(BASF製、光ラジカル重合開始剤)
I2:IRGACURE OXE03(BASF製、光ラジカル重合開始剤)
I3:IRGACURE OXE04(BASF製、光ラジカル重合開始剤)
I4:IRGACURE OXE01(BASF製、光ラジカル重合開始剤)
(紫外線吸収剤)
UV1:UV−503(大東化学(株)製)
UV3:下記構造の化合物
F1:下記混合物(Mw=14000)。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%は質量%である。
G1:p−メトキシフェノール
(酸化防止剤)
AO1:アデカスタブ AO−80((株)ADEKA製)
(溶剤)
J1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
(保護層形成用組成物1)
以下の原料を混合して、保護層形成用組成物1を調製した。
樹脂1の54質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)溶液・・・0.7質量部
界面活性剤1の0.2質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)溶液・・・0.8質量部
PGMEA・・・98.5質量部
・界面活性剤1:上記界面活性剤F1
(Red組成物1)
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Red組成物1を調製した。
Red顔料分散液・・・51.7質量部
樹脂2の40質量%PGMEA溶液・・・0.6質量部
硬化性化合物1・・・0.6質量部
光開始剤1・・・0.3質量部
界面活性剤1の0.2質量%PGMEA溶液・・・4.2質量部
PGMEA・・・42.6質量部
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Green組成物1を調製した。
Green顔料分散液・・・73.7質量部
樹脂2の40質量%PGMEA溶液・・・0.3質量部
硬化性化合物2・・・1.2質量部
光開始剤1・・・0.6質量部
界面活性剤1の0.2質量%PGMEA溶液・・・4.2質量部
紫外線吸収剤1・・・0.5質量部
PGMEA・・・19.5質量部
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Blue組成物1を調製した。
Blue顔料分散液・・・44.9質量部
樹脂2の40質量%PGMEA溶液・・・2.1質量部
硬化性化合物1・・・1.5質量部
硬化性化合物3・・・0.7質量部
光開始剤2・・・0.8質量部
界面活性剤1の0.2質量%PGMEA溶液・・・4.2質量部
PGMEA・・・45.8質量部
・Red顔料分散液
C.I.Pigment Red 254を9.6質量部、C.I.Pigment Yellow 139を4.3質量部、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)を6.8質量部、PGMEAを79.3質量部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)を用いて3時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Red顔料分散液を得た。
C.I.Pigment Green 36を6.4質量部、C.I.Pigment Yellow 150を5.3質量部、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)を5.2質量部、PGMEAを83.1質量部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)を用いて3時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Green顔料分散液を得た。
C.I.Pigment Blue 15:6を9.7質量部、C.I.Pigment Violet 23を2.4質量部、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)を5.5質量部、PGMEAを82.4質量部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)を用いて3時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Blue顔料分散液を得た。
・界面活性剤1:上記界面活性剤F1
・硬化性化合物1:下記構造の化合物
・光開始剤1:上記光開始剤I4
・光開始剤2:上記光開始剤I2
・光開始剤3:上記光開始剤I3
・紫外線吸収剤1:上記紫外線吸収剤UV1
(White組成物)
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、White組成物を調製した。
樹脂(特開2013−254047号公報の段落番号0213〜0216に記載の方法で製造した重合体1)・・・20.5質量部
硬化性化合物(アロニックスM−510、東亞合成(株)製)・・・12.2質量部
光開始剤(IRGACURE−OXE02、BASF社製)・・・1.1質量部
紫外線吸収剤(UV−503(大東化学(株)製))・・・1.8質量部
PGMEA・・・52.7質量部
シクロヘキサノン・・・11.4質量部
シランカップリング剤(信越シリコーン、KBM−602)・・・0.1質量部
重合禁止剤(p−メトキシフェノール)・・・0.1質量部
界面活性剤(下記混合物(Mw=14000、繰り返し単位の割合を示す%は質量%である。)・・・0.1質量部
[試験例1]
(実施例1−1〜1−15、比較例1−2〜1−4)
シリコンウエハ上に、下記表に記載の隔壁材料を用いて隔壁材料層を形成し、隔壁材料層に対して、特開2016−14856号公報の段落番号0128〜0133に記載された条件にてドライエッチング法でパターニングして隔壁(幅50nm、高さ1μm)を1μm間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法(シリコンウエハ上の隔壁で区切られた領域)は、縦1μm×横1μmであった。次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、下記表に記載のIR透過組成物を用いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、シリコンウエハ上の隔壁で区切られた領域に近赤外線透過フィルタ層(厚さ1μm)を形成した。次いで、近赤外線透過フィルタ層上にレンズを形成して、図1に示す構造体を製造した。
