JP6612965B2 - 組成物、硬化性組成物、硬化膜、近赤外線カットフィルタ、赤外線透過フィルタ、固体撮像素子、赤外線センサおよびカメラモジュール - Google Patents
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Description
<1> 顔料と、顔料誘導体と、溶剤とを含み、
顔料誘導体が、下記式(1)で表される化合物を含む、組成物;
R3、R4、R5およびR6は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基またはヘテロアリール基を表し、
R7およびR8は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR9R10、または金属原子を表し、
R7は、R1、R3またはR5と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R8は、R2、R4またはR6と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R9およびR10は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R9およびR10が互いに結合して環を形成していてもよく、
Lは、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO2−もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Xは、酸性基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミド基を表し、
mは1〜10の整数を表し、nは1〜10の整数を表し、mが2以上の場合は複数のLおよびXは互いに異なっていてもよく、nが2以上の場合は複数のXは互いに異なってもよい。
<2> 式(1)中、Xが、カルボキシル基、スルホ基、フタルイミド基、および、下記式(X−1)〜(X−9)で表される基から選ばれる少なくとも1種である、<1>に記載の組成物;
<3> 式(1)中、Xが、カルボキシル基、スルホ基および式(X−3)で表される基から選ばれる少なくとも1種である、<2>に記載の組成物。
<4> 顔料が、700〜1200nmの範囲に吸収極大波長を有する化合物である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の組成物。
<5> 顔料が下記式(PP)で表される化合物である、<1>〜<4>のいずれか1つに記載の組成物;
R23、R24、R25およびR26は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、またはヘテロアリール基を表し、
R27およびR28は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR29R30、または金属原子を表し、
R27は、R21、R23またはR25と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R28は、R22、R24またはR26と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R29およびR30は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R29およびR30が互いに結合して環を形成していてもよい。
<6> 25℃における粘度が1〜100mPa・sである、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の組成物。
<7> 組成物中の顔料の平均粒子径が5〜500nmである、<1>〜<6>のいずれか1つに記載の組成物。
<8> 顔料の100質量部に対し、顔料誘導体を1〜50質量部含有する、<1>〜<7>のいずれか1つに記載の組成物。
<9> 顔料は、極大吸収波長の異なる少なくとも2種の顔料を含む、<1>〜<8>のいずれか1つに記載の組成物。
<10> 25℃の溶剤に対する、顔料の溶解度が、0〜0.1g/Lである、<1>〜<9>のいずれか1つに記載の組成物。
<11> 25℃の溶剤に対する、式(1)で表される化合物の溶解度が、0〜0.1g/Lである、<1>〜<10>のいずれか1つに記載の組成物。
<12> さらに、樹脂を含む、<1>〜<11>のいずれか1つに記載の組成物。
<13> 樹脂が、ポリカプロラクトン構造を有する樹脂を含む、<12>に記載の組成物。
<14> <1>〜<13>のいずれか1つに記載の組成物と、硬化性化合物とを含む、硬化性組成物。
<15> 硬化性化合物が重合性化合物であって、さらに光重合開始剤を含む、<14>に記載の硬化性組成物。
<16> アルカリ可溶性樹脂を含む、<14>または<15>に記載の硬化性組成物。
<17> 近赤外領域の光の少なくとも一部を透過し、かつ、可視領域の光を遮光する色材を含む、<14>〜<16>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
<18> <14>〜<17>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を硬化してなる、硬化膜。
<19> <14>〜<17>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を用いてなる、近赤外線カットフィルタ。
<20> <14>〜<17>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を用いてなる、赤外線透過フィルタ。
<21> <18>に記載の硬化膜を含む、固体撮像素子。
<22> <18>に記載の硬化膜を含む、赤外線センサ。
<23> 固体撮像素子と、<19>に記載の近赤外線カットフィルタとを有する、カメラモジュール。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、「アクリレート」および「メタクリレート」の双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アリル」は、「アリル」および「メタリル」の双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、「アクリロイル」および「メタクリロイル」の双方、または、いずれかを表す。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基(原子団)と共に置換基を有する基(原子団)をも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において、化学式中のMeはメチル基を、Etはエチル基を、Prはプロピル基を、Buはブチル基を、Phはフェニル基をそれぞれ示す。
本明細書において、近赤外線とは、波長領域が700〜2500nmの光(電磁波)をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定したポリスチレン換算値として定義される。本明細書において、重量平均分子量(Mw)は、例えば、HLC−8220(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel Super AWM―H(東ソー(株)製、6.0mmID(内径)×15.0cm)を、溶離液として10mmol/L リチウムブロミドNMP(N−メチルピロリジノン)溶液を用いることによって求めることができる。
本発明の組成物は、顔料と、顔料誘導体と、溶剤とを含み、顔料誘導体が、後述する式(1)で表される化合物を含む。式(1)で表される化合物は、可視透明性に優れる。そして、式(1)で表される化合物は、組成物中において、顔料と、式(1)で表される化合物のピロロピロール骨格とが相互作用すると共に、式(1)で表される化合物が有する、酸性基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミド基が、組成物中の他の成分と相互作用して、組成物中における顔料の分散性を高めることができる。このため、本発明の組成物は、顔料が有する可視領域の色相に影響を与えることなく、顔料の分散性を向上させることができる。このため、本発明の組成物を用いることで、可視領域の色相が良好な硬化膜などを製造することができる。また、本発明の組成物は顔料の分散性が良好であるため、組成物のチキソトロピー性が低く抑えられる。ここで、チキソトロピー性とは、流体にせん断力を印加したときに、せん断力の増加とともに粘度が低下する現象を意味する。また、本発明において、「チキソトロピー性が低い」とは、流体に印加するせん断力を増加させたときの、流体の粘度変化が小さいことを意味する。
以下、本発明の組成物の各成分について説明する。
本発明の組成物は、顔料を含有する。顔料の種類は、特に限定されない。顔料は、可視領域に吸収を有する顔料(以下、有彩色顔料ともいう)であってもよく、近赤外領域に吸収を有する顔料(以下、近赤外線吸収顔料ともいう)であってもよい。
カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等、
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等、
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80
顔料は、後述する式(1)で表される化合物(顔料誘導体)の母核構造と同じ化合物であることが好ましい。
本発明において、ピロロピロール化合物としては、下記式(PP)で表される化合物が好ましい。式(PP)で表される色素の極大吸収波長は、700〜1200nmの範囲に有することが好ましく、700〜1000nmの範囲に有することがより好ましく、730〜980nmの範囲に有することがさらに好ましく、750〜950nmの範囲に有することが一層好ましい。化合物の極大吸収波長は後述する固体撮像素子や赤外線センサなどの光学デバイスの求められる性能に応じて設計される。
R23、R24、R25およびR26は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキル基スルフィニル基、アリールスルフィニル基、またはヘテロアリール基を表し、
R27およびR28は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR29R30、または金属原子を表し、
R27は、R21、R23またはR25と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R28は、R22、R24またはR26と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R29およびR30は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R29およびR30が互いに結合して環を形成していてもよい。
R21およびR22が表すアルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。
R21およびR22が表すアリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が特に好ましい。
R21およびR22が表すヘテロアリール基を構成する炭素原子の数は、1〜30が好ましく、1〜12がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の種類としては、例えば、窒素原子、酸素原子および硫黄原子を挙げることができる。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数としては、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜8の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がさらに好ましい。
上述したアルキル基、アリール基およびヘテロアリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基を有していることが好ましい。置換基としては、酸素原子を含んでもよい炭化水素基、アミノ基、アシルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、複素環オキシ基、複素環カルボニルオキシ基、複素環オキシカルボニル基、複素環オキシカルボニルアミノ基、スルホニルアミノ基、スルファモイル基、カルバモイル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、複素環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、複素環スルホニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、複素環スルフィニル基、ウレイド基、リン酸アミド基、メルカプト基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基、シリル基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基等が挙げられ、酸素原子を含んでもよい炭化水素基または、ハロゲン原子が好ましい。また、顔料の分散性の観点から、置換基は、酸性基、塩基性基、塩構造を有する基以外の基であることが好ましい。酸性基、塩基性基、塩構造を有する基の詳細については、後述する式(1)で表される化合物(顔料誘導体)のXで説明した基が挙げられる。
置換基としての炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アリール基などが挙げられる。
アルキル基の炭素数は、1〜40が好ましい。下限は、3以上がより好ましく、5以上が更に好ましく、8以上が一層好ましく、10以上が特に好ましい。上限は、35以下がより好ましく、30以下が更に好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましく、分岐が特に好ましい。分岐のアルキル基の炭素数は、3〜40が好ましい。下限は、例えば、5以上がより好ましく、8以上が更に好ましく、10以上が一層好ましい。上限は、35以下がより好ましく、30以下が更に好ましい。分岐のアルキル基の分岐数は、例えば、2〜10が好ましく、2〜8がより好ましい。
アルケニル基の炭素数は、2〜40が好ましい。下限は、例えば、3以上がより好ましく、5以上が更に好ましく、8以上が一層好ましく、10以上が特に好ましい。上限は、35以下がより好ましく、30以下が更に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましく、分岐が特に好ましい。分岐のアルケニル基の炭素数は、3〜40が好ましい。下限は、例えば、5以上がより好ましく、8以上が更に好ましく、10以上が一層好ましい。上限は、35以下がより好ましく、30以下が更に好ましい。分岐のアルケニル基の分岐数は、2〜10が好ましく、2〜8がより好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が更に好ましい。
複素環オキシ基、複素環カルボニルオキシ基、複素環オキシカルボニル基、複素環オキシカルボニルアミノ基、複素環チオ基、複素環スルホニル基、および、複素環スルフィニル基が有する複素環を構成するヘテロ原子の数としては、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。複素環は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜8の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がさらに好ましい。
酸素原子を含む炭化水素基としては、−L−Rx1で表される基が挙げられる。
Lは、−O−、−CO−、−COO−、−OCO−、−(ORx2)m−または−(Rx2O)m−を表す。Rx1は、アルキル基、アルケニル基またはアリール基を表す。Rx2は、アルキレン基またはアリーレン基を表す。mは2以上の整数を表し、m個のRx2は、同一であってもよく、異なっていてもよい。
Lは、−O−、−(ORx2)m−または−(Rx2O)m−であることが好ましく、−O−がより好ましい。Lは、−OCO−であることも好ましい。
Rx1が表すアルキル基、アルケニル基、アリール基は上述したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。Rx1は、アルキル基またはアルケニル基であることが好ましく、アルキル基がより好ましい。Lが−OCO−である場合、Rx1は、アリール基であることも好ましい。
Rx2が表すアルキレン基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜10がより好ましく、1〜5が更に好ましい。アルキレン基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。Rx2が表すアリーレン基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。Rx2はアルキレン基が好ましい。
mは2以上の整数を表し、2〜20が好ましく、2〜10がより好ましい。
また、アルキル基、アリール基およびヘテロアリール基が有してもよい置換基は、複素環カルボニルオキシ基、または、複素環オキシカルボニル基であることも好ましい。
R23およびR25の一方が、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基またはアリールスルフィニル基を表し、他方がヘテロアリール基を表すことが好ましく、R23およびR25の一方がシアノ基を表し、他方がヘテロアリール基を表すことがより好ましい。
