JPWO2018163389A1 - ウエハ供給装置 - Google Patents

Abstract

複数のダイに分割されたウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置であり、ダイの数量を、ダイの各々に対して割り振られたランク毎に記憶するダイ情報記憶部と、搬送される基板に設けられたブロックに装着するダイの条件を取得するブロック情報取得部と、ブロックに装着するダイの必要数を取得するブロック必要数取得部と、ダイ情報記憶部に記憶された内容、ブロック情報取得部及びブロック必要数取得部が取得した内容に基づき、生産可能なブロックの数量を算出する生産可能数算出部と、を備えるウエハ供給装置。

Description

本発明は、ウエハ供給装置に関する。

特許文献１には、部品テープ等の部品供給手段に残存する部品の個数を用いて生産可能な基板の最大枚数を算出する技術が開示されている。また、特許文献２には、ペレット（ダイ）が有する電気的特性に基づいて各々のペレットを複数のカテゴリに分類（ランク分け）し、そのカテゴリ分類に基づいてペレットをピックアップする順序を決定する技術が開示されている。

特開平８−２６４９９８号公報 特開平３−１６１９４２号公報

上記した特許文献２に記載の技術のように、１つの基板に対し、電気的特性又はカテゴリ分類が連続する複数のペレットを装着する必要がある場合、特許文献１に記載の技術をそのまま用いて基板の生産可能枚数を算出することができない。特に、生産途中でウエハを交換できないような生産形態の場合、生産途中に部品が切れると、未完成の基板が発生する。

本発明は、未完成の基板が発生することを防止できるウエハ供給装置を提供することを目的とする。

本明細書は、複数のダイに分割されたウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置を開示する。前記ウエハ供給装置は、前記ダイの数量を、前記ダイの各々に対して割り振られたランク毎に記憶するダイ情報記憶部と、搬送される基板に設けられたブロックに装着する前記ダイの条件を取得するブロック情報取得部と、前記ブロックに装着する前記ダイの必要数を取得するブロック必要数取得部と、前記ダイ情報記憶部に記憶された内容、前記ブロック情報取得部及び前記ブロック必要数取得部が取得した内容に基づき、生産可能な前記ブロックの数量を算出する生産可能数算出部と、を備える。

このウエハ供給装置によれば、生産可能数算出部は、ダイ情報記憶部に記憶された内容及びブロック情報取得部が取得した内容に基づいて、生産可能なブロックの数量を算出する。これにより、生産可能なブロックの数量を事前に把握することができるので、ダイの不足に起因する未完成の基板が発生することを防止できる。

本明細書で開示する第一実施形態における部品装着機の斜視図である。 ウエハ供給装置の突き上げポットを側面から見た図である。 部品装着機のブロック図である。 ウエハ供給制御部のブロック図である。 ウエハ供給制御部により実行される生産可能数算出処理を示すフローチャートである。 第二実施形態におけるウエハ供給制御部のブロック図である。 ウエハ供給制御部により実行される生産可否判定処理を示すフローチャートである。

１．第一実施形態
１−１：部品装着機１の構成
以下、本開示に係るウエハ供給装置を適用した各実施形態について、図面を参照しながら説明する。まず、図１を参照して、第一実施形態におけるウエハ供給装置２０を用いた部品装着機１の概略構成を説明する。

図１に示すように、部品装着機１は、基板搬送装置１０と、ウエハ供給装置２０と、部品移載装置３０と、部品撮像装置４０と、基板撮像装置５０と、制御装置１００（図３参照）と、を主に備える。なお、図１において、基板Ｋが搬送される方向をＸ軸方向、Ｘ軸に直交する水平方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直な鉛直方向をＺ軸方向とする。

基板搬送装置１０は、部品を装着する対象となる基板Ｋの搬入及び搬出を行う。基板搬送装置１０は、部品装着機１の機内に搬入した基板Ｋの位置決めを行い、基板Ｋに部品が装着された後、基板Ｋを部品装着機１の機外へ搬出する。