シリコンウエハ上に、下記表に記載のIR透過組成物を用いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い1μm四方の近赤外線透過フィルタ層(厚さ1μm)を形成した。次いで、近赤外線透過フィルタ層上にレンズを形成して構造体を製造した。
各構造体を公知の方法に従い光センサに組み込み、近赤外線の認識能を評価した。なお、IR透過組成物1を用いた構造体については、波長720nmの光に対する認識能を評価した。また、IR透過組成物2または3を用いた構造体については、波長850nmの光に対する認識能を評価した。また、IR透過組成物4を用いた構造体については、波長940nmの光に対する認識能を評価した。
(判定基準)
4:ノイズがほとんどなく、近赤外線の認識能が良好であった。
3:ノイズがわずかに発生したが、近赤外線の認識能が良好であった。
2:ノイズがやや発生するが、近赤外線の認識能は良好であった。
1:近赤外線の認識能は有しているが、ノイズが多かった。
隔壁材料1:二酸化ケイ素(波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値=1.46)。隔壁材料層は化学蒸着法で形成した。
隔壁材料2:フッ素樹脂(CYTOP、旭硝子製、波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値=1.34)。隔壁材料層は、上記フッ素樹脂を含む組成物を支持体上に塗布した後、220℃で5分加熱して形成した。
隔壁材料3:シロキサン樹脂(特開2014−63125号公報の段落番号0345のA03の樹脂、波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値=1.36)。隔壁材料層は、上記シロキサン樹脂を含む組成物を支持体上に塗布した後、220℃で5分加熱して形成した。
隔壁材料4:特開2015−166449号公報の段落番号0160に記載された組成物107(シリカ粒子を含む組成物である。この組成物に含まれるシリカ粒子は、波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値が1.24である)。隔壁材料層は、上記組成物107を支持体上に塗布した後、220℃で5分加熱して形成した。
隔壁材料5:特開2014−63125号公報の段落番号0345に記載された組成物A02(シリカ粒子を含む組成物)。組成物A02に含まれるシリカ粒子は、波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値が1.28である)。隔壁材料層は、上記組成物を支持体上に塗布した後、220℃で5分加熱して形成した。
隔壁材料6:シロキサン樹脂(特開2011−84672号公報の実施例2に記載の組成物。この組成物に含まれるシロキサン樹脂(かご型シロキサン樹脂)は、波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値が1.32である)。隔壁材料層は、上記シロキサン樹脂を含む組成物を支持体上に塗布した後、220℃で5分加熱して形成した。
比較隔壁材料1:SiN(波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値が2.02である)。隔壁材料層は化学蒸着で形成した。
比較隔壁材料2:TiO2(波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値が2.83である)。隔壁材料層は化学蒸着法で形成した。
比較隔壁材料3:タングステン(波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最小値が3.84である)。隔壁材料層は化学蒸着法で形成した。
一方、比較隔壁材料1〜3を用いて隔壁を形成した比較例1−2、1−3、1−4においては、近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線に対する隔壁の屈折率は、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも大きかった。
各実施例において、隔壁の幅を20nm、100nmまたは200nmに変更した場合でも、各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、隔壁の高さを0.5μmまたは1.5μmに変更した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法を、縦5μm×横5μm、縦20μm×横20μm、または、縦100μm×横100μmに変更した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、シリコンウエハ上に下地材(CT−4000L、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製)を膜厚が100nmとなるように塗布し、220℃で5分加熱して下地層を形成した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、隔壁材料6を用いて形成した隔壁の表面に以下の保護層1を形成した場合は、隣接する近赤外線透過フィルタ層から隔壁への成分混入を効果的に抑制できた。また、隔壁材料4を用いて形成した隔壁の表面に以下の保護層2を形成した場合は、近赤外線透過フィルタ層と隔壁との密着性が特に優れていた。保護層1、2は、以下の方法で形成した。
保護層1:隔壁の表面に二酸化ケイ素を化学蒸着法で製膜して厚さ20nmの二酸化ケイ素膜(保護層1)を形成した。
保護層2:隔壁の表面に上述した保護層形成用組成物1をスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱し、次いで、ホットプレートを用いて230℃で2分間加熱して膜厚15nmの有機物層(保護層2)を形成した。
(実施例2−1〜2−15、比較例2−2〜2−4)
