JPWO2018155637A1 - 耐食性部材 - Google Patents

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Abstract

本開示の耐食性部材は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、該基体上に位置するO−Al−C層からなる被覆層とを備える。

Description

本開示は、耐食性部材に関する。
ジュース等の飲料を紙カップ等の容器に注いで提供する自動販売機等の飲料用液体供給装置の需要が増加している。ここで、飲料用液体の原液である濃縮シロップには、その種類によってはpH値が2〜3と強酸性の特性を有するものが存在する。そこで、この飲料用液体供給装置が内部に備える、弁部材およびポンプ部材等の部材には、強酸性の濃縮シロップに対する優れた耐食性が求められている。さらに、上記部材には、繰り返し動作させる際に負荷が掛るため、耐久性に優れていることも求められている。そこで、特許文献1には、上記部材としてセラミックスを用いることが記載されている。
特表平7−507527号公報
本開示の耐食性部材は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、該基体上に位置するO−Al−C層からなる被覆層とを備える。
飲料用液体供給装置は、耐久年数が長いことが求められている。そのため、飲料用液体供給装置を構成する弁部材およびポンプ部材等の部材には、長期間に亘って使用できるように、更なる耐食性の向上が求められている。
これに対し、本開示の耐食性部材は、優れた耐食性を有する。以下に、本開示の耐食性部材について詳細に説明する。
本開示の耐食性部材は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体を備える。ここで、酸化アルミニウム質セラミックスとは、酸化アルミニウム質セラミックスを構成する全成分100質量%のうち、酸化アルミニウムが90質量%以上占めるものである。このように、基体が酸化アルミニウム質セラミックスからなることで、高い耐久性を有する。さらに、酸化アルミニウム質セラミックスは、原料代が安く、加工しやすいため、他のセラミックスよりも安価に基体を製造することができる。
なお、基体の材質は、以下の方法で確認すればよい。まず、X線回折装置(XRD)を用いて、基体を測定し、得られた2θ(2θは、回折角度である。)の値よりJCPDSカードを用いて同定を行なう。次に、ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置(ICP)または蛍光X線分析装置(XRF)を用いて、基体の含有成分の定量分析を行なう。上記同定により酸化アルミニウムの存在が確認され、ICPまたはXRFで測定したアルミニウム(Al)の含有量から、酸化アルミニウム(Al23)に換算した値が90質量%以上であれば、酸化アルミニウム質セラミックスである。
そして、本開示の耐食性部材は、基体上に位置するO−Al−C層からなる被覆層をさらに備える。ここで、O−Al−C層における各元素の並びは、X線光電子分光(XPS)によって得られた元素濃度の平均値が高い順に並べている。そして、このO−Al−C層は、基体の材質である酸化アルミニウムに比べて耐食性に優れている。よって、このO−Al−C層が被覆層として、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体上に位置していることにより、強酸性の濃縮シロップに接したとしても、成分が溶け出しにくく、優れた耐食性を有する。よって、本開示の耐食性部材は、上記基体と上記被覆層とを備え、優れた耐食性を有することから、長期間に亘って使用することができる。
ここで、本開示の耐食性部材は、基体の表面の一部が被覆層により覆われていればよいが、基体の全ての表面が被覆層によって覆われているならば、耐食性がさらに向上する。
また、O−Al−C層からなる被覆層が存在するか否かは、以下の方法で確認すればよい。まず、耐食性部材の表面を測定面とし、XPS装置(PHI社製 Quantera
SXM)を用い、特定のエネルギーを有したX線(hν)を測定面に照射する。そして、耐食性部材の表面から数μmの深さまでの領域の元素を調べるために、Arイオンを照射し、表面をエッチングで除去する工程と、エッチングにより新しく形成された面をXPS装置で測定する工程とを交互に繰り返す。ここで、測定面から放出された光電子の運動エネルギー(EKIN)を測定し、この光電子が原子に束縛されていた結合エネルギー(EB)を求める(EB=hν−EKIN−φ)。そして、結合エネルギー値は原子固有であることから、結合エネルギー値の同定により、測定面を構成する元素を知ることができる。また、放出された光電子の強度は元素の濃度と比例しているため、XPSで測定することにより、元素の濃度を求めることができる。
そして、この測定の結果、耐食性部材の表面から内部に向かう方向において、酸素(O)、アルミニウム(Al)および炭素(C)が同時に確認されれば、O−Al−C層からなる被覆層を備えているとする。ここで、被覆層の厚みは、耐食性部材の表面から炭素が検出されなくなるまでの深さとする。