ウエハ供給装置２０は、マガジン収納部２１と、複数のウエハパレット２２と、パレット搬送機構２３と、ウエハ撮像装置２４とを主に備える。マガジン収納部２１は、縦長の直方体形状のハウジング２１ａにより形成される。ハウジング２１ａの上部にはパレット搬入部２１ｂが設けられ、ハウジング２１ａの下部にはパレット排出部２１ｃが設けられる。ハウジング２１ａには、マガジン２１ｄが収容される。マガジン２１ｄは、複数段の収納棚を有する箱状の部材であり、ハウジング２１ａに対して昇降可能に設けられる。マガジン２１ｄの各収納棚には、ウエハパレット２２が引き出し可能に収納される。ウエハパレット２２は、パレット搬入部２１ｂから搬入されてマガジン２１ｄに収納され、使用後にパレット排出部２１ｃから排出される。

ウエハパレット２２は、パレット枠２２ａと、エキスパンド台２２ｂとを備える。パレット枠２２ａは、中央に孔を有する枠体であり、エキスパンド台２２ｂは、パレット枠２２ａの上面の孔まわりに設けられた円環状の部材である。エキスパンド台２２ｂは、ダイシングシートＳに張力を付与した状態で、ダイシングシートＳの周囲を保持する。そのダイシングシートＳには、ダイシング処理により複数のダイＤに分割されたウエハＷが貼着される。

パレット搬送機構２３は、マガジン収納部２１の後方に設けられる。パレット搬送機構２３は、横長の直方体形状の本体部２３ａと、一対のガイドレール２３ｂと、ボールねじ送り機構２３ｃとを主に備える。ウエハパレット２２は、ボールねじ送り機構２３ｃによりマガジン２１ｄから引き出され、一対のガイドレール２３ｂに沿って供給位置まで搬送される。そして、供給位置にあるウエハパレット２２は、ボールねじ送り機構２３ｃによりマガジン２１ｄへ戻される。なお、図１には、１つのウエハパレット２２が供給位置まで搬送された状態が図示されている。ウエハ撮像装置２４は、ウエハＷを上方から撮像するカメラである。

また、図２に示すように、ウエハ供給装置２０は、突き上げポット２５と、ポット移動装置２６と、ポット昇降装置２７とを更に備える。突き上げポット２５は、ダイＤをピックアップする際に、ダイＤをダイシングシートＳごと下方から突き上げる。

ポット移動装置２６は、パレット枠２２ａの内側に配置され、Ｘ方向及びＹ方向（図２前後左右方向）へ移動可能に設けられる。ポット昇降装置２７は、ポット移動装置２６の上面に設けられ、Ｚ方向（図２上下方向）へ昇降可能に設けられる。突き上げポット２５は、ポット昇降装置２７の上面に設けられ、ポット昇降装置２７及び突き上げポット２５は、ポット移動装置２６の移動に伴って、Ｘ方向及びＹ方向へ移動する。そして、突き上げポット２５は、ポット昇降装置２７の上昇に伴って上昇し、ダイシングシートＳを介してダイＤを下方から突き上げる。

また、部品装着機１には、ウエハ供給装置２０を駆動する各種モータ（図示せず）が設けられる。このウエハ供給装置２０を駆動する各種モータには、マガジン２１ｄや、ポット移動装置２６、ポット昇降装置２７を駆動するモータが含まれる。

図１に戻り、説明を続ける。部品移載装置３０は、ヘッド駆動装置３１と、移動台３２と、装着ヘッド３３とを主に備える。ヘッド駆動装置３１は、直動機構により移動台３２をＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動可能に設けられる。装着ヘッド３３は、図示しないフレームを介して移動台３２に固定される。装着ヘッド３３は、供給位置に供給された部品であるダイＤを保持し、位置決めされた基板ＫにダイＤを装着する。また、装着ヘッド３３には、保持ツール３４が着脱可能に設けられ、その保持ツール３４には、複数の部品保持部３５が回転可能、且つ、昇降可能に設けられる。部品保持部３５は、吸着によりダイＤを着脱可能に保持するノズルである。

また、部品装着機１には、部品移載装置３０を駆動する各種モータ（図示せず）が設けられる。この部品移載装置３０を駆動する各種モータには、移動台３２をＸ軸方向へ移動させるＸ軸モータやＹ軸方向へ移動させるＹ軸モータ、装着ヘッド３３をＺ軸まわりに回転させるＲ軸モータ、複数の部品保持部３５の各々をＺ軸まわりに回転させるθ軸モータが含まれる。

部品撮像装置４０は、基板搬送装置１０とウエハ供給装置２０との間に設けられたカメラであり、部品保持部３５に保持されたダイＤを下方から撮像する。基板撮像装置５０は、移動台３２に設けられたカメラであり、基板Ｋを上方から撮像する。