シリコンウエハ上に、下記表に記載の隔壁材料を用いて隔壁材料層を形成し、隔壁材料層に対してドライエッチング法でパターニングして隔壁(幅50nm、高さ1μm)を1μm間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法は、縦1μm×横1μmであった。次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、下記表に記載のIR透過組成物を用いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、シリコンウエハ上の隔壁で区切られた領域に近赤外線透過フィルタ層(厚さ1μm)を形成した。次に、IR吸収組成物を用いてフォトリソグラフィ法にてパターニングを行い、近赤外線カット層(厚さ1μm)を支持体上の隔壁で区切られた領域に形成した。次いで、近赤外線透過フィルタ層および近赤外線カットフィルタ層上にレンズを形成して、図2に示す構造体を製造した。
シリコンウエハ上に、下記表に記載のIR透過組成物を用いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、1μm四方の近赤外線透過フィルタ層(厚さ1μm)を形成した。次に、IR吸収組成物を用いてフォトリソグラフィ法にてパターニングを行い、1μm四方の近赤外線カット層(厚さ1μm)を形成し、近赤外線透過フィルタ層のパターンの抜け部に近赤外線カット層が設けられた構造体を形成した。次いで、近赤外線透過フィルタ層および近赤外線カットフィルタ層上にレンズを形成して構造体を製造した。
各構造体を公知の方法に従い光センサに組み込み、近赤外線および可視光の認識能を評価した。なお、IR透過組成物1を用いた構造体については、波長720nmの光に対する認識能を評価した。また、IR透過組成物2または3を用いた構造体については、波長850nmの光に対する認識能を評価した。また、IR透過組成物4を用いた構造体については、波長940nmの光に対する認識能を評価した。近赤外線の認識能の判定基準は試験例1と同じである。可視光の認識能は以下のようにして判定した。
(可視光の認識能の判定基準)
4:ノイズがほとんどなく、可視光の認識能が良好であった。
3:ノイズがわずかに発生したが、可視光の認識能が良好であった。
2:ノイズがやや発生するが、可視光の認識能は良好であった。
1:可視光の認識能は有しているが、ノイズが多かった。
一方、比較隔壁材料1〜3を用いて隔壁を形成した比較例2−2、2−3、2−4においては、近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線に対する隔壁の屈折率は、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも大きかった。
各実施例において、隔壁の幅を20nm、100nmまたは200nmに変更した場合でも、各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、隔壁の高さを0.5μmまたは1.5μmに変更した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法を、縦5μm×横5μm、縦20μm×横20μm、または、縦100μm×横100μmに変更した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、シリコンウエハ上に下地材(CT−4000L、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製)を膜厚が100nmとなるように塗布し、220℃で5分加熱して下地層を形成した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、隔壁材料6を用いて形成した隔壁の表面に上記保護層1を形成した場合は、隣接する近赤外線透過フィルタ層や近赤外線カットフィルタ層から隔壁への成分混入を効果的に抑制できた。また、隔壁材料4を用いて形成した隔壁の表面に上記保護層2を形成した場合は、近赤外線透過フィルタ層と隔壁との密着性、および、近赤外線カットフィルタ層と隔壁との密着性が特に優れていた。
(実施例3−1〜3−15、比較例3−2〜3−4)
シリコンウエハ上に、下記表に記載の隔壁材料を用いて隔壁材料層を形成し、隔壁材料層に対してドライエッチング法でパターニングして隔壁(幅50nm、高さ1μm)を1μm間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法は、縦1μm×横1μmであった。次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、下記表に記載のIR透過組成物を用いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、シリコンウエハ上の隔壁で区切られた領域に近赤外線透過フィルタ層(厚さ1μm)を形成した。つぎに、IR吸収組成物を用いてフォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、近赤外線カット層(厚さ0.5μm)を支持体上の隔壁で区切られた領域に形成した。次に、この近赤外線カット層上に、Red組成物1、Green組成物1およびBlue組成物1を用いてフォトリソグラフィ法にてパターニングを行い、赤色着色層、緑色着色層および青色着色層からなるカラーフィルタ層を形成した。次いで、近赤外線透過フィルタ層およびカラーフィルタ層上にレンズを形成して、図3に示す構造体を製造した。
シリコンウエハ上に、下記表に記載のIR透過組成物を用いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、1μm四方の近赤外線透過フィルタ層(厚さ1μm)を形成した。つぎに、IR吸収組成物を用いてフォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、近赤外線カット層(厚さ0.5μm)を近赤外線透過フィルタ層のパターンの抜け部に形成した。次に、この近赤外線カット層上に、Red組成物1、Green組成物1およびBlue組成物1を用いてフォトリソグラフィ法にてパターニングを行い、赤色着色層、緑色着色層および青色着色層からなるカラーフィルタ層(各着色層の画素サイズは、それぞれ1μm四方)を形成した。次いで、近赤外線透過フィルタ層およびカラーフィルタ層上にレンズを形成して構造体を製造した。