R24およびR26の一方が、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基またはアリールスルフィニル基を表し、他方がヘテロアリール基を表すことが好ましく、R24およびR26の一方がシアノ基を表し、他方がヘテロアリール基を表すことがより好ましい。
アルキル基(好ましくは炭素数1〜30のアルキル基)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルケニル基)、アルキニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルキニル基)、アリール基(好ましくは炭素数6〜30のアリール基)、アミノ基(好ましくは炭素数0〜30のアミノ基)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜30のアルコキシ基)、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6〜30のアリールオキシ基)、ヘテロアリールオキシ基、アシル基(好ましくは炭素数1〜30のアシル基)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルコキシカルボニル基)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7〜30のアリールオキシカルボニル基)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜30のアシルオキシ基)、アシルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30のアシルアミノ基)、アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30のアルコキシカルボニルアミノ基)、アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数7〜30のアリールオキシカルボニルアミノ基)、スルファモイル基(好ましくは炭素数0〜30のスルファモイル基)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1〜30のカルバモイル基)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1〜30のアルキルチオ基)、アリールチオ基(好ましくは炭素数6〜30のアリールチオ基)、ヘテロアリールチオ基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールスルホニル基(好ましくは炭素数6〜30)、ヘテロアリールスルホニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールスルフィニル基(好ましくは炭素数6〜30)、ヘテロアリールスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜30)、ウレイド基(好ましくは炭素数1〜30)、リン酸アミド基(好ましくは炭素数1〜30)、ヒドロキシ基、メルカプト基、ハロゲン原子、シアノ基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基、ヘテロアリール基(好ましくは炭素数1〜30)。これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、上述した置換基Tで説明した基が挙げられる。
Ra1、Ra2およびRX1〜RX3が表す置換基としては、置換基Tが挙げられ、アルキル基、アリール基およびハロゲン原子が好ましい。
R27およびR28が、金属原子を表す場合、金属原子としては、マグネシウム、アルミニウム、カルシウム、バリウム、亜鉛、スズ、バナジウム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、パラジウム、イリジウム、白金が挙げられ、アルミニウム、亜鉛、バナジウム、鉄、銅、パラジウム、イリジウム、白金が特に好ましい。
R29およびR30が表すアルキル基およびアルコキシ基の炭素数は、1〜40が好ましい。下限は、例えば、3以上がより好ましい。上限は、例えば、30以下がより好ましく、25以下が更に好ましい。アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。
R29およびR30が表すアルケニル基の炭素数は、2〜40が好ましい。下限は、例えば、3以上がより好ましい。上限は、例えば、30以下がより好ましく、25以下が更に好ましい。
R29およびR30が表すアリール基およびアリールオキシ基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。アリール基およびアリールオキシ基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。これらの詳細については、前述したものが挙げられる。
R29およびR30が表すヘテロアリール基およびヘテロアリールオキシ基は、単環であっても多環であってもよい。ヘテロアリール基およびヘテロアリールオキシ基のヘテロアリール環を構成するヘテロ原子の数は1〜3が好ましい。ヘテロアリール環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。ヘテロアリール環を構成する炭素原子の数は3〜30が好ましく、3〜18がより好ましく、3〜12がさらに好ましく、3〜5が特に好ましい。ヘテロアリール環は、5員環または6員環が好ましい。ヘテロアリール基およびヘテロアリールオキシ基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。これらの詳細については、前述したものが挙げられる。
Ra1〜Ra4は、各々独立に、水素原子または置換基を表し、Ra1とRa2、または、Ra3とRa4は互いに結合して環を形成していてもよく、
R121およびR122は、各々独立に、アルキル基、アリール基、またはヘテロアリール基を表し、
R123およびR124は、シアノ基を表し、
R127およびR128は、各々独立に、−BR29R30を表し、
R29およびR30は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R29およびR30が互いに結合して環を形成していてもよい。
R121およびR122は、それぞれ独立に、アルキル基、アリール基、またはヘテロアリール基を表し、
R123およびR124は、シアノ基を表し、
R127およびR128は、各々独立に、−BR29R30を表し、
R29およびR30は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R29およびR30が互いに結合して環を形成していてもよい。
本発明において、ジケトピロロピロール化合物としては、下記式(DP)で表される化合物が挙げられる。
式(DP)
RDP1およびRDP2は、アリール基またはヘテロアリール基が好ましく、アリール基がより好ましい。
アルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12がさらに好ましい。
ヘテロアリール基を構成する炭素原子の数は、1〜30が好ましく、1〜12がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の種類としては、例えば、窒素原子、酸素原子および硫黄原子を挙げることができる。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数としては、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜8の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がさらに好ましい。
上述したアルキル基、アリール基およびヘテロアリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述した置換基Tが挙げられる。例えば、ハロゲン原子が好ましい。
本発明において、フタロシアニン化合物としては、下記式(PC)で表される化合物が挙げられる。
X1〜X16のうち、置換基の数は、0〜16が好ましく、0〜4がより好ましく、0〜1がさらに好ましく、0が特に好ましい。また、M1は、Ti=O、または、V=Oであることが好ましく、Ti=Oがより好ましい。
本発明において、ナフタロシアニン化合物としては、下記式(NPC)で表される化合物が挙げられる。
本発明の組成物は、顔料誘導体を含む。顔料誘導体としては、顔料の一部が、酸性基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミド基で置換された構造を有する化合物が挙げられる。
R3、R4、R5およびR6は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基またはヘテロアリール基を表し、
R7およびR8は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR9R10、または金属原子を表し、
R7は、R1、R3またはR5と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R8は、R2、R4またはR6と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R9およびR10は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R9およびR10が互いに結合して環を形成していてもよく、
Lは、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO2−もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Xは、酸性基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミド基を表し、
mは1〜10の整数を表し、nは1〜10の整数を表し、mが2以上の場合は複数のLおよびXは互いに異なっていてもよく、nが2以上の場合は複数のXは互いに異なってもよい。
R1およびR2が表すアルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。
R1およびR2が表すアリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12がさらに好ましい。
R1およびR2が表すヘテロアリール基を構成する炭素原子の数は、1〜30が好ましく、1〜12がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の種類としては、例えば、窒素原子、酸素原子および硫黄原子を挙げることができる。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数としては、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜8の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がさらに好ましい。
R1およびR2が表す、アルキル基、アリール基およびヘテロアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基Tで説明した基が挙げられる。また、式(1)の−L−(X)nが結合していてもよく、式(1)の−L−(X)nが結合していることが好ましい。
R3およびR5の一方は、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基またはアリールスルフィニル基を表し、他方はヘテロアリール基を表すことが好ましく、R3およびR5の一方がシアノ基を表し、他方がヘテロアリール基を表すことがより好ましい。
R4およびR6の一方は、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基またはアリールスルフィニル基を表し、他方はヘテロアリール基を表すことが好ましく、R4およびR6の一方がシアノ基を表し、他方がヘテロアリール基を表すことがより好ましい。
R3〜R6が表すヘテロアリール基の種類は、併用する顔料の種類に応じて選択することが好ましい。例えば、顔料としてピロロピロール化合物(好ましくは上述の式(PP)で表されるピロロピロール化合物)を用いた場合、R3〜R6が表すヘテロアリール基は、顔料としてのピロロピロール化合物が有するヘテロアリール基と共通の構造を有するヘテロアリール基であることが好ましい。この態様によれば、顔料が有する可視領域の色相を損なうことなく、顔料の分散性をさらに向上させることができる。なお、共通の構造を有するヘテロアリール基とは、ヘテロアリール基に置換基が結合している場合は、置換基を除いた部分の構造(ヘテロアリール環の構造)が同一である場合を意味する。
アルキレン基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。アルキレン基は、置換基を有していてもよい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。また、環状のアルキレン基は、単環、多環のいずれであってもよい。
アリーレン基の炭素数は、6〜18が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましく、フェニレン基が特に好ましい。
含窒素複素環基は、5員環または6員環が好ましい。また、含窒素複素環基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2〜8の縮合環がより好ましく、単環または縮合数が2〜4の縮合環がさらに好ましい。含窒素複素環基に含まれる窒素原子の数は、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。含窒素複素環基は、窒素原子以外のヘテロ原子を含んでいてもよい。窒素原子以外のヘテロ原子としては、例えば、酸素原子、硫黄原子が例示される。窒素原子以外のヘテロ原子の数は0〜3が好ましく、0〜1がより好ましい。含窒素複素環基としては、ピペラジン環基、ピロリジン環基、ピロール環基、ピペリジン環基、ピリジン環基、イミダゾール環基、ピラゾール環基、オキサゾール環基、チアゾール環基、ピラジン環基、モルホリン環基、チアジン環基、インドール環基、イソインドール環基、ベンズイミダゾール環基、プリン環基、キノリン環基、イソキノリン環基、キノキサリン環基、シンノリン環基、カルバゾール環基および下記式(L−1)〜(L−7)で表される基が挙げられる。
(1)アルキレン基;
(2)−COO−;
(3)−OCO−;
(4)−NR’−;
(5)−O−とアルキレン基との組み合わせからなる基(−O−アルキレン基−など);
(6)−O−とアリーレン基との組み合わせからなる基(−O−アリーレン基−など);
(7)−O−とアルキレン基と−S−の組み合わせからなる基(−O−アルキレン基−S−など);
(8)−O−とアリーレン基と−S−の組み合わせからなる基(−O−アリーレン基−S−など);
(9)−COO−とアルキレン基との組み合わせからなる基(−COO−アルキレン基−など);
(10)−COO−とアリーレン基との組み合わせからなる基(−COO−アリーレン基−など);
(11)−COO−とアリーレン基とアルキレン基との組み合わせからなる基(−COO−アリーレン基−アルキレン基−、−COO−アルキレン基−アリーレン基−など);
(12)−OCO−とアルキレン基との組み合わせからなる基(−OCO−アルキレン基−など);
(13)−OCO−とアリーレン基との組み合わせからなる基(−OCO−アリーレン基−など);
(14)−OCO−とアリーレン基とアルキレン基との組み合わせからなる基(−OCO−アリーレン基−アルキレン基−、−OCO−アルキレン基−アリーレン基−など);
(15)−NR’−とアルキレン基との組み合わせからなる基(−NR’−アルキレン基−など);
(16)−NR’−とアリーレン基との組み合わせからなる基(−NR’−アリーレン基−など);
(17)−NR’−とアリーレン基とアルキレン基との組み合わせからなる基(−NR’−アリーレン基−アルキレン基−、−NR’アルキレン基−アリーレン基−など);
(18)−NR’−と−CO−との組み合わせからなる基(−NR’−CO−、−NR’−CO−NR’−など);
(19)−NR’−と−CO−とアルキレン基との組み合わせからなる基(−NR’−CO−アルキレン基−など);
(20)−NR’−と−CO−とアリーレン基との組み合わせからなる基(−NR’−CO−アリーレン基−など);
(21)−NR’−と−CO−とアルキレン基とアリーレン基の組み合わせからなる基(−NR’−CO−アルキレン基−アリーレン基−など);
(22)−SO2−;
(23)上記(L−1)で表される基;
(24)上記(L−5)で表される基;
(25)NR’−と−SO2−との組み合わせからなる基(−NR’−SO2−など);
(26)NR’−と−SO2−とアルキレン基との組み合わせからなる基(−NR’−SO2−アルキレン基−など);
(27)NR’−と−SO2−とアリーレン基との組み合わせからなる基(−NR’−SO2−アリーレン基−など);
(28)NR’−と−SO2−とアルキレン基とアリーレン基との組み合わせからなる基(−NR’−SO2−アルキレン基−アリーレン基−、−NR’−SO2−アリーレン基−アルキレン基−など);
(29)上記(L−1)で表される基とアルキレン基との組み合わせからなる基;
(30)上記(L−1)で表される基とアリーレン基との組み合わせからなる基;
(31)上記(L−1)で表される基と−SO2−とアルキレン基との組み合わせからなる基;