図３に示すように、制御装置１００は、基板搬送制御部１１０と、ウエハ供給制御部１２０と、部品移載制御部１３０と、部品撮像制御部１４０と、基板撮像制御部１５０とを主に備える。基板搬送制御部１１０は、基板搬送装置１０に設けられる。基板搬送装置１０は、基板Ｋの搬入、位置決め及び搬出に関する制御を行う。ウエハ供給制御部１２０は、ウエハ供給装置２０に設けられる。ウエハ供給制御部１２０は、ウエハ供給装置２０に関する全般的な制御を行う。なお、ウエハ供給制御部１２０の詳細については、後述する。

部品移載制御部１３０は、部品移載装置３０に設けられる。部品移載制御部１３０は、各種モータの駆動制御を行うことにより、移動台３２の位置や部品保持部３５によるダイＤの吸着動作及び装着動作に関する制御を行う。部品撮像制御部１４０は、部品撮像装置４０に設けられる。部品撮像装置４０は、部品撮像装置４０による撮像を行い、その撮像結果に基づいて、部品保持部３５が保持するダイＤの保持位置や角度等を検出する。そして、部品移載制御部１３０は、必要に応じて各種モータを制御することにより、部品保持部３５が保持するダイＤの向きを変更する。基板撮像制御部１５０は、基板撮像装置５０に設けられる。基板撮像制御部１５０は、基板Ｋの表面に付された位置マークを基板撮像装置５０により撮像し、その撮像結果に基づいてダイＤの装着位置の誤差を把握する。部品移載制御部１３０は、必要に応じて各種モータを制御し、基板Ｋに対するダイＤの装着位置の修正を行う。

１−２：ウエハ供給制御部１２０
次に、図４を参照して、ウエハ供給制御部１２０について説明する。図４に示すように、ウエハ供給制御部１２０は、ダイ情報記憶部１２１と、ランク別ダイ数量記憶部１２２と、ブロック情報取得部１２３と、予備設定部１２４と、生産可能数算出部１２５と、生産可能数表示部１２６と、を備える。

ダイ情報記憶部１２１は、マガジン２１ｄに収納された全てのウエハＷに含まれるダイＤに関する情報を記憶する。ここで、ウエハＷをマガジン２１ｄに収納する前段階において、ウエハＷに含まれる各々のダイＤには、所定の特性（例えば、抵抗値や周波数など）に基づいたランク分けがなされている。ダイ情報記憶部１２１は、ウエハＷに含まれるダイＤの各々の位置に関する情報を、ダイＤの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶する。なお、ウエハＷには、ダイＤの位置及びランクに関する情報に関連付けられたバーコードが付されている。部品装着機１は、ウエハ供給装置２０に設けられたバーコードリーダ（図示せず）でバーコードを読み取ることにより、ウエハＷに含まれるダイＤに関する情報を取得し、ダイ情報記憶部１２１に記憶する。

ランク別ダイ数量記憶部１２２は、ダイ情報記憶部１２１に記憶された内容に基づき、ウエハＷに含まれるランク別のダイＤの数量を記憶する。ブロック情報取得部１２３は、基板搬送装置１０に搬送される基板Ｋに関する情報を取得し、記憶する。具体的に、基板Ｋの上面には、ダイＤの装着位置となるブロックが設けられ、ブロック情報取得部１２３は、ブロックに装着するダイＤの条件に関する情報を取得し、記憶する。なお、ブロックに装着するダイＤの条件に関する情報は、基板Ｋに対する情報として予め記憶されている場合もあれば、作業者により入力される場合もある。

そして、ブロック情報取得部１２３は、ブロック必要数取得部１２３ａと、ランク条件取得部１２３ｂとを主に備える。ブロック必要数取得部１２３ａは、１つのブロックに装着するダイＤの必要数を取得し、記憶する。ランク条件取得部１２３ｂは、１つのブロックに装着するダイＤのランクに関する条件を取得し、記憶する。

予備設定部１２４は、リカバリ用に確保する予備のダイＤの数量を設定する。即ち、ダイＤの装着作業を行う中で、ダイＤの部品不良や部品保持部３５による吸着エラー等が発生するおそれがある。これに対し、部品装着機１は、リカバリに用いるためのダイＤを予め確保しておくことにより、部品不良や吸着エラーが発生したとしても、ブロックの装着に必要となるダイＤの数量に不足が生じることを抑制できる。その結果、部品装着機１は、未完成のブロックが発生することを防止できる。

