JP6837568B2 - 組成物、膜、光学フィルタ、固体撮像素子および赤外線センサ - Google Patents

組成物、膜、光学フィルタ、固体撮像素子および赤外線センサ Download PDF

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Description

本発明は、赤外線透過フィルタなどの製造に用いられる組成物および、前述の組成物を用いた膜に関する。また、赤外線透過フィルタの画素を有する光学フィルタ、固体撮像素子および、赤外線センサに関する。
固体撮像素子は、様々な用途で光センサとして活用されている。例えば、赤外線は可視光線に比べて波長が長いので散乱しにくく、距離計測や、3次元計測などにも活用可能である。また、赤外線は人間、動物などの目に見えないので、夜間に被写体を赤外線光源で照らしても被写体に気付かれることなく、夜行性の野生動物を撮影する用途、防犯用途として相手を刺激せずに撮影することにも使用可能である。このように、赤外線に感知する光センサ(赤外線センサ)は、様々な用途に展開が可能であり、赤外線センサに用いることができる膜の開発が望まれている。
特許文献1には、着色剤と樹脂とを含む着色組成物であって、波長400〜830nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが、4.5以上である着色組成物が記載されている。
国際公開WO2015/166779号公報
一般的に、検出に用いられる光の波長が長くなるに伴い赤外線センサの感度が低下し易く、それに伴い、目的の波長の光以外の成分がノイズとなって、赤外線センサの検出精度が低下することがある。
よって、本発明の目的は、赤外線センサなどに用いた際に赤外線を感度よく検出できる膜を製造できる組成物を提供することにある。また、赤外線センサなどに用いた際に赤外線を感度よく検出できる膜、光学フィルタ、固体撮像素子および赤外線センサを提供することにある。
本発明者らは詳細に検討した結果、後述する組成物を用いることで、上記課題が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の通りである。
<1> 赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と、近赤外線吸収色素と、硬化性化合物とを含む組成物であって、
前述の組成物の波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、
前述の組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際に、前述の膜は波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する、組成物。
<2> 屈折率の極大値が1.8以上である、<1>に記載の組成物。
<3> 屈折率の極大値は、近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも長波長側に存在する、<1>または<2>に記載の組成物。
<4> 屈折率の極大値が波長800〜1000nmの範囲に存在する、<1>または<2>に記載の組成物。
<5> 近赤外線吸収色素は、スクアリリウム化合物、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イモニウム化合物から選ばれる少なくとも1種である、<1>〜<4>のいずれかに記載の組成物。
<6> 赤外線を透過させて可視光を遮光する色材は、2種類以上の有彩色着色剤を含み、2種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成しているか、あるいは、1種類以上の有彩色着色剤と有機黒色着色剤とを含む、<1>〜<5>のいずれかに記載の組成物。
<7> 赤外線を透過させて可視光を遮光する色材の100質量部に対して、近赤外線吸収色素を5〜200質量部含有する、<1>〜<6>のいずれかに記載の組成物。
<8> 赤外線を透過させて可視光を遮光する色材は青色着色剤を少なくとも含む、<1>〜<7>のいずれかに記載の組成物。
<9> 赤外線を透過させて可視光を遮光する色材の全質量中における青色着色剤の含有量が10〜50質量%である、<1>〜<8>のいずれかに記載の組成物。
<10> 硬化性化合物は、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物を含む、<1>〜<9>のいずれかに記載の組成物。
<11> 更に、無機粒子を含む、<1>〜<10>のいずれかに記載の組成物。
<12> 無機粒子が二酸化チタン粒子である、<11>に記載の組成物。
<13> 組成物から近赤外線吸収色素を除いた組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際に、前述の膜は波長900〜1000nmの光の屈折率の最小値が1.7以上である、<1>〜<12>のいずれかに記載の組成物。
<14> 波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する第1の画素と、第1の画素に隣接する画素であって第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有し、波長900〜1400nmの範囲の少なくとも一部において、第1の画素の屈折率t1と、第2の画素の屈折率t2との差であるt1−t2が−0.1よりも大きい光学フィルタの、第1の画素形成用の組成物である、<1>〜<13>のいずれかに記載の組成物。
<15> <1>〜<14>のいずれかに記載の組成物を用いて得られる膜。
<16> <1>〜<14>のいずれかに記載の組成物を用いて得られる第1の画素と、
第1の画素に隣接する画素であって第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有する光学フィルタ。
<17> 波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する第1の画素と、
第1の画素に隣接する画素であって第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有する光学フィルタであって、
波長900〜1400nmの範囲の少なくとも一部において、第1の画素の屈折率t1と、第2の画素の屈折率t2との差であるt1−t2が−0.1よりも大きい、光学フィルタ。
<18> 第1の画素の屈折率の極大値が1.8以上である、<17>に記載の光学フィルタ。
<19> 第1の画素の屈折率の極大値が波長800〜1000nmの範囲に存在する、<17>または<18>に記載の光学フィルタ。
<20> 波長900〜1000nmの範囲の少なくとも一部において、第1の画素の屈折率t1と、第2の画素の屈折率t2との差であるt1−t2が−0.1よりも大きい、<16>〜<19>のいずれかに記載の光学フィルタ。
<21> <15>に記載の膜、または、<16>〜<20>のいずれかに記載の光学フィルタを有する固体撮像素子。
<22> <15>に記載の膜、または、<16>〜<20>のいずれかに記載の光学フィルタを有する赤外線センサ。
本発明によれば、赤外線センサなどに用いた際に赤外線を感度よく検出できる膜を製造できる組成物を提供することができる。また、赤外線センサなどに用いた際に赤外線を感度よく検出できる膜、光学フィルタ、固体撮像素子および赤外線センサを提供することができる。
本発明の赤外線センサの一実施形態の構成を示す概略断面図である。 実施例および参考例で製造した光学フィルタの正面図である。 図2のa−a断面図である。 図2のb−b断面図である。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全体から溶剤を除いた成分の合計質量をいう。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基と共に置換基を有する基を包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)を包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、化学式中のMeはメチル基を、Etはエチル基を、Prはプロピル基を、Buはブチル基を、Phはフェニル基をそれぞれ示す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定でのポリスチレン換算値として定義される。本明細書において、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、例えば、測定装置としてHLC−8220(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel Super AWM―H(東ソー(株)製、6.0mmID(内径)×15.0cm)を用い、溶離液として10mmol/L リチウムブロミドNMP(N−メチルピロリジノン)溶液を用いることによって求めることができる。
本明細書において、近赤外線とは、波長700〜2500nmの光(電磁波)をいう。
本発明に用いられる顔料は、溶剤に溶解しにくい不溶性の色素化合物を意味する。典型的には、組成物中に粒子として分散された状態で存在する色素化合物を意味する。ここで、溶剤とは、任意の溶剤が挙げられ、例えば後述する溶剤の欄で例示する溶剤が挙げられる。本発明に用いられる顔料は、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ−トおよび水のいずれに対しても、25℃において0.1g/100gSolvent以下の溶解度を示すものが好ましい。
<組成物>
本発明の組成物は、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と、近赤外線吸収色素と、硬化性化合物とを含む組成物であって、
上記組成物の波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、
上記組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際に、この膜は波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有することを特徴とする。
本発明の組成物は、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であるので、波長400〜700nmの光の遮光性の高い膜を形成することができる。このため、本発明の組成物は、可視光線由来のノイズが少ない状態で、赤外線が透過可能な膜を形成できる。
そして、この組成物は、膜厚1μmの膜を形成した際に、波長800nm以上の範囲に屈折率の極大値を有する特性を有している。すなわち、本発明の組成物は、膜厚1μmの膜を形成した際に、波長800nm以上の範囲において屈折率の異常分散が生じている。ここで、屈折率の異常分散とは、次のことを意味する。一般的に物質の屈折率は、波長が長くなるに伴い低下する傾向にある。このような現象を屈折率の正常分散という。これに対し、正常分散から大きく逸脱して波長が長くなるに伴い、屈折率が急激に増加する現象を屈折率の異常分散という。
このように、本発明の組成物により形成される膜は、屈折率の極大値が波長800nm以上の範囲に存在しているので、波長800nm以上の光の屈折率が高く、膜を透過する赤外線の集光性を高めることができる。このため、本発明の組成物から得られる膜を赤外線センサなどに用いることで可視光線由来のノイズが少ない状態で、所望の波長の赤外線を透過させつつ、この赤外線の集光性を高めることができ、赤外線センサにおける感度を大幅に向上させることができる。
上記の屈折率の極大値は、1.8以上であることが好ましく、1.85以上であることがより好ましく、1.9以上であることが更に好ましい。また、上記の屈折率の極大値は、本発明の組成物に含まれる近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも長波長側に存在することが好ましく、前述の近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも15nm以上長波長側に存在することがより好ましく、前述の近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも30nm以上長波長側に存在することが更に好ましい。また、上記の屈折率の極大値は、波長800〜1000nmの範囲に存在することが好ましく、波長830〜970nmの範囲に存在することがより好ましく、波長860〜940nmの範囲に存在することが更に好ましい。
また、本発明の組成物は、本発明の組成物から近赤外線吸収色素を除いた組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際に、前述の膜は波長900〜1000nmの光の屈折率の最小値が1.7以上であることが好ましく1.75以上であることがより好ましい。この態様によれば、膜を透過する赤外線の集光性をより高めることができる。
また、本発明の組成物は、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する第1の画素と、この第1の画素に隣接する画素であって第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有し、波長900〜1400nmの範囲の少なくとも一部(好ましくは波長900〜1000nmの範囲の少なくとも一部)において、第1の画素の屈折率t1と、第2の画素の屈折率t2との差(t1−t2)が−0.1よりも大きい光学フィルタの、第1の画素形成用の組成物であることが好ましい。この態様によれば、第1の画素を透過する赤外線の集光性のより高い光学フィルタを得ることができ、この光学フィルタを赤外線センサなどに用いることで、赤外線センサにおける感度を大幅に向上させることができる。上記の屈折率の差は、−0.05以上であることが好ましく、0以上であることがより好ましい。
上記吸光度の条件は、どのような手段によって達成されても良いが、例えば、後に詳述するように、組成物に、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と、近赤外線吸収色素とを含有させるとともに、これらの種類及び含有量を調整することにより、上記吸光度の条件を好適に達成できる。
また、波長800nm以上の範囲に屈折率の極大値を有する膜を得るための手段としては、近赤外線吸収色素の種類および含有量などを調整する方法、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と近赤外線吸収色素との混合割合を調整する方法、その他の添加材として、導電性高分子やカーボンなどの導電性物質を含有させて調整する方法などが挙げられる。例えば、膜中で会合し易い近赤外線吸収色素を用いたり、極大吸収波長における吸光度の半値幅のより狭い近赤外線吸収色素を用いたり、近赤外線吸収色素の含有量を増したり、導電性物質の含有量を増やすことで、屈折率の極大値をより高い値とすることができる。また、屈折率の極大値をより長波長側にシフトさせたい場合は、極大吸収波長がより長波長側にある近赤外線吸収色素を含有させる、膜中での近赤外線吸収色素の会合数を増加させる等の方法が挙げられる。
本発明の組成物が有する分光特性については、上述したA/Bの値は、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。上限は、例えば、90以下とすることができる。
ある波長λにおける吸光度Aλは、以下の式(1)により定義される。
Aλ=−log(Tλ/100) ・・・(1)
Aλは、波長λにおける吸光度であり、Tλは、波長λにおける透過率(%)である。
本発明において、吸光度の値は、溶液の状態で測定した値であってもよく、本発明の組成物を用いて製膜した膜での値であってもよい。膜の状態で吸光度を測定する場合は、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜の厚さが所定の厚さとなるように組成物を塗布し、ホットプレートを用いて100℃、120秒間乾燥して調製した膜を用いて測定することが好ましい。膜の厚さは、膜を有する基板について、触針式表面形状測定器(ULVAC社製 DEKTAK150)を用いて測定することができる。また、吸光度は、従来公知の分光光度計を用いて測定できる。吸光度の測定条件は特に限定はないが、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aが、0.1〜3.0になるように調整した条件で、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bを測定することが好ましい。このような条件で吸光度を測定することで、測定誤差をより小さくできる。波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aが、0.1〜3.0になるように調整する方法としては、特に限定はない。例えば、溶液の状態で吸光度を測定する場合は、試料セルの光路長を調整する方法が挙げられる。また、膜の状態で吸光度を測定する場合は、膜厚を調整する方法などが挙げられる。
本発明の組成物は、以下の(1)または(2)のいずれかの分光特性を満たしていることがより好ましい。
(1):波長400〜830nmの範囲における吸光度の最小値A1と、波長1000〜1500nmの範囲における吸光度の最大値B1との比であるA1/B1が4.5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長900nmを超える光が透過可能な膜を形成することができる。
(2):波長400〜950nmの範囲における吸光度の最小値A2と、波長1100〜1500nmの範囲における吸光度の最大値B2との比であるA2/B2が4.5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜950nmの範囲の光を遮光して、波長1000nmを超える光が透過可能な膜を形成することができる。
本発明の組成物は、乾燥後の膜厚が0.1〜50μm(好ましくは0.1〜20μm、より好ましくは0.5〜10μm)の膜を製膜した際に、前述の膜厚の少なくとも1つにおいて、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜700nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、波長1400〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である分光特性を満たしていることが好ましい。
また、本発明の組成物は、以下の(IR1)または(IR2)のいずれかの分光特性を満たしていることが好ましい。
(IR1):本発明の組成物を用いて厚さ1μm、2μm、3μm、4μmまたは5μmの膜を形成した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
(IR2):本発明の組成物を用いて厚さ1μm、2μm、3μm、4μmまたは5μmの膜を形成した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜950nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1100〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
本発明の組成物は、前述した各膜厚のうち少なくとも1つにおいて、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aは、例えば、0.1〜5が好ましく、0.3〜3がより好ましい。また、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bは、例えば、0.01〜0.5が好ましく、0.02〜0.3がより好ましい。
本発明の組成物により形成される膜の分光特性、膜厚、屈折率の測定方法を以下に示す。本発明の組成物を、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜の厚さが所定の厚さとなるように塗布し、ホットプレートを用いて100℃、120秒間乾燥する。膜の厚さは、触針式表面形状測定器(ULVAC社製、DEKTAK150)を用いて測定する。分光特性については、紫外可視近赤外分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製、U−4100)を用いて、波長300〜1300nmの範囲において透過率を測定する。屈折率については、エリプソメトリー VUV−VASE(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン社製)を用いて測定する。
本発明の組成物は、赤外線を透過させることから、赤外線透過性組成物とも言える。以下に、本発明の組成物を構成し得る各成分について説明する。
<<赤外線を透過させて可視光を遮光する色材>>
本発明の組成物は、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材(以下、可視光を遮光する色材ともいう)を含有する。本発明において、可視光を遮光する色材は、紫色から赤色の波長領域の光を吸収する色材であることが好ましい。また、本発明において、可視光を遮光する色材は、波長400〜700nmの波長領域の光を遮光する色材であることが好ましい。また、可視光を遮光する色材は、波長1400〜1500nmの光が透過する色材であることが好ましい。本発明において、可視光を遮光する色材は、以下の(1)および(2)の少なくとも一方の要件を満たすことが好ましい。
(1):2種類以上の有彩色着色剤を含み、2種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成している。
(2):有機系黒色着色剤を含む。(2)の態様において、更に有彩色着色剤を含有することも好ましい。
なお、本発明において、有彩色着色剤とは、白色着色剤および黒色着色剤以外の着色剤を意味する。また、本発明において、可視光を遮光する色材に用いられる有機系黒色着色剤は、可視光を吸収するが、近赤外線の少なくとも一部は透過する材料を意味する。したがって、本発明において、可視光を遮光する色材に用いられる有機系黒色着色剤は、可視光および近赤外線の両方を吸収する黒色着色剤、例えば、カーボンブラックやチタンブラックは含まない。有機系黒色着色剤は、波長400〜700nmの範囲に極大吸収波長を有する着色剤が好ましい。
本発明において、可視光を遮光する色材は、例えば、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上となるものであることが好ましい。この特性は、1種類の素材で満たしていてもよく、複数の素材の組み合わせで満たしていてもよい。例えば、上記(1)の態様の場合、複数の有彩色着色剤を組み合わせて上記分光特性を満たしていることが好ましい。また、上記(2)の態様の場合、有機系黒色着色剤が上記分光特性を満たしていてもよい。また、有機系黒色着色剤と有彩色着色剤との組み合わせで上記の分光特性を満たしていてもよい。
