JPWO2018151176A1 - 熱電素子内蔵パッケージ - Google Patents
熱電素子内蔵パッケージ Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018151176A1 JPWO2018151176A1 JP2018568582A JP2018568582A JPWO2018151176A1 JP WO2018151176 A1 JPWO2018151176 A1 JP WO2018151176A1 JP 2018568582 A JP2018568582 A JP 2018568582A JP 2018568582 A JP2018568582 A JP 2018568582A JP WO2018151176 A1 JPWO2018151176 A1 JP WO2018151176A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- conductor pattern
- main surface
- thermoelectric
- thermoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/38—Cooling arrangements using the Peltier effect
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
- H10N10/17—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/81—Structural details of the junction
- H10N10/817—Structural details of the junction the junction being non-separable, e.g. being cemented, sintered or soldered
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/82—Connection of interconnections
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
この技術では、図21に示すように、絶縁基板P1、P2の表面に、それぞれ配線導体P3、P4が形成され、N型熱電変換素子P5とP型熱電変換素子P6とからなる複数の熱電変換素子P7が、両絶縁基板P1、P2に挟持されて、配線導体P3、P4に半田で接合されている。
また、外側導体パターンに外部配線を半田等の導電性接合材で接続した場合でも、導電性接合材が流れ出して配置部と接触することを抑制でき、また、異物が付着することによる、外部配線と配置部に搭載されたデバイス等との短絡を抑制できるという利点がある。
この場合には、第1の基板と第2の基板と枠体との各部材の熱膨張率(熱膨張係数)は同じである。そのため、温度の変化があっても、熱応力が第1の基板と第2の基板と枠体との接合部にかかりにくく、よって、熱応力による変形や破損を抑制できる。
この場合には、枠体は、第1の基板や第2の基板よりも熱が伝わりにくい。そのため、熱電素子への通電により、第1の基板の温度と第2の基板の温度との温度差を大きくした場合でも、その温度差が小さくなることを抑制できる。
このコバールの熱伝導率は、セラミック材料(例えばアルミナ)の熱伝導率に近い。また、第1の基板及び第2の基板をセラミック材料(例えばアルミナ)で構成し、枠体をコバールで構成した場合には、それらの部材の熱膨張率はほぼ同じである。そのため、温度の変化があっても、熱応力が第1の基板と第2の基板と枠体との接合部にかかりにくく、よって、熱応力による変形や破損を抑制できる。
<ここで、本開示の各構成について説明する>
・主面(即ち第1〜第4主面)とは、板状の部材の厚み方向において、厚み方向に対して垂直に広がる面である。
・第1の基板及び第2の基板としては、セラミックを主成分(50体積%を上回る量)とするセラミック基板が挙げられる。このセラミックとしては、アルミナ、窒化アルミニウム、ガラスセラミック、窒化珪素等を採用できる。
・枠体としては、セラミックを主成分(50体積%を上回る量)とするセラミック製の枠体や、コバールからなる枠体が挙げられる。このセラミックとしては、アルミナ、ガラスセラミック、窒化珪素等を採用できる。
5、113、123、143、163、205…第1の基板
7…熱電素子
9、129、221…第2の基板
11…熱電変換モジュール
13a…気密空間
19、131…枠体
23…半導体素子
25、118…裏側導体
29、117、127、147、167、203、225…外側導体パターン
31…埋設導体パターン
33、37、229…内側導体パターン
35、103、119、195、201、211、231…ビア
193…端部セラミック層
[1.第1実施形態]
[1−1.全体構成]
図1に示すように、本第1実施形態の熱電素子内蔵パッケージ1は、略直方体形状(即ち板状)であり、外部配線3(3a、3b)を介して外部から電力(即ち直流電流)が供給されることにより、いわゆるペルチェ効果によって、例えば、Y方向における一方の主面側(例えば上面側)が吸熱し、他方の主面側(即ち下面側)が発熱する機能を有する。
また、第1の基板5の内側(即ち熱電素子7側)の主面(即ち第2主面)15と第2の基板9の内側(即ち熱電素子7側)の主面(即ち第3主面)17との間には、Y方向から見た平面視の形状(即ち平面形状)が四角の枠体19が接合されている。つまり、第1の基板5と第2の基板9と枠体19とにより、外部から分離された平面視が矩形状の気密空間13a(図3参照)が構成され、その気密空間13a内に全ての熱電素子7が配置されている。