なお、予備設定部１２４に設定する予備のダイＤの数量は、作業者による入力値を設定してもよく、過去の統計データから推測されるリカバリ率に基づいて算出した値を設定してもよい。

生産可能数算出部１２５は、ブロック情報取得部１２３が取得した内容及びランク別ダイ数量記憶部１２２に記憶された内容に基づき、マガジン２１ｄに収納されたダイＤを用いて生産可能なブロックの数量を算出する。なお、生産可能数算出部１２５は、ランク別のダイＤの総数から予備設定部１２４に設定された予備のダイＤの数量を予め差し引いた上で、生産可能数の算出を行う。生産可能数表示部１２６には、生産可能数算出部１２５により算出された値が、作業者により視認可能に表示される。

（１−３：生産可能数算出処理）
ここで、図５を参照して、ウエハ供給制御部１２０により実行される生産可能数算出処理について説明する。この生産可能数算出処理は、一のウエハＷに含まれるダイＤを用いて生産可能なブロックの数量を算出する際に実行される処理である。

図５に示すように、生産可能数算出処理において、ウエハ供給制御部１２０は、まず、ウエハＷに付されたバーコードを読み取り、当該ウエハＷのダイＤに関する情報を取得し、取得したダイＤに関する情報をダイ情報記憶部１２１に記憶する（Ｓ１）。

続いて、ウエハ供給制御部１２０は、ウエハＷに含まれるダイＤのランク別の数量を算出し、ランク別ダイ数量記憶部１２２に記憶する（Ｓ２）。Ｓ２の処理後、ブロック情報取得部１２３は、ダイＤを装着しようとするブロックに関する情報を取得し、記憶する（Ｓ３）。

続いて、生産可能数算出部１２５は、ブロック情報取得部１２３が取得した１つのブロックに装着するダイＤのランクに関する条件と、ダイ情報記憶部１２１に記憶されたウエハＷに含まれるランク別のダイＤの数量とに基づき、ブロックに装着可能なダイＤの数量を求める。そして、求めたダイＤの数量と、ブロック情報取得部１２３が取得した１つのブロックに装着するダイＤの必要数とに基づき、ウエハＷに含まれるダイＤを用いて生産可能なブロック数の数量を算出する（Ｓ４）。その後、ウエハ供給制御部１２０は、生産可能数算出部１２５により算出された値を、生産可能数表示部１２６に表示し（Ｓ５）、本処理を終了する。

このように、ウエハ供給装置２０は、ウエハＷに含まれるダイＤを用いて生産可能なブロックの数量を算出する。これにより、ウエハ供給装置２０は、生産可能なブロックの数量を事前に把握することができるので、ダイＤの不足に起因する未完成の基板Ｋが発生することを防止できる。さらに、ウエハ供給装置２０は、算出した生産可能数を生産可能数表示部１２６に表示するので、作業者は、生産可能なブロック数を事前に把握することができるので、部品の装着作業を効率よく行うことができる。

以上説明したように、ウエハ供給装置２０は、生産可能数算出部１２５を備え、その生産可能数算出部１２５は、ダイ情報記憶部１２１に記憶された内容、ブロック情報取得部１２３及びブロック必要数取得部１２３ａが取得した内容に基づき、生産可能なブロックの数量を算出する。これにより、ウエハ供給装置２０，２２０は、生産可能なブロックの数量を事前に把握することができるので、ダイＤの不足に起因する未完成の基板Ｋが発生することを防止できる。

そして、生産可能数算出部１２５により算出された結果は、生産可能数表示部１２６に表示される。これにより、作業者は、生産可能なブロック数を事前に把握することができるので、部品としてのダイＤの装着作業を効率よく行うことができる。

また、予備設定部１２４には、ウエハ供給装置２０に収納されたダイＤの一部が、リカバリに用いる予備のダイＤとしてランク毎に設定される。そして、生産可能数算出部１２５は、ウエハ供給装置２０に収納されたダイＤのランク毎の総数から、予備設定部１２４に設定された予備のダイＤのランク毎の数量を差し引いた状態で、ブロックの生産可能数を算出する。これにより、ウエハ供給装置２０は、部品不良やピックアップエラー等が発生したとしても、ブロックの装着に必要となるダイＤの数量に不足が生じることを抑制できる。従って、ウエハ供給装置２０は、部品不良やピックアップエラー等に起因する未完成のブロックの発生を防止できる。