(有彩色着色剤)
有彩色着色剤は、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤およびオレンジ色着色剤から選ばれる着色剤であることが好ましい。本発明で用いられる有彩色着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。好ましくは顔料である。顔料の平均粒径(r)は、20nm≦r≦300nmであることが好ましく、25nm≦r≦250nmであることがより好ましく、30nm≦r≦200nmであることが更に好ましい。ここでいう「平均粒径」とは、顔料の一次粒子が集合した二次粒子についての平均粒径を意味する。また、使用しうる顔料の二次粒子の粒径分布(以下、単に「粒径分布」ともいう。)は、平均粒径±100nmの範囲に含まれる二次粒子が全体の70質量%以上であることが好ましく、80質量%以上であることがより好ましい。なお、二次粒子の粒径分布は、散乱強度分布を用いて測定することができる。
顔料は、有機顔料であることが好ましい。有機顔料としては以下のものが挙げられる。
カラーインデックス(C.I.)Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等(以上、黄色顔料)、
C.I.Pigment Orange 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上、オレンジ色顔料)、
C.I.Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等(以上、赤色顔料)、
C.I.Pigment Green 7,10,36,37,58,59等(以上、緑色顔料)、
C.I.Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42等(以上、紫色顔料)、
C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等(以上、青色顔料)、
これら有機顔料は、単独で若しくは種々組合せて用いることができる。
染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。また、特開2015−028144号公報、特開2015−34966号公報に記載の染料を用いることもできる。
(有機系黒色着色剤)
有機系黒色着色剤としては、例えば、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ系化合物などが挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表2010−534726号公報、特表2012−515233号公報、特表2012−515234号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、BASF社製の「Irgaphor Black」として入手可能である。ペリレン化合物としては、C.I.Pigment Black 31、32などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平1−170601号公報、特開平2−34664号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックA1103」として入手できる。ビスベンゾフラノン化合物は、下記式で表される化合物およびこれらの混合物であることが好ましい。
Figure 0006837568
式中、RおよびRはそれぞれ独立して水素原子又は置換基を表し、RおよびRはそれぞれ独立して置換基を表し、aおよびbはそれぞれ独立して0〜4の整数を表し、aが2以上の場合、複数のRは、同一であってもよく、異なってもよく、複数のRは結合して環を形成していてもよく、bが2以上の場合、複数のRは、同一であってもよく、異なってもよく、複数のRは結合して環を形成していてもよい。R〜Rが表す置換基は、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−OR301、−COR302、−COOR303、−OCOR304、−NR305306、−NHCOR307、−CONR308309、−NHCONR310311、−NHCOOR312、−SR313、−SO314、−SOOR315、−NHSO316または−SONR317318であり、R301〜R318は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基またはヘテロアリール基を表す。ビスベンゾフラノン化合物の詳細については、特表2010−534726号公報の段落番号0014〜0037の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
2種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成する場合、可視光を遮光する色材は、赤色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤および緑色着色剤から選ばれる2種類以上の着色剤を含むことが好ましい。また、この場合における可視光を遮光する色材は、得られる膜の分光特性および屈折率の観点から青色着色剤を少なくとも含むことも好ましい。好ましい組み合わせとしては、例えば以下の(1)〜(7)が挙げられ、(1)〜(6)が好ましく、(3)〜(5)がより好ましく、(3)が特に好ましい。
(1)赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。
(2)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤とを含有する態様。
(3)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
(4)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(5)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(6)赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(7)黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
上記(1)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤との質量比は、赤色着色剤:青色着色剤=20〜80:20〜80であることが好ましく、20〜60:40〜80であることがより好ましく、20〜50:50〜80であることが更に好ましい。
上記(2)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤=10〜80:20〜80:10〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:10〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:10〜20であることが更に好ましい。
上記(3)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤との質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤:紫色着色剤=10〜80:20〜80:5〜40:5〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:5〜30:5〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:5〜20:5〜20であることが更に好ましい。
上記(4)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤:紫色着色剤:緑色着色剤=10〜80:20〜80:5〜40:5〜40:5〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:5〜30:5〜30:5〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:5〜20:5〜20:5〜20であることが更に好ましい。
上記(5)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:黄色着色剤:緑色着色剤=10〜80:20〜80:5〜40:5〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:5〜30:5〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:5〜20:5〜20であることが更に好ましい。
上記(6)の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤:青色着色剤:緑色着色剤=10〜80:20〜80:10〜40であることが好ましく、10〜60:30〜80:10〜30であることがより好ましく、10〜40:40〜80:10〜20であることが更に好ましい。
上記(7)の態様において、黄色着色剤と紫色着色剤の質量比は、黄色着色剤:紫色着色剤=10〜50:40〜80であることが好ましく、20〜40:50〜70であることがより好ましく、30〜40:60〜70であることが更に好ましい。
黄色着色剤としては、C.I.Pigment Yellow 139,150,185が好ましく、C.I.Pigment Yellow 139,150がより好ましく、C.I.Pigment Yellow 139が更に好ましい。青色着色剤としては、C.I.Pigment Blue 15:6が好ましい。紫色着色剤としては、C.I.Pigment Violet 23が好ましい。赤色着色剤としては、Pigment Red 122,177,224,254が好ましく、Pigment Red 122,177,254がより好ましく、Pigment Red 254が更に好ましい。緑色着色剤としては、C.I.Pigment Green 7、36、58、59が好ましい。
可視光を遮光する色材として有機系黒色着色剤を用いる場合、有彩色着色剤と組み合わせて使用することが好ましい。有機系黒色着色剤と有彩色着色剤とを併用することで、優れた分光特性が得られ易い。有機系黒色着色剤と組み合わせて用いる有彩色着色剤としては、例えば、赤色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤などが挙げられ、赤色着色剤および青色着色剤が好ましく、得られる膜の分光特性および屈折率の観点から青色着色剤がより好ましい。また、有彩色着色剤と有機系黒色着色剤との混合割合は、有機系黒色着色剤100質量部に対して、有彩色着色剤が10〜200質量部が好ましく、15〜150質量部がより好ましい。
可視光を遮光する色材中における顔料の含有量は、可視光を遮光する色材の全量に対して95質量%以上であることが好ましく、97質量%以上であることがより好ましく、99質量%以上であることが更に好ましい。
本発明で用いられる可視光を遮光する色材は青色着色剤を少なくとも含むことが好ましく、可視光を遮光する色材の全質量中における青色着色剤の含有量が10〜50質量%であることがより好ましく、15〜45質量%であることが更に好ましく、20〜40質量%であることが特に好ましい。また、前述の青色着色剤は、青色顔料であることが好ましい。この態様によれば、屈折率のより高い膜を形成し易い。
可視光を遮光する色材の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して10〜70質量%であることが好ましい。下限は、30質量%以上が好ましく、40質量%以上がより好ましい。
<<近赤外線吸収色素>>
本発明の組成物は、近赤外線吸収色素を含有する。近赤外線吸収色素としては、波長700nmを超え1300nm以下の範囲(好ましくは波長700nmを超え1100nm以下の範囲、より好ましくは波長700nmを超え1000nm以下の範囲)に極大吸収波長を有する化合物を好ましく用いることができる。近赤外線吸収色素は、顔料であってもよく、染料であってもよい。
近赤外線吸収色素の分子量は、300〜3000が好ましい。上限は2000以下が好ましく、1000以下がより好ましい。下限は、400以上が好ましく、500以上が更に好ましい。近赤外線吸収色素の分子量が上記範囲であれば、膜中で会合し易く、膜中での近赤外線吸収色素の会合数を増加させ易い。このため、波長800nm以上の範囲に屈折率の極大値を有する膜を形成し易い。更には、前述の極大値における屈折率の値をより高めることもできる。
近赤外線吸収色素としては、単環または縮合環の芳香族環を含むπ共役平面を有する化合物を好ましく用いることができる。近赤外線吸収色素が有するπ共役平面を構成する水素以外の原子数は、10個以上であることが好ましく、15個以上であることがより好ましく、20個以上であることが更に好ましく、30個以上であることが特に好ましい。上限は、例えば、100個以下であることが好ましく、70個以下であることがより好ましく、50個以下であることが更に好ましい。近赤外線吸収色素のπ共役平面を構成する原子数が上記範囲であれば、膜中で会合し易く、波長800nm以上の範囲に屈折率の極大値を有する膜を形成し易い。更には、前述の極大値における屈折率の値をより高めることもできる。
近赤外線吸収色素が有するπ共役平面は、単環または縮合環の芳香族環を2個以上含むことが好ましく、前述の芳香族環を3個以上含むことがより好ましく、前述の芳香族環を4個以上含むことが更に好ましく、前述の芳香族環を5個以上含むことが特に好ましい。上限は、100個以下が好ましく、50個以下がより好ましく、30個以下が更に好ましい。前述の芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、ペンタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環、インダセン環、ペリレン環、ペンタセン環、クアテリレン環、アセナフテン環、フェナントレン環、アントラセン環、ナフタセン環、クリセン環、トリフェニレン環、フルオレン環、ピリジン環、キノリン環、イソキノリン環、イミダゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピラゾール環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、トリアゾール環、ベンゾトリアゾール環、オキサゾール環、ベンゾオキサゾール環、イミダゾリン環、ピラジン環、キノキサリン環、ピリミジン環、キナゾリン環、ピリダジン環、トリアジン環、ピロール環、インドール環、イソインドール環、カルバゾール環、および、これらの環を有する縮合環が挙げられる。
近赤外線吸収色素としては、スクアリリウム化合物、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イモニウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、メロシアニン化合物、クロコニウム化合物、オキソノール化合物、ジチオール化合物、トリアリールメタン化合物、ピロメテン化合物、アゾメチン化合物、アントラキノン化合物及びジベンゾフラノン化合物から選ばれる少なくとも1種が好ましく、スクアリリウム化合物、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イモニウム化合物がより好ましく、スクアリリウム化合物およびピロロピロール化合物が更に好ましく、波長800nm以上の範囲に屈折率の極大値を有し、かつ、前述の極大値における屈折率の値がより高い膜を形成し易いという理由からスクアリリウム化合物が特に好ましい。
イモニウム化合物としては、例えば、特表2008−528706号公報に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。フタロシアニン化合物としては、例えば、特開2012−77153号公報の段落番号0093に記載の化合物、特開2006−343631号公報に記載のオキシチタニウムフタロシアニン、特開2013−195480号公報の段落番号0013〜0029に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ナフタロシアニン化合物としては、例えば、特開2012−77153号公報の段落番号0093に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、近赤外線吸収色素としては、特開2016−146619号公報に記載された化合物を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。
ピロロピロール化合物としては、式(PP)で表される化合物であることが好ましい。
Figure 0006837568
式中、R1aおよびR1bは、各々独立にアルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、RおよびRは、各々独立に水素原子または置換基を表し、RおよびRは、互いに結合して環を形成してもよく、Rは、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR4A4B、または金属原子を表し、Rは、R1a、R1bおよびRから選ばれる少なくとも一つと共有結合もしくは配位結合していてもよく、R4AおよびR4Bは、各々独立に置換基を表す。式(PP)の詳細については、特開2009−263614号公報の段落番号0017〜0047、特開2011−68731号公報の段落番号0011〜0036、国際公開WO2015/166873号公報の段落番号0010〜0024の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
式(PP)において、R1aおよびR1bは、各々独立に、アリール基またはヘテロアリール基が好ましく、アリール基がより好ましい。また、R1aおよびR1bが表すアルキル基、アリール基およびヘテロアリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、特開2009−263614号公報の段落番号0020〜0022に記載された置換基や、以下の置換基Tが挙げられる。また、R1aおよびR1bが表すアルキル基、アリール基およびヘテロアリール基が2個以上の置換基を有している場合、置換基同士が結合して環を形成していてもよい。
(置換基T)
アルキル基(好ましくは炭素数1〜30のアルキル基)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルケニル基)、アルキニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルキニル基)、アリール基(好ましくは炭素数6〜30のアリール基)、アミノ基(好ましくは炭素数0〜30のアミノ基)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜30のアルコキシ基)、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6〜30のアリールオキシ基)、ヘテロアリールオキシ基、アシル基(好ましくは炭素数1〜30のアシル基)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルコキシカルボニル基)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7〜30のアリールオキシカルボニル基)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜30のアシルオキシ基)、アシルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30のアシルアミノ基)、アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30のアルコキシカルボニルアミノ基)、アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数7〜30のアリールオキシカルボニルアミノ基)、スルファモイル基(好ましくは炭素数0〜30のスルファモイル基)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1〜30のカルバモイル基)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1〜30のアルキルチオ基)、アリールチオ基(好ましくは炭素数6〜30のアリールチオ基)、ヘテロアリールチオ基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールスルホニル基(好ましくは炭素数6〜30)、ヘテロアリールスルホニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールスルフィニル基(好ましくは炭素数6〜30)、ヘテロアリールスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜30)、ウレイド基(好ましくは炭素数1〜30)、水酸基、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基、カルボン酸アミド基(好ましくは−NHCORA1で表される基であり、RA1は、炭化水素基または複素環基を表す。炭化水素基および複素環基は、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、ハロゲン原子であることが好ましく、フッ素原子であることがより好ましい。)、スルホン酸アミド基(好ましくは−NHSOA2で表される基である。RA2は、炭化水素基または複素環基を表す。炭化水素基および複素環基は、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、ハロゲン原子であることが好ましく、フッ素原子であることがより好ましい。)、イミド酸基(好ましくは、−SONHSOA3、−CONHSOA4、−CONHCORA5または−SONHCORA6で表される基である。RA3〜RA6は、それぞれ独立して炭化水素基または複素環基を表す。炭化水素基および複素環基は、さらに置換基を有してもよい。)、メルカプト基、ハロゲン原子、シアノ基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基、ヘテロアリール基(好ましくは炭素数1〜30)。
これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、上述した置換基Tで説明した基が挙げられる。