各構造体を公知の方法に従い光センサに組み込み、近赤外線および可視光の認識能を評価した。なお、IR透過組成物1を用いた構造体については、波長720nmの光に対する認識能を評価した。また、IR透過組成物2または3を用いた構造体については、波長850nmの光に対する認識能を評価した。また、IR透過組成物4を用いた構造体については、波長940nmの光に対する認識能を評価した。近赤外線の認識能の判定基準は試験例1と同じである。可視光の認識能の判定基準は試験例2と同じである。
一方、比較隔壁材料1〜3を用いて隔壁を形成した比較例3−2、3−3、3−4においては、近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線に対する隔壁の屈折率は、近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも大きかった。
各実施例において、隔壁の幅を20nm、100nmまたは200nmに変更した場合でも、各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、隔壁の高さを0.5μmまたは1.5μmに変更した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法を、縦5μm×横5μm、縦20μm×横20μm、または、縦100μm×横100μmに変更した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、各実施例において、シリコンウエハ上に下地材(CT−4000L、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製)を膜厚が100nmとなるように塗布し、220℃で5分加熱して下地層を形成した場合においても各実施例と同様の良好な認識能が得られた。
また、実施例3−7において、IR透過組成物1を用いて形成した近赤外線透過フィルタ層の代わりに、Red組成物1を用いて形成した赤色着色層(厚さ0.5μm)と、Blue組成物1を用いて形成した青色着色層(厚さ0.5μm)との積層体で構成された近赤外線透過フィルタ層を用いた場合であっても、実施例3−7と同様の良好な認識能が得られた。
また、隔壁材料6を用いて形成した隔壁の表面に上記保護層1を形成した場合は、隣接する近赤外線透過フィルタ層や各着色層から隔壁への成分混入を効果的に抑制できた。また、隔壁材料4を用いて形成した隔壁の表面に上記保護層2を形成した場合は、近赤外線透過フィルタ層と隔壁との密着性、および、各着色層と隔壁との密着性が特に優れていた。
試験例1〜3と同様の方法により、図5、6、8〜18に記載の構造体を製造した。このようにして製造した構造体を公知の方法に従い光センサに組み込み、近赤外線および可視光の認識能を評価した。これらの構造体は、近赤外線の認識能について優れており、近赤外線を感度よく検出できた。更には、可視光の認識能も優れていた。
2、2a、2b:隔壁
4:下地層
3:保護層
5:ブラックマトリックス
11:近赤外線透過フィルタ層
21、22、23:近赤外線カットフィルタ層
30:カラーフィルタ層
31、32、33:着色層
41、42:透明層
50:レンズ
101〜118:構造体
Claims (11)
- 支持体と、
前記支持体上に設けられた隔壁と、
前記隔壁で区切られた領域に設けられた、可視光を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させる近赤外線透過フィルタ層と、を有し、
前記近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線のうち少なくとも一部の波長において、前記隔壁の屈折率が、前記近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも小さい構造体。 - 前記近赤外線透過フィルタ層が透過する近赤外線のうち少なくとも一部の波長において、前記隔壁の屈折率が、前記近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも0.2以上小さい、請求項1に記載の構造体。
- 波長700〜1000nmの範囲の全波長において、前記隔壁の屈折率が、前記近赤外線透過フィルタ層の屈折率よりも小さい、請求項1または2に記載の構造体。
- 前記隔壁の波長700〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最大値が1.4以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の構造体。
- 前記隔壁の波長400〜1000nmの範囲の光に対する屈折率の最大値が1.4以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の構造体。
- 前記隔壁が、シリカ粒子、シロキサン樹脂、フッ素樹脂および二酸化ケイ素から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の構造体。
- 前記隔壁の表面に保護層を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の構造体。
- 前記支持体上に、前記隔壁で区切られた領域を複数有し、
前記隔壁で区切られた領域の少なくとも1つの領域には近赤外線透過フィルタ層が設けられており、前記隔壁で区切られた残りの領域の少なくとも1つの領域には、カラーフィルタ層および近赤外線カットフィルタ層から選ばれる少なくとも1種の層が設けられている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の構造体。 - 前記近赤外線透過フィルタ層に含まれる色材の含有量が50〜75質量%である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の構造体。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の構造体における近赤外線透過フィルタ層の形成に用いられる組成物であって、
色材と硬化性化合物とを含む、近赤外線透過フィルタ層形成用組成物。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の構造体を有する光センサ。
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