この第1の基板5の外側の主面21の一部(即ち外周部分の一部)には、裏側導体25が形成された表面の一部より内側(図2の下側)に凹んだ(即ち引き下がった)一対の引下部27(27a、27b:図3参照)が形成されている。この引下部27の外側(即ち図2の上方)の空間は、第1の基板5の外側及び側方に開放されている。つまり、第1の基板5の厚みが薄くなるように、外側セラミック層5bの外周部分の一部(角部)が切り欠かれて、下側の内側セラミック層5aの一部が露出するようにして一対の引下部27が形成されている。
そして、一方の埋設導体パターン31aと一方の外側導体パターン29aとが電気的に接続されるとともに、他方の埋設導体パターン31bと他方の外側導体パターン29bとが電気的に接続されている。つまり、一対の埋設導体パターン31と一対の外側導体パターン29とにより、一対の一体導体パターン30(30a、30b:図4参照)が構成されている。
さらに、第1の基板5の内側セラミック層5aを厚み方向(即ち図2の上下方向)に貫通して、内側導体パターン33と埋設導体パターン31とを接続するビア(即ち第1導体ビア)35が形成されている。
次に、第1の基板5について、図4に基づいて説明する。なお、図4A〜図4Dにおけるハッチング部分は、前記図2の上方から見た場合(見えない部分は透視した場合)の導体部分の平面形状を示している。
また、金属層43に囲まれた中心側には、熱電素子7に接続される内側導体パターン33が形成されている。この内側導体パターン33は、それぞれ分離して配置された、第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7の内側導体パターン33a、33b、33c、33d、33e、33f、33gから構成されている。
図4Dに示すように、12個の熱電素子7は、同図の点線に沿って配列されるとともに、内側導体パターン33、37によって、電気的に直列に接続されている。
次に、第2の基板9について、図5に基づいて説明する。なお、図5A〜図5Cにおけるハッチング部分は、前記図2の上方から見た場合(詳しくは見えない部分は透視した場合)の導体部分の平面形状を示している。
また、金属層45に囲まれた中心側には、熱電素子7に接続される内側導体パターン37が形成されている。この内側導体パターン37は、それぞれ分離して配置された、第1、第2、第3、第4、第5、第6の内側導体パターン37a、37b、37c、37d、37e、37fから構成されている。
詳しくは、第1〜第6の内側導体パターン37a〜37fには、それぞれ前記図4Dの点線に沿って、N型熱電変換素子7n、P型熱電変換素子7pの順番で配置されている。
次に、熱電素子内蔵パッケージ1の製造方法について、図6〜図8に基づいて説明する。なお、図6〜図8では、第1、第2の基板5、9を構成する部材等の断面を模式的に示している。
まず、第1の基板5の製造方法について、図6及び図7に基づいて説明する。なお、ここでは、複数の第1の基板5を母材から製造する場合を例に挙げて説明する。
次に、各グリーンシート51、53のスルーホール55に対して、タングステン等の導電材料のビアインク57を充填する(即ち穴埋めする)。
次に、積層体61に対して、各第1の基板5を分離する位置に、ブレーク溝(図示せず)を形成する。なお、ブレーク溝は個片化を容易とするためのものであり、例えばダイシングなどで個片化する場合は、ブレーク溝を形成する工程を省略する。
その後、必要に応じてアルミナ基板63における下方の面(即ち内側表面)の研磨を行う。
次に、DF67に対して露光・現像を行うことにより、特定の箇所(即ち後述するメッキによって内側導体パターン33を形成する箇所等)だけDF67を除去して、アルミナ基板63のスパッタ層65の一部を露出させる。
次に、DF67を剥離して、スパッタ層65を露出させる。
<第2の基板の製造方法>
次に、第2の基板9の製造方法について、図8に基づいて説明する。なお、ここでは、複数の第2の基板9を母材から製造する場合を例に挙げて説明する。
そして、このアルミナ基板81の両方の主面に、TiとWとCuとのスパッタリングによって、電解メッキのシード層となるTiスパッタ層及びWスパッタ層及びCuスパッタ層からなるスパッタ層83を形成する。なお、電解メッキのシード層となるスパッタ層83は、TiWスパッタ層とCuスパッタ層とで形成されてもよく、またTiスパッタ層とCuスパッタ層とで形成されてもよい。
次に、両DF85に対して露光・現像を行うことにより、特定の箇所(即ち後述するメッキによって内側導体パターン37を形成する箇所等)だけDF85を除去して、アルミナ基板81のスパッタ層83の一部を露出させる。
次に、Cuメッキ層87の表面に対して、NiメッキとAuメッキとを順次行い、Ni、Auメッキ層89を形成する。
次に、エッチングにより、露出した部分のスパッタ層83を除去する。
次に、ダイシングして、各第2の基板9を分離して、内側導体パターン37や表側導体41等を備えた第2の基板9を完成する。第2の基板9を、第1の基板5の作製方法と同様に、事前にブレーク溝を形成しておいて、ブレークによって分離してもよい。
<第3の全体の構造の形成方法>
次に、図9の上図に示すように、第1の基板5の内側導体パターン33の表面と金属層43の表面とに、接合材32を塗布する。例えばSnSbや、AuSnからなるはんだ材のペーストを塗布する。
次に、第1の基板5と第2の基板9との間において、所定の位置(図4D参照)に複数の熱電素子7を配置し、更に、全ての熱電素子7を囲むように枠体19を配置する。