また、本開示の耐食性部材において、被覆層の表面における炭素の元素濃度が、25原子%以上55原子%以下であってもよい。このような構成を満足するならば、被覆層の表面にクラックが発生しにくいことから耐久性を維持しつつ、強酸性の濃縮シロップに接する被覆層の耐食性がさらに向上する。なお、被覆層の表面において、酸素の元素濃度は24原子%以上48原子%以下、アルミニウムの元素濃度は21原子%以上46原子%以下であれば、被覆層の耐食性がさらに向上する。
また、本開示の耐食性部材における被覆層の厚みは、10nm以上100nm以下であってもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐食性部材は、耐久性を維持しつつ、耐食性が向上する。
また、本開示の耐食性部材における被覆層は、被覆層の表面における炭素の元素濃度をA、被覆層の表面から基体側へ6nmの深さにおける炭素の元素濃度をBとしたときの比A/Bが、5以上であってもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐食性部材は、耐久性が向上する。
また、本開示の耐食性部材における被覆層は、被覆層の表面から基体側へ10nmの深さにおける炭素の元素濃度をCとしたとき、上記Bとの比B/Cが、2以下であってもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐食性部材は、より耐久性が向上する。
また、本開示の耐食性部材における基体は、酸化アルミニウムの他に、微量成分として、酸化鉄(Fe23)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化クロム(Cr23)、酸化イットリウム(Y23)等を合計で、基体を構成する全成分100質量%のうち、0.02質量%以上0.2質量%以下含有してもよい。
次に、本開示の耐食性部材の製造方法の一例について説明する。
まず、酸化アルミニウム粉末に、焼結助剤、バインダー、溶媒および分散剤等を適宜添加し混合してスラリーを作製する。そして、このスラリーを噴霧乾燥造粒法(スプレードライ法)により噴霧乾燥して造粒することによって顆粒を作製し、得られた顆粒を粉末プレス成形法等により所望の形状に成形することで、成形体を得る。
次に、成形体を乾燥、脱脂することで脱脂体を作製した後、大気雰囲気中において、最高温度1500〜1600℃で2〜12時間保持して焼成することで、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体を得る。
次に、カーボン(炭素)製の容器内にこの基体を入れ、窒素ガス雰囲気中において、最高温度800〜950℃で0.25時間以上保持して熱処理する。その後、窒素ガス雰囲気中において、室温まで冷却する。これにより、基体の表面にO−Al−C層からなる被覆層を形成し、本開示の耐食性部材を得る。なお、基体の表面の一部のみに被覆層を存在させるには、基体の表面に任意形状のマスクを形成した後、上述の熱処理を行なえばよい。
ここで、被覆層の表面における炭素の元素濃度を、25原子%以上55原子%以下とするには、上述の熱処理において、最高温度を820〜930℃とすればよい。
また、被覆層の厚みを、10nm以上100nm以下とするには、上述の熱処理において、保持時間を0.5時間以上3時間以下とすればよい。
また、上述の熱処理を2段階に分けて、以下の条件内で適宜調整することで、被覆層の表面における炭素の元素濃度A、被覆層の表面から基体側へ6nmの深さにおける炭素の元素濃度B、被覆層の表面から基体側へ10nmの深さにおける炭素の元素濃度Cを任意の値にすることができる。具体的には、まず、最高温度800〜850℃で0.25時間以上保持して第1段階の熱処理を行なった後、最高温度900〜950℃で0.25時間以上保持して第2段階の熱処理を行なえばよい。
以下に、本開示の実施例を具体的に説明するが、本開示はこの実施例に限定されるものではない。
O−Al−C層からなる被覆層の有無、被覆層の表面における炭素の元素濃度Aが異なる試料を作製し、耐食性および耐久性を評価した。
まず、主成分である酸化アルミニウム粉末100質量部に、焼結助剤として、炭酸カルシウム粉末を酸化カルシウム(CaO)に換算して0.3質量部、炭酸マグネシウム粉末を酸化マグネシウム(MgO)に換算して0.6質量部、酸化珪素粉末を0.3質量部添加して、調合粉末を得た。
次に、この調合粉末100質量部に、100質量部の溶媒と0.2質量部の分散剤とを添加して、混合することでスラリーを作製した。
次に、このスラリーをスプレードライ法により噴霧乾燥して造粒することによって顆粒を作製し、得られた顆粒を粉末プレス成形法により、円筒状の成形体A(外径16mm、内径10mm、長さ13mm)と、円環状の成形体B(外径16mm、内径10mm、厚さ3mm)とをそれぞれ成形した。
次に、成形体A、Bを乾燥、脱脂することで脱脂体を作製した後、大気雰囲気中において、最高温度1550℃で5時間保持して焼成することで、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体A、Bを得た。なお、この基体Aの寸法は、外径が13mm、内径が8mm、長さが10mm、基体Bの寸法は外径が13mm、内径が8mm、長さが2mmであった。