(32)上記(L−1)で表される基と−S−とアルキレン基との組み合わせからなる基;
(33)上記(L−1)で表される基と−O−とアリーレン基との組み合わせからなる基;
(34)上記(L−1)で表される基と−NR’−と−CO−とアリーレン基との組み合わせからなる基;
(35)上記(L−1)で表される基と−COO−との組み合わせからなる基;
(36)上記(L−1)で表される基と−OCO−との組み合わせからなる基;
(37)上記(L−1)で表される基と−COO−とアルキレン基との組み合わせからなる基;
(38)上記(L−1)で表される基と−OCO−とアルキレン基との組み合わせからなる基;
(39)上記(L−3)で表される基とアリーレン基との組み合わせからなる基;
(40)−OCO−とアリーレン基と−CO−と−NR’−との組み合わせからなる基;
(41)−COO−とアリーレン基と−CO−と−NR’−との組み合わせからなる基;
酸性基としては、カルボキシル基、スルホ基等が挙げられる。
塩基性基としては、後述する式(X−3)〜(X−9)で表される基が挙げられる。
塩構造を有する基としては、上述した酸性基の塩、塩基性基の塩が挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、金属原子、テトラブチルアンモニウムなどが挙げられる。金属原子としては、アルカリ金属原子またはアルカリ土類金属原子が好ましい。アルカリ金属原子としては、リチウム、ナトリウム、カリウム等が挙げられる。アルカリ土類金属原子としては、カルシウム、マグネシウム等が挙げられる。
フタルイミド基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した酸性基、塩基性基、塩構造を有する基等が挙げられる。また、上述した式(1)で説明した置換基Tであってもよい。置換基Tは、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
R100〜R106が表すアルケニル基の炭素数は、2〜10が好ましく、2〜8がより好ましく、2〜4がさらに好ましい。
R100〜R106が表すアリール基の炭素数は、6〜18が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。
R100とR101は互いに連結して環を形成していてもよい。環は、脂環であってもよく、芳香族環であってもよい。環は単環であってもよく、縮合環であってもよい。R100とR101が結合して環を形成する場合の連結基としては、−CO−、−O−、−NH−、2価の脂肪族基、2価の芳香族基およびそれらの組み合わせからなる群より選ばれる2価の連結基が挙げられる。前述の環の具体例としては、例えば、ピペラジン環、ピロリジン環、ピロール環、ピペリジン環、ピリジン環、イミダゾール環、ピラゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピラジン環、モルホリン環、チアジン環、インドール環、イソインドール環、ベンズイミダゾール環、プリン環、キノリン環、イソキノリン環、キノキサリン環、シンノリン環、カルバゾール環などが挙げられる。R100とR101は環を形成していないことが好ましい。
Mはアニオンと塩を構成する原子または原子団を表す。これらは、上述したものが挙げられ、好ましい範囲も同様である。
R100およびR101は、それぞれ独立して、アルキル基またはアリール基を表すことが好ましく、アルキル基がより好ましい。アルキル基は、直鎖または分岐のアルキル基が好ましく、直鎖のアルキル基がより好ましい。
式(1)において、nは1〜10の整数を表し、1〜4が好ましく、1〜3がより好ましく、1〜2がさらに好ましく、1が特に好ましい。
R7およびR8は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR9R10、または金属原子を表し、
R7は、R3またはR5と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R8は、R4またはR6と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R9およびR10は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R9およびR10が互いに結合して環を形成していてもよく、
L1およびL2は、各々独立に、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−SO2−もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
X1およびX2は、各々独立に、酸性基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミド基を表し、
n1およびn2は、各々独立に0〜4を表し、n1およびn2の少なくとも一方が1以上である。
式(1a)のX1およびX2は、式(1)のXと同義であり、好ましい範囲も同様である。
また、以下の化合物(B−27)の場合、ピロロピロール構造に直結するベンゼン環とX1とをつなぐ鎖を構成する原子の数は10個であり、ピロロピロール構造に直結するベンゼン環とX2とをつなぐ鎖を構成する原子の数も10個である。化合物(B−27)は、n1=2およびn2=2である。化合物(B−27)は、式(1a)において、n1およびn2が2で、X1およびX2が−N(C2H5)2である化合物である。
なお、構造式に併記した数字は、X1またはX2と、ピロロピロール構造に直結するベンゼン環とをつなぐ鎖を構成する原子の数である。
本発明の組成物は、上述した式(1)で表される化合物以外の顔料誘導体(他の顔料誘導体ともいう)を含んでいてもよい。他の顔料誘導体としては、下記式(A)で表される化合物が挙げられる。
顔料誘導体中における式(1)で表される化合物の含有量は、3質量%以上であることが好ましく、5質量%であることがより好ましく、10質量%以上であることがさらに好ましく、式(1)で表される化合物のみで実質的に構成されていることが特に好ましい。なお、顔料誘導体が、式(1)で表される化合物のみで実質的に構成されている場合とは、顔料誘導体の全質量に対する式(1)で表される化合物の含有量が99質量%以上であることが好ましく、99.5質量%以上であることがさらに好ましく、式(1)で表される化合物が100質量%であることが一層好ましい。
本発明の組成物は、顔料100質量部に対し、式(1)で表される化合物を1〜50質量部含有することが好ましい。下限値は、3質量部以上がより好ましく、5質量部以上がさらに好ましい。上限値は、40質量部以下がより好ましく、30質量部以下がさらに好ましい。式(1)で表される化合物の含有量が上記範囲であれば、顔料の分散性が良好である。式(1)で表される化合物は1種類のみでも、2種類以上でもよく、2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、溶剤を含む。溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、組成物の塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物は、更に樹脂を含むことが好ましい。樹脂は、例えば、顔料などを組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などを分散させるために用いる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
樹脂の重量平均分子量(Mw)は、2,000〜2,000,000であることが好ましい。上限は、1,000,000以下がより好ましく、500,000以下がさらに好ましい。下限は、3,000以上がより好ましく、5,000以上がさらに好ましい。
樹脂である分散剤は、酸性樹脂、塩基性樹脂および両性樹脂から選ばれる1種以上を含むことが好ましく、酸性樹脂および両性樹脂から選ばれる1種以上を含むことがより好ましい。
本発明において、酸性樹脂とは、酸基を有する樹脂であって、酸価が5mgKOH/g以上、アミン価が5mgKOH/g未満の樹脂を意味する。酸性樹脂は、塩基性基を有さないことが好ましい。酸性樹脂が有する酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸性樹脂の酸価は、5〜200mgKOH/gが好ましい。下限は、10mgKOH/g以上がより好ましく、20mgKOH/g以上がさらに好ましい。上限は、100mgKOH/g以下がより好ましく、60mgKOH/g以下がさらに好ましい。また、酸性樹脂のアミン価は、2mgKOH/g以下が好ましく、1mgKOH/g以下がより好ましい。
本発明において、塩基性樹脂とは、塩基性基を有する樹脂であって、アミン価が5mgKOH/g以上、酸価が5mgKOH/g未満の樹脂を意味する。塩基性樹脂は、酸基を有さないことが好ましい。塩基性樹脂が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましい。塩基性樹脂のアミン価は、5〜200mgKOH/gが好ましく、5〜150mgKOH/gがより好ましく、5〜100mgKOH/gがさらに好ましい。
本発明において、両性樹脂とは、酸基と塩基性基を有する樹脂であって、酸価が5mgKOH/g以上で、アミン価が5mgKOH/g以上である樹脂を意味する。酸基としては、前述したものが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。塩基性基としては、アミノ基が好ましい。両性樹脂は、酸価が5mgKOH/g以上で、アミン価が5mgKOH/g以上であることが好ましい。酸価は、5〜200mgKOH/gがより好ましい。下限は、10mgKOH/g以上がより好ましく、20mgKOH/g以上がさらに好ましい。上限は、150mgKOH/g以下がより好ましく、100mgKOH/g以下がさらに好ましい。また、アミン価は、5〜200mgKOH/gが好ましい。下限は、10mgKOH/g以上がより好ましく、20mgKOH/g以上がさらに好ましい。上限は、150mgKOH/g以下がより好ましく、100mgKOH/g以下がさらに好ましい。両性樹脂の酸価とアミン価の比率は、酸価:アミン価=1:4〜4:1が好ましく、1:3〜3:1がより好ましい。
末端変性型高分子としては、例えば、特開平3−112992号公報、特表2003−533455号公報等に記載の末端にリン酸基を有する高分子、特開2002−273191号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平9−77994号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子などが挙げられる。また、特開2007−277514号公報に記載の高分子末端に2個以上の顔料表面へのアンカー部位(酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等)を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。
グラフト型高分子としては、例えば、特開昭54−37082号公報、特表平8−507960号公報、特開2009−258668公報等に記載のポリ(低級アルキレンイミン)とポリエステルの反応生成物、特開平9−169821号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開平10−339949号公報、特開2004−37986号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子を有するモノマーとの共重合体、特開2003−238837号公報、特開2008−9426号公報、特開2008−81732号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開2010−106268号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーの共重合体などが挙げられる。マクロモノマーとしては、例えば、東亞合成(株)製のマクロモノマーAA−6(末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル)、AS−6(末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン)、AN−6S(末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体)、AB−6(末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル)、(株)ダイセル製のプラクセルFM5(メタクリル酸2−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン5モル当量付加品)、FA10L(アクリル酸2−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン10モル当量付加品)、及び特開平2−272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。
ブロック型高分子としては、特開2003−49110号公報、特開2009−52010号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。
X1、X2、X3、X4、及びX5は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜12のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。
Y1、Y2、Y3、及びY4は、それぞれ独立に、2価の連結基を表す。2価の連結基としては、−CO−、−O−、−NH−、アルキレン基、アリーレン基およびこれらの組み合わせからなる基が挙げられる。
Z1、Z2、Z3、及びZ4が表す1価の基の構造は、特に限定されない。例えば、アルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基などが挙げられる。
R8およびR9はR1と同義の基である。
Lは単結合、アルキレン基(炭素数1〜6が好ましい)、アルケニレン基(炭素数2〜6が好ましい)、アリーレン基(炭素数6〜24が好ましい)、ヘテロアリーレン基(炭素数1〜6が好ましい)、イミノ基(炭素数0〜6が好ましい)、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基である。なかでも、単結合もしくは−CR5R6−NR7−(イミノ基がXもしくはYの方になる)であることが好ましい。ここで、R5およびR6は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基(炭素数1〜6が好ましい)を表す。R7は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基である。
LaはCR8CR9とNとともに環構造を形成する構造であり、CR8CR9の炭素原子と合わせて炭素数3〜7の非芳香族複素環を形成する構造であることが好ましい。より好ましくは、CR8CR9の炭素原子およびN(窒素原子)を合わせて5〜7員の非芳香族複素環を形成する構造であり、さらに好ましくは5員の非芳香族複素環を形成する構造であり、ピロリジンを形成する構造であることが特に好ましい。この構造はさらにアルキル基等の置換基を有していてもよい。
XはpKa14以下の官能基を有する基を表す。
Yは原子数40〜10,000の側鎖を表す。側鎖Yは、ポリカプロラクトン構造を有するポリマー鎖であることが好ましく、上述した式(a)または式(b)で表される構造を有するポリマー鎖であることがより好ましい。
上記樹脂(オリゴイミン系樹脂)は、さらに式(I−3)、式(I−4)、および、式(I−5)で表される繰り返し単位から選ばれる1種以上を共重合成分として含有していてもよい。上記樹脂が、このような繰り返し単位を含むことで、顔料の分散性能を更に向上させることができる。
Yaはアニオン基を有する原子数40〜10,000の側鎖を表す。式(I−3)で表される繰り返し単位は、主鎖部に一級又は二級アミノ基を有する樹脂に、アミンと反応して塩を形成する基を有するオリゴマー又はポリマーを添加して反応させることで形成することが可能である。Yaは、ポリカプロラクトン構造を有するポリマー鎖であることが好ましく、上述した式(a)または式(b)で表される構造を有するポリマー鎖であることがより好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、分子中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。重合性基としては、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂としては、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン(株)製)、Photomer6173(COOH含有 polyurethane acrylic oligomer.Diamond Shamrock Co.,Ltd.製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(例えば、ACA230AA)、プラクセル CF200シリーズ(いずれも(株)ダイセル製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー(株)製)、アクリキュアRD−F8((株)日本触媒製)などが挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、2,000〜50,000であることが好ましい。下限は、5,000以上が好ましく、7,000以上がより好ましい。上限は、30,000以下が好ましく、20,000以下がより好ましい。