1a、R1bで表される基の具体例としては、アルコキシ基を置換基として有するアリール基、水酸基を置換基として有するアリール基、アシルオキシ基を置換基として有するアリール基などが挙げられる。
式(PP)において、RおよびRは、各々独立に水素原子または置換基を表す。置換基としては上述した置換基Tが挙げられる。RおよびRの少なくとも一方は電子求引性基が好ましい。ハメットの置換基定数σ値(シグマ値)が正の置換基は、電子求引性基として作用する。ここで、ハメット則で求められた置換基定数にはσp値とσm値がある。これらの値は多くの一般的な成書に見出すことができる。本発明においては、ハメットの置換基定数σ値が0.2以上の置換基を電子求引性基として例示することができる。σ値は、0.25以上が好ましく、0.3以上がより好ましく、0.35以上が更に好ましい。上限は特に制限はないが、好ましくは0.80以下である。電子求引性基の具体例としては、シアノ基(σp値=0.66)、カルボキシル基(−COOH:σp値=0.45)、アルコキシカルボニル基(例えば、−COOMe:σp値=0.45)、アリールオキシカルボニル基(例えば、−COOPh:σp値=0.44)、カルバモイル基(例えば、−CONH:σp値=0.36)、アルキルカルボニル基(例えば、−COMe:σp値=0.50)、アリールカルボニル基(例えば、−COPh:σp値=0.43)、アルキルスルホニル基(例えば、−SOMe:σp値=0.72)、アリールスルホニル基(例えば、−SOPh:σp値=0.68)などが挙げられ、シアノ基が好ましい。ここで、Meはメチル基を、Phはフェニル基を表す。なお、ハメットの置換基定数σ値については、例えば、特開2011−68731号公報の段落番号0017〜0018を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
式(PP)において、Rは電子求引性基(好ましくはシアノ基)を表し、Rはヘテロアリール基を表すことが好ましい。ヘテロアリール基は、5員環または6員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜8の縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数は、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。ヘテロ原子としては、例えば、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が例示される。ヘテロアリール基は、窒素原子を1個以上有することが好ましい。式(PP)における2個のR同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。また、式(PP)における2個のR同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。
式(PP)において、Rは、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基または−BR4A4Bで表される基であることが好ましく、水素原子、アルキル基、アリール基または−BR4A4Bで表される基であることがより好ましく、−BR4A4Bで表される基であることが更に好ましい。R4AおよびR4Bが表す置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、または、ヘテロアリール基が好ましく、アルキル基、アリール基、または、ヘテロアリール基がより好ましく、アリール基が特に好ましい。これらの基はさらに置換基を有していてもよい。式(PP)における2個のR同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。R4AおよびR4Bは互いに結合して環を形成していてもよい。
式(PP)で表される化合物の具体例としては、下記化合物が挙げられる。以下の構造式中、Etはエチル基を表し、Phはフェニル基を表す。また、ピロロピロール化合物としては、特開2009−263614号公報の段落番号0016〜0058に記載の化合物、特開2011−68731号公報の段落番号0037〜0052に記載の化合物、国際公開WO2015/166873号公報の段落番号0010〜0033に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Figure 0006837568
スクアリリウム化合物としては、下記式(SQ)で表される化合物が好ましい。
Figure 0006837568
式(SQ)中、AおよびAは、それぞれ独立に、アリール基、ヘテロアリール基または式(A−1)で表される基を表す;
Figure 0006837568
式(A−1)中、Zは、含窒素複素環を形成する非金属原子団を表し、Rは、アルキル基、アルケニル基またはアラルキル基を表し、dは、0または1を表し、波線は連結手を表す。
およびAが表すアリール基の炭素数は、6〜48が好ましく、6〜24がより好ましく、6〜12が特に好ましい。
およびAが表すヘテロアリール基としては、5員環または6員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環または縮合数が2〜8の縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2または3の縮合環が更に好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が例示され、窒素原子、硫黄原子が好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子の数は、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。
アリール基およびヘテロアリール基は、置換基を有していてもよい。アリール基およびヘテロアリール基が、置換基を2個以上有する場合、複数の置換基は同一であってもよく、異なっていてもよい。
置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、−OR10、−COR11、−COOR12、−OCOR13、−NR1415、−NHCOR16、−CONR1718、−NHCONR1920、−NHCOOR21、−SR22、−SO23、−SOOR24、−NHSO25または−SONR2627が挙げられる。R10〜R27は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、またはアラルキル基を表す。なお、−COOR12のR12が水素原子の場合は、水素原子が解離してもよく、塩の状態であってもよい。また、−SOOR24のR24が水素原子の場合は、水素原子が解離してもよく、塩の状態であってもよい。
次に、AおよびAが表す式(A−1)で表される基について説明する。
式(A−1)において、Rは、アルキル基、アルケニル基またはアラルキル基を表し、アルキル基が好ましい。式(A−1)において、Zにより形成される含窒素複素環としては、5員環または6員環が好ましい。また、含窒素複素環は、単環または縮合数が2〜8の縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がより好ましく、縮合数が2または3の縮合環がより好ましい。含窒素複素環は、窒素原子の他に、硫黄原子を含んでいてもよい。また、含窒素複素環は置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基が挙げられる。
式(SQ)の詳細については、特開2011−208101号公報の段落番号0020〜0049の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
なお、式(SQ)においてカチオンは、以下のように非局在化して存在している。
Figure 0006837568
スクアリリウム化合物は、下記式(SQ−1)で表される化合物が好ましい。
Figure 0006837568
環Aおよび環Bは、それぞれ独立に芳香族環を表し、
およびXはそれぞれ独立に置換基を表し、
およびGはそれぞれ独立に置換基を表し、
kAは0〜nの整数を表し、kBは0〜nの整数を表し、
およびnはそれぞれ環Aまたは環Bに置換可能な最大の整数を表し、
とG、XとG、XとXは、互いに結合して環を形成しても良く、GおよびGがそれぞれ複数存在する場合は、互いに結合して環構造を形成していても良い。
およびGが表す置換基としては、上述した式(PP)で説明した置換基Tが挙げられる。
およびXが表す置換基としては、活性水素を有する基が好ましく、−OH、−SH、−COOH、−SOH、−NRX1X2、−NHCORX1、−CONRX1X2、−NHCONRX1X2、−NHCOORX1、−NHSOX1、−B(OH)および−PO(OH)がより好ましく、−OH、−SHおよび−NRX1X2が更に好ましい。RX1およびRX1は、それぞれ独立に水素原子または置換基を表す。XおよびXが表す置換基としてはアルキル基、アリール基、または、ヘテロアリール基が挙げられ、アルキル基が好ましい。
環Aおよび環Bは、それぞれ独立に、芳香族環を表す。芳香族環は単環であってもよく、縮合環であってもよい。芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環、インダセン環、ペリレン環、ペンタセン環、アセナフテン環、フェナントレン環、アントラセン環、ナフタセン環、クリセン環、トリフェニレン環、フルオレン環、ビフェニル環、ピロール環、フラン環、チオフェン環、イミダゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、インドリジン環、インドール環、ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、イソベンゾフラン環、キノリジン環、キノリン環、フタラジン環、ナフチリジン環、キノキサリン環、キノキサゾリン環、イソキノリン環、カルバゾール環、フェナントリジン環、アクリジン環、フェナントロリン環、チアントレン環、クロメン環、キサンテン環、フェノキサチイン環、フェノチアジン環、および、フェナジン環が挙げられ、ベンゼン環またはナフタレン環が好ましい。芳香族環は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した式(PP)で説明した置換基Tが挙げられる。
とG、XとG、XとXは、互いに結合して環を形成しても良く、GおよびGがそれぞれ複数存在する場合は、互いに結合して環を形成していても良い。環としては、5員環または6員環が好ましい。環は単環であってもよく、縮合環であってもよい。XとG、XとG、XとX、G同士またはG同士が結合して環を形成する場合、これらが直接結合して環を形成してもよく、アルキレン基、−CO−、−O−、−NH−、−BR−およびそれらの組み合わせからなる2価の連結基を介して結合して環を形成してもよい。Rは、水素原子または置換基を表す。置換基としては、上述した式(PP)で説明した置換基Tが挙げられ、アルキル基またはアリール基が好ましい。
kAは0〜nの整数を表し、kBは0〜nの整数を表し、nは、環Aに置換可能な最大の整数を表し、nは、環Bに置換可能な最大の整数を表す。kAおよびkBは、それぞれ独立に0〜4が好ましく、0〜2がより好ましく、0〜1が特に好ましい。
スクアリリウム化合物の具体例としては、以下に示す化合物が挙げられる。また、特開2011−208101号公報の段落番号0044〜0049に記載の化合物、特許第6065169号公報の段落番号0060〜0061に記載の化合物、国際公開WO2016/181987号公報の段落番号0040に記載の化合物、国際公開WO2013/133099号公報に記載の化合物、国際公開WO2014/088063号公報に記載の化合物、特開2014−126642号公報に記載の化合物、特開2016−146619号公報に記載の化合物、特開2015−176046号公報に記載の化合物、特開2017−25311号公報に記載の化合物、国際公開WO2016/154782号公報に記載の化合物、特許5884953号公報に記載の化合物、特許6036689号公報に記載の化合物、特許5810604号公報に記載の化合物、特開2017−068120号公報に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Figure 0006837568
シアニン化合物は、式(C)で表される化合物が好ましい。
式(C)
Figure 0006837568
式中、ZおよびZは、それぞれ独立に、縮環してもよい5員または6員の含窒素複素環を形成する非金属原子団であり、
101およびR102は、それぞれ独立に、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、またはアリール基を表し、
は、奇数個のメチン基を有するメチン鎖を表し、
aおよびbは、それぞれ独立に、0または1であり、
aが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが二重結合で結合し、bが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが単結合で結合し、
式中のCyで表される部位がカチオン部である場合、Xはアニオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、Xはカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、cは0である。
シアニン化合物の具体例としては、特開2009−108267号公報の段落番号0044〜0045に記載の化合物、特開2002−194040号公報の段落番号0026〜0030に記載の化合物、特開2015−172004号公報に記載の化合物、特開2015−172102号公報に記載の化合物、特開2008−88426号公報に記載の化合物、特開2017−031394号公報に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明において、近赤外線吸収色素としては、市販品を用いることもできる。例えば、SDO−C33(有本化学工業(株)製)、イーエクスカラーIR−14、イーエクスカラーIR−10A、イーエクスカラーTX−EX−801B、イーエクスカラーTX−EX−805K((株)日本触媒製)、ShigenoxNIA−8041、ShigenoxNIA−8042、ShigenoxNIA−814、ShigenoxNIA−820ShigenoxNIA−839(ハッコーケミカル社製)、EpoliteV−63、Epolight3801、Epolight3036(EPOLIN社製)、PRO−JET825LDI(富士フイルム(株)製)、NK−3027、NK−5060、SMP−388((株)林原製)、YKR−3070(三井化学(株)製)などが挙げられる。
近赤外線吸収色素の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して1〜30質量%であることが好ましい。上限は、20質量%以下が好ましく、10質量%以下がより好ましい。下限は、3質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましい。
近赤外線吸収色素の含有量は、可視光を遮光する色材の100質量部に対して5〜200質量部であることが好ましい。上限は、100質量部以下が好ましく、50質量部以下がより好ましい。下限は、10質量部以上が好ましく、15質量部以上がより好ましい。近赤外線吸収色素と可視光を遮光する色材との割合が上記範囲であれば、波長800nm以上の範囲に屈折率の極大値を有し、かつ、前述の極大値における屈折率の値をより高い膜を形成できる。
近赤外線吸収色素と可視光を遮光する色材との合計量は、本発明の組成物の全固形分に対して10〜70質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上が好ましく、25質量%以上がより好ましい。
本発明の組成物においては、近赤外線吸収色素は1種単独で用いてもよく、2種以上併用してもよい。近赤外線吸収色素を2種以上併用する場合は、その合計が上記範囲であることが好ましい。
<<硬化性化合物>>
本発明の組成物は、硬化性化合物を含有する。硬化性化合物としては、重合性化合物、樹脂等が挙げられる。樹脂は、非重合性の樹脂(重合性基を有さない樹脂)であってもよく、重合性の樹脂(重合性基を有する樹脂)であってもよい。重合性基としては、エチレン性不飽和結合を有する基、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基などが挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。なお、重合性の樹脂(重合性基を有する樹脂)は、重合性化合物でもある。
本発明において、硬化性化合物としては、樹脂を少なくとも含むものを用いることが好ましく、樹脂とモノマータイプの重合性化合物とを用いることがより好ましく、樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する基を有するモノマータイプの重合性化合物とを用いることが更に好ましい。
また、本発明において、硬化性化合物としては、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物を用いることも好ましい。このような骨格を有する化合物を用いることで高い屈折率を有する膜を形成することができる。前述の化合物は、モノマータイプの化合物であってもよく、ポリマータイプの化合物であってもよい。また、前述の化合物は、一分子中に、フルオレン骨格およびトリアジン骨格のいずれか一方のみを含む化合物であってもよく、フルオレン骨格とトリアジン骨格との両方を含んでいる化合物であってもよい。
フルオレン骨格を有する硬化性化合物としては、下記式(Fr)で表される部分構造を有する化合物が挙げられる。
(Fr)
Figure 0006837568
式中波線は、結合手を表し、Rf1およびRf2はそれぞれ置換基を表し、mおよびnはそれぞれ独立して0〜5の整数を表す。mが2以上の場合、m個のRf1は同一であってもよく、それぞれ異なっていてもよく、m個のRf1のうち2個のRf1同士が結合して環を形成していてもよい。nが2以上の場合、n個のRf2は同一であってもよく、それぞれ異なっていてもよく、n個のRf2のうち2個のRf2同士が結合して環を形成していてもよい。Rf1およびRf1が表す置換基としては、上述した置換基Tで説明した基が挙げられる。
トリアジン骨格を有する硬化性化合物としては、下記式(Ta)で表される部分構造を有する化合物が挙げられる。式中波線は、結合手を表す。
(Ta)
Figure 0006837568
トリアジン骨格を有する硬化性化合物としては、下記式(Ta−1)で表される基を有する化合物であることも好ましい。
(Ta−1)
Figure 0006837568
式中波線は、結合手を表す。
〜Cはそれぞれ独立に、−NR−、−O−、又は、−S−を表す。Rは、水素原子、アルキル基(好ましくは炭素数1〜7)、又は、アリール基を表す。C〜Cはそれぞれ独立に、−NH−、−N(CH)−、−O−、又は、−S−が好ましく、−NH−がより好ましい。
Ar及びArは、それぞれ独立に、アリール基又はヘテロ環基を表す。アリール基としては、フェニル基が好ましい。ヘテロ環基は、芳香族性を示しても、示さなくてもよいが、芳香族性を示すのが好ましい。ヘテロ環を構成するヘテロ原子の数は1〜3が好ましい。ヘテロ環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。アリール基及びヘテロ環基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基Tで例示される基や、重合性基が挙げられる。重合性基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基が好ましい例として挙げられる。
Arは、アリーレン基又は二価のヘテロ環基を表す。アリーレン基としては、フェニレン基が好ましい。
は、単結合又は二価の連結基を表す。二価の連結基としては、−NH−、−O−、−CO−、−CO−O−、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜3)、又は、これらの組み合わせ(例えば、−O−アルキレン基−など)からなる基が好ましい。
トリアジン骨格を有する硬化性化合物の好ましい一例として、下記式(I)で表される化合物が挙げられる。
(A)−X−(B) (I)
式(I)中、mは、2以上の整数を表す。nは、0以上の整数を表す。
Aは、式(Ta−1)で表される基を表す。
Xは、m+n価の連結基を表す。
Bは、ポリマー鎖又は置換基を表す。
なお、複数存在するAは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。Bが複数存在する場合、複数存在するBは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
Xが表すm+n価の連結基としては、特に限定はないが、下記の構造単位または以下の構造単位が2以上組み合わさって構成される基(環構造を形成していてもよい)を挙げることができる。
Figure 0006837568
Bが表すポリマー鎖とは、所定の繰り返し単位を複数有する鎖である。ポリマー鎖の構造は特に制限されず、公知のポリマーから目的等に応じて選択できる。中でも、ポリマー鎖は、ビニルモノマーの重合体もしくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、アミド系ポリマー、エポキシ系ポリマー、及び、シリコーン系ポリマーからなる群より選択されるポリマーで構成されるポリマー鎖が好ましく、(メタ)アクリル化合物の重合体又は共重合体で構成されるポリマー鎖がより好ましい。ポリマー鎖は、置換基を有していてもよい。なお、置換基が複数存在する場合、複数存在する置換基は、同一でも異なっていてもよい。Bで表されるポリマー鎖の重量平均分子量は、200〜10000が好ましく、300〜5000がより好ましい。また、Bが表す置換基としては、上述の置換基Tで例示される基が挙げられる。
トリアジン骨格を有する硬化性化合物としては、下記式(Ta−10)で化合物であることも好ましい。
(Ta−10)
Figure 0006837568
〜Cはそれぞれ独立に、−NR−、−O−、又は、−S−を表す。Rは、水素原子、アルキル基(好ましくは炭素数1〜7)、又は、アリール基を表す。C〜Cはそれぞれ独立に、−NH−、−N(CH)−、−O−、又は、−S−が好ましく、−NH−がより好ましい。
Rt〜Rt15はそれぞれ独立に、水素原子または置換基を表し、Rt〜Rt15の少なくとも一つは重合性基を表す。置換基としては、上述した置換基Tで例示される基や、重合性基が挙げられる。重合性基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基が好ましい例として挙げられる。