次に、カーボン製の容器内にこれらの基体A、Bを入れ、窒素ガス雰囲気中において、表1に示す条件で熱処理を行なった。その後、窒素ガス雰囲気中において、室温まで冷却した。これにより、試料No.2〜14を得た。なお、試料No.1に関しては、この熱処理を行なわなかった。
次に、試料No.1〜14において、O−Al−C層からなる被覆層が存在するか否かを、以下の方法で確認した。まず、各試料の表面を測定面とし、XPS装置(PHI社製
Quantera SXM)を用い、特定のエネルギーを有したX線(hν)を測定面に照射した。そして、各試料の表面から2μmの深さまでの領域の元素を調べるために、Arイオンを照射し、表面をエッチングで除去する工程と、エッチングにより新しく形成された面をXPS装置で測定する工程とを交互に繰り返した。そして、測定面から放出された光電子の運動エネルギー(EKIN)を測定し、この光電子が原子に束縛されていた結合エネルギー(EB)を求めた(EB=hν−EKIN−φ)。その結果、試料No.1には、酸素およびアルミニウムのみが確認され、O−Al−C層からなる被覆層を有しないことが分かった。一方、試料No.2〜14には、酸素、アルミニウムおよび炭素が同時に確認され、O−Al−C層からなる被覆層を有することが分かった。
また、放出された光電子の強度は元素の濃度と比例しているため、XPSで測定することにより、試料No.2〜14の被覆層の表面における炭素の元素濃度Aを求めた。
次に、各試料の基体Bに対して、耐久性試験を以下の方法で行なった。まず、金属製の板上に、円環状の各試料の円周面が接するように各試料を載置した。次に、上から各試料に圧力を加え、各試料が破断したときの圧力(N)を測定し、それを各試料の強度(N)とした。
また、各試料の基体Aで、耐食性試験を以下の方法で行なった。まず、各試料を、炭酸飲料のシロップ(原液:pH2.2、溶液量:100ml)中に72時間浸漬し、浸漬前後の質量を測定し、浸漬後の減少した質量を算出した。具体的には、浸漬前の試料の質量をW1、浸漬後の試料の質量をW2としたとき、{(W2−W1)/W1}×100(%)により、浸漬後の減少した質量(%)を算出した。
結果を表1に示す。なお、表1において、浸漬後の減少した質量(%)がマイナスであれば、質量が減少したことを表している。
Figure 2018155637
表1に示すように、試料No.1の浸漬後の減少した質量が−0.049%であるのに対し、試料No.2〜14の浸漬後の減少した質量が−0.038%以上であることから、O−Al−C層からなる被覆層を備えることで、耐食性に優れていることが分かった。
さらに、試料No.2〜14の中でも、被覆層の表面における炭素の元素濃度が、25原子%以上55原子%以下である試料No.4〜12は、強度が200N以上であり、浸漬後の減少した質量が−0.027%以上であることから、耐久性を維持しつつ、さらに耐食性が向上することが分かった。
さらに、試料No.4〜12の中でも、被覆層の厚みが10nm以上100nm以下である試料No.No.5、6、8、10、11は、強度が210N以上であり、浸漬後の減少した質量が−0.021%以上であることから、耐久性を維持しつつ、さらに耐食性が向上することが分かった。
次に、被覆層の表面における炭素の元素濃度A、被覆層の表面から基体側へ6nmの深さにおける炭素の元素濃度B、被覆層の表面から基体側へ10nmの深さにおける炭素の元素濃度Cが異なる試料を作製し、耐食性を評価した。
なお、試料No.16〜20の作製方法としては、熱処理において、2段階の熱処理を行なった以外は、実施例1の作製方法と同様とした。具体的には、表2に示す各炭素の元素濃度A、B、Cとなるように、最高温度800〜850℃で1時間以上2.5時間以下保持して第1段階の熱処理を行なった後、最高温度900〜950℃で0.5時間以上2時間以下保持して第2段階の熱処理を行なった。なお、第1段階および第2段階における保持時間の合計は3時間とし、試料No.16〜20の被覆層の厚みが41nmとなるようにした。また、表2には、比較例として、実施例1の試料No.8を試料No.15として示している。
そして、各試料において、被覆層の表面における炭素の元素濃度A、被覆層の表面から基体側へ6nmの深さにおける炭素の元素濃度B、被覆層の表面から基体側へ10nmの深さにおける炭素の元素濃度Cを測定するため、実施例1と同様の測定方法を行なった。
また、各試料において、実施例1と同様に、耐久性試験を行なった。結果を、表2に示す。なお、表2において、A/BおよびB/Cは、それぞれ小数点第2位以下を四捨五入して示している。
Figure 2018155637
表2に示すように、試料No.16〜20の強度が215N以上であることから、炭素の元素濃度の比A/Bが5以上であることで、耐久性が向上することが分かった。
また、試料No.16〜20の中でも試料No.16〜19の強度が225N以上であることから、炭素の元素濃度の比B/Cが2以下であることで、耐久性がより向上することが分かった。