本発明の組成物は、上述した各成分を混合することによって調製することができる。組成物の調製に際しては、組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分をそれぞれお有機溶剤に溶解または分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。また、顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。また「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」や「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」に記載のプロセス及び分散機を好適に使用することが出来る。また、顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程による顔料の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は例えば特開2015−194521号公報、特開2012−046629号公報に記載のものを使用することができる。
フィルタの孔径は、0.01〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01〜3.0μm程度、より好ましくは0.05〜0.5μm程度である。この範囲とすることにより、微細な異物を確実に除去することが可能となる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられ、具体的にはロキテクノ社製のSBPタイプシリーズ(SBP008など)、TPRタイプシリーズ(TPR002、TPR005など)、SHPXタイプシリーズ(SHPX003など)のフィルタカートリッジを用いることができる。
また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社(DFA4201NXEYなど)、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
例えば、第1のフィルタでは、分散液のみをろ過し、他の成分を混合した後で、第2のろ過を行ってもよい。
本発明の硬化性組成物は、上述した組成物と、硬化性化合物とを含む。
本発明の硬化性組成物において、顔料の含有量は、必要に応じて調整することができる。例えば、硬化性組成物の全固形分中0.01〜50質量%であることが好ましい。下限は、0.1質量%以上がより好ましく、0.5質量%以上がさらに好ましい。上限は、30質量%以下がより好ましく、15質量%以下がさらに好ましい。本発明の硬化性組成物が顔料を2種以上含む場合、その合計量は上記範囲内であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、硬化性化合物を含む。硬化性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物、エポキシ基を有する化合物、メチロール基を有する化合物等が挙げられ、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物が好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
本発明において、硬化性化合物は、重合性化合物であることが好ましく、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。ラジカル重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物などが挙げられる。重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を有する基を1個以上有する化合物が好ましく、2個以上有する化合物がより好ましく、3個以上有することがさらに好ましい。上限は、たとえば、15個以下が好ましく、6個以下がより好ましい。
また、重合性化合物として、ジグリセリンEO(エチレンオキシド)変性(メタ)アクリレート(市販品としては M−460;東亞合成(株)製)が好ましい。ペンタエリスリトールテトラアクリレート(新中村化学工業(株)製、A−TMMT)、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート(日本化薬(株)製、KAYARAD HDDA)も好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。例えば、RP−1040(日本化薬(株)製)などが挙げられる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学工業(株)製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600、ライトアクリレートDCP―A(共栄社化学(株)製)などが挙げられる。
また、重合性化合物として、アロニックス M−215、M−305、M−313、M−315、TO−2349(東亞合成(株)製)、SR−368(サートマー社製)、A−9300(新中村化学工業(株)製)などのイソシアヌル酸エチレンオキシ(EO)変性モノマーを好ましく用いることができる。
エポキシ基を有する化合物は、1分子内にエポキシ基を1つ以上有する化合物であり、2つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基を1分子内に1〜100個有する化合物が好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。エポキシ基の下限は、2個以上が好ましい。
また、重合性化合物の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜90質量%であることが好ましい。下限は、5質量%以上がより好ましく、10質量%以上がさらに好ましく、20質量%以上が一層好ましい。上限は、80質量%以下がより好ましく、75質量%以下がさらに好ましい。重合性化合物は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
また、本発明の硬化性組成物において、重合性化合物の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して10〜35質量%が好ましい。下限は12質量%以上が好ましく、14質量%以上がより好ましい。上限は、33質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましい。
本発明の硬化性組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有するものが好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤が好ましい。また、光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0274〜0275を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記式(OX−1)で表される化合物が好ましい。オキシム化合物は、オキシムのN−O結合が(E)体のオキシム化合物であってもよく、オキシムのN−O結合が(Z)体のオキシム化合物であってもよく、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
式(OX−1)中、Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
式(OX−1)中、Bで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
式(OX−1)中、Aで表される二価の有機基としては、炭素数1〜12のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルキニレン基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
本発明は、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開WO2015/036910号公報に記載されている化合物OE−01〜OE−75が挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有していても良い。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、アルカリ現像によって所望のパターンを形成できる。アルカリ可溶性樹脂としては、上述した組成物で説明したアルカリ可溶性樹脂や、酸基を有する樹脂が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
本発明の硬化性組成物において、酸基を有する樹脂の含有量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対し、14〜70質量%が好ましい。下限は、17質量%以上がより好ましく、20質量%以上がさらに好ましい。上限は、56質量%以下がより好ましく、42質量%以下がさらに好ましい。
また、重合性化合物と樹脂との質量比は、重合性化合物/樹脂=0.3〜0.7であることが好ましい。上記質量比の下限は0.35以上がより好ましく、0.4以上がさらに好ましい。上記質量比の上限は0.65以下がより好ましく、0.6以下がさらに好ましい。上記質量比が、上記範囲であれば、矩形性に優れたパターンを形成することができる。
また、重合性化合物と、酸基を有する樹脂との質量比は、重合性化合物/酸基を有する樹脂=0.3〜0.7であることが好ましい。上記質量比の下限は0.35以上がより好ましく、0.4以上がさらに好ましい。上記質量比の上限は0.65以下がより好ましく、0.6以下がさらに好ましい。上記質量比が、上記範囲であれば、矩形性に優れたパターンを形成することができる。
また、重合性化合物と、アルカリ可溶性樹脂との質量比は、重合性化合物/アルカリ可溶性樹脂=0.3〜0.7であることが好ましい。上記質量比の下限は0.35以上がより好ましく、0.4以上がさらに好ましい。上記質量比の上限は0.65以下がより好ましく、0.6以下がさらに好ましい。上記質量比が、上記範囲であれば、矩形性に優れたパターンを形成することができる。
本発明の硬化性組成物は、染料を含有することもできる。染料の種類としては、特に限定はない。可視領域に吸収を有する染料(有彩色染料)であってもよく、近赤外領域に吸収を有する染料(近赤外線吸収染料)であってもよい。
染料の公知の化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、スクアリリウム系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等が挙げられ、これらの染料を本発明に使用することができる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。また、特開2015−028144号公報、特開2015−34966号公報に記載の染料を用いることもできる。
染料の含有量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対し、1〜50質量%が好ましい。下限は、3質量%以上がより好ましく、5質量%以上がさらに好ましい。上限は、30質量%以下がより好ましく、20質量%以下がさらに好ましい。
本発明の硬化性組成物は、近赤外領域の光の少なくとも一部を透過し、かつ、可視領域の光を遮光する色材(以下、可視光を遮光する色材ともいう)を含有することもできる。本発明の硬化性組成物が可視光を遮光する色材を含有する場合、顔料の含有量は、その可視光を遮光する色材の全質量に対して、90質量%以上が好ましく、95質量%以上がより好ましく、99質量%以上が更に好ましい。可視光を遮光する色材は、複数の色材の組み合わせにより、黒色、灰色、またはそれらに近い色を呈することが好ましい。また、可視光を遮光する色材は、紫色から赤色の波長域の光を吸収する材料であることが好ましい。また、可視光を遮光する色材は、波長450〜650nmの波長域の光を遮光する色材であることが好ましい。
(1):2種類以上の有彩色着色剤を含む態様。
(2):有機系黒色着色剤を含む態様。
なお、本発明において、可視光を遮光する色材としての有機系黒色着色剤は、可視領域の光を吸収するが、近赤外領域の光の少なくとも一部を透過する材料を意味する。したがって、本発明において、可視光を遮光する色材としての有機系黒色着色剤は、近赤外領域の光および可視領域の光の両方を吸収する黒色着色剤である、カーボンブラックやチタンブラックは含まない。また、有彩色着色剤とは、白色着色剤および黒色着色剤以外の着色剤を意味する。有彩色着色剤は、波長400〜650nmの範囲に吸収を有する着色剤が好ましい。本発明において、有彩色着色剤は、顔料(有彩色顔料)であってもよく、染料(有彩色染料)であってもよい。
上記の特性は、1種類の素材で満たしていてもよく、複数の素材の組み合わせで満たしていてもよい。例えば、上記(1)の態様の場合、複数の有彩色着色剤を組み合わせて上記分光特性を満たしていることが好ましい。
(1)黄色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
(2)黄色着色剤、青色着色剤および赤色着色剤を含有する態様
(3)黄色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様
(4)黄色着色剤および紫色着色剤を含有する態様
(5)緑色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様
(6)紫色着色剤およびオレンジ色着色剤を含有する態様
(7)緑色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様
(8)緑色着色剤および赤色着色剤を含有する態様
また、本発明の硬化性組成物は、可視光を遮光する色材を実質的に含有しない態様とすることもできる。可視光を遮光する色材を実質的に含有しないとは、可視光を遮光する色材の含有量が、本発明の硬化性組成物の全固形分中、0.005質量%以下が好ましく、0.001質量%以下がより好ましく、可視光を遮光する色材を含有しないことがさらに好ましい。
本発明の硬化性組成物は、更に、シランカップリング剤を含有することができる。なお、本発明において、シランカップリング剤は、上述した硬化性化合物とは異なる成分である。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、珪素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくとも一方によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基は、樹脂との間で相互作用もしくは結合を形成して親和性を示す基を有することが好ましい。例えば、(メタ)アクリロイル基、フェニル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基が挙げられ、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。即ち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基と、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基のうちの少なくとも一方とを有する化合物が好ましい。
本発明の硬化性組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、DIC(株)製のメガファックDSシリーズ(化学工業日報、2016年2月22日)(日経産業新聞、2016年2月23日)、例えばメガファックDS−21が挙げられ、これらを用いることができる。
界面活性剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%であることが好ましく、0.005〜1.0質量%がより好ましい。
本発明の硬化性組成物は、紫外線吸収剤を含有することが好ましい。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物およびジケトン化合物が挙げられ、共役ジエン化合物が好ましい。共役ジエン化合物は、下記式(UV−1)で表される化合物がより好ましい。
R1及びR2は、R1及びR2が結合する窒素原子とともに、環状アミノ基を形成してもよい。環状アミノ基としては、例えば、ピペリジノ基、モルホリノ基、ピロリジノ基、ヘキサヒドロアゼピノ基、ピペラジノ基等が挙げられる。
R1及びR2は、各々独立に、炭素原子数1〜20のアルキル基であることが好ましく、炭素原子数1〜10のアルキル基がより好ましく、炭素原子数1〜5のアルキル基がさらに好ましい。
R3及びR4は、電子求引基を表す。ここで電子求引基は、ハメットの置換基定数σp値(以下、単に「σp値」という。)が、0.20以上1.0以下の電子求引基である。好ましくは、σp値が0.30以上0.8以下の電子求引基である。
R3は、シアノ基、−COOR5、−CONHR5、−COR5、−SO2R5より選択される基であることが好ましい。R4は、シアノ基、−COOR6、−CONHR6、−COR6、−SO2R6より選択される基であることが好ましい。R5及びR6は、各々独立に、炭素原子数1〜20のアルキル基、又は炭素原子数6〜20のアリール基を表す。
R3及びR4としては、アシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、スルファモイル基が好ましく、アシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、スルファモイル基がより好ましい。また、R3及びR4は、互いに結合して環状電子求引基を形成してもよい。R3およびR4が互いに結合して形成する環状電子求引基としては、例えば、2個のカルボニル基を含む6員環を挙げることができる。