２．第二実施形態
次に、第二実施形態について説明する。第一実施形態では、一のウエハＷに含まれるダイＤを用いて生産可能なブロックの数を算出する場合について説明した。これに対し、第二実施形態では、一又は複数のウエハからなるロットに含まれるダイＤを用いて、予定数量のブロックを生産するのに必要なダイＤを含むか否かを判定する。なお、上記した第一実施形態と同一の部品には同一の符号を付し、その説明を省略する。また、第二実施形態における部品装着機２０１は、ウエハ供給装置２２０が備えるウエハ供給制御部３２０を除き、第一実施形態における部品装着機１と同等の構成を有する。

２−１：ウエハ供給制御部３２０
まず、図６を参照して、第二実施形態におけるウエハ供給制御部３２０について説明する。図６に示すように、ウエハ供給制御部３２０は、ダイ情報記憶部１２１と、ランク別ダイ数量記憶部１２２と、ブロック情報取得部１２３と、予備設定部１２４と、生産可能数算出部１２５と、ロット情報記憶部３２１と、予定数量取得部３２２と、生産可否判定部３２３と、生産可否表示部３２４と、を更に備える。

ロット情報記憶部３２１は、一又は複数のウエハＷからなるロットに関する情報を記憶する。ロット情報記憶部３２１には、複数のロットに関する情報が記憶される。なお、ロット情報記憶部３２１に記憶されるロットの種類や、ロットに含まれるウエハＷの数量は様々である。

予定数量取得部３２２は、ブロックの生産予定数量を取得する。生産可否判定部３２３は、ロット情報記憶部３２１に記憶された各々のロットが、予定数量取得部３２２が取得した予定数量のブロックを生産するのに十分なダイＤを含むか否かを判定する。生産可否表示部３２４には、生産可否判定部３２３による判定結果が、作業者により視認可能に表示される。

また、ウエハ供給制御部３２０は、ロット選択部３２５と、最適ロット表示部３２６とを更に備える。ロット選択部３２５は、ロット情報記憶部３２１に記憶されたロットの中に、生産予定数量のブロックを生産するのに十分なダイＤを含むロットが複数ある場合に、最適なロットを選択する。そして、最適ロット表示部３２６には、ロット選択部３２５が選択したロットが、作業者により視認可能に表示される。

具体的に、ロット選択部３２５は、生産予定数量のブロックを生産するのに十分なダイＤを含む複数のロットがある場合、生産終了時点において残存するダイＤの数量が最も少なくなるロットを、最適なロットとして選択する。

これにより、ウエハ供給装置２２０は、生産予定数量のブロックの生産を終了時点で、ロットに残存するダイＤの数量を最小限に抑えることができる。また、後に行うダイＤの装着作業において、より多くのダイＤが必要となった際に、ウエハ供給装置２２０は、当該ダイＤの装着作業に、より多くのダイＤを含むロットを用いることができる。従って、ウエハ供給装置２２０は、ダイＤを効率よく使用することができる。さらに、作業者は、最適ロット表示部３２６を確認することにより、最適なロットを容易に把握することができる。よって、ウエハ供給装置２２０は、部品としてのダイの作業効率を向上させることができる。

２−２：生産可否判定処理
次に、図７を参照して、ウエハ供給制御部３２０により実行される生産可否判定処理について説明する。この生産可否判定処理は、一のロットに関し、当該ロットが生産予定数量のブロックを生産するのに十分な前記ダイを含むか否かの判定を行う。

図７に示すように、生産可否判定処理では、まず、予定数量取得部３２２が、ブロックの生産予定数量の値を取得する（Ｓ１１）。次に、ウエハ供給制御部３２０は、ロット情報記憶部３２１に記憶された一のロットに関し、当該ロットに含まれる全てのウエハＷを用いて生産可能なブロックの数量を算出する（Ｓ１２）。