(1)本第1実施形態では、複数の熱電素子7は、第1の基板5と第2の基板9との間にて枠体19に外周を囲まれた気密空間13a内に配置されているので、熱電素子7に電力が供給されて第1の基板5又は第2の基板9が周囲より低温になっても、気密空間13a内に結露が生じにくいという効果がある。
従って、この外側導体パターン29に、半田などよって給電用の外部配線3を接続することができるので、外部配線3の接続が容易である。そのため、製造コストを低減できる。
第1実施形態の、第1の基板5、熱電素子7、第2の基板9、熱電変換モジュール11、熱電素子内蔵パッケージ1、気密空間13a、枠体19、半導体素子23、裏側導体25は、それぞれ、本開示の、第1の基板、熱電素子、第2の基板、熱電変換モジュール、熱電素子内蔵パッケージ、気密空間、枠体、デバイス、配置部の一例に相当する。
次に、第2実施形態について説明するが、第1実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第1実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
本第2実施形態は、第1実施形態と同様な効果を奏する。
次に、第3実施形態について説明するが、第1実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第1実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
[4.第4実施形態]
次に、第4実施形態について説明するが、第1実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第1実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
つまり、枠体131は、第1の基板123の内側の主面133から第2の基板129の外側の主面135に達する位置まで延びており、第2の基板129の側面129aは枠体131により囲まれている。
本第4実施形態は、第1実施形態と同様な効果を奏する。また、第1の基板123と第2の基板129との間隔は、枠体131の高さ(即ち図12の上下方向の寸法)により規制されないので、第1の基板123及び第2の基板129と熱電素子7との間に隙間が生じにくく、確実に接合できるという利点がある。
次に、第5実施形態について説明するが、第1実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第1実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
本第5実施形態では、第1の基板143の外側の主面145の外周に沿って、平面視で四角枠状の側壁149が形成されている。この側壁149は、第1の基板143と同様なセラミック製(例えばアルミナ製)である。
本第5実施形態は、第1実施形態と同様な効果を奏する。さらに、箱体151の内部に半導体素子23等を収容できるという利点がある。また、図示しないが、第2の基板9に引下部27に相当する引下部を形成し、外側導体パターン29に相当する外側導体パターンを形成してもよい。
次に、第6実施形態について説明するが、第1実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第1実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
本第6実施形態の熱電素子内蔵パッケージ161を製造する場合を、図14に示す。
[7.第7実施形態]
次に、第7実施形態について説明するが、第1実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第1実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
本第2実施形態は、第1実施形態と同様な効果を奏する。
次に、第8実施形態について説明するが、第7実施形態と同様な内容については、説明を省略又は簡略化する。なお、第7実施形態と同様な構成については、同じ番号を使用する。
本第8実施形態は、第2実施形態と同様な効果を奏する。
尚、本開示は、前記実施形態等に何ら限定されるものではなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
(2)枠体としては、第1の基板の熱伝導率及び第2の基板の熱伝導率より小さいか、または同等の熱伝導率を有するものを採用できる。例えば、第1の基板及び第2の基板がアルミナ基板である場合には、それより熱伝導率が小さな、例えばガラスセラミック、ジルコニア製などの枠体を採用できる。
(4)第1,第2の基板としては、アルミナ製の基板に限らず、窒化アルミニウム、ガラスセラミック、窒化珪素などからなる基板を採用できる。
Claims (9)
- 第1主面と、前記第1主面の反対側の第2主面と、を有し、絶縁材料で形成された第1の基板と、
第3主面と、前記第3主面の反対側の第4主面と、を有し、絶縁材料で形成された第2の基板であって、前記第2主面と前記第3主面とが対向するように配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板とに挾まれ、前記第2主面と前記第3主面とに沿って配列された複数の熱電素子と、
を有する熱電変換モジュールを備えた熱電素子内蔵パッケージであって、
前記第1の基板と前記第2の基板との間にて前記複数の熱電素子を取り囲んだ気密空間を形成するように、前記第1の基板と前記第2の基板とに接合された枠体と、
前記第1の基板の前記第1主面又は前記第2の基板の前記第4主面に配置される配置部であって、他のデバイスが接続される配置部と、
を備えており、
前記第1の基板は、
前記第2主面に配置されて、前記熱電素子と接続された内側導体パターンと、