Rt〜Rtの少なくとも一つと、Rt〜Rt10の少なくとも一つはそれぞれ重合性基を表すことが好ましく、Rt〜Rtのいずれか一つと、Rt〜Rt10のいずれか一つがそれぞれ重合性基を表すことがより好ましい。
本発明の組成物において、硬化性化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1〜80質量%であることが好ましい。下限は、0.5質量%以上が好ましく、1質量%以上がより好ましく、5質量%以上が更に好ましい。上限は、70質量%以下が好ましく、60質量%以下がより好ましく、50質量%以下が更に好ましく、40質量%以下がより一層好ましく、30質量%以下が特に好ましい。硬化性化合物は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
(重合性化合物)
重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物、エポキシ基を有する化合物、メチロール基を有する化合物、アルコキシメチル基を有する化合物等が挙げられる。重合性化合物は、モノマーであってもよく、樹脂であってもよい。エチレン性不飽和結合を有する基を有するモノマータイプの重合性化合物は、ラジカル重合性化合物として好ましく用いることができる。また、エポキシ基を有する化合物、メチロール基を有する化合物、アルコキシメチル基を有する化合物は、カチオン重合性化合物として好ましく用いることができる。
モノマータイプの重合性化合物の分子量は、2000未満であることが好ましく、100以上2000未満であることがより好ましく、200以上2000未満であることがさらに好ましい。上限は、例えば1500以下であることが好ましい。樹脂タイプの重合性化合物の重量平均分子量(Mw)は、2,000〜2,000,000であることが好ましい。上限は、1,000,000以下であることが好ましく、500,000以下であることがより好ましい。下限は、3,000以上であることが好ましく、5,000以上であることがより好ましい。
樹脂タイプの重合性化合物としては、エポキシ樹脂や、重合性基を有する繰り返し単位を含む樹脂などが挙げられる。重合性基を有する繰り返し単位としては、下記(A2−1)〜(A2−4)などが挙げられる。
Figure 0006837568
は、水素原子またはアルキル基を表す。アルキル基の炭素数は、1〜5が好ましく、1〜3がさらに好ましく、1が特に好ましい。Rは、水素原子またはメチル基が好ましい。
51は、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、−O−、−S−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO−、−NR10−(R10は水素原子あるいはアルキル基を表し、水素原子が好ましい)、または、これらの組み合わせからなる基が挙げられる。アルキレン基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。アルキレン基は、置換基を有していてもよいが、無置換が好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。また、環状のアルキレン基は、単環、多環のいずれであってもよい。アリーレン基の炭素数は、6〜18が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。
は、重合性基を表す。重合性基としては、エチレン性不飽和結合を有する基、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基などが挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物としては、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物の例としては、特開2013−253224号公報の段落番号0033〜0034の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物としては、エチレンオキシ変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としては、NKエステルATM−35E;新中村化学工業(株)製)、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としては、KAYARAD D−330;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としては、KAYARAD D−320;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としては KAYARAD D−310;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としては、KAYARAD DPHA;日本化薬(株)製、A−DPH−12E;新中村化学工業(株)製)、およびこれらの(メタ)アクリロイル基が、エチレングリコール残基および/またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造を有している化合物が好ましい。またこれらのオリゴマータイプも使用できる。また、特開2013−253224号公報の段落番号0034〜0038の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開2012−208494号公報の段落番号0477(対応する米国特許出願公開第2012/0235099号明細書の段落番号0585)に記載の重合性モノマー等が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、ジグリセリンEO(エチレンオキシド)変性(メタ)アクリレート(市販品としてはM−460;東亞合成製)、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(新中村化学工業(株)製、A−TMMT)、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート(日本化薬(株)製、KAYARAD HDDA)も好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。例えば、RP−1040(日本化薬(株)製)などが挙げられる。また、アロニックス M−350、TO−2349(東亞合成製)を使用することもできる。
エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物は、さらに、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等の酸基を有していてもよい。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のアロニックスシリーズ(例えば、M−305、M−510、M−520)などが挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物も好ましい態様である。カプロラクトン構造を有する化合物としては、特開2013−253224号公報の段落0042〜0045の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。カプロラクトン構造を有する化合物は、例えば、日本化薬(株)からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されている、DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120等が挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物として、エチレン性不飽和結合を有する基とアルキレンオキシ基を有する化合物を用いることもできる。エチレン性不飽和結合を有する基とアルキレンオキシ基を有する化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基と、エチレンオキシ基および/またはプロピレンオキシ基とを有する化合物が好ましく、エチレン性不飽和結合を有する基とエチレンオキシ基とを有する化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を4〜20個有する3〜6官能(メタ)アクリレート化合物がさらに好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基とアルキレンオキシ基を有する化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を4個有する4官能(メタ)アクリレートであるSR−494、イソブチレンオキシ基を3個有する3官能(メタ)アクリレートであるKAYARAD TPA−330などが挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物として、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物を用いることも好ましい。これらの骨格を有する化合物を用いることで、得られる膜の屈折率をより高めることができる。エチレン性不飽和結合を有する基とトリアジン骨格とを有する化合物としては、上述した(Ta)で表される部分構造を有する化合物が挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基とフルオレン骨格を有する化合物としては、上述した(Fr)で表される部分構造を有する化合物が挙げられる。また、エチレン性不飽和結合を有する基とフルオレン骨格を有する化合物については、特開2017−48367号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、エチレン性不飽和結合を有する基とフルオレン骨格を有する化合物の市販品としては、オグソールEA−0300(大阪ガスケミカル(株)製、フルオレン骨格を有する(メタ)アクリレートモノマー)などが挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物としては、特公昭48−41708号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載されているエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。また、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載されている分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることができる。市販品としては、UA−7200(新中村化学工業(株)製)、DPHA−40H(日本化薬(株)製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学(株))製などが挙げられる。
また、エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物としては、特許第6057891号公報に記載されている化合物を用いることもできる。
また、エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物としては、8UH−1006、8UH−1012(大成ファインケミカル(株)製)、ライトアクリレートPOB−A0(共栄社化学(株)製)などを用いることも好ましい。
本発明の組成物がエチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物を含有する場合、エチレン性不飽和結合を有する基を含む化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましく、5質量%以上が特に好ましい。上限は、80質量%以下が好ましく、70質量%以下がより好ましく、60質量%以下が更に好ましく、50質量%以下がより一層好ましく、40質量%以下が更に一層好ましく、30質量%以下が特に好ましい。
エポキシ基を有する化合物(以下、エポキシ化合物ともいう)としては、単官能または多官能グリシジルエーテル化合物や、多官能脂肪族グリシジルエーテル化合物などが挙げられる。また、エポキシ化合物としては、脂環式エポキシ基を有する化合物を用いることもできる。
エポキシ化合物としては、1分子にエポキシ基を1つ以上有する化合物が挙げられる。エポキシ化合物はエポキシ基を1分子に1〜100個有する化合物が好ましい。エポキシ基の数の上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。エポキシ基の下限は2個以上が好ましい。
エポキシ化合物は、低分子化合物(例えば、分子量1000未満)でもよいし、高分子化合物(macromolecule)(例えば、分子量1000以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が1000以上)のいずれでもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、2000〜100000が好ましい。重量平均分子量の上限は、10000以下が好ましく、5000以下がより好ましく、3000以下が更に好ましい。
エポキシ化合物の市販品としては、EHPE3150((株)ダイセル製)、EPICLON N−695(DIC(株)製)、アデカグリシロール ED−505((株)ADEKA製、エポキシ基含有モノマー)、マープルーフG−0150M、G−0105SA、G−0130SP、G−0250SP、G−1005S、G−1005SA、G−1010S、G−2050M、G−01100、G−01758(日油(株)製、エポキシ基含有ポリマー)などが挙げられる。また、エポキシ化合物としては、特開2013−011869号公報の段落番号0034〜0036、特開2014−043556号公報の段落番号0147〜0156、特開2014−089408号公報の段落番号0085〜0092に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
本発明の組成物がエポキシ化合物を含有する場合、エポキシ化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましく、5質量%以上が特に好ましい。上限は、80質量%以下が好ましく、70質量%以下がより好ましく、60質量%以下が更に好ましく、50質量%以下がより一層好ましく、40質量%以下が更に一層好ましく、30質量%以下が特に好ましい。
メチロール基を有する化合物(以下、メチロール化合物ともいう)としては、メチロール基が、窒素原子または芳香族環を形成する炭素原子に結合している化合物が挙げられる。また、アルコキシメチル基を有する化合物(以下、アルコキシメチル化合物ともいう)としては、アルコキシメチル基が窒素原子または芳香族環を形成する炭素原子に結合している化合物が挙げられる。アルコキシメチル基またはメチロール基が、窒素原子に結合している化合物としては、アルコキシメチル化メラミン、メチロール化メラミン、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン、メチロール化ベンゾグアナミン、アルコキシメチル化グリコールウリル、メチロール化グリコールウリル、アルコキシメチル化尿素およびメチロール化尿素等が好ましい。また、特開2004−295116号公報の段落0134〜0147、特開2014−089408の段落0095〜0126の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の組成物がメチロール化合物を含有する場合、メチロール化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましく、5質量%以上が特に好ましい。上限は、80質量%以下が好ましく、70質量%以下がより好ましく、60質量%以下が更に好ましく、50質量%以下がより一層好ましく、40質量%以下が更に一層好ましく、30質量%以下が特に好ましい。
本発明の組成物がアルコキシメチル化合物を含有する場合、アルコキシメチル化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましく、5質量%以上が特に好ましい。上限は、80質量%以下が好ましく、70質量%以下がより好ましく、60質量%以下が更に好ましく、50質量%以下がより一層好ましく、40質量%以下が更に一層好ましく、30質量%以下が特に好ましい。
(樹脂)
本発明の組成物は、硬化性化合物として樹脂を用いることができる。硬化性化合物は、樹脂を少なくとも含むものを用いることが好ましい。樹脂は分散剤として用いることもできる。なお、顔料などを分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。なお、重合性基を有する樹脂は、重合性化合物にも該当する。
樹脂の重量平均分子量(Mw)は、2,000〜2,000,000が好ましい。上限は、1,000,000以下が好ましく、500,000以下がより好ましい。下限は、3,000以上が好ましく、5,000以上がより好ましい。
樹脂としては、(メタ)アクリル樹脂、エポキシ樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、上述した重合性化合物の欄で説明したエポキシ化合物として例示した化合物のうちポリマータイプの化合物が挙げられる。環状オレフィン樹脂の市販品としては、ARTON F4520(JSR(株)製)などが挙げられる。また、国際公開WO2016/088645号公報の実施例に記載された樹脂、特開2017−57265号公報に記載された樹脂、特開2017−32685号公報に記載された樹脂、特開2017−075248号公報に記載された樹脂、特開2017−066240号公報に記載された樹脂を用いることもでき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明においては、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する樹脂を好ましく用いることもできる。フルオレン骨格およびトリアジン骨格は、繰り返し単位の主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。これらの骨格を有する樹脂を用いることで、得られる膜の屈折率をより高めることができる。トリアジン骨格を有する樹脂としては、上述した(Ta)で表される部分構造を有する樹脂が挙げられる。フルオレン骨格を有する樹脂としては、上述した(Fr)で表される部分構造を有する樹脂が挙げられる。フルオレン骨格を有する樹脂の具体例としては、下記構造の樹脂が挙げられる。以下の構造式中、Aは、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物から選択されるカルボン酸二無水物の残基であり、Mはフェニル基またはベンジル基である。フルオレン骨格を有する樹脂については、米国特許出願公開第2017/0102610号公報、特許第6031807号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、トリアジン骨格を有する樹脂の具体例としては、下記構造の樹脂が挙げられる。また、トリアジン骨格を有する樹脂としては。特開2017−133035号公報の段落番号0013〜0032に記載された樹脂が挙げられる。
Figure 0006837568
本発明においては、側鎖にカルバゾール骨格を有する樹脂を好ましく用いることもできる。このような樹脂を用いることで、得られる膜の屈折率をより高めることができる。側鎖にカルバゾール骨格を有する樹脂としては下記構造の樹脂が挙げられる。
Figure 0006837568
本発明で用いる樹脂は、酸基を有していてもよい。酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。酸基を有する樹脂はアルカリ可溶性樹脂として用いることもできる。
酸基を有する樹脂としては、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。具体例としては、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシ基を有するポリマーに酸無水物を付加させた樹脂が挙げられる。特に、(メタ)アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル(メタ)アクリレートおよびアリール(メタ)アクリレートとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また他のモノマーは、特開平10−300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマー、例えば、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等を用いることもできる。なお、これらの(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
酸基を有する樹脂は、更に重合性基を有する繰り返し単位を含有していてもよい。酸基を有する樹脂が、更に重合性基を有する繰り返し単位を含有する場合、全繰り返し単位中における重合性基を有する繰り返し単位の含有量は、10〜90モル%であることが好ましく、20〜90モル%であることがより好ましく、20〜85モル%であることがさらに好ましい。また、全繰り返し単位中における酸基を有する繰り返し単位の含有量は、1〜50モル%であることが好ましく、5〜40モル%であることがより好ましく、5〜30モル%であることがさらに好ましい。
酸基を有する樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体が好ましく用いることができる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートを共重合したもの、特開平7−140654号公報に記載の、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。
酸基を有する樹脂は、下記式(ED1)で示される化合物および/または下記式(ED2)で表される化合物(以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。)を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。
Figure 0006837568
式(ED1)中、RおよびRは、各々独立に水素原子または置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基を表す。
Figure 0006837568
式(ED2)中、Rは、水素原子または炭素数1〜30の有機基を表す。式(ED2)で表される化合物の具体例としては、特開2010−168539号公報の記載を参酌できる。