このＳ１２の処理において、ウエハ供給制御部３２０は、第一実施形態における生産可能数算出処理において実行されるＳ１〜Ｓ４の処理を、ロットに含まれる各々のウエハＷに対して実行し、ロットに含まれる各々のウエハＷを用いて生産可能なブロックの数量を、ウエハＷごとに算出する。その後、ウエハ供給制御部３２０は、ウエハＷごとに算出された生産可能数を合計し、ロットに含まれる全てのウエハＷを用いて生産可能なブロックの数量を算出する。

Ｓ１２の処理後、生産可否判定部３２３は、当該ロットを用いて生産予定数量のブロックが生産可能であるかを判定する（Ｓ１３）。即ち、このＳ１３の処理において、生産可否判定部３２３は、予定数量取得部３２２が取得した生産予定数量のブロックを生産するのに十分なダイＤが、当該ロットに含まれているか否かを判定する。そして、Ｓ１３の処理後、ロット情報記憶部３２１に記憶された全てのロットに対し、生産可否判定部３２３による生産可否判定が行われたか否かを判定する（Ｓ１４）。そして、全てのロットに対する生産可否判定がまだ行われていない場合（Ｓ１４：Ｎｏ）、生産可否判定処理は、Ｓ１２の処理に戻り、生産可否判定が行われていない残りのロットに対する生産可否判定を実行する。

一方、ロットに対する生産可否判定が終了すると（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、ウエハ供給制御部３２０は、生産可否判定部３２３による判定結果を、生産可否表示部３２４に表示する（Ｓ１５）。例えば、ウエハ供給制御部３２０は、生産可否判定部３２３が生産可能であると判定したロットのみを生産可否表示部３２４に表示する。またこのとき、ウエハ供給制御部３２０は、生産可能であると判定したロットの表示と併せて、生産可能であると判定されたロットを用いて生産可能なブロックの数を生産可否判定部３２３に表示してもよい。

このように、ウエハ供給装置２２０は、ロットに含まれるダイＤを用いて、生産予定数量のブロックを生産可能であるかについて、事前に把握することができる。従って、ウエハ供給装置２２０は、ダイＤの不足に起因する未完成の基板Ｋが発生することを防止できる。また、作業者は、生産可否表示部３２４に表示された判定結果を確認することにより、生産可能なロットを事前に把握することができる。よって、ウエハ供給装置２２０は、ダイＤの不足に起因する未完成ブロックの発生を防止することができる。

次に、ウエハ供給制御部１２０は、ロット情報記憶部３２１に記憶されたロットの中に、生産可否判定部３２３により生産可能であると判定されたロットが複数存在するか否かを判定する（Ｓ１６）。そして、生産可能であると判定されたロットが複数含まれていなければ（Ｓ１６：Ｎｏ）、そのまま処理を終了する。一方、生産可能であると判定されたロットが複数存在する場合（Ｓ１６：Ｙｅｓ）、ロット選択部３２５は、生産予定数量のブロックを生産可能であると判定された複数のロットの中から、最適なロットを選択してロットを表示し（Ｓ１７）、本処理を終了する。Ｓ１７の処理では、生産予定数量のブロックを生産可能であると判定された複数のロットの中から、生産終了時点において残存するダイＤの数量が最も少なくなるロットを、最適なロットとして選択する。

以上説明したように、ウエハ供給装置２２０は、生産可否判定部３２３を備え、生産可否判定部３２３は、ロット情報記憶部３２１に記憶されたロットが、予定数量取得部３２２が取得した生産予定数量のブロックを生産するのに十分なダイＤを含むか否かを判定する。これにより、ウエハ供給装置２２０は、ロットに含まれるダイＤを用いて、生産予定数量のブロックを生産可能であるかについて、事前に把握することができる。従って、ウエハ供給装置２２０は、ダイＤの不足に起因する未完成の基板Ｋが発生することを防止できる。

さらに、生産可否判定部３２３による判定結果は、生産可否表示部３２４に表示される。従って、作業者は、生産可否表示部３２４に表示された判定結果を確認することにより、生産可能なロットを事前に把握することができる。よって、ウエハ供給装置２２０は、ダイＤの不足に起因する未完成ブロックの発生を防止することができる。