上記のR1、R2、R3、及びR4の少なくとも1つは、連結基を介して、ビニル基と結合したモノマーより導かれるポリマーの形になっていてもよい。他のモノマーとの共重合体であっても良い。
アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状が挙げられ、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。
アルコキシ基の炭素数は、1〜20が好ましい。アルコキシ基は、直鎖、分岐、環状が挙げられ、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。
R101及びR102の一方がアルキル基で、他方がアルコキシ基である組み合わせが好ましい。
m1およびm2は、それぞれ独立して0〜4を表す。m1およびm2は、それぞれ独立して0〜2が好ましく、0〜1がより好ましく、1が特に好ましい。
紫外線吸収剤の含有量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、0.01〜10質量%であることが好ましく、0.01〜5質量%がより好ましい。
本発明の硬化性組成物は、硬化性組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、重合禁止剤を含有させてもよい。重合禁止剤としては、例えばフェノール系水酸基含有化合物類、N−オキシド化合物類、ピペリジン1−オキシルフリーラジカル化合物類、ピロリジン1−オキシルフリーラジカル化合物類、N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン類、ジアゾニウム化合物類、カチオン染料類、スルフィド基含有化合物類、ニトロ基含有化合物類、リン系化合物類、ラクトン系化合物類、遷移金属化合物類(FeCl3、CuCl2等)が挙げられる。また、重合禁止剤はフェノール骨格やリン含有骨格などの重合禁止機能を発現する構造が同一分子内に複数存在する複合系化合物であってもよい。例えば特開平10−46035号公報に記載の化合物なども好適に用いられる。重合禁止剤の具体例としては、ハイドロキノン、パラメトキシフェノール、ジ−tert−ブチル−パラクレゾール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、パラメトキシフェノールが好ましい。
重合禁止剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.01〜5質量%であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、溶剤を含有する。溶剤としては、上記組成物で説明したものが挙げられ、好ましい範囲も同様である。
本発明の硬化性組成物中の溶剤の含有量は、本発明の硬化性組成物の全固形分が5〜90質量%となる量が好ましく、10〜80質量%となる量がより好ましく、20〜75質量%となる量がさらに好ましい。
本発明の硬化性組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、目的とする近赤外線カットフィルタなどの光学フィルタの安定性、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開2012−003225号公報の段落番号0183以降(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の[0237])の記載、特開2008−250074号公報の段落番号0101〜0104、0107〜0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。好ましくは、分子量500以上のフェノール化合物、分子量500以上の亜リン酸エステル化合物又は分子量500以上のチオエーテル化合物が挙げられる。これらは2種以上を混合して使用してもよい。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。特に、フェノール性水酸基に隣接する部位(オルト位)に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数1〜22の置換又は無置換のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、t−ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルへキシル基がより好ましい。また、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤として、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。リン系酸化防止剤としてはトリス[2−[[2,4,8,10−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)ジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、トリス[2−[(4,6,9,11−テトラ−tert−ブチルジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−2−イル)オキシ]エチル]アミン、および亜リン酸エチルビス(2,4−ジ−tert−ブチル−6−メチルフェニル)からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が挙げられる。これらは、市販品として容易に入手可能であり、アデカスタブ AO−20、アデカスタブ AO−30、アデカスタブ AO−40、アデカスタブ AO−50、アデカスタブ AO−50F、アデカスタブ AO−60、アデカスタブ AO−60G、アデカスタブ AO−80、アデカスタブ AO−330((株)ADEKA)などが挙げられる。酸化防止剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.01〜20質量%であることが好ましく、0.3〜15質量%であることがより好ましい。酸化防止剤は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上を使用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、上述した各成分を混合することによって調製することができる。また、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタの種類、ろ過方法については、組成物で説明したものが挙げられ、好ましい範囲も同様である。
本発明の硬化性組成物は、液状とすることができるため、例えば、本発明の硬化性組成物を基材などに適用し、乾燥させることにより硬化膜を容易に製造できる。
本発明の硬化性組成物の粘度は、塗布により硬化膜を形成する場合は、1〜100mPa・sであることが好ましい。下限は、2mPa・s以上がより好ましく、3mPa・s以上が更に好ましい。上限は、50mPa・s以下がより好ましく、30mPa・s以下が更に好ましく、15mPa・s以下が特に好ましい。
本発明の硬化性組成物の全固形分は、塗布方法により変更されるが、例えば、1〜50質量%であることが好ましい。下限は10質量%以上がより好ましい。上限は30質量%以下がより好ましい。
また、可視光を遮光する色材を含む硬化性組成物を用いることで、特定の波長以上の近赤外線のみを透過可能な赤外線透過フィルタの形成に用いることもできる。例えば、波長400〜900nmまでを遮光し、波長900nm以上の近赤外線を透過可能な赤外線透過フィルタを形成することもできる。この場合、可視光を遮光する色材と、近赤外線吸収顔料とを併用することが好ましい。赤外線透過フィルタは、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値は、20%以下が好ましく、10%以下がより好ましい。また、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1300nmの範囲における最小値は、65%以上が好ましく、70%以上がより好ましい。また、波長400〜830nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bは、4.5以上が好ましく、8以上がより好ましい。
次に、本発明の硬化膜、近赤外線カットフィルタおよび赤外線透過フィルタについて説明する。
本発明の硬化膜は、上述した本発明の硬化性組成物を用いてなるものである。本発明の硬化膜は、近赤外線カットフィルタや、赤外線透過フィルタなどに好ましく用いることができる。硬化膜は、支持体上に積層した状態で用いてもよく、硬化膜を支持体から剥離して用いてもよい。
本発明の硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、20μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上が更に好ましい。
また、本発明の近赤外線カットフィルタおよび赤外線透過フィルタは、上述した本発明の硬化性組成物を用いてなるものである。
本発明において、本発明の硬化性組成物を用いた近赤外線カットフィルタと、有彩色着色剤を含むカラーフィルタとを積層して、積層体としてもよい。積層体は、近赤外線カットフィルタと、カラーフィルタとが、厚み方向で隣接していてもよく、隣接していなくてもよい。近赤外線カットフィルタと、カラーフィルタとが、厚み方向で隣接していない場合は、カラーフィルタが形成された基材とは別の基材に近赤外線カットフィルタが形成されていてもよく、近赤外線カットフィルタとカラーフィルタとの間に、固体撮像素子を構成する他の部材(例えば、マイクロレンズ、平坦化層など)が介在していてもよい。
次に、パターン形成方法について説明する、パターン形成方法は、本発明の硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、硬化性組成物層に対してパターンを形成する工程と、を含む。
また、ドライエッチング法によるパターン形成は、各組成物を用いて支持体上に組成物層を形成し、硬化して硬化物層を形成する工程と、硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして硬化物層をドライエッチングしてパターンを形成する工程とを含むことが好ましい。以下、各工程について説明する。
組成物層を形成する工程では、各組成物を用いて、支持体上に組成物層を形成する。
パターンは、固体撮像素子用基板の固体撮像素子形成面側(おもて面)に形成してもよいし、固体撮像素子非形成面側(裏面)に形成してもよい。支持体は、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
<<露光工程>>
次に、組成物層を、パターン状に露光する(露光工程)。例えば、組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cm2が好ましく、0.05〜1.0J/cm2がより好ましく、0.08〜0.5J/cm2が最も好ましい。
露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(好ましくは15体積%以下、より好ましくは5体積%以下、さらに好ましくは実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(好ましくは22体積%以上、より好ましくは30体積%以上、さらに好ましくは50体積%以上)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常1000W/m2〜100000W/m2(好ましくは5000W/m2以上、より好ましくは15000W/m2以上、さらに好ましくは35000W/m2以上)の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m2、酸素濃度35体積%で照度20000W/m2などとすることができる。
次に、未露光部を現像除去してパターンを形成する。未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。
現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上に形成した組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、得られた硬化物層上にフォトレジスト層を形成し、次いでこのフォトレジスト層をパターニングしてマスクを形成し、次いで、このパターニングされたフォトレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングすることで行うことができる。フォトレジスト層の形成においては、プリベーク処理を施すことが好ましい。特に、フォトレジストの形成プロセスとしては、露光後の加熱処理、現像後の加熱処理(ポストベーク処理)を実施する形態が望ましい。ドライエッチング法でのパターン形成については、特開2013−064993号公報の段落0010〜0067の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の固体撮像素子は、本発明の硬化膜を含む。また、本発明のカメラモジュールは、固体撮像素子と、本発明の近赤外線カットフィルタとを有する。固体撮像素子の構成としては、本発明の硬化膜を有する構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
本発明の赤外線センサは、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明の赤外線センサの構成としては、本発明の硬化膜を有する構成であり、赤外線センサとして機能する構成であれば特に限定はない。
図1において、符号110は、固体撮像素子である。固体撮像素子110上に設けられている撮像領域は、近赤外線カットフィルタ111と、赤外線透過フィルタ114とを有する。また、近赤外線カットフィルタ111上には、カラーフィルタ112が積層している。カラーフィルタ112および赤外線透過フィルタ114の入射光hν側には、マイクロレンズ115が配置されている。マイクロレンズ115を覆うように平坦化層116が形成されている。
例えば、赤外LEDの発光波長が850nmである場合、赤外線透過フィルタ114は、膜の厚み方向における光透過率の、波長400〜650nmの範囲における最大値が30%以下であることが好ましく、20%以下であることがより好ましく、10%以下であることがさらに好ましく、0.1%以下であることが特に好ましい。この透過率は、波長400〜650nmの範囲の全域で上記の条件を満たすことが好ましい。波長400〜650nmの範囲における最大値は、通常、0.1%以上である。
赤外線透過フィルタ114の分光特性、膜厚等の測定方法を以下に示す。
膜厚は、膜を有する乾燥後の基板を、触針式表面形状測定器(ULVAC社製 DEKTAK150)を用いて測定した。
膜の分光特性は、分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製 U−4100)を用いて、波長300〜1300nmの範囲において透過率を測定した値である。
酸価は、固形分1gあたりの酸性成分を中和するのに要する水酸化カリウムの質量を表したものである。測定サンプルをテトラヒドロフラン/水=9/1(質量比)混合溶媒に溶解し、電位差滴定装置(商品名:AT−510、京都電子工業製)を用いて、得られた溶液を、25℃にて、0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定pH曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
A=56.11×Vs×0.5×f/w
A:酸価(mgKOH/g)
Vs:滴定に要した0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液の使用量(mL)
f:0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液の力価
w:測定サンプル質量(g)(固形分換算)
アミン価は、固形分1gあたりの塩基性成分と当量の水酸化カリウム(KOH)の質量で表したものである。測定サンプルを酢酸に溶解し、電位差滴定装置(商品名:AT−510、京都電子工業製)を用いて、得られた溶液を、25℃にて、0.1mol/L過塩素酸/酢酸溶液で中和滴定した。滴定pH曲線の変曲点を滴定終点として次式によりアミン価を算出した。
B=56.11×Vs×0.1×f/w
B:アミン価(mgKOH/g)
Vs:滴定に要した0.1mol/L過塩素酸/酢酸溶液の使用量(mL)
f:0.1mol/L過塩素酸/酢酸溶液の力価
w:測定サンプルの質量(g)(固形分換算)
測定サンプルを、大気圧下で、25℃の溶剤に添加し、1時間攪拌したのち、測定サンプルの溶剤に対する溶解度を求めた。
下記スキームに従い化合物(A−1)を合成した。
1H−NMR(ジメチルスルホキシド(DMSO)/テトラヒドロフラン(THF)混合):δ0.95(t,3H),1.02(d,3H),1.58(m,1H),1.87(m,1H),3.92(m,2H),7.66(d,2H),8.54(d,2H)
(A−1−a)179質量部、2−(2−ベンゾチアゾリル)アセトニトリル162.5質量部をトルエン1840質量部中で撹拌し、オキシ塩化リン476.74質量部を滴下し3.5時間加熱還流した。反応終了後、内温25℃まで冷却し、内温30℃以下を維持しつつメタノール1800質量部を90分間かけて滴下した。滴下終了後、室温で30分間撹拌した。析出した結晶をろ別し、メタノール450質量部で洗浄した。得られた結晶にメタノール2300質量部を加えて、30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶をろ別した。得られた結晶を40℃12時間送風乾燥させることで、化合物(A−1−b)を240質量部得た。