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0317を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
酸基を有する樹脂は、下記式(X)で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。
Figure 0006837568
式(X)において、Rは、水素原子またはメチル基を表し、Rは炭素数2〜10のアルキレン基を表し、Rは、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数1〜20のアルキル基を表す。nは1〜15の整数を表す。
酸基を有する樹脂については、特開2012−208494号公報の段落番号0558〜0571(対応する米国特許出願公開第2012/0235099号明細書の段落番号0685〜0700)の記載、特開2012−198408号公報の段落番号0076〜0099の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸基を有する樹脂は市販品を用いることもできる。例えば、アクリベースFF−426(藤倉化成(株)製)などが挙げられる。
酸基を有する樹脂の酸価は、30〜200mgKOH/gが好ましい。下限は、50mgKOH/g以上が好ましく、70mgKOH/g以上がより好ましい。上限は、150mgKOH/g以下が好ましく、120mgKOH/g以下がより好ましい。
酸基を有する樹脂としては、例えば下記構造の樹脂などが挙げられる。以下の構造式中、Meはメチル基を表す。
Figure 0006837568
本発明の組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤(酸性樹脂)、塩基性分散剤(塩基性樹脂)が挙げられる。ここで、酸性分散剤(酸性樹脂)とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤(酸性樹脂)は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、酸基の量が70モル%以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤(酸性樹脂)が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤(酸性樹脂)の酸価は、40〜105mgKOH/gが好ましく、50〜105mgKOH/gがより好ましく、60〜105mgKOH/gがさらに好ましい。また、塩基性分散剤(塩基性樹脂)とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤(塩基性樹脂)は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、塩基性基の量が50モル%を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。
分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。分散剤として用いる樹脂が酸基を有する繰り返し単位を含むことにより、フォトリソグラフィ法によりパターン形成する際、画素の下地に発生する残渣をより低減することができる。
分散剤として用いる樹脂は、グラフト共重合体であることも好ましい。グラフト共重合体は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、顔料の分散性、及び、経時後の分散安定性に優れる。グラフト共重合体の詳細は、特開2012−255128号公報の段落番号0025〜0094の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、グラフト共重合体の具体例としては、下記の樹脂が挙げられる。以下の樹脂は酸基を有する樹脂(アルカリ可溶性樹脂)でもある。また、グラフト共重合体としては特開2012−255128号公報の段落番号0072〜0094に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
Figure 0006837568
また、本発明において、樹脂(分散剤)は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることも好ましい。オリゴイミン系分散剤としては、pKa14以下の官能基を有する部分構造Xを有する構造単位と、原子数40〜10,000の側鎖Yを含む側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。オリゴイミン系分散剤については、特開2012−255128号公報の段落番号0102〜0166の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。オリゴイミン系分散剤としては、下記構造の樹脂や、特開2012−255128号公報の段落番号0168〜0174に記載の樹脂を用いることができる。
Figure 0006837568
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ビックケミージャパン(株)製のDISPERBYKシリーズ(例えば、DISPERBYK2000)などが挙げられる。また、特開2014−130338号公報の段落番号0041〜0130に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、上述した酸基を有する樹脂などを分散剤として用いることもできる。
本発明の組成物が樹脂を含有する場合、樹脂の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対し、0.1〜50質量%が好ましい。下限は、1質量%以上が好ましく、3質量%以上がより好ましく、5質量%以上が更に好ましく、10質量%以上が特に好ましい。上限は、40質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。また、酸基を有する樹脂の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対し、0.1〜50質量%が好ましい。下限は、1質量%以上が好ましく、3質量%以上がより好ましく、5質量%以上が更に好ましく、10質量%以上が特に好ましい。上限は、40質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。本発明の組成物は、樹脂を、1種のみを含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。2種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物が重合性化合物(好ましくはエチレン性不飽和結合を有する基を有するモノマータイプの重合性化合物)と樹脂とを含む場合、重合性化合物と、樹脂との質量比は、重合性化合物/樹脂=0.4〜1.4であることが好ましい。上記質量比の下限は0.5以上が好ましく、0.6以上がより好ましい。上記質量比の上限は1.3以下が好ましく、1.2以下がより好ましい。上記質量比が、上記範囲であれば、より矩形性に優れたパターンを形成することができる。
また、重合性化合物(好ましくはエチレン性不飽和結合を有する基を有するモノマータイプの重合性化合物)と酸基を有する樹脂との質量比は、重合性化合物/酸基を有する樹脂=0.4〜1.4であることが好ましい。上記質量比の下限は0.5以上が好ましく、0.6以上がより好ましい。上記質量比の上限は1.3以下が好ましく、1.2以下がより好ましい。上記質量比が、上記範囲であれば、より矩形性に優れたパターンを形成することができる。
<<フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物>>>
本発明の組成物は、硬化性化合物以外の成分として、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物を含有することもできる。すなわち、重合性化合物やポリマー以外の化合物として、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物を含有することもできる。このような化合物を含有させることで、得られる膜の屈折率をより向上させることができる。
本発明の組成物が上記骨格を有する化合物を含む場合、上記骨格を有する化合物の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対し、1〜16質量%が好ましい。下限は、2質量%以上が好ましく、3質量%以上がより好ましく、4質量%以上が更に好ましく、5質量%以上が特に好ましい。上限は、14質量%以下がより好ましく、12質量%以下が更に好ましい。
<<無機粒子>>
本発明の組成物は、無機粒子を含むことが好ましい。無機粒子としては、屈折率が高く、無色、白色、又は、透明な無機粒子であることが好ましく、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、亜鉛(Zn)、又は、マグネシウム(Mg)等の酸化物粒子が好ましく、二酸化チタン(TiO)粒子、酸化ジルコニウム(ZrO)粒子、又は、二酸化珪素(SiO)粒子がより好ましく、二酸化チタン粒子が特に好ましい。二酸化チタン粒子の純度は70%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましく、85%以上であることが更に好ましい。なお、二酸化チタン粒子の純度とは、式TiOで表される成分の含有量のことである。また、二酸化チタン粒子は、式Ti2n−1(nは2〜4の数を表す。)で表される低次酸化チタン、酸窒化チタン等の含有量が30質量%以下であることが好ましく、20質量%以下であることがより好ましく、15質量%以下であることが更に好ましい。
本発明で用いられる無機粒子の平均一次粒子径は、1〜100nmであることが好ましく、1〜80nmであることがより好ましく、1〜50nmであることが特に好ましい。なお。本発明における無機粒子の平均一次粒子径は、無機粒子を含む混合液又は分散液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで80倍に希釈し、得られた希釈液について動的光散乱法を用いて測定することにより得られた値のことを言う。この測定値は、日機装株式会社製マイクロトラックUPA−EX150を用いて得られた数平均粒子径のこととする。
無機粒子の屈折率は、1.75〜2.70であることが好ましく、1.90〜2.70であることが更に好ましい。無機粒子の比表面積は、10〜400m/gであることが好ましく、20〜200m/gであることがより好ましく、30〜150m/gであることが更に好ましい。無機粒子の形状には特に制限はない。例えば、米粒状、球形状、立方体状、紡錘形状あるいは不定形状などが挙げられる。
本発明で用いられる無機粒子は、有機化合物により表面処理されたものであってもよい。表面処理に用いられる有機化合物としては、ポリオール、アルカノールアミン、ステアリン酸、シランカップリング剤及びチタネートカップリング剤が挙げられ、シランカップリング剤が好ましい。表面処理は、1種単独の表面処理剤でも、2種類以上の表面処理剤を組み合わせて実施してもよい。また無機粒子の表面が、アルミニウム、ケイ素、ジルコニアなどの酸化物により覆われていることもまた好ましい。
無機粒子としては、市販されているものを好ましく用いることができる。二酸化チタン粒子の市販物としては、例えば石原産業(株)製TTOシリーズ(TTO−51(A)、TTO−51(C)など)、TTO−S、Vシリーズ(TTO−S−1、TTO−S−2、TTO−V−3など)、テイカ(株)製MTシリーズ(MT−01、MT−05など)などが挙げられる。二酸化ジルコニウム粒子の市販物としては、例えば、UEP(第一稀元素化学工業(株)製)、PCS(日本電工(株)製)、JS−01、JS−03、JS−04(日本電工(株)製)、UEP−100(第一稀元素化学工業(株)製)などが挙げられる。二酸化珪素粒子の市販物としては、例えば、OG502−31クラリアント社製などが挙げられる。
無機粒子の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1〜40質量%であることが好ましい。上限は、30質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましい。下限は1質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましい。
無機粒子の含有量は、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と、近赤外線吸収色素と無機粒子との合計量に対して、1〜60質量%であることが好ましい。上限は、50質量%以下が好ましく、40質量%以下がより好ましい。下限は5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましい。
また、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と近赤外線吸収色素と無機粒子との合計量は、組成物の全固形分に対して、1〜70質量%であることが好ましい。上限は、60質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましい。下限は10質量%以上が好ましく、20質量%以上がより好ましい。
本発明において無機粒子は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<<光重合開始剤>>
本発明の組成物は、光重合開始剤を含有することができる。光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤などが挙げられる。重合性化合物の種類に応じて選択して用いることが好ましい。重合性化合物として、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物などのラジカル重合性化合物を用いた場合においては、光重合開始剤として光ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。また、重合性化合物としてカチオン重合性化合物を用いた場合においては、光重合開始剤として光カチオン重合開始剤を用いることが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。
光重合開始剤の含有量は、組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が更に好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、より良好な感度とパターン形成性が得られる。本発明の組成物は、光重合開始剤を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。光重合開始剤を2種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
(光ラジカル重合開始剤)
光ラジカル重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など)、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および3−アリール置換クマリン化合物が好ましく、オキシム化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光ラジカル重合開始剤としては、特開2014−130173号公報の段落0065〜0111の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959、IRGACURE−127(以上、BASF社製)などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、IRGACURE−907、IRGACURE−369、IRGACURE−379、及び、IRGACURE−379EG(以上、BASF社製)などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、IRGACURE−819、DAROCUR−TPO(以上、BASF社製)などが挙げられる。
オキシム化合物としては、特開2001−233842号公報に記載の化合物、特開2000−80068号公報に記載の化合物、特開2006−342166号公報に記載の化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.1653−1660)に記載の化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.156−162)に記載の化合物、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年、pp.202−232)に記載の化合物、特開2000−66385号公報に記載の化合物、特開2000−80068号公報に記載の化合物、特表2004−534797号公報に記載の化合物、特開2006−342166号公報に記載の化合物、特開2017−19766号公報に記載の化合物、特許第6065596号公報に記載の化合物、国際公開WO2015/152153号公報に記載の化合物、国際公開WO2017/051680公報に記載の化合物などがあげられる。オキシム化合物の具体例としては、3−ベンゾイルオキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、及び2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどが挙げられる。市販品としては、IRGACURE−OXE01、IRGACURE−OXE02、IRGACURE−OXE03、IRGACURE−OXE04(以上、BASF社製)、TR−PBG−304(常州強力電子新材料有限公司製)、アデカオプトマーN−1919((株)ADEKA製、特開2012−14052号公報に記載の光重合開始剤2)が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズNCI−730、NCI−831、NCI−930(以上、(株)ADEKA製)などが挙げられる。
本発明において、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2014−137466号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明において、光ラジカル重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010−262028号公報に記載の化合物、特表2014−500852号公報に記載の化合物24、36〜40、特開2013−164471号公報に記載の化合物(C−3)などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明において、光ラジカル重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2013−114249号公報の段落番号0031〜0047、特開2014−137466号公報の段落番号0008〜0012、0070〜0079に記載されている化合物、特許4223071号公報の段落番号0007〜0025に記載されている化合物、アデカアークルズNCI−831((株)ADEKA製)が挙げられる。
本発明において、光ラジカル重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開WO2015/036910号公報に記載されるOE−01〜OE−75が挙げられる。
本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
Figure 0006837568
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オキシム化合物は、波長350〜500nmの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、波長360〜480nmの範囲に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物の波長365nm又は波長405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、高いことが好ましく、1,000〜300,000であることがより好ましく、2,000〜300,000であることが更に好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計(Varian社製Cary−5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明は、光ラジカル重合開始剤として、2官能あるいは3官能以上の光ラジカル重合開始剤を用いてもよい。そのような光ラジカル重合開始剤の具体例としては、特表2010−527339号公報、特表2011−524436号公報、国際公開WO2015/004565号公報、特表2016−532675号公報の段落番号0417〜0412、国際公開WO2017/033680号公報の段落番号0039〜0055に記載されているオキシム化合物の2量体や、特表2013−522445号公報に記載されている化合物(E)および化合物(G)、国際公開WO2016/034963号公報に記載されているCmpd1〜7などが挙げられる。
光ラジカル重合開始剤は、オキシム化合物とα−アミノケトン化合物とを含むことも好ましい。両者を併用することで、現像性が向上し、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。オキシム化合物とα−アミノケトン化合物とを併用する場合、オキシム化合物100質量部に対して、α−アミノケトン化合物が50〜600質量部が好ましく、150〜400質量部がより好ましい。
光ラジカル重合開始剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が更に好ましい。光ラジカル重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、より良好な感度とパターン形成性が得られる。本発明の組成物は、光ラジカル重合開始剤を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。光ラジカル重合開始剤を2種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
(光カチオン重合開始剤)