前記第1主面に配置されて、外部に露出して配置された外側導体パターンと、
前記第1の基板の内部に埋設されて、前記外側導体パターンと接続された埋設導体パターンと、
前記第1の基板における前記内側導体パターンと前記埋設導体パターンとの間を貫通する第1導体ビアであって、前記内側導体パターンと前記埋設導体パターンとを電気的に接続する第1ビア導体と、
を備えた、
熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記第1の基板は、当該第1の基板における前記埋設導体パターンと前記外側導体パターンとの間を貫通する第2ビア導体であって、前記埋設導体パターンと前記外側導体パターンとを電気的に接続する第2ビア導体を備えた、
請求項1に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記第1の基板は、前記第1主面の外周部分に、前記複数の熱電素子側に凹んだ引下部を備えており、
前記外側導体パターンは、前記引下部の表面に配置されている、
請求項1又は2に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記第1の基板に前記配置部が設けられている場合に、前記第1の基板は、前記配置部よりも前記複数の熱電素子から離れた位置に形成された突出部を備えており、
前記外側導体パターンは、前記突出部の表面に配置されている、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記第1の基板と前記第2の基板と前記枠体とを構成する材料は同じである、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記枠体の熱伝導率は、前記第1の基板の熱伝導率及び前記第2の基板の熱伝導率より小さい、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記枠体を構成する材料はコバールである、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記第2の基板は、前記第3主面と前記第4主面とに隣接する側面とを有し、
前記第2の基板の側面は前記枠体により囲まれるとともに、前記第2の基板の側面は前記枠体の内周面に接合された、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の熱電素子内蔵パッケージ。 - 前記第2の基板は、
前記第3主面に配置されて、前記熱電素子と接続された他の内側導体パターンと、
前記第4主面に配置されて、外部に露出して配置された他の外側導体パターンと、
前記第2の基板の内部に埋設されて、前記他の外側導体パターンと接続された他の埋設導体パターンと、
前記第2の基板における前記他の内側導体パターンと前記他の埋設導体パターンとの間を貫通する第3導体ビアであって、前記他の内側導体パターンと前記他の埋設導体パターンとを電気的に接続する第3ビア導体と、
を備えた。
請求項1〜8のいずれか1項に記載の熱電素子内蔵パッケージ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017026439 | 2017-02-15 | ||
JP2017026439 | 2017-02-15 | ||
PCT/JP2018/005139 WO2018151176A1 (ja) | 2017-02-15 | 2018-02-14 | 熱電素子内蔵パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018151176A1 true JPWO2018151176A1 (ja) | 2019-07-18 |
JP6788044B2 JP6788044B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=63170258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018568582A Active JP6788044B2 (ja) | 2017-02-15 | 2018-02-14 | 熱電素子内蔵パッケージ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11659767B2 (ja) |
JP (1) | JP6788044B2 (ja) |
CN (1) | CN110301050B (ja) |
DE (1) | DE112018000874T5 (ja) |
WO (1) | WO2018151176A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11551995B2 (en) * | 2017-10-26 | 2023-01-10 | Qorvo Us, Inc. | Substrate with embedded active thermoelectric cooler |
KR20190088701A (ko) * | 2018-01-19 | 2019-07-29 | 엘지이노텍 주식회사 | 열전 소자 |
TWI667221B (zh) * | 2018-11-14 | 2019-08-01 | 國家中山科學研究院 | 一種降低雙面銅鍍層與氮化鋁基板之界面應力累積的方法 |
JP7506054B2 (ja) | 2019-03-25 | 2024-06-25 | リンテック株式会社 | 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールを製造する方法 |