1H−NMR(CDCl3):δ0.99(t,3H),1.07(d,3H),1.58(m,1H),1.93(m,1H),3.93(m,2H),7.15(d,2H),7.66(d,2H),8.54(d,2H)
ジフェニルボリン酸2−アミノエチルエステル119質量部、化合物(A−1−b)170質量部をトルエン2840質量部中で撹拌し、外接温度40℃で、四塩化チタン167質量部を30分間かけて滴下し、30分間撹拌した。外接温度を130℃まで昇温させ、3時間加熱還流した。内温30℃になるまで放冷し、内温30℃以下を維持しつつメタノール1620質量部を滴下した。滴下後30分間撹拌し、析出した結晶をろ別し、メタノール150質量部で洗浄した。得られた結晶に1500質量部のメタノールを加え室温で10分間撹拌し、結晶をろ別するという操作を2回行った。得られた結晶にテトラヒドロフラン(THF)2000質量部を加えて、30分間加熱還流し、30℃以下になるまで放冷し、結晶をろ別した。得られた結晶を40℃で12時間送風乾燥させることで、顔料(A−1)を234質量部得た。MALDI−MS(飛行時間型質量分析法)により、分子量1100.5のピークが観測され、化合物(A−1)であると同定した。化合物(A−1)の極大吸収波長(λmax)は、クロロホルム中で780nmであった。
下記スキームに従い化合物(A−9)を合成した。
1H−NMR(DMSO(ジメチルスルホキシド):ナトリウムメトキシドの28質量%メタノール溶液=95:5(質量比)の混合液) ; δ0.82(t,6H),1.15−1.70(m,26H),4.40(m,2H),6.78(d,4H),8.48(d,2H)
化合物(A−9−a)20.0質量部、2−(2−ベンゾチアゾリル)アセトニトリル15.4質量部をトルエン230質量部中で攪拌し、オキシ塩化リン45.0質量部を滴下し3.5時間加熱還流した。反応終了後、内温25℃まで冷却し、内温30℃以下を維持しつつメタノール200質量部を60分間かけて滴下した。滴下終了後、室温で30分間攪拌した。析出した結晶をろ別し、メタノール100質量部で洗浄した。得られた結晶にメタノール200質量部を加えて、30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶をろ別した。得られた結晶を40℃12時間送風乾燥させることで、化合物(A−9−b)を8.8質量部得た。
1H−NMR(CDCl3):δ0.90−1.90(m,32H),4.54(m,2H),7.12(d,4H),7.20−7.40(m,2H),7.43(t,2H),7.75(d,4H),7.81(t,4H)
ジフェニルボリン酸2−アミノエチルエステル3.9質量部、化合物(A−9−b)6.0質量部をトルエン60質量部中で攪拌し、外接温度40℃で、四塩化チタン10.6質量部を10分間かけて滴下し、30分間攪拌した。外接温度130℃まで昇温し3時間加熱還流した。内温30℃になるまで放冷し、内温30℃以下を維持しつつメタノール40質量部を滴下した。滴下後30分間攪拌し、析出した結晶をろ別し、メタノール35質量部で洗浄した。得られた結晶に50質量部のメタノールを加えて30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶をろ別するという操作を2回行った。得られた結晶を40℃で12時間送風乾燥させることで、化合物(A−9)を4.6質量部得た。
1H−NMR(DMSO):δ6.20−6.30(dd,8H),6.91(d,2H),7.12−7.21(m,24H),7.92(d,2H),9.54(s,2H)
MALDI−MSにより分子量1090.9のピークが観測され、化合物(A−9)であると同定した。化合物(A−9)のλmaxは、DMSO(ジメチルスルホキシド)中で782nmであった。
下記スキームに従い化合物(A−8)を合成した。
1H−NMR(CDCl3):δ3.85(s,3H),4.22(s,2H),7.16(d,1H),7.38(s,1H),7.97(d,1H)
(A−1−a)と(A−8−b)を原料にして、(A−1−b)の合成と同様の方法にて、(A−8−c)を合成した。
1H−NMR(DMSO(ジメチルスルホキシド):ナトリウムメトキシドの28質量%メタノール溶液=95:5(質量比)の混合液):δ0.98(t,6H),1.12(d,6H),1.30(m,2H),1.63(m,2H),1.95(m,2H),3.89(m,4H),6.88(d,2H),6.98(d,4H),7.42(m,4H),7.67(s,2H),7.85(d,4H)
化合物(A−8−c)を原料にして、化合物(A−1)の合成と同様の方法にて、化合物(A−8)を合成した。MALDI−MSにより分子量1161.1のピークが観測され、化合物(A−8)であると同定した。化合物(A−8)のλmaxは、クロロホルム中で802nmであった。
1H−NMR(CDCl3):δ1.00(t,6H),1.05(d,6H),1.33(m,2H),1.63(m,2H),1.95(m,2H),3.74(m,4H),6.46(s,8H),6.57(d,2H),6.85(d,2H),6.98(s,2H),7.20(m,12H),7.25(m,8H)
下記スキームに従い化合物(A−201)を合成した。
1H−NMR(CDCl3):δ0.87(t,6H),0.99(d,6H),1.30−2.00(m,6H),3.99(m,4H),7.20(d,4H),7.60−7.80(m,10H),8.03(d,2H),9.10(s,2H),14.07(s,2H)
ジフェニルボリン酸2−アミノエチルエステル5.6質量部、化合物(A−201−b)2.0質量部をトルエン40質量部中で攪拌し、外接温度40℃で、四塩化チタン7.8質量部を10分間かけて滴下し、30分間攪拌した。外接温度130℃まで昇温し1.5時間加熱還流した。内温30℃になるまで放冷し、内温30℃以下を維持しつつメタノール40質量部を滴下した。滴下後30分間攪拌し、析出した結晶をろ別し、メタノール80質量部で洗浄した。得られた結晶に60質量部のメタノールを加えて30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶をろ別するという操作を2回行った。得られた結晶を40℃で12時間送風乾燥させることで、化合物(A−201)を1.9質量部得た。MALDI−MSにより分子量1090.9のピークが観測され、化合物(A−201)であると同定した。化合物(A−201)のλmaxは、クロロホルム中で862nmであった。
1H−NMR(CDCl3):δ1.02(t,6H),1.10(d,6H),1.34(m,2H),1.57(m,2H),2.00(m,2H),3.85(m,4H),6.19(d,4H),6.59(d,4H),7.10−7.32(m,24H),7.72(d,2H),8.00(d,2H),9.06(s,2H)
下記スキームに従い化合物(A−15)を合成した。
化合物(A−9−a)125.0質量部、化合物(A−15−b)112.5質量部をトルエン1400質量部中で攪拌し、オキシ塩化リン281.5質量部を95℃で滴下し、95℃1時間撹拌した。反応終了後、内温25℃まで冷却し、内温30℃以下を維持しつつメタノール2500質量部を30分間かけて滴下した。滴下終了後、25℃で30分間攪拌した。析出した結晶を濾別し、メタノール1250質量部で洗浄した。得られた結晶にメタノール1250質量部を加えて、30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶を濾別するという操作を2回繰り返した。得られた結晶を50℃12時間送風乾燥させることで、化合物(A−15−c)を140.2質量部得た。
ジフェニルボリン酸2−アミノエチルエステル116.0質量部、化合物(A−15−c)135.0質量部をトルエン2160質量部中で攪拌し、外接温度95℃で、四塩化チタン251.3質量部を15分間かけて滴下した。外接温度130℃まで昇温し1時間加熱還流した。内温30℃になるまで放冷し、内温30℃以下を維持しつつメタノール2160質量部を滴下した。滴下後30分間攪拌し、析出した結晶を濾別し、メタノール1080質量部で洗浄した。得られた結晶に2160質量部のメタノールを加えて30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶を濾別した。得られた結晶を50℃で12時間送風乾燥した後、2025質量部のN−メチルピロリドンを加えて120℃で2時間撹拌し、30℃になるまで放冷し、結晶を濾別し、N−メチルピロリドン675質量部、メタノール1350質量部で順に洗浄した。得られた結晶に2025質量部のジメチルアセトアミドを加えて85℃で1時間撹拌し、30℃になるまで放冷し、結晶を濾別し、ジメチルアセトアミド675質量部、メタノール1350質量部で順に洗浄した。得られた結晶に2025質量部のメタノールを加えて30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶を濾別した。得られた結晶を50℃で12時間送風乾燥させることで、化合物(A−15)を130.0質量部得た。MALDI−MSにより分子量1020.3のピークが観測され、化合物(A−15)であると同定した。化合物(A−15)のλmaxは、DMSO(ジメチルスルホキシド)中で795nmであった。
以下の条件にて測定し、ピーク面積%を求めた。
測定装置:Agilent製1200
カラム:Phenomenex製kinetex5μC18100A(250mm×直径4.60mm)
溶離液:酢酸0.1体積%テトラヒドロフラン(THF)溶液/酢酸0.1体積%イオン交換水=60/40(体積比)
流量:1.0mL/min
カラム温度:40℃
検出波長:254nm
測定装置としてパーキンエルマー製Optima7300DVを使用した。試料約50mgに硝酸5mLと硫酸0.5mLを添加してマイクロウェーブにて260℃にて灰化し、水で40mLに希釈した液について、誘導結合プラズマ発光分光分析にて測定し、試料中のチタン含有量を算出した。
試料約2mgを精秤し、石英ボード上に乗せ、燃焼式ハロゲン分析装置(ダイアインスツルメンツ製AQF−100)を使用して900℃で燃焼した後、吸収液に気化したガスを吸収させ、イオンクロマトグラフィにて塩素量を定量した。吸収液は約300質量ppm過酸化水素水+約3.6質量ppm酒石酸を3mL使用した。イオンクロマトグラフィは、以下の条件で測定した。
カラム:サーモフィッシャーサイエンティフィック製AS12A
溶離液:2.7mmol/L炭酸ナトリウム+0.3mmol/L炭酸水素ナトリウム
流量:1.5mL/min
カラム温度:35℃
測定装置として、リガク製試料水平型強力X線回折装置RINT−TTR IIIを使用し、回折角度2θ=5°〜55°、電圧50kV、電流300mA、スキャンスピード4°/min、ステップ間隔0.1、スリット(散乱0.05mm、発散10mm、受光0.15mm)の条件で、粉末X線回折スペクトルを測定した。得られた粉末X線回折スペクトルにおいて、回折角度2θが5〜10°の回折強度が最も大きいピークを、ローレンツ関数[y=A/(1+((x−x0)/w)2)+h]にフィッティングして、同ピークの半値全幅を求めた。ここで、yは強度、Aはピーク高さ、xは2θ、x0はピーク位置、wはピーク幅(半値半幅)、hはベースラインである。
下記スキームに従い化合物(A−81)を合成した。MALDI−MSにより分子量1228.3のピークが観測され、化合物(A−81)であると同定した。化合物(A−81)のλmaxは、クロロホルム中で800nmであった。
下記スキームに従い化合物(A-514)を合成した。
中間体C−0a5.0質量部と、オキシ塩化リン30質量部をフラスコに入れ、加熱還流条件で2時間攪拌した。反応後、反応液を300質量部の水に注ぎ、析出物を濾取した。この結晶を送風乾燥することで、中間体C−0bを5.0質量部得た。
60質量%の水素化ナトリウム1.3質量部と、テトラヒドロフラン10質量部とをフラスコに入れ、氷浴下でシアノ酢酸tert−ブチル4.0質量部を滴下した。室温で1時間攪拌した後に、中間体C−0b 5.0質量部を添加し、12時間攪拌した。反応液を75質量部の水に注ぎ、酢酸3質量部を加え、析出物を濾取した。この結晶を50℃で送風乾燥することで、中間体C−0cを4.6質量部得た。
中間体C−0c 4.0質量部と、トリフルオロ酢酸12質量部と、ジクロロメタン24質量部をフラスコに入れ、60℃で1時間攪拌した。反応後、炭酸ナトリウム水溶液を加え、クロロホルムで有機層を抽出した。溶媒を減圧除去し、得られた結晶を酢酸エチルで再結晶により精製した。この結晶を50℃で送風乾燥することで、中間体C−0を2.0質量得た。
ジフェニルボリン酸2−アミノエチルエステル51質量部を1,2−ジクロロベンゼン500質量部中で攪拌し、外接温度40℃で、四塩化チタン72.2質量部を10分間かけて滴下し、30分間攪拌した。A−bを25質量添加し、外接温度130℃まで昇温し90分加熱還流した。内温30℃になるまで放冷し、内温30℃以下を維持しつつメタノール1000質量部を滴下した。滴下後30分間攪拌し、結晶をろ別し、メタノール500質量部で洗浄した。得られた結晶に250質量部のメタノールを加えて30分間加熱還流し、30℃になるまで放冷し、結晶をろ別した。得られた結晶を40℃で12時間送風乾燥させることで、化合物(A−c)を25質量部得た。
中間体C−1a 50質量部をクロロホルム500質量部中で攪拌し、ジメチルホルムアミド(DMF)0.1質量部、塩化オキサリル46質量部を添加した。室温で3時間撹拌した後、溶媒を減圧留去することで、中間体C−1を54質量部得た。
1H−NMR(CDCl3):δ3.27(s,6H),6.39(d,4H),7.00(d,4H),7.20〜7.40(m,20H),7.81(s,2H),8.05(s,2H),8.29(s,2H),8.65(s,2H),8.76(s,2H),9.05(s,2H),
化合物(A−514)のλmaxは、クロロホルム中で883nmであった。
化合物(A−1)の合成と同様の方法にて、化合物(A−102)、(A−103)、(A−116)、(A−117)、(A−118)、(A−601)、(A−602)、(A−603)を合成した。いずれもMALDI−MS(Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization−Mass Spectrometry)により、分子量が理論値と同じであった事から目的化合物であると同定した。クロロホルム中でのλmaxは化合物(A−102)は742nm、化合物(A−103)は745nm、化合物(A−116)は740nm、化合物(A−117)は742nm、化合物(A−118)は745nm、化合物(A−601)は718nm、化合物(A−602)は723nm、化合物(A−603)は720nmであった。
化合物(A−514)の合成と同様の方法にて、化合物(A−401)、(A−407)、(A−413)、(A−416)、(A−419)、(A−422)を合成した。いずれもMALDI−MSにより、分子量が理論値と同じであった事から目的化合物であると同定した。クロロホルム中でのλmaxは化合物(A−401)は740nm、化合物(A−407)は746nm、化合物(A−413)は746nm、化合物(A−416)は746nm、化合物(A−419)は746nm、化合物(A−422)は746nmであった。
下記スキームに従い化合物(B−1)を合成した。
1H−NMR(ジメチルスルホキシド):δ1.76(m,8H),3.42(m,4H),3.93(m,4H),6.34−6.47(dd,8H),6.89(d,2H),7.12−7.21(m,24H),7.93(d,2H)
1H−NMR(CDCl3):1.07(t,12H)、2.56(q,8H)、3.67(s,4H)、6.60(d,4H)、6.85(d,4H)、6.91−7.40(m,26H)、7.51(m,6H)、8.19(d,4H)
4−[(ジエチルアミノ)メチル]−安息香酸クロリドの代わりに、イソニコチン酸クロリド、ニコチン酸クロリドを用いる以外は、化合物(B−22)と同様の手法を用いることで、化合物(B−14)、(B−16)を得た。
1H−NMR(CDCl3):2.21(quin,4H)、3.96(t,4H)、4.02(t,4H)、6.35(d,4H)、6.40(d,4H)、7.00−7.25(m,28H)7.73(m,4H)、7.89(m,4H)
下記スキームに従い中間体C−2を合成した。
化合物(B−a)を15質量部と炭酸セシウム22.5質量部とを、ジメチルアセトアミド(DMAC)100質量部とテトラヒドロフラン100質量部との混合液中で10分撹拌した。プロパンスルトン10質量部を加え、外接温度60℃まで昇温し90分加熱還流した。内温30℃になるまで放冷し、テトラヒドロフラン200質量部を加え、析出した結晶をろ別した。1mol/L塩化水素/酢酸エチル溶液100質量部に得られた結晶を添加し、30分室温で撹拌し、析出した結晶をろ別する操作を2回行った。得られた結晶に水75質量部を加えて、30分室温で撹拌し、析出した結晶をろ別した。得られた結晶に酢酸エチル300質量部を加えて30分加熱還流し、30℃まで放冷し結晶をろ別した。得られた結晶を40℃で12時間送風乾燥させることで、化合物(B−634)を9.0質量部得た。
MALDI−MSより分子量1676.2のピークが観測され、化合物(B−634)と同定した。
下記スキームに従い中間体C−3を合成した。
中間体C−3aの30質量部をクロロホルム300質量部中で攪拌し、ジメチルホルムアミド(DMF)0.1質量部、塩化オキサリル19質量部を添加した。室温で3時間撹拌した後、溶媒を減圧留去することで、中間体C−3を42質量部得た。