光カチオン重合開始剤としては、光酸発生剤が挙げられる。光酸発生剤としては、光照射により分解して酸を発生する、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩などのオニウム塩化合物、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネート等のスルホネート化合物などを挙げることができる。光カチオン重合開始剤の詳細については特開2009−258603号公報の段落番号0139〜0214の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
光カチオン重合開始剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が更に好ましい。光カチオン重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、より良好な感度とパターン形成性が得られる。本発明の組成物は、光カチオン重合開始剤を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。光カチオン重合開始剤を2種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<多官能チオール>>
本発明の組成物は多官能チオールを含有することができる。多官能チオールは、チオール(SH)基を2個以上有する化合物である。多官能チオールは上述の光ラジカル重合開始剤とともに使用することにより、光照射後のラジカル重合過程において、連鎖移動剤として働き、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生するので組成物の感度を高めることができる。特にSH基がメチレン、エチレン基等の脂肪族基に結合した多官能脂肪族チオールが好ましい。
多官能チオールとしては、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールエタントリス(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6−トリメルカプト−s−トリアジン、2−(N,N−ジブチルアミノ)−4,6−ジメルカプト−s−トリアジンなどが挙げられる。また、下記構造の化合物も挙げられる。
Figure 0006837568
多官能チオールの含有量は、本発明の組成物の全固形分に対し0.1〜20質量%が好ましく、0.1〜15質量%がより好ましく、0.1〜10質量%が更に好ましい。本発明の組成物は、多官能チオールを1種のみを含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。2種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<エポキシ樹脂硬化剤>>
本発明の組成物がエポキシ樹脂を含む場合、エポキシ樹脂硬化剤をさらに含むことが好ましい。エポキシ樹脂硬化剤としては、例えばアミン系化合物、酸無水物系化合物、アミド系化合物、フェノール系化合物、多価カルボン酸などが挙げられる。エポキシ樹脂硬化剤としては耐熱性、硬化物の透明性という観点から多価カルボン酸が好ましく、分子内に二つ以上のカルボン酸無水物基を有する化合物が最も好ましい。エポキシ樹脂硬化剤の具体例としては、ブタン二酸などが挙げられる。エポキシ樹脂硬化剤の詳細については、段落番号0072〜0078を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
エポキシ樹脂硬化剤の含有量は、エポキシ樹脂100質量部に対し、0.01〜20質量部が好ましく、0.01〜10質量部がより好ましく、0.1〜6.0質量部がさらに好ましい。
<<顔料誘導体>>
本発明の組成物は、更に顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、顔料の一部を、酸基、塩基性基、塩構造を有する基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体としては、式(B1)で表される化合物が好ましい。
Figure 0006837568
式(B1)中、Pは色素構造を表し、Lは単結合または連結基を表し、Xは酸基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミドメチル基を表し、mは1以上の整数を表し、nは1以上の整数を表し、mが2以上の場合は複数のLおよびXは互いに異なっていてもよく、nが2以上の場合は複数のXは互いに異なっていてもよい。
Pが表す色素構造としては、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、キナクリドン色素構造、アントラキノン色素構造、ジアントラキノン色素構造、ベンゾイソインドール色素構造、チアジンインジゴ色素構造、アゾ色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、ナフタロシアニン色素構造、ジオキサジン色素構造、ペリレン色素構造、ペリノン色素構造、ベンゾイミダゾロン色素構造、ベンゾチアゾール色素構造、ベンゾイミダゾール色素構造およびベンゾオキサゾール色素構造から選ばれる少なくとも1種が好ましく、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、キナクリドン色素構造およびベンゾイミダゾロン色素構造から選ばれる少なくとも1種が更に好ましく、ピロロピロール色素構造が特に好ましい。
Lが表す連結基としては、炭化水素基、複素環基、−NR−、−SO2−、−S−、−O−、−CO−もしくはこれらの組み合わせからなる基が挙げられる。Rは水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
Xが表す酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、カルボン酸アミド基、スルホン酸アミド基、イミド酸基等が挙げられる。カルボン酸アミド基としては、−NHCORX1で表される基が好ましい。スルホン酸アミド基としては、−NHSOX2で表される基が好ましい。イミド酸基としては、−SONHSOX3、−CONHSOX4、−CONHCORX5または−SONHCORX6で表される基が好ましい。RX1〜RX6は、それぞれ独立に、炭化水素基または複素環基を表す。RX1〜RX6が表す、炭化水素基および複素環基は、さらに置換基を有してもよい。さらなる置換基としては、上述した式(PP)で説明した置換基Tが挙げられ、ハロゲン原子であることが好ましく、フッ素原子であることがより好ましい。Xが表す塩基性基としてはアミノ基が挙げられる。Xが表す塩構造としては、上述した酸基または塩基性基の塩が挙げられる。
顔料誘導体としては、下記構造の化合物が挙げられる。以下の構造式中、Etはエチル基を表し、Phはフェニル基を表す。また、顔料誘導体としては、特開昭56−118462号公報、特開昭63−264674号公報、特開平1−217077号公報、特開平3−9961号公報、特開平3−26767号公報、特開平3−153780号公報、特開平3−45662号公報、特開平4−285669号公報、特開平6−145546号公報、特開平6−212088号公報、特開平6−240158号公報、特開平10−30063号公報、特開平10−195326号公報、国際公開WO2011/024896号公報の段落番号0086〜0098、国際公開WO2012/102399号公報の段落番号0063〜0094、国際公開WO2017/038252号公報の段落番号0082等に記載の化合物、特許第5299151号公報に記載の化合物を用いることもでき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Figure 0006837568
本発明の組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料100質量部に対し、1〜50質量部が好ましい。下限値は、3質量部以上が好ましく、5質量部以上がより好ましい。上限値は、40質量部以下が好ましく、30質量部以下がより好ましい。顔料誘導体の含有量が上記範囲であれば、顔料の分散性を高めて、顔料の凝集を効率よく抑制できる。顔料誘導体は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<溶剤>>
本発明の組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤の例としては、例えば、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0223を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ジクロロメタン、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられる。本発明において有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等)は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、有機溶剤全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下とすることもでき、10質量ppm以下とすることもでき、1質量ppm以下とすることもできる)。
本発明においては、金属含有量の少ない溶剤を用いることが好ましく、溶剤の金属含有量は、例えば10質量ppb(parts per billion)以下であることが好ましい。必要に応じて質量ppt(parts per trillion)レベルの溶剤を用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している(化学工業日報、2015年11月13日)。
溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留(分子蒸留や薄膜蒸留等)やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、10μm以下が好ましく、5μm以下がより好ましく、3μm以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。
溶剤は、異性体(原子数が同じであるが構造が異なる化合物)が含まれていてもよい。また、異性体は、1種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が0.8mmol/L以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。
溶剤の含有量は、本発明の組成物の全量に対し、10〜99質量%であることが好ましい。上限は、95質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましい。下限は、30質量%以上が好ましく、40質量%以上がより好ましく、50質量%以上が更に好ましく、60質量%以上がより一層好ましく、70質量%以上が特に好ましい。
<<重合禁止剤>>
本発明の組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、p−メトキシフェノールが好ましい。重合禁止剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.001〜5質量%が好ましい。
<<シランカップリング剤>>
本発明の組成物はシランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤は、特開2009−288703号公報の段落番号0018〜0036に記載の化合物、特開2009−242604号公報の段落番号0056〜0066に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
シランカップリング剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.01〜15.0質量%が好ましく、0.05〜10.0質量%がより好ましい。シランカップリング剤は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<界面活性剤>>
本発明の組成物は界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤は、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0238〜0245を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明において、界面活性剤は、フッ素系界面活性剤であることが好ましい。本発明の組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性(特に、流動性)がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好適であり、より好ましくは5〜30質量%であり、特に好ましくは7〜25質量%である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
フッ素系界面活性剤として具体的には、特開2014−41318号公報の段落番号0060〜0064(対応する国際公開2014/17669号公報の段落番号0060〜0064)等に記載の界面活性剤、特開2011−132503号公報の段落番号0117〜0132に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックF171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780、EXP、MFS−330(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、FC431、FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、SC−101、SC−103、SC−104、SC−105、SC−1068、SC−381、SC−383、S−393、KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PolyFox PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上、OMNOVA社製)等が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、DIC(株)製のメガファックDSシリーズ(化学工業日報、2016年2月22日)(日経産業新聞、2016年2月23日)、例えばメガファックDS−21が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開2016−216602号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開2011−89090号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
Figure 0006837568
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜50,000であり、例えば、14,000である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す%はモル%である。
また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開2010−164965号公報の段落番号0050〜0090および段落番号0289〜0295に記載された化合物、例えばDIC(株)製のメガファックRS−101、RS−102、RS−718K、RS−72−K等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開2015−117327号公報の段落番号0015〜0158に記載の化合物を用いることもできる。
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF社製)、テトロニック304、701、704、901、904、150R1(BASF社製)、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製)、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002(和光純薬工業(株)製)、パイオニンD−6112、D−6112−W、D−6315(竹本油脂(株)製)、オルフィンE1010、サーフィノール104、400、440(日信化学工業(株)製)などが挙げられる。
界面活性剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.001質量%〜5.0質量%が好ましく、0.005〜3.0質量%がより好ましい。界面活性剤は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<紫外線吸収剤>>
本発明の組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、アゾメチン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開2012−208374号公報の段落番号0052〜0072、特開2013−68814号公報の段落番号0317〜0334、特開2016−162946号公報の段落番号0061〜0080の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。共役ジエン化合物の市販品としては、例えば、UV−503(大東化学(株)製)などが挙げられる。インドール化合物としては下記構造の化合物が挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)を用いてもよい。
Figure 0006837568
本発明においては、紫外線吸収剤として、式(UV−1)〜式(UV−3)で表される化合物を好ましく用いることもできる。
Figure 0006837568
式(UV−1)において、R101及びR102は、各々独立に、置換基を表し、m1およびm2は、それぞれ独立して0〜4を表す。式(UV−2)において、R201及びR202は、各々独立に、水素原子またはアルキル基を表し、R203及びR204は、各々独立に、置換基を表す。式(UV−3)において、R301〜R303は、各々独立に、水素原子またはアルキル基を表し、R304及びR305は、各々独立に、置換基を表す。
式(UV−1)〜式(UV−3)で表される化合物の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
Figure 0006837568
本発明の組成物において、紫外線吸収剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.01〜10質量%が好ましく、0.01〜5質量%がより好ましい。本発明において、紫外線吸収剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<酸化防止剤>>
本発明の組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位(オルト位)に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数1〜22の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。リン系酸化防止剤としてはトリス[2−[[2,4,8,10−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)ジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、トリス[2−[(4,6,9,11−テトラ−tert−ブチルジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−2−イル)オキシ]エチル]アミン、亜リン酸エチルビス(2,4−ジ−tert−ブチル−6−メチルフェニル)などが挙げられる。酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブ AO−20、アデカスタブ AO−30、アデカスタブ AO−40、アデカスタブ AO−50、アデカスタブ AO−50F、アデカスタブ AO−60、アデカスタブ AO−60G、アデカスタブ AO−80、アデカスタブ AO−330(以上、(株)ADEKA)などが挙げられる。また、酸化防止剤として、国際公開WO17/006600号公報に記載された多官能ヒンダードアミン酸化防止剤を用いることもできる。
酸化防止剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.01〜20質量%であることが好ましく、0.3〜15質量%であることがより好ましい。酸化防止剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<その他成分>>
本発明の組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開2012−003225号公報の段落番号0183以降(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落番号0237)の記載、特開2008−250074号公報の段落番号0101〜0104、0107〜0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、100〜250℃で加熱するか、又は酸/塩基触媒存在下で80〜200℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開WO2014/021023号公報、国際公開WO2017/030005号公報、特開2017−008219号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズGPA−5001((株)ADEKA製)等が挙げられる。
また、本発明の組成物は、導電性高分子やカーボンなどの導電性物質を含有することも好ましい。導電性物質を含有することで極大値をより高くし易い。本発明の組成物が導電性物質を含有する場合、導電性物質の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.1〜30質量%であることが好ましく、1〜20質量%であることがより好ましい。
本発明の組成物の粘度(23℃)は、例えば、塗布により膜を形成する場合、1〜100mPa・sであることが好ましい。下限は、2mPa・s以上がより好ましく、3mPa・s以上が更に好ましい。上限は、50mPa・s以下がより好ましく、30mPa・s以下が更に好ましく、15mPa・s以下が特に好ましい。