Claims (5)

  1. 酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、該基体上に位置するO−Al−C層からなる被覆層とを備える耐食性部材。
  2. 前記被覆層の表面における炭素の元素濃度が、25原子%以上55原子%以下である請求項1に記載の耐食性部材。
  3. 前記被覆層の厚みは、10nm以上100nm以下である請求項1または請求項2に記載の耐食性部材。
  4. 前記被覆層は、該被覆層の表面における炭素の元素濃度をA、前記表面から前記基体側へ6nmの深さにおける炭素の元素濃度をBとしたときの比A/Bが、5以上である請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の耐食性部材。
  5. 前記被覆層は、該被覆層の表面から前記基体側へ6nmの深さにおける炭素の元素濃度をB、前記表面から前記基体側へ10nmの深さにおける炭素の元素濃度をCとしたときの比B/Cが、2以下である請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の耐食性部材。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05294763A (ja) * 1992-04-20 1993-11-09 Nippon Steel Corp 炭素含有耐火物
JPH0717784A (ja) * 1993-06-23 1995-01-20 Kyocera Corp セラミック摺動部材およびその製造方法
JP2001213678A (ja) * 2000-01-28 2001-08-07 Wicera Co Ltd 導電性セラミックス及びその製造方法
JP2012505370A (ja) * 2008-08-28 2012-03-01 デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ 製品ディスペンシングシステム

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0717784B2 (ja) * 1990-02-02 1995-03-01 鐘紡株式会社 熱可塑性樹脂組成物
US5381926A (en) 1992-06-05 1995-01-17 The Coca-Cola Company Beverage dispensing value and method
JP3383693B2 (ja) 1993-10-01 2003-03-04 太平洋セメント株式会社 アルミナセラミックス及びその製造方法
JPH09271303A (ja) 1996-04-01 1997-10-21 Kyocera Corp 装飾部材
JP2003336751A (ja) 2002-05-17 2003-11-28 Sumitomo Electric Ind Ltd アルミナセラミックス弁体およびそれを用いた温水栓バルブ
AU2008296079B2 (en) 2007-09-06 2013-04-04 Deka Products Limited Partnership Beverage dispensing system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05294763A (ja) * 1992-04-20 1993-11-09 Nippon Steel Corp 炭素含有耐火物
JPH0717784A (ja) * 1993-06-23 1995-01-20 Kyocera Corp セラミック摺動部材およびその製造方法
JP2001213678A (ja) * 2000-01-28 2001-08-07 Wicera Co Ltd 導電性セラミックス及びその製造方法
JP2012505370A (ja) * 2008-08-28 2012-03-01 デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ 製品ディスペンシングシステム

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