1H−NMR(CDCl3):δ1.06(t,12H),δ1.97(m,4H),δ2.63(m,12H),δ3.83(t,4H),6.39(d,4H),6.99(d,4H),7.20〜7.40(m,20H),7.82(s,2H),8.04(s,2H),8.29(s,2H),8.65(s,2H),8.75(s,2H),9.05(s,2H)
化合物(B−644)のλmaxは、クロロホルム中で883nmであった。
下記スキームに従い化合物(B−522)を合成した。
1H−NMR(CDCl3):δ1.70〜2.10(m,8H),δ2.33(t,2H),δ3.41(t,2H),δ3.90〜4.08(m,2H),δ6.31(d,1H)
MALDI−MSより分子量1221.0のピークが観測され、化合物(B−522)と同定した。
<組成物(分散液)>
(製造例1)
下記表に示す顔料10質量部、下記表に示す顔料誘導体3質量部、下記表に示す樹脂7.8質量部、下記表に示す溶剤150質量部、および直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を混合し、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して組成物を製造した。なお、実施例19は、顔料A−6を5質量部と、顔料A−9を5質量部と用いた。また、実施例32は、顔料誘導体B−1を1.5質量部と、顔料誘導体B−33を1.5質量部とを用いた。
下記表に示す顔料10質量部、下記表に示す顔料誘導体2質量部、下記表に示す樹脂7.8質量部、下記表に示す溶剤150質量部、および直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を混合し、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して組成物を製造した。
(顔料)
A−1〜10、A−14〜16、A−25、A−30、A−33、A−34、A−38、A−39、A−60、A−76、A−81、A−101、A−106、A−145、A−201、A−203、A−207、A−209、A−257、A−301、A−dpp、A−ph:下記構造の化合物。A−1〜10、A−14〜16、A−25、A−30、A−33、A−34、A−38、A−39、A−60、A−76、A−81、A−101、A−106、A−145、A−201、A−203、A−207、A−209、A−257、A−301は、25℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよび2−ブタノールに対する溶解度が0〜0.1g/Lであり、700〜1200nmの範囲に極大吸収波長を有する化合物である。
B−1、B−7、B−12、B−14、B−16、B−18、B−22、B−28、B−31、B−35、B−101、B−201、B−202、B−322、B−323、B−324、B−325、B−dr−1、B−dpp:下記構造の化合物。B−dr−1におけるmは平均2であり、B−dppにおけるmは平均2である。B−1、B−12、B−14、B−16、B−18、B−22、B−28、B−31、B−322、B−323、B−324、B−325、B−dr−1は、25℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよび2−ブタノールに対する溶解度が0〜0.1g/Lである。
D−1:下記構造の樹脂(酸価=105mgKOH/g、重量平均分子量=8000)。主鎖に付記した数値は繰り返し単位の質量比を表し、側鎖に付記した数値は、繰り返し単位の数を表す。
D−2:下記構造の樹脂(酸価=32.3mgKOH/g、アミン価=45.0mgKOH/g、重量平均分子量=22900)。主鎖に付記した数値は繰り返し単位の質量比を表し、側鎖に付記した数値は、繰り返し単位の数を表す。
C−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
C−2:2−ブタノール
C−3:プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)
下記の成分を混合して、硬化性組成物を作製した。
・上記で得られた組成物(分散液):55質量部
・アルカリ可溶性樹脂(アクリベースFF−426、(株)日本触媒製):7.0質量部
・重合性化合物(アロニックス M−305、ペンタエリスリトールトリアクリレートとペンタエリスリトールテトラアクリレートとの混合物、ペンタエリスリトールトリアクリレート55〜63質量%含有、東亞合成(株)製):4.5質量部
・光重合開始剤(IRGACURE OXE02、BASF社製):0.8質量部
・重合禁止剤(パラメトキシフェノール):0.001質量部
・界面活性剤(下記混合物(Mw=14000)。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%は質量%である。):0.03質量部
・溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート):31質量部
硬化性組成物をガラス基板上にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱して塗布層を得た。得られた塗布層を、i線ステッパーあるいはアライナーを用い、500mJ/cm2の露光量にて露光した。次いで、露光後の塗布層に対し、さらにホットプレートを用いて220℃で5分間硬化処理を行い、厚さ0.7μmの硬化膜を得た。
(粘度)
E型粘度計を用いて、25℃での組成物(分散液)の粘度を、回転数1000rpmの条件で測定し、下記基準で評価した。
A:1mPa・s以上15mPa・s以下
B:15mPa・sを超え30mPa・s以下
C:30mPa・sを超え100mPa・s以下
D:100mPa・sを超える
E型粘度計を用いて25℃の組成物(分散液)の粘度を、回転数20rpmおよび回転数50rpmの条件で測定し、回転数20rpmでの粘度/回転数50rpmでの粘度をチキソトロピーインデックス(TI値)と定義し下記基準で評価した。
A:TI値が1以上1.3以下
B:TI値が1.3を超え、1.5以下
C:TI値が1.5を超え、2以下
D:TI値が2を超える
組成物(分散液)の顔料の平均粒子径は、日機装(株)製のMICROTRACUPA 150を用いて、体積基準で測定した。
A:5nm以上50nm以下
B:50nmを超え100nm以下
C:100nmを超え500nm以下
D:500nmを超える
下記表に示す硬化性組成物を用いて製造した硬化膜と、下記表に示す硬化性組成物から顔料誘導体のみを除いた硬化性組成物を用いて製造した硬化膜の、波長400〜650nmの範囲の透過率を分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて測定した。400〜650nmで最大の透過率変化を下記式から算出し、下記基準で評価した。
透過率変化=|顔料誘導体を含む硬化性組成物を用いた硬化膜の透過率−顔料誘導体を含まない硬化性組成物を用いた硬化膜の透過率|
A:透過率変化が5%未満
B:透過率変化が5%以上10%未満
C:透過率変化が10%以上
硬化膜を、ホットプレートにて、260℃で300秒加熱した。加熱前後の硬化膜の波長400〜1200nmの光に対する透過率を分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて測定した。400nm〜1200nmで最大の透過率変化を下記式から算出し、下記基準で評価した。
透過率変化=|(加熱後の透過率−加熱前の透過率)|
A:透過率変化が3%未満
B:透過率変化が3%以上5%未満
C:透過率変化が5%以上
硬化膜をスーパーキセノンランプ(10万ルクス)搭載の退色試験機にセットし、紫外線カットフィルタを使用しない条件下にて、50時間の光照射を行った。次に、照射後の硬化膜の透過スペクトルを、分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて測定し、極大吸収波長の吸光度について、その残存率を下記式から算出し、下記基準で評価した。
残存率(%)={(照射後の吸光度)÷(照射前の吸光度)}×100
A:残存率が95%を超え100%
B:残存率が80%を超え95%以下
C:残存率80%以下
これに対し、比較例は、顔料の分散性と、顔料誘導体の有無による可視透過率変化の少なくとも一方が劣るものであった。
上記で得られた実施例101〜116、実施例119、実施例132の硬化性組成物を、塗布後の膜厚が0.7μmになるように、下塗り層付きシリコンウェハ上にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱して硬化性組成物層を得た。次いで、得られた硬化性組成物層に対し、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1.1μm四方のベイヤーパターンを有するマスクを介して露光(露光量は線幅1.1μmとなる最適露光量を選択)した。次いで、露光後の硬化性組成物層に対し、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗し、パターンを得た。得られたパターンの下地上に残る残渣の量を画像の2値化処理により、下記基準で評価した。
A:残渣量が下地全面積の1%未満
B:残渣量が下地全面積の1%を超え3%以下
C:残渣量が下地全面積の3%超
実施例101〜116、実施例119、実施例132の硬化性組成物を用いて得られたパターンはいずれも評価Aであり、フォトリソグラフィに適していることがわかった。
また、実施例において、重合性化合物を、アロニックス M−305(東亞合成(株)製)の代わりに、KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製)とNKエステル A−DPH−12E(新中村化学工業(株)製)とを質量比1:1で併用したものに置き換えても同様の効果が得られる。
また、実施例において、重合性化合物を、アロニックス M−305(東亞合成(株)製)の代わりに、NKエステル A−TMMT(新中村化学工業(株)製)とNKエステル A−DPH−12E(新中村化学工業(株)製)とを質量比1:1で併用したものに置き換えても同様の効果が得られる。
また、実施例において、重合性化合物を、アロニックス M−305(東亞合成(株)製)の代わりに、アロニックス TO−2349(東亞合成(株)製)とNKエステル A−DPH−12E(新中村化学工業(株)製)とを質量比1:1で併用したものに置き換えても同様の効果が得られる。
実施例において、アルカリ可溶性樹脂を、アクリベースFF−426((株)日本触媒製)の代わりに、アクリキュアRD−F8((株)日本触媒製)またはアクリベースFFS−6752((株)日本触媒製)を用いても同様の効果が得られる。
合成後の粗顔料5.3質量部、摩砕剤74.7質量部および粘結剤14質量部をラボプラストミル((株)東洋精機製作所製)に添加し、装置中の混練物の温度が70℃になるように温度コントロールして、2時間混練した。摩砕剤は中性無水芒硝E(平均粒子径(体積基準の50%径(D50))=20μm、三田尻化学製)、粘結剤はジエチレングリコールを使用した。混練研磨後の混練物を、24℃の水10Lで水洗処理して摩砕剤および粘結剤を取り除き、加熱オーブンで80℃24時間の処理を行った。
(赤外線透過フィルタ形成用硬化性組成物の調製)
下記組成を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、赤外線透過フィルタ形成用硬化性組成物を調製した。
実施例12の組成物・・・22.67質量部
顔料分散液1−1・・・11.33質量部
顔料分散液1−2・・・22.67質量部
顔料分散液1−3・・・10.34質量部
顔料分散液1−4・・・6.89質量部
重合性化合物(アロニックス M−305、東亞合成(株)製)・・・1.37質量部
樹脂101・・・3.52質量部
光重合開始剤(IRGACURE OXE 01、BASF社製)・・・0.86質量部
界面活性剤101・・・0.42質量部
重合禁止剤(パラメトキシフェノール)・・・0.001質量部
PGMEA・・・19.93質量部
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で混合、分散して、顔料分散液を調製した。
・C.I.ピグメントレッド・・・13.5質量部
・樹脂11・・・2質量部
・樹脂12・・・2質量部
・PGMEA・・・82.5質量部
・樹脂11:下記構造の樹脂(Mw=7950、主鎖に付記した数値は繰り返し単位の質量比を表し、側鎖に付記した数値は、繰り返し単位の数を表す。)
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で混合、分散して、顔料分散液を調製した。
・C.I.ピグメントブルー15:6 ・・・13.5質量部
・樹脂13・・・4質量部
・PGMEA・・・82.5質量部
・樹脂13:下記構造の樹脂(Mw=30000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位の質量比を表し、側鎖に付記した数値は、繰り返し単位の数を表す。)
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で混合、分散して、顔料分散液を調製した。
・C.I.ピグメントイエロー139・・・14.8質量部
・樹脂(Disperbyk−111、BYKChemie社製)・・・3質量部
・樹脂12 ・・・2.2質量部
・PGMEA ・・・80質量部
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で混合、分散して、顔料分散液を調製した。
・C.I.ピグメントバイオレット23 ・・・14.8質量部
・樹脂(Disperbyk−111、BYKChemie社製)・・・3質量部
・樹脂12 ・・・2.2質量部
・PGMEA ・・・80質量部
C.I.ピグメントレッド254を9.6質量部、C.I.ピグメントイエロー139を4.3質量部、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)を6.8質量部、PGMEAを79.3質量部とからなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Red顔料分散液を得た。
下記組成を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Red組成物を調製した。
Red顔料分散液・・51.7質量部
樹脂102(40%PGMEA溶液) ・・・0.6質量部
重合性化合物102・・・0.6質量部
光重合開始剤(IRGACURE OXE 01、BASF社製)・・・0.3質量部
界面活性剤101・・・4.2質量部
PGMEA・・・42.6質量部
C.I.ピグメントグリーン36を6.4質量部、C.I.ピグメントイエロー150を5.3質量部、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)を5.2質量部、PGMEAを83.1質量部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Green顔料分散液を得た。
下記組成を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Green組成物を調製した。
Green顔料分散液・・・73.7質量部
樹脂102(40%PGMEA溶液)・・・0.3質量部
重合性化合物(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製)・・・1.2質量部
光重合開始剤(IRGACURE OXE 01、BASF社製)・・・0.6質量部
界面活性剤101・・・4.2質量部
紫外線吸収剤(UV−503、大東化学社製)・・・0.5質量部
PGMEA・・・19.5質量部
C.I.ピグメントブルー15:6を9.7質量部、C.I.ピグメントバイオレット23を2.4質量部、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)を5.5部、PGMEAを82.4部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Blue顔料分散液を得た。
下記組成を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Blue組成物を調製した。
Blue顔料分散液・・・44.9質量部
樹脂102(40%PGMEA溶液) ・・・2.1質量部
重合性化合物(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製)・・・1.5質量部
重合性化合物102・・・0.7質量部
光重合開始剤(IRGACURE OXE 01、BASF社製)・・・0.8質量部
界面活性剤101・・・4.2質量部
PGMEA・・・45.8質量部
実施例116の硬化性組成物を、製膜後の膜厚が1.0μmになるように、シリコンウェハ上にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱した後に、更にホットプレートで200℃で5分間加熱した。次いでドライエッチング法により2μmのベイヤーパターン(近赤外線カットフィルタ)を形成した。
次に、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターン上に、Red組成物を製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2で2μmのドットパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートで、200℃で5分間加熱することで、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターン上に、Red組成物の硬化膜をパターニングした。同様にGreen組成物の硬化膜、Blue組成物の硬化膜を順次パターニングし、赤・青・緑の着色パターンを形成した。