本発明の組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収納容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を6種6層の樹脂で構成する多層ボトルや6種の樹脂を7層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開2015−123351号公報に記載の容器が挙げられる。
本発明の組成物の用途は、特に限定されない。例えば、赤外線透過フィルタなどの形成に好ましく用いることができる。
<組成物の調製方法>
本発明の組成物は、前述の成分を混合して調製できる。組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解または分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜配合した2つ以上の溶液または分散液をあらかじめ調製し、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
また、本発明の組成物が顔料などの粒子を含む場合は、粒子を分散させるプロセスを含むことが好ましい。粒子を分散させるプロセスにおいて、粒子の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル(ビーズミル)における粒子の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、粒子を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」や「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」、特開2015−157893号公報の段落番号0022に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また粒子を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開2015−194521号公報、特開2012−046629号公報の記載を参酌できる。
組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素樹脂、ナイロン(例えばナイロン−6、ナイロン−6,6)等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む)等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)およびナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.01〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01〜3.0μm程度であり、更に好ましくは0.05〜0.5μm程度である。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物を確実に除去できる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。具体的には、ロキテクノ社製のSBPタイプシリーズ(SBP008など)、TPRタイプシリーズ(TPR002、TPR005など)、SHPXタイプシリーズ(SHPX003など)のフィルタカートリッジが挙げられる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタ(例えば、第1のフィルタと第2のフィルタなど)を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。
また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社(DFA4201NXEYなど)、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、第1のフィルタと同様の素材等で形成されたものを使用することができる。
また、第1のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタでろ過を行ってもよい。
本発明の組成物の全固形分(固形分濃度)は、適用方法により変更されるが、例えば、1〜50質量%であることが好ましい。下限は5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましい。上限は40質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましい。
<パターン形成方法>
次に、本発明の組成物を用いたパターン形成方法について説明する。パターン形成方法は、本発明の組成物を用いて支持体上に組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、組成物層に対してパターンを形成する工程と、を含むことが好ましい。
フォトリソグラフィ法でのパターン形成は、本発明の組成物を用いて支持体上に組成物層を形成する工程と、組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去してパターンを形成する工程と、を含むことが好ましい。また、ドライエッチング法でのパターン形成は、本発明の組成物を用いて支持体上に組成物層を形成し、支持体上の組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、この硬化物層上にパターニングされたレジスト層を形成し、次いで、パターニングされたレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングするなどの方法で行うことができる。以下、各工程について説明する。
<<組成物層を形成する工程>>
組成物層を形成する工程では、本発明の組成物を用いて、支持体上に組成物層を形成する。支持体としては、例えば、シリコン、無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスなどの材質で構成された基板が挙げられる。また、InGaAs基板などを用いることも好ましい。また、支持体には、電荷結合素子(CCD)、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、支持体には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、支持体には、必要により、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
支持体への組成物の適用方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法(ドロップキャスト);スリットコート法;スプレー法;ロールコート法;回転塗布法(スピンコーティング);流延塗布法;スリットアンドスピン法;プリウェット法(たとえば、特開2009−145395号公報に記載されている方法);インクジェット(例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式)、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法;金型等を用いた転写法;ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット−特許に見る無限の可能性−、2005年2月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法(特に115ページ〜133ページ)や、特開2003−262716号公報、特開2003−185831号公報、特開2003−261827号公報、特開2012−126830号公報、特開2006−169325号公報などに記載の方法が挙げられる。また、樹脂組成物の塗布方法については、国際公開WO2017/030174号公報、国際公開WO2017/018419号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
支持体上に形成した組成物層は、乾燥(プリベーク)してもよい。低温プロセスによりパターンを形成する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、110℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、50℃以上とすることができ、80℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、10〜3000秒が好ましく、40〜2500秒がより好ましく、80〜2200秒が更に好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
(フォトリソグラフィ法でパターン形成する場合)
<<露光工程>>
次に、組成物層をパターン状に露光する(露光工程)。例えば、組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、組成物層をパターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく、i線がより好ましい。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cmが好ましく、0.05〜1.0J/cmがより好ましく、0.08〜0.5J/cmが最も好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(例えば、15体積%、5体積%、実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(例えば、22体積%、30体積%、50体積%)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常1000W/m〜100000W/m(例えば、5000W/m、15000W/m、35000W/m)の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m、酸素濃度35体積%で照度20000W/mなどとすることができる。
<<現像工程>>
次に、露光後の組成物層における未露光部の組成物層を現像除去してパターンを形成する。未露光部の組成物層の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが支持体上に残る。現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを与えない、アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、更に新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス(2−ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。現像液は、これらのアルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、0.001〜10質量%が好ましく、0.01〜1質量%がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤の例としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば1.5〜100倍の範囲に設定することができる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後純水で洗浄(リンス)することが好ましい。
本発明においては、現像工程後に、乾燥を施した後、加熱処理(ポストベーク)や後露光により硬化する硬化工程を行ってもよい。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークでの加熱温度は、例えば100〜240℃が好ましく、200〜240℃がより好ましい。また、発光光源として有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合、加熱温度は150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、100℃以下が更に好ましく、90℃以下が特に好ましい。下限は、例えば、50℃以上とすることができる。ポストベークは、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
後露光は、g線、h線、i線、KrFやArFなどのエキシマレーザ、電子線、X線等により行うことができるが、既存の高圧水銀灯で20〜50℃程度の低温で行うことが好ましい。照射時間は、10秒〜180秒、好ましくは30秒〜60秒である。後露光とポストベークとを併用する場合、後露光を先に実施することが好ましい。
(ドライエッチング法でパターン形成する場合)
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上の組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、この硬化物層上にパターニングされたレジスト層を形成し、次いで、パターニングされたレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングするなどの方法で行うことができる。レジスト層の形成プロセスとしては、露光後の加熱処理、現像後の加熱処理(ポストベーク処理)を実施する形態が望ましい。ドライエッチング法でのパターン形成については、特開2013−064993号公報の段落番号0010〜0067の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
以上説明した、各工程を行うことにより、本発明の特定の分光を有する膜のパターン(画素)を形成できる。
<膜>
次に、本発明の膜について説明する。本発明の膜は、上述した本発明の組成物から得られる膜である。本発明の膜は、赤外線透過フィルタとして好ましく用いることができる。
本発明の膜は、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有し、かつ、以下の(IR11)または(IR12)のいずれかの分光特性を有していることが好ましい。
(IR11):厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長900nmを超える光が透過可能なフィルタとすることができる。
(IR12):厚み方向における光の透過率の、波長400〜950nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1100〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜950nmの範囲の光を遮光して、波長1000nmを超える光が透過可能なフィルタとすることができる。
本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。100μm以下が好ましく、15μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましく、1μm以下が特に好ましい。膜厚の下限は、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上が更に好ましい。
本発明の膜における上記の屈折率の極大値は、1.8以上であることが好ましく、1.85以上であることがより好ましく、1.9以上であることが更に好ましい。また、本発明の膜における上記の屈折率の極大値は、本発明の膜の形成に用いられた組成物に含まれる近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも長波長側に存在することが好ましく、前述の近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも15nm以上長波長側に存在することがより好ましく、前述の近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも30nm以上長波長側に存在することが更に好ましい。また、上記の屈折率の極大値は、波長800〜1000nmの範囲に存在することが好ましく、波長830〜970nmの範囲に存在することがより好ましく、波長860〜940nmの範囲に存在することが更に好ましい。
本発明の膜を赤外線センサなどに用いる場合、本発明の膜は、赤外線センサなどでのセンシングに用いられる波長の光(赤外線)の屈折率が1.6〜2.1であることが好ましい。下限は1.65以上が好ましく、1.7以上がより好ましい。上限は、2.0以下が好ましく、1.9以下がより好ましい。上記センシングに用いられる波長の光(赤外線)としては、波長850〜1000nmの範囲の任意の光が挙げられる。例えば、850nm、900nm、940nmなどが挙げられる。
本発明の膜は、CCD(電荷結合素子)やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)などの固体撮像素子や、赤外線センサ、画像表示装置などの各種装置に用いることができる。
<光学フィルタ>
次に、本発明の光学フィルタについて説明する。
本発明の光学フィルタの第1の実施形態は、上述した本発明の組成物を用いて得られる第1の画素と、この第1の画素に隣接する画素であって第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有する光学フィルタである。
また、本発明の光学フィルタの第2の実施形態は、
波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、波長800nm以上において、屈折率の極大値を有する第1の画素と、
第1の画素に隣接する画素であって第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有し、
波長900〜1400nmの範囲の少なくとも一部(好ましくは波長900〜1000nmの範囲の少なくとも一部)において、第1の画素の屈折率t1と、第2の画素の屈折率t2との差(t1−t2)が−0.1よりも大きい、光学フィルタである。
本発明の光学フィルタの第1および第2の実施形態において、第2の画素としては、第1の画素とは異なるものであればよく、特に限定は無い。例えば、着色画素、透明画素、赤外線透過フィルタの画素、近赤外線カットフィルタの画素などが挙げられる。着色画素としては、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、黄色画素、シアン色画素などが挙げられる。また、第2の画素は1種のみであってもよく、2種以上であってもよい。すなわち、第1の画素に隣接する第2の画素は、1種のみであってもよく、2種以上であってもよい。たとえば、図2において、符号Eの画素を第1の画素とした場合、符号Eの画素に隣接する符号Cの画素および符号Dの画素は、同一種類の画素(例えば、符号Cの画素および符号Dの画素がともに青色画素である場合など)であってもよく、それぞれ異なる種類の画素(例えば、符号Cの画素が緑色画素で、符号Dの画素が青色画素である場合など)であってもよい。
本発明の光学フィルタの第2の実施形態において、上記の屈折率の差(t1−t2)は、−0.05以上であることが好ましく、0以上であることがより好ましい。また、第2の実施形態において、第1の画素に複数種類の第2の画素が隣接している場合においては、それぞれの第2の画素について、上述した第1の画素との屈折率の差(t1−t2)が−0.1よりも大きいことが好ましい。たとえば、図2において、符号Eの画素を第1の画素とした場合、符号Eの画素に隣接する符号Cの画素および符号Dの画素について、上述した第1の画素との屈折率の差(t1−t2)が−0.1よりも大きいことが好ましい。
本発明の光学フィルタの第1および第2の実施形態において、第1の画素は、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有し、かつ、以下の(IR111)または(IR112)のいずれかの分光特性を有していることが好ましい。
(IR111):厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長900nmを超える光が透過可能な画素とすることができる。
(IR112):厚み方向における光の透過率の、波長400〜950nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1100〜1500nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜950nmの範囲の光を遮光して、波長1000nmを超える光が透過可能な画素とすることができる。
本発明の光学フィルタの第1の実施形態および第2の実施形態において、第1の画素の上記の屈折率の極大値は、1.8以上であることが好ましく、1.85以上であることがより好ましく、1.9以上であることが更に好ましい。また、上記の屈折率の極大値は、波長800〜1000nmの範囲に存在することが好ましく、波長830〜970nmの範囲に存在することがより好ましく、波長860〜940nmの範囲に存在することが更に好ましい。
本発明の光学フィルタを赤外線センサなどに用いる場合には、第1の画素は、赤外線センサでのセンシングに用いられる波長の光(赤外線)の屈折率が1.6〜2.1であることが好ましい。下限は1.65以上が好ましく、1.7以上がより好ましい。上限は、2.0以下が好ましく、1.9以下がより好ましい。上記センシングに用いられる波長の光(赤外線)としては、波長850〜1000nmの範囲の任意の光が挙げられる。例えば、850nm、900nm、940nmなどが挙げられる。
本発明の光学フィルタは、CCD(電荷結合素子)やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)などの固体撮像素子や、赤外線センサ、画像表示装置などの各種装置に用いることができる。
<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜または光学フィルタを有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の膜または光学フィルタを有する構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
支持体上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、本発明の膜または光学フィルタを有する構成である。さらに、デバイス保護膜上であって、本発明の膜または光学フィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、本発明の膜または光学フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
<赤外線センサ>