WO2020202789A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサ装置 |
CN110767609A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-02-07 | 泰州联鑫电子科技有限公司 | 一种蓝宝石绝缘子金属外壳及其生产工艺 |
CN111403376B (zh) * | 2020-03-26 | 2022-09-20 | 华中科技大学 | 一种集成热电制冷器的气密封装结构及其制备方法 |
US20210399187A1 (en) * | 2020-06-18 | 2021-12-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Thermoelectric structure and method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1090077A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Fujikura Ltd | 温度制御素子及びこれを用いた電子装置 |
JP2004303750A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Yamaha Corp | 熱電装置用パッケージおよびその製造方法 |
JP2005064457A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-03-10 | Toshiba Corp | 熱電変換装置 |
JP2007110082A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-04-26 | Toshiba Corp | 熱電変換装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6043982A (en) * | 1998-04-01 | 2000-03-28 | Raytheon Company | Integrated circuit package having a thermoelectric cooling element therein |
JP3588355B2 (ja) | 2002-05-29 | 2004-11-10 | 京セラ株式会社 | 熱電変換モジュール用基板及び熱電変換モジュール |
WO2006113607A2 (en) * | 2005-04-18 | 2006-10-26 | Nextreme Thermal Solutions | Thermoelectric generators for solar conversion and related systems and methods |
US7855396B2 (en) * | 2006-02-20 | 2010-12-21 | Industrial Technology Research Institute | Light emitting diode package structure |
JP3879769B1 (ja) * | 2006-02-22 | 2007-02-14 | 株式会社村田製作所 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
US7911059B2 (en) * | 2007-06-08 | 2011-03-22 | SeniLEDS Optoelectronics Co., Ltd | High thermal conductivity substrate for a semiconductor device |
JP2010109132A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Yamaha Corp | 熱電モジュールを備えたパッケージおよびその製造方法 |
TWI405361B (zh) * | 2008-12-31 | 2013-08-11 | Ind Tech Res Inst | 熱電元件及其製程、晶片堆疊結構及晶片封裝結構 |
CN101989596B (zh) * | 2009-07-30 | 2012-10-10 | 爱信精机株式会社 | 热电模块和光发送装置 |
KR101055095B1 (ko) * | 2010-03-09 | 2011-08-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광장치 |
CN102315354B (zh) * | 2010-06-29 | 2013-11-06 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管的封装结构 |
US8649179B2 (en) * | 2011-02-05 | 2014-02-11 | Laird Technologies, Inc. | Circuit assemblies including thermoelectric modules |
TWI463633B (zh) * | 2011-12-30 | 2014-12-01 | Ind Tech Res Inst | 晶片封裝結構 |
CN104838511B (zh) * | 2012-11-29 | 2017-06-13 | 京瓷株式会社 | 热电模块 |
CN105283973B (zh) * | 2013-09-27 | 2018-05-08 | 京瓷株式会社 | 热电模块 |
-
2018
- 2018-02-14 CN CN201880012228.9A patent/CN110301050B/zh active Active