次に、上記パターン形成した膜上に、組成101の赤外線透過フィルタ形成用硬化性組成物を、製膜後の膜厚が2.0μmになるようにスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2で2μmのベイヤーパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートで、200℃で5分間加熱し、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターンの抜け部分に、赤外線透過フィルタのパターニングを行った。これを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。
得られた固体撮像素子を、低照度の環境下(0.001Lux)にて、赤外発光ダイオード(赤外LED)光源から発光波長940nmの光を照射し、画像の取り込みを行ったところ被写体をはっきりと認識できた。
(赤外線透過フィルタ形成用硬化性組成物の調製)
下記組成を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、赤外線透過フィルタ形成用硬化性組成物を調製した。
顔料分散液10−2・・・37.1質量部
重合性化合物201・・・1.8質量部
樹脂201・・・1.1質量部
光重合開始剤201・・・0.9質量部
界面活性剤101・・・4.2質量部
重合禁止剤(パラメトキシフェノール)・・・0.001質量部
シランカップリング剤201・・・0.6質量部
PGMEA・・・7.8質量部
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で、3時間、混合、分散して、顔料分散液10−1を調製した。
・赤色顔料(C.I.ピグメントレッド254)及び黄色顔料(C.I.ピグメントイエロー139)からなる混合顔料・・・11.8質量部
・樹脂(Disperbyk−111、BYKChemie社製)・・・9.1質量部
・PGMEA ・・・79.1質量部
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で、3時間、混合、分散して、顔料分散液10−2を調製した。
・青色顔料(C.I.ピグメントブルー15:6)及び紫色顔料(C.I.ピグメントバイオレット23)からなる混合顔料・・・12.6質量部
・樹脂(Disperbyk−111、BYKChemie社製)・・・2.0質量部
・樹脂202・・・3.3質量部
・シクロヘキサノン ・・・31.2質量部
・PGMEA ・・・50.9部
実施例112の硬化性組成物を、製膜後の膜厚が1.0μmになるように、シリコンウェハ上にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱した後に、更にホットプレートで200℃で5分間加熱した。次いでドライエッチング法により2μmのベイヤーパターン(近赤外線カットフィルタ)を形成した。
次に、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターン上に、Red組成物を製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2で2μmのドットパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートで、200℃で5分間加熱することで、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターン上に、Red組成物の硬化膜をパターニングした。同様にGreen組成物の硬化膜、Blue組成物の硬化膜を順次パターニングし、赤・青・緑の着色パターンを形成した。
次に、上記パターン形成した膜上に、組成201の赤外線透過フィルタ形成用硬化性組成物を、製膜後の膜厚が2.0μmになるようにスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートで、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2で2μmのベイヤーパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートで、200℃で5分間加熱し、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターンの抜け部分に、赤外線透過フィルタのパターニングを行った。これを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。
得られた固体撮像素子を、低照度の環境下(0.001Lux)にて、赤外発光ダイオード(赤外LED)光源から発光波長850nmの光を照射し、画像の取り込みを行ったところ被写体をはっきりと認識できた。
YMS−01A−2(住友金属鉱山株式会社製:セシウム酸化タングステン粒子分散液)の49.84質量部と、下記樹脂301(固形分40%PGMEA溶液)の39.5質量部と、KAYARAD DPHA(日本化薬製)6.80質量部と、IRGACURE 369(BASF製)の2.18質量部と、PGMEA1.68質量部を混合、撹拌してセシウム酸化タングステン含有組成物を調製した。
樹脂301:下記構造の樹脂(酸価=70mgKOH/g、Mw=11000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位の質量比を表す。)
実施例101〜132の組成物をガラス基板上にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱して塗布層を得た。得られた塗布層を、i線ステッパーあるいはアライナーを用い、500mJ/cm2の露光量にて露光した。次いで、露光後の塗布層に対し、さらにホットプレートを用いて220℃で5分間硬化処理を行い、厚さ1.0μmの硬化膜を得た。その基板に上述のセシウム酸化タングステン含有組成物をスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱して塗布層を得た。得られた塗布層を、i線ステッパーあるいはアライナーを用い、500mJ/cm2の露光量にて露光した。次いで、露光後の塗布層に対し、さらにホットプレートを用いて220℃で5分間硬化処理を行い、厚さ3.0μmの硬化膜を得た。得られた近赤外線カットフィルタの800〜1300nmの波長領域の透過率は10%以下であった。
Claims (23)
- 顔料と、顔料誘導体と、溶剤とを含み、
前記顔料が式(PP)で表される化合物であり、
前記顔料誘導体が、下記式(1)で表される化合物を含む、組成物。
R 23 、R 24 、R 25 およびR 26 は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、またはヘテロアリール基を表し、
R 27 およびR 28 は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR 29 R 30 、または金属原子を表し、
R 27 は、R 21 、R 23 またはR 25 と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R 28 は、R 22 、R 24 またはR 26 と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R 29 およびR 30 は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R 29 およびR 30 が互いに結合して環を形成していてもよい。)
R3、R4、R5およびR6は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基またはヘテロアリール基を表し、
R7およびR8は、各々独立に、−BR 9 R 10 を表し、
R9およびR10は、各々独立に、ハロゲン原子、アルキル基またはアリール基を表し、R9およびR10が互いに結合して環を形成していてもよく、
Lは、式(L−1)で表される基とアルキレン基との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基とアリーレン基との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−SO 2 −とアルキレン基との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−S−とアルキレン基との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−O−とアリーレン基との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−NR’−と−CO−とアリーレン基との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−COO−との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−OCO−との組み合わせからなる基、式(L−1)で表される基と−COO−とアルキレン基との組み合わせからなる基または式(L−1)で表される基と−OCO−とアルキレン基との組み合わせからなる基を表し、
R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Xは、カルボキシル基、スルホ基、フタルイミド基、式(X−3)で表される基、式(X−4)で表される基または式(X−9)で表される基を表し、
mは1〜10の整数を表し、nは1〜10の整数を表し、mが2以上の場合は複数のLおよびXは互いに異なっていてもよく、nが2以上の場合は複数のXは互いに異なってもよい。)
- 顔料と、顔料誘導体と、樹脂と、溶剤とを含み、
前記顔料が式(PP)で表される化合物であり、
前記顔料誘導体が、下記式(1)で表される化合物を含み、
前記樹脂が、ポリカプロラクトン構造を有する樹脂を含む、組成物。
R 23 、R 24 、R 25 およびR 26 は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、またはヘテロアリール基を表し、
R 27 およびR 28 は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR 29 R 30 、または金属原子を表し、
R 27 は、R 21 、R 23 またはR 25 と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R 28 は、R 22 、R 24 またはR 26 と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R 29 およびR 30 は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R 29 およびR 30 が互いに結合して環を形成していてもよい。)
R3、R4、R5およびR6は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基またはヘテロアリール基を表し、
R7およびR8は、各々独立に、−BR 9 R 10 を表し、
R9およびR10は、各々独立に、ハロゲン原子、アルキル基またはアリール基を表し、R9およびR10が互いに結合して環を形成していてもよく、
Lは、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO2−もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Lは、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO2−もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Xは、カルボキシル基、スルホ基、フタルイミド基、式(X−3)で表される基、式(X−4)で表される基または式(X−9)で表される基を表し、
mは1〜10の整数を表し、nは1〜10の整数を表し、mが2以上の場合は複数のLおよびXは互いに異なっていてもよく、nが2以上の場合は複数のXは互いに異なってもよい。)
- 前記式(1)中、Xが、カルボキシル基、スルホ基および式(X−3)で表される基から選ばれる少なくとも1種である、請求項1または2に記載の組成物。
- 前記顔料が、700〜1200nmの範囲に極大吸収波長を有する化合物である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の組成物。
- 25℃における粘度が1〜100mPa・sである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記組成物中の前記顔料の平均粒子径が5〜500nmである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記顔料の100質量部に対し、前記顔料誘導体を1〜50質量部含有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記顔料は、極大吸収波長の異なる少なくとも2種の顔料を含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の組成物。
- 25℃の前記溶剤に対する、前記顔料の溶解度が、0〜0.1g/Lである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の組成物。
- 25℃の前記溶剤に対する、前記式(1)で表される化合物の溶解度が、0〜0.1g/Lである、請求項1〜9のいずれか1項に記載の組成物。
- さらに、樹脂を含む、請求項1に記載の組成物。
- 前記樹脂が、ポリカプロラクトン構造を有する樹脂を含む、請求項11に記載の組成物。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の組成物と、硬化性化合物とを含む、硬化性組成物。
- 前記硬化性化合物が重合性化合物であって、さらに光重合開始剤を含む、請求項13に記載の硬化性組成物。
- アルカリ可溶性樹脂を含む、請求項13または14に記載の硬化性組成物。
- 近赤外領域の光の少なくとも一部を透過し、かつ、可視領域の光を遮光する色材を含む、請求項13〜15のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 請求項13〜16のいずれか1項に記載の硬化性組成物を硬化してなる、硬化膜。
- 請求項13〜16のいずれか1項に記載の硬化性組成物を用いてなる、近赤外線カットフィルタ。
- 請求項13〜16のいずれか1項に記載の硬化性組成物を用いてなる、赤外線透過フィルタ。
- 顔料と、顔料誘導体と、溶剤とを含み、前記顔料が式(PP)で表される化合物であり、前記顔料誘導体が下記式(1)で表される化合物を含む組成物と、
硬化性化合物と、を含む硬化性組成物を用いてなる、赤外線透過フィルタ。
R 23 、R 24 、R 25 およびR 26 は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、またはヘテロアリール基を表し、
R 27 およびR 28 は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BR 29 R 30 、または金属原子を表し、
R 27 は、R 21 、R 23 またはR 25 と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R 28 は、R 22 、R 24 またはR 26 と、共有結合もしくは配位結合していてもよく、
R 29 およびR 30 は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、または、ヘテロアリールオキシ基を表し、R 29 およびR 30 が互いに結合して環を形成していてもよい。)
R 3 、R 4 、R 5 およびR 6 は、各々独立に、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基またはヘテロアリール基を表し、
R 7 およびR 8 は、各々独立に、−BR 9 R 10 を表し、
R 9 およびR 10 は、各々独立に、ハロゲン原子、アルキル基またはアリール基を表し、R 9 およびR 10 が互いに結合して環を形成していてもよく、
Lは、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO 2 −もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Lは、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、含窒素複素環基、−O−、−S−、−NR’−、−CO−、−COO−、−OCO−、−SO2−もしくはこれらの組み合わせからなる連結基を表し、R’は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Xは、カルボキシル基、スルホ基、フタルイミド基、式(X−3)で表される基、式(X−4)で表される基または式(X−9)で表される基を表し、
mは1〜10の整数を表し、nは1〜10の整数を表し、mが2以上の場合は複数のLおよびXは互いに異なっていてもよく、nが2以上の場合は複数のXは互いに異なってもよい。)
- 請求項17に記載の硬化膜を含む、固体撮像素子。
- 請求項17に記載の硬化膜を含む、赤外線センサ。
- 固体撮像素子と、請求項18に記載の近赤外線カットフィルタとを有する、カメラモジュール。
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