本発明の赤外線センサは、上述した本発明の膜または光学フィルタを有する。赤外線センサの構成としては、赤外線センサとして機能する構成であれば特に限定はない。以下、本発明の赤外線センサの一実施形態について、図面を用いて説明する。
図1において、符号110は、固体撮像素子である。固体撮像素子110上に設けられている撮像領域は、近赤外線カットフィルタ111と、赤外線透過フィルタ114とを有する。また、近赤外線カットフィルタ111上には、カラーフィルタ112が積層している。カラーフィルタ112および赤外線透過フィルタ114の入射光hν側には、マイクロレンズ115が配置されている。マイクロレンズ115を覆うように平坦化層116が形成されている。
近赤外線カットフィルタ111は、可視光領域の光(例えば、波長400〜700nmの光)を透過させ、赤外領域の光を遮蔽するフィルタである。カラーフィルタ112は、可視領域における特定波長の光を透過及び吸収する画素が形成されたカラーフィルタであって、特に限定はなく、従来公知の画素形成用のカラーフィルタを用いることができる。例えば、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の画素が形成されたカラーフィルタなどが用いられる。例えば、特開2014−043556号公報の段落番号0214〜0263の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。赤外線透過フィルタ114は、可視光線遮蔽性を有し、かつ、特定波長の赤外線を透過させるフィルタであって、上述した分光特性を有する本発明の膜で構成されている。
図1に示す赤外線センサにおいて、平坦化層116上には、近赤外線カットフィルタ111とは別の近赤外線カットフィルタ(他の近赤外線カットフィルタ)がさらに配置されていてもよい。他の近赤外線カットフィルタとしては、銅を含有する層および/または誘電体多層膜を有するものなどが挙げられる。これらの詳細については、上述したものが挙げられる。また、他の近赤外線カットフィルタとしては、デュアルバンドパスフィルタを用いてもよい。
また、図1に示す実施形態では、カラーフィルタ112が、近赤外線カットフィルタ111よりも入射光hν側に設けられているが、近赤外線カットフィルタ111と、カラーフィルタ112との順序を入れ替えて、近赤外線カットフィルタ111を、カラーフィルタ112よりも入射光hν側に設けてもよい。
また、図1に示す実施形態では、近赤外線カットフィルタ111とカラーフィルタ112は隣接して積層しているが、両フィルタは必ずしも隣接している必要はなく、間に他の層が設けられていても良い。
また、図1に示す実施形態において、赤外線透過フィルタ114とは異なる分光特性を有する他の赤外線透過フィルタを更に有していてもよい。
<画像表示装置>
本発明の膜または光学フィルタは、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示装置などの画像表示装置に用いることもできる。表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置のタイプは特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
画像表示装置は、表示素子として白色有機EL素子を有する画像表示装置であってもよい。白色有機EL素子としては、タンデム構造であることが好ましい。有機EL素子のタンデム構造については、特開2003−45676号公報、三上明義監修、「有機EL技術開発の最前線−高輝度・高精度・長寿命化・ノウハウ集−」、技術情報協会、326−328ページ、2008年などに記載されている。有機EL素子が発光する白色光のスペクトルは、青色領域(430nm−485nm)、緑色領域(530nm−580nm)及び黄色領域(580nm−620nm)に強い極大発光ピークを有することが好ましい。これらの発光ピークに加え更に赤色領域(650nm−700nm)に極大発光ピークを有することがより好ましい。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は、質量基準である。
<分散液の調製>
下記の表に記載の原料を混合し、更に直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して分散液を製造した。
Figure 0006837568
<赤外線透過フィルタ用組成物の調製>
下記の表に記載の原料を混合して、組成物101〜114、401〜410を調製した。表に記載の数値は質量部である。
また、これらの組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際の屈折率が極大値となる波長(nm)、屈折率の極大値、吸光度比A/Bをあわせて記す。なお、吸光度比A/Bは、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比(A/B)である。また、屈折率および吸光度は以下の方法で測定した。
各組成物をプリベーク後の膜厚が1μmとなるようにスピンコーター(ミカサ(株)製)を用いてガラス基板上に塗布して塗膜を形成した。次いで、ホットプレートを用いて、100℃、120秒間の加熱(プリベーク)を行った後、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用いて1000mJ/cmの露光量で全面露光を行った後、再度ホットプレートを用いて200℃、300秒間の加熱(ポストベーク)を行い、膜を得た。得られた膜について、波長400〜1500nmの範囲の屈折率をエリプソメトリー VUV−VASE(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン社製)を用いて測定して、屈折率が極大値となる波長(nm)および屈折率の極大値を測定した。また、得られた膜について、波長400〜1500nmの光の吸光度を測定し、波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比(A/B)を算出した。
組成物101、103〜114、401〜410は本発明の実施例の組成物である。組成物102は比較例の組成物である。
Figure 0006837568
Figure 0006837568
<カラーフィルタ用組成物の調製>
下記の表に記載の原料を混合して、組成物201〜203を調製した。表に記載の数値は質量部である。
Figure 0006837568
<近赤外線カットフィルタ用組成物の調製>
下記の表に記載の原料を混合して、組成物301を調製した。表に記載の数値は質量部である。
Figure 0006837568
上記表に記載の原料は以下の通りである。
(色材)
PR254 : C.I.Pigment Red 254
PB15:6 : C.I.Pigment Blue 15:6
PY139 : C.I.Pigment Yellow 139
PY150 : C.I.Pigment Yellow 150
PY185 : C.I.Pigment Yellow 185
PV23 : C.I.Pigment Violet 23
PG36 : C.I.Pigment Green 36
PBk32: C.I.Pigment Black 32
IB:Irgaphor Black(BASF社製)
(近赤外線吸収色素)
K1、K2:下記構造の化合物。以下の構造式中、Etはエチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
Figure 0006837568
N1:SMP−388((株)林原製、シアニン化合物)
N2:下記構造の化合物。以下の構造式中、Phはフェニル基を表す。
Figure 0006837568
(無機粒子)
TiO:TTO−51(C)(石原産業製)
(誘導体)
B1、K4:下記構造の化合物。以下の構造式中、Etはエチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
Figure 0006837568
B2−1:下記構造の化合物
Figure 0006837568
B2−2:下記構造の化合物
Figure 0006837568
B2−3:下記構造の化合物
Figure 0006837568
B2−4:下記構造の化合物
Figure 0006837568
(分散剤)
C1:下記構造の樹脂。主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=20,000。
C2:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=26000)
C3:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=21000)
C4:DISPERBYK2000(樹脂濃度40質量%、ビックケミージャパン(株)製)
Figure 0006837568
(樹脂)
P1:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=11000)
P2:下記構造の樹脂。(Mw=4400、酸価=95mgKOH/g、以下の構造式中、Mはフェニル基であり、Aはビフェニルテトラカルボン酸無水物残基である。)
P3:ACA250(樹脂濃度45質量%、(株)ダイセル製)
P4:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=14000)
P5:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=14000)
P6:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=12000)
P7:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=41300)
P8:下記構造の樹脂。(特開2017−133035号公報の段落番号0066の実施例1に記載された樹脂、トリアジン系樹脂。Mw=3100)
P9:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=20000)
P10:下記構造の樹脂。(主鎖に付記した数値はモル比である。Mw=40000)
Figure 0006837568
Figure 0006837568
(重合性化合物)
D1:下記構造の化合物(a+b+c=3)
D2:下記構造の化合物(a+b+c=4)
D3:下記構造の化合物の混合物(a+b+c=5の化合物:a+b+c=6の化合物=3:1(モル比))
Figure 0006837568
D4:下記構造の化合物
Figure 0006837568
D5:下記化合物の混合物(左側の化合物:右側の化合物=7:3(質量比))
Figure 0006837568
D6:アロニックスM−520(東亞合成(株)製)
D8:オグソールEA−0300(大阪ガスケミカル(株)製、フルオレン骨格を有する(メタ)アクリレートモノマー)
D9:下記構造の化合物
Figure 0006837568
D10:下記構造の化合物
Figure 0006837568
D11:下記構造の化合物
Figure 0006837568
D12:下記構造の化合物
Figure 0006837568
(高屈折率化合物)
T10:下記構造の化合物
Figure 0006837568
(光重合開始剤)
I1:IRGACURE OXE01(BASF製、光ラジカル重合開始剤)
I2〜I4:下記構造の化合物
I6:NCI831((株)ADEKA製)
Figure 0006837568
(エポキシ化合物)
E1:EPICLON N−695(DIC(株)製)
(多官能チオール)
M1:トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)
(紫外線吸収剤)
L1:下記構造の化合物
Figure 0006837568
(界面活性剤)
F1:下記混合物(Mw=14000)。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%はモル%である。
Figure 0006837568
F2:メガファック RS−72−K(DIC(株)製)
(重合禁止剤)
G1:p−メトキシフェノール
(シランカップリング剤)
H1:下記構造の化合物(以下の構造式中、Etはエチル基である)
Figure 0006837568
(溶剤)
J1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
J2:シクロヘキサノン
J3:3−メトキシ−N,N−ジメチルプロパンアミド
J4:3−ブトキシ−N,N−ジメチルプロパンアミド
J5:シクロペンタノン
<光学フィルタの製造>
(実施例1)
組成物101、201、202、203および301を用いて、図2〜4に示す光学フィルタを製造した。
具体的には、組成物301を製膜後の膜厚が0.7μmになるように、シリコンウェハ10上にスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cmの露光量にて、2μm四方のBayerパターンを有するマスクを介して露光した。
次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、ホットプレートを用いて、200℃で5分間加熱することで2μm四方のBayerパターン(近赤外線カットフィルタB)を形成した。
次に、近赤外線カットフィルタBのパターン上に、組成物201を製膜後の膜厚が0.7μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用い、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cmの露光量にて、2μm四方のBayerパターンを有するマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、ホットプレートを用い、200℃で5分間加熱することで、近赤外線カットフィルタBのパターン上に赤色画素Aを形成した。同様に組成物202、組成物203についても順次パターニングし、緑色画素Cおよび青色画素Dを形成した。
次に、上記の画素を形成したシリコンウェハ10上に、組成物101を、製膜後の膜厚が1.4μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cmの露光量にて、2μm四方のBayerパターンを有するマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、ホットプレートを用いて、200℃で5分間加熱することで、近赤外線カットフィルタBのパターンの抜け部分に、赤外線透過フィルタの画素Eを形成した。このようにして図2〜4に示す光学フィルタを製造した。
(実施例2〜13、101〜110、参考例)
組成物101の代わりに、組成物102〜114、401〜410を用いた以外は実施例1と同様にして光学フィルタを製造した。下記の表に各画素の形成に用いた組成物を記す。
<評価>
実施例および参考例で製造した光学フィルタを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。波長940nmに発光強度の中心波長を有する発光ダイオード(LED)を光源として、実施例の光学フィルタの画素Eの感度(SN比(Signal to Noise ratio))を測定し、実施例の光学フィルタの画素Eの感度と、参考例の光学フィルタの画素Eの感度との比(実施例の光学フィルタの画素Eの感度/参考例の光学フィルタの画素Eの感度)である比感度を求めた。
Figure 0006837568
Figure 0006837568
実施例1〜13、101〜110は、参考例よりも画素Eの感度の向上が見られた。また、実施例1〜13、101〜110は、可視光に起因するノイズ等の影響を受けずに、精度良く高感度に赤外線を検出することができた。
なお、実施例1〜13、101〜110の光学フィルタは、波長900〜1400nmの少なくとも一部において、画素Eの屈折率t1と、画素Eに隣接する緑色画素Cの屈折率t2aとの差(t1−t2a)、および、画素Eの屈折率t1と、画素Eに隣接する青色画素Dの屈折率t2bとの差(t1−t2b)が、いずれも−0.1よりも大きかった。また、波長940nmの光に対して上記の屈折率の差がいずれも−0.1よりも大きかった。
一方、参考例の光学フィルタは、波長900〜1400nmの全範囲において、画素Eの屈折率t1と、画素Eに隣接する緑色画素Cの屈折率t2aとの差(t1−t2a)、および、画素Eの屈折率t1と、画素Eに隣接する青色画素Dの屈折率t2bとの差(t1−t2b)の少なくとも一方が−0.1未満であった。
110:固体撮像素子、111:近赤外線カットフィルタ、112:カラーフィルタ、114:赤外線透過フィルタ、115:マイクロレンズ、116:平坦化層

Claims (22)

  1. 赤外線を透過させて可視光を遮光する色材と、近赤外線吸収色素と、硬化性化合物とを含む組成物であって、
    前記組成物の波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、
    前記組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際に、前記膜は波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する、組成物。
  2. 前記屈折率の極大値が1.8以上である、請求項1に記載の組成物。
  3. 前記屈折率の極大値は、前記近赤外線吸収色素の極大吸収波長よりも長波長側に存在する、請求項1または2に記載の組成物。
  4. 前記屈折率の極大値が波長800〜1000nmの範囲に存在する、請求項1または2に記載の組成物。
  5. 前記近赤外線吸収色素は、スクアリリウム化合物、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イモニウム化合物から選ばれる少なくとも1種である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の組成物。
  6. 前記赤外線を透過させて可視光を遮光する色材は、2種類以上の有彩色着色剤を含み、2種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成しているか、あるいは、1種類以上の有彩色着色剤と有機黒色着色剤とを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の組成物。
  7. 前記赤外線を透過させて可視光を遮光する色材の100質量部に対して、前記近赤外線吸収色素を5〜200質量部含有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の組成物。
  8. 前記赤外線を透過させて可視光を遮光する色材は青色着色剤を少なくとも含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の組成物。
  9. 前記赤外線を透過させて可視光を遮光する色材の全質量中における青色着色剤の含有量が10〜50質量%である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の組成物。
  10. 前記硬化性化合物は、フルオレン骨格およびトリアジン骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する化合物を含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の組成物。
  11. 更に、無機粒子を含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の組成物。
  12. 前記無機粒子が二酸化チタン粒子である、請求項11に記載の組成物。
  13. 前記組成物から前記近赤外線吸収色素を除いた組成物を用いて膜厚1μmの膜を形成した際に、前記膜は波長900〜1000nmの光の屈折率の最小値が1.7以上である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の組成物。
  14. 波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する第1の画素と、前記第1の画素に隣接する画素であって前記第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有し、波長900〜1400nmの範囲の少なくとも一部において、前記第1の画素の屈折率t1と、前記第2の画素の屈折率t2との差であるt1−t2が−0.1よりも大きい光学フィルタの、前記第1の画素形成用の組成物である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の組成物。
  15. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の組成物を用いて得られる膜。
  16. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の組成物を用いて得られる第1の画素と、
    前記第1の画素に隣接する画素であって前記第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有する光学フィルタ。
  17. 波長400〜700nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1400〜1500nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、波長800nm以上の範囲において屈折率の極大値を有する第1の画素と、
    前記第1の画素に隣接する画素であって前記第1の画素とは異なる種類の第2の画素とを有する光学フィルタであって、
    波長900〜1400nmの範囲の少なくとも一部において、前記第1の画素の屈折率t1と、前記第2の画素の屈折率t2との差であるt1−t2が−0.1よりも大きい、光学フィルタ。
  18. 前記第1の画素の前記屈折率の極大値が1.8以上である、請求項17に記載の光学フィルタ。
  19. 前記第1の画素の前記屈折率の極大値が波長800〜1000nmの範囲に存在する、請求項17または18に記載の光学フィルタ。
  20. 波長900〜1000nmの範囲の少なくとも一部において、前記第1の画素の屈折率t1と、前記第2の画素の屈折率t2との差であるt1−t2が−0.1よりも大きい、請求項16〜19のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
  21. 請求項15に記載の膜、または、請求項16〜20のいずれか1項に記載の光学フィルタを有する固体撮像素子。
  22. 請求項15に記載の膜、または、請求項16〜20のいずれか1項に記載の光学フィルタを有する赤外線センサ。
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