JP2015101496A - 保持部材 - Google Patents
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- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 35
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 28
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 2
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- XMWCXZJXESXBBY-UHFFFAOYSA-L manganese(ii) carbonate Chemical compound [Mn+2].[O-]C([O-])=O XMWCXZJXESXBBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
酸化物換算で2〜11%、Si、Ca、及びMgの3種類の元素を、Siを酸化物換算で少なくとも4%以上、Ca及びMgをそれぞれ少なくとも酸化物換算で0.4%以上含み、3
種類の元素の合計が、酸化物換算で6〜9%含み、残部が酸化物換算で1%以下の不純物とAlの酸化物とからなるセラミックスが提案されている。
%以上90質量%以下であり、MnをMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が%以上80%以下であり、表面粗さRaが0.1μm以上1.8μm以下であることを特徴とするものである。
%以上90質量%以下であり、MnをMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が50%以上80%以下であり、表面粗さRaが0.1μm以上1.8μm以下であることにより、反射率が低く、且つ高い比剛性を有している。
量%以上90質量%以下であり、MnをMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が50%以上80%以下であり、表面粗さRaが0.1μm以上1.8μm以下である。
下であり、Fe2O3換算での含有量が0.7質量%以上2質量%以下であり、Cr2O3
換算での含有量が5.5質量%以上8.2質量%以下であることが好適である。上記構成を満たしている保持部材は、350〜440nmの波長領域における反射率がさらに低くなる。
らに低くなる。
なお、酸化珪素膜の確認方法は、表面に垂直な断面を観察し、電子線マイクロアナライザ(EPMA)を用いて、Si(珪素)とO(酸素)のマッピングを確認し、アルミナ質焼結体の表面側において、SiおよびOの線状の分布が確認されればよい。
%となるようにアルミナ粉末を秤量し、焼結助剤は、それぞれCaO、MgO、SiO2換算した合計で0.6〜2質量%となるように秤量する。そして、残部がMn源、Fe源、
Cr源の粉末となるが、このとき、アルミナ質焼結体を構成する全成分100質量%のうち
、MnをMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が50%以上80%以下となるように秤量する。
秤量して準備し、1次原料粉末とともに攪拌機内に入れて混合・攪拌してスラリーを得る。
の含有量が、表1に示す値となるように秤量して1次原料粉末とした。
攪拌してスラリーとした。その後、噴霧造粒装置(スプレードライヤー)を用いてスラリーを噴霧造粒して顆粒を得た。
量%のうち、AlをAl2O3換算した含有量が85質量%以上90質量%以下であり、Mn
をMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が50%以上80%以下であり、表面粗さRaが0.1μm以上1.8μm以下である保持部材は、反射率が低く、且つ高い比剛性を有していることがわかった。
ており、MnO2換算での含有量が1.5質量%以上3質量%以下であり、Fe2O3換算
での含有量が0.7質量%以上2質量%以下であり、Cr2O3換算での含有量が5.5質量%以上8.2質量%以下であることにより、さらに低い反射率の保持部材となることがわかっ
た。
の表面に垂直な断面を観察し、電子線マイクロアナライザを用いて、Si(珪素)とO(酸素)のマッピングを確認したところ、表面側にSiおよびOの線状の分布が確認されたため、本実施例において作製した試料が酸化珪素膜を有していることを確認した。
Claims (3)
- Mn、Fe、Crを含むアルミナ質焼結体からなり、該アルミナ質焼結体を構成する全成分100質量%のうち、AlをAl2O3換算した含有量が85質量%以上90質量%以下であり、MnをMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が50%以上80%以下であり、表面粗さRaが0.1μm以上1.8μm以下であることを特徴とする保持部材。
- MnO2換算での含有量が1.5質量%以上3質量%以下であり、Fe2O3換算での含有量が0.7質量%以上2質量%以下であり、Cr2O3換算での含有量が5.5質量%以上8.2質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の保持部材。
- 表面に酸化珪素膜を有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の保持部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013242009A JP6141756B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 保持部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013242009A JP6141756B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 保持部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015101496A true JP2015101496A (ja) | 2015-06-04 |
JP6141756B2 JP6141756B2 (ja) | 2017-06-07 |
Family
ID=53377514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013242009A Expired - Fee Related JP6141756B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 保持部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6141756B2 (ja) |
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CN110073029A (zh) * | 2017-03-15 | 2019-07-30 | 捷客斯金属株式会社 | Al2O3溅射靶及其制造方法 |
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