また、ロット情報記憶部３２１に記憶されたロットの中に、生産予定数量のブロックを生産するのに十分なダイＤを含むロットが複数ある場合に、ロット選択部３２５は、生産終了時に残存するダイＤの数量が少ないロットを選択する。これにより、ウエハ供給装置２２０は、生産予定数量のブロックの生産を終了時点で、ロットに残存するダイＤの数量を最小限に抑えることができる。また、後に行うダイＤの装着作業において、より多くのダイＤが必要となった際に、ウエハ供給装置２２０は、当該ダイＤの装着作業に、より多くのダイＤを含むロットを用いることができる。従って、ウエハ供給装置２２０は、部品としてのダイＤを効率よく使用することができる。

さらに、最適ロット表示部３２６には、ロット選択部３２５が選択したロットが、最適なロットとして表示される。従って、作業者は、最適ロット表示部３２６を確認することにより、最適なロットを容易に把握することができるので、部品としてのダイの作業効率を向上させることができる。

３．その他
以上、上記実施形態に基づき本開示を説明したが、本開示は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変形改良が可能であることは容易に推察できるものである。

例えば、第一実施形態では、生産可能数算出部１２５が、一枚のウエハＷに含まれるダイＤで生産可能なブロックの数量を算出し、その算出された結果が生産可能数表示部１２６に表示される場合について説明したが、これに限られるものではない。例えば、ロットに含まれる全てのダイＤで生産可能なブロックの数量を算出し、その結果を生産可能数表示部１２６に表示してもよい。

２０，２２０：ウエハ供給装置、 １２１：ダイ情報記憶部、 １２２：ランク別ダイ数量記憶部、 １２３：ブロック情報取得部、 １２３ａ：ブロック必要数取得部、 １２４：予備設定部、 １２５：生産可能数算出部、 １２６：生産可能数表示部、 ３２１：ロット情報記憶部、 ３２２：予定数量取得部、 ３２３：生産可否判定部、 ３２４：生産可否表示部、 ３２５：ロット選択部、 ３２６：最適ロット表示部、 Ｄ：ダイ、 Ｋ：基板、 Ｗ：ウエハ

Claims (7)

1. 複数のダイに分割されたウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置であって、
   前記ウエハ供給装置は、
   前記ダイの数量を、前記ダイの各々に対して割り振られたランク毎に記憶するダイ情報記憶部と、
   搬送される基板に設けられたブロックに装着する前記ダイの条件を取得するブロック情報取得部と、
   前記ブロックに装着する前記ダイの必要数を取得するブロック必要数取得部と、
   前記ダイ情報記憶部に記憶された内容、前記ブロック情報取得部及び前記ブロック必要数取得部が取得した内容に基づき、生産可能な前記ブロックの数量を算出する生産可能数算出部と、
   を備えるウエハ供給装置。
2. 前記ウエハ供給装置は、前記生産可能数算出部により算出された結果を表示する生産可能数表示部を備える、請求項１に記載のウエハ供給装置。
3. 前記ウエハ供給装置は、
   前記ブロックの生産予定数量を取得する予定数量取得部と、
   一又は複数のウエハからなるロットに含まれる前記ダイのランク毎の数量を記憶するロット情報記憶部と、
   前記ロット情報記憶部に記憶された前記ロットが、前記予定数量取得部が取得した生産予定数量の前記ブロックを生産するのに十分な前記ダイを含むか否かを判定する生産可否判定部と、
   を備える、請求項１に記載のウエハ供給装置。
4. 前記ウエハ供給装置は、前記生産可否判定部による判定結果を表示する生産可否表示部を備える、請求項３に記載のウエハ供給装置。
5. 前記ウエハ供給装置は、前記ロット情報記憶部に記憶された前記ロットの中に、前記予定数量取得部が取得した生産予定数量の前記ブロックを生産するのに十分な前記ダイを含む前記ロットが複数ある場合に、生産終了時に残存する前記ダイの数量が少ない前記ロットを選択するロット選択部を備える、請求項４に記載のウエハ供給装置。
6. 前記ウエハ供給装置は、前記ロット選択部が選択した前記ロットを、最適な前記ロットとして表示する最適ロット表示部を備える、請求項５に記載のウエハ供給装置。
7. 前記ウエハ供給装置は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの一部を、リカバリに用いる予備の前記ダイとしてランク毎に設定する予備設定部を備え、
   前記生産可能数算出部は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイのランク毎の総数から、前記予備設定部に設定された前記予備の前記ダイのランク毎の数量を差し引いた状態で、前記ブロックの生産可能数を算出する、請求項１−６の何れか一項に記載のウエハ供給装置。

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