JPWO2018173918A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2…圧電性基板
3…IDT電極
4,5…反射器
6,7…第1,第2のバスバー
8,9…第1,第2の電極指
10,11…第1,第2のダミー電極指
13…誘電体膜
13a〜13c…誘電体膜部分
22…圧電性基板
22a…支持基板
22b…高音速材料層
22c…低音速材料層
22d…圧電膜
23…誘電体膜
23a〜23e…誘電体膜部分
Claims (9)
- 逆速度面が楕円形である圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられたIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電性基板上に設けられた誘電体膜とを備え、レイリー波を利用しており、
前記IDT電極が、複数本の第1の電極指と、前記複数本の第1の電極指と間挿し合っている複数本の第2の電極指とを有し、前記第1及び第2の電極指の延伸方向と直交する方向が弾性波伝搬方向であり、前記第1の電極指と前記第2の電極指を弾性波伝搬方向からみたときに重なり合っている領域を交差領域とし、前記第1,第2の電極指の延伸方向を交差幅方向とし、前記IDT電極における電極密度(%)をy(%)、前記IDT電極の波長規格化膜厚100h/λ(%)(hは厚み、λはIDT電極の電極指ピッチで定まる波長)をx(%)とした場合、前記IDT電極の電極密度yに応じて前記IDT電極の波長規格化膜厚xがy=0.3452x2−6.0964x+36.262…式(1)を満たすx以上とされており、前記IDT電極の前記交差領域が、前記交差幅方向中央の中央領域と、前記中央領域の交差幅方向一方外側及び他方外側に設けられた第1,第2のエッジ領域とを有し、前記第1,第2のエッジ領域上における前記誘電体膜の膜厚が、前記中央領域における前記誘電体膜の膜厚に比べて薄くされている、弾性波装置。 - 前記IDT電極が、複数の金属膜が積層されている積層金属膜からなり、前記yが、前記積層金属膜の密度である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記第1,第2のエッジ領域の前記交差幅方向外側に、前記第1,第2のエッジ領域における前記誘電体膜の膜厚よりも、前記誘電体膜の膜厚が厚い領域が設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1,第2のエッジ領域の前記交差幅方向外側に、前記第1の電極指または前記第2の電極指の一方のみが存在する第1,第2のギャップ領域が設けられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極指の先端と前記第2のギャップ領域を隔てて先端が対向している第1のダミー電極指と、前記第2の電極指の先端と前記第1のギャップ領域を隔てて先端が対向している第2のダミー電極指とをさらに備え、前記第1,第2のギャップ領域の前記交差幅方向外側に、それぞれ、第1,第2のダミー領域が設けられている、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記圧電性基板がニオブ酸リチウムからなる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電性基板が、圧電膜と、前記圧電膜に直接または間接に積層されており、前記圧電膜を伝搬する弾性波よりも伝搬するバルク波の音速が高速である、高音速材料からなる高音速材料層とを備える、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電膜と前記高音速材料層との間に積層されており、伝搬するバルク波の音速が、前記圧電膜を伝搬する弾性波の音速よりも低速である、低音速材料層をさらに備える、請求項8に記載の弾性波装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013518455A (ja) * | 2010-01-25 | 2013-05-20 | エプコス アーゲー | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
JP2013544041A (ja) * | 2011-03-25 | 2013-12-09 | パナソニック株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
WO2013191122A1 (ja) * | 2012-06-22 | 2013-12-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2014187568A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Panasonic Corp | 弾性波装置 |
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WO2010137279A1 (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | パナソニック株式会社 | 弾性波共振器と、これを用いたアンテナ共用器 |
DE102010053674B4 (de) * | 2010-12-07 | 2017-08-24 | Snaptrack Inc. | Elektroakustischer Wandler |
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---|---|---|---|---|
JP2013518455A (ja) * | 2010-01-25 | 2013-05-20 | エプコス アーゲー | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
JP2013544041A (ja) * | 2011-03-25 | 2013-12-09 | パナソニック株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
WO2013191122A1 (ja) * | 2012-06-22 | 2013-12-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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