- 2018-02-14 DE DE112018000874.6T patent/DE112018000874T5/de active Granted
- 2018-02-14 US US16/485,729 patent/US11659767B2/en active Active
- 2018-02-14 JP JP2018568582A patent/JP6788044B2/ja active Active
- 2018-02-14 WO PCT/JP2018/005139 patent/WO2018151176A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1090077A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Fujikura Ltd | 温度制御素子及びこれを用いた電子装置 |
JP2004303750A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Yamaha Corp | 熱電装置用パッケージおよびその製造方法 |
JP2005064457A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-03-10 | Toshiba Corp | 熱電変換装置 |
JP2007110082A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-04-26 | Toshiba Corp | 熱電変換装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110301050B (zh) | 2023-12-08 |
DE112018000874T5 (de) | 2019-10-31 |
CN110301050A (zh) | 2019-10-01 |
JP6788044B2 (ja) | 2020-11-18 |
US11659767B2 (en) | 2023-05-23 |
US20200006617A1 (en) | 2020-01-02 |
WO2018151176A1 (ja) | 2018-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6788044B2 (ja) | 熱電素子内蔵パッケージ | |
TWI500181B (zh) | 光電裝置之基座 | |
JP4822820B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 | |
WO2015129731A1 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP4480598B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2013074048A (ja) | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 | |
JP2021090078A (ja) | 光半導体素子収納用パッケージおよび光半導体装置 | |
JP6626735B2 (ja) | 電子部品搭載用基板、電子装置および電子モジュール | |
JP6935251B2 (ja) | 発光素子搭載用パッケージ | |
JP6935362B2 (ja) | 発光素子搭載用パッケージ | |
JP2009283898A (ja) | 電子部品容器体およびそれを用いた電子部品収納用パッケージならびに電子装置 | |
JP2007012718A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2007227739A (ja) | 電子部品収納用パッケージ及び電子部品装置 | |
JP2019009376A (ja) | 光半導体素子収納用パッケージおよび光半導体装置 | |
JP2022088061A (ja) | 光モジュール | |
JP5705471B2 (ja) | 光半導体素子収納用パッケージ、及び光半導体装置 | |
JP6989267B2 (ja) | セラミックパッケージ | |
JP6622583B2 (ja) | 配線基板および電子装置 | |
WO2013042627A1 (ja) | 電子部品載置用基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2004356391A (ja) | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 | |
JP5791258B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび実装構造体 | |
JP5969317B2 (ja) | 光半導体素子収納用パッケージおよび実装構造体 | |
JP5992785B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 | |
JP2014049563A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび実装構造体 | |
JP4514647B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201029 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6788044 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |