JPWO2018117251A1 - 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの製造方法 - Google Patents
半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018117251A1 JPWO2018117251A1 JP2018558086A JP2018558086A JPWO2018117251A1 JP WO2018117251 A1 JPWO2018117251 A1 JP WO2018117251A1 JP 2018558086 A JP2018558086 A JP 2018558086A JP 2018558086 A JP2018558086 A JP 2018558086A JP WO2018117251 A1 JPWO2018117251 A1 JP WO2018117251A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- waveguide
- laser module
- semiconductor
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 271
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 170
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 and the like Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
- H01S5/02326—Arrangements for relative positioning of laser diodes and optical components, e.g. grooves in the mount to fix optical fibres or lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0239—Combinations of electrical or optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1003—Waveguide having a modified shape along the axis, e.g. branched, curved, tapered, voids
- H01S5/101—Curved waveguide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/50—Amplifier structures not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/0014—Measuring characteristics or properties thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S5/0064—Anti-reflection components, e.g. optical isolators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02251—Out-coupling of light using optical fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
- H01S5/02407—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
- H01S5/02415—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling by using a thermo-electric cooler [TEC], e.g. Peltier element
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/0687—Stabilising the frequency of the laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1082—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region with a special facet structure, e.g. structured, non planar, oblique
- H01S5/1085—Oblique facets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る半導体レーザモジュールの概略構成を示す図である。図1に示される第1実施形態に係る半導体レーザモジュールは、基本構成のみを示すものであり、実際の半導体レーザモジュールは、後述する実施形態のように、様々な追加の構成を備え得る。
次に、より実際的な構成の半導体レーザモジュールの例示を行う。図5は、第2実施形態に係る半導体レーザモジュールの概略構成を示す図である。図5に示される第2実施形態に係る半導体レーザモジュール200の構成は、第1実施形態と共通のものが多い。したがって、以下で説明する半導体レーザモジュール200の構成では、第1実施形態と同一の参照符号を付することによって、その説明を省略する。同一の参照符号を付することによって省略された部位の構成および機能は、第1実施形態と実質的に同一であるものと理解することが可能である。
各構成部品を基板上で組み立てた後に基板を筐体へ入れる方法では、図6Aに示すように、最初にLDサブマウント10の上に半導体レーザ素子11とコリメートレンズ12とを配置する。
各構成部品を筐体内の基板上に順次配置する方法では、筐体内で作業を行うので、以下の工夫をすることが好ましいが、第1の組み立て方法と実質的に異なるものではない。したがって、ここでは、第1の組み立て方法とは異なる部分に着目して説明をする。
次に、突起物の位置が異なる第3実施形態に係る半導体レーザモジュールについて図8を用いて説明する。図8においては、簡単のために基板や集光レンズは図示を省略している。半導体レーザ素子11から出射されたレーザ光の光路L1の半導体光増幅器21の導波路の入射端24に関する延長線L3上には突起物はなく、SOAサブマウント20A上にある、延長線L3と平行な線L4上に突起物22が形成されている。延長線L3と平行な線L4との間の距離Dをあらかじめ測定しておき、SOAサブマウント20Aを突起物22によって位置決めした後、SOAサブマウント20Aをその距離Dだけ図面上側にシフトし、延長線L3と平行な線L4とを一致させて基板に固定する。これにより、半導体レーザ素子11から出射されたレーザ光の光路L1と、半導体光増幅器21の導波路の入射端24との容易な調芯が可能となる。
101,201 基板
202 筐体
10 LDサブマウント
11 半導体レーザ素子
12 コリメートレンズ
20、20A SOAサブマウント
21 半導体光増幅器
22 突起物
23 導波路
24 入射端
25 出射端
30 集光レンズ
31 第1ビームスプリッタ
32 アイソレータ
41 LD用熱電素子
42 SOA用熱電素子
50 波長ロッカー
51 第2ビームスプリッタ
52 第1受光素子
53 エタロンフィルタ
54 第2受光素子
60 光ファイバ
61 結合光学系
Claims (14)
- 半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を入射端に入射して、導波させる導波路を有する導波路型光機能素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の光路の、前記入射端に関する延長線上に設けられた突起物と、
を備えることを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 前記導波路型光機能素子が固定されるサブマウントをさらに備え、前記突起物が前記サブマウント上に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記突起物が前記導波路型機能素子上に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記導波路型光機能素子の導波路は、前記入射端近傍に曲げ導波路を有し、前記導波路型光機能素子全体が前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の光路に対して斜めに配置されている、
ことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記導波路型光機能素子は、入射された前記レーザ光を増幅する半導体光増幅器であることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記突起物は、半球状の形状をしていることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記突起物は、柱状の形状をしていることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記突起物は、金属でできていることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記突起物は、金(Au)でできていることを特徴とする請求項8に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記半導体レーザ素子と前記導波路型光機能素子との間には、コリメートレンズと集光レンズとが配置され、前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光が、前記コリメートレンズと前記集光レンズとを介して、前記導波路型光機能素子の導波路の入射端に空間結合する、
ことを特徴とする請求項1から請求項9の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記コリメートレンズによって平行光化されたレーザ光の径は、前記導波路型光機能素子の厚さより大きく、
前記サブマウントに関する前記突起物の高さは、前記導波路型光機能素子の高さよりも高い、
ことを特徴とする請求項10に記載の半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を入射端に入射して、導波させる導波路を有する導波路型光機能素子と、
前記導波路型光機能素子と突起物とが共に固定されるサブマウントと、
を備え、
前記突起物は、前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の光路の、前記入射端に関する延長線と平行な直線上に設けられている、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を入射して、導波させる導波路を有する導波路型光機能素子と、を備える半導体レーザモジュールの製造方法であって、
前記半導体レーザ素子を前記半導体レーザモジュールの基板に対して固定するレーザ素子配置工程と、
前記半導体レーザ素子から出射するレーザ光を平行光化するコリメートレンズを前記半導体レーザ素子に対して固定するコリメートレンズ配置工程と、
前記導波路型光機能素子と前記導波路型光機能素子の導波路の入射端から入射方向の延長線上に設けられた突起物とが共に固定された第1サブマウントを、前記コリメートレンズによって平行光化されたレーザ光が前記突起物に到達するように位置決めして前記基板に対して固定する導波路型光機能素子配置工程と、
前記コリメートレンズによって平行光化されたレーザ光を前記導波路型光機能素子の導波路の入射端に集光するための集光レンズを、前記コリメートレンズと前記導波路型光機能素子との間に固定する集光レンズ配置工程と、
を有することを特徴とする半導体レーザモジュールの製造方法。 - 前記コリメートレンズ配置工程は、前記半導体レーザ素子が固定された第2サブマウントに対して前記コリメートレンズを固定する工程であり、
前記レーザ素子配置工程は、前記コリメートレンズ配置工程の後に、前記半導体レーザ素子と前記コリメートレンズとを固定した前記第2サブマウントを前記基板に対して固定する工程である、
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体レーザモジュールの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016250076 | 2016-12-22 | ||
JP2016250076 | 2016-12-22 | ||
PCT/JP2017/046089 WO2018117251A1 (ja) | 2016-12-22 | 2017-12-22 | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018117251A1 true JPWO2018117251A1 (ja) | 2019-10-31 |
JP7166932B2 JP7166932B2 (ja) | 2022-11-08 |
Family
ID=62627793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018558086A Active JP7166932B2 (ja) | 2016-12-22 | 2017-12-22 | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11545814B2 (ja) |
JP (1) | JP7166932B2 (ja) |
CN (1) | CN110088994B (ja) |
WO (1) | WO2018117251A1 (ja) |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005017839A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nec Corp | 光学素子ホルダ及びこれを用いた光通信モジュール |
JP2005019820A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nec Corp | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 |
JP2006269846A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Anritsu Corp | サブマウント及びそれを用いた光半導体装置 |
WO2007032182A1 (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-22 | Nec Corporation | 光送信モジュールおよびその製造方法 |
WO2007108508A1 (ja) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 光モジュール |
JP2008090129A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法、及び、光素子 |
JP2008090128A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法 |
JP2009522757A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学的にポンピングされる半導体装置の製造方法 |
US20100303109A1 (en) * | 2009-05-26 | 2010-12-02 | Venkata Adiseshaiah Bhagavatula | Proximity Coupled Athermal Optical Package Comprising Laser Source And Compound Facet Wavelength Conversion Device |
JP2012164737A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Sony Corp | サブマウント、サブマウント組立体及びサブマウント組立方法 |
WO2013180291A1 (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール |
JP2016018121A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光増幅モジュールを製造する方法 |
JP2016028273A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-25 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光モジュールを製造する方法及び光モジュール |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2287108A1 (fr) * | 1974-10-01 | 1976-04-30 | Radiotechnique Compelec | Dispositif optoelectronique a emetteur et recepteur couples |
US20040021061A1 (en) * | 2002-07-30 | 2004-02-05 | Frederik Bijkerk | Photodiode, charged-coupled device and method for the production |
JP2006216695A (ja) | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュール |
JP5008831B2 (ja) | 2005-02-03 | 2012-08-22 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | レーザ装置、レーザ装置の制御装置、レーザ装置の制御方法、レーザ装置の波長切換方法およびレーザ装置の制御データ |
GB0524217D0 (en) * | 2005-11-28 | 2006-01-04 | Amphotonix Ltd | Fibre-optic module |
US9054480B2 (en) | 2009-08-06 | 2015-06-09 | Neophotonics Corporation | Small packaged tunable traveling wave laser assembly |
US9634463B2 (en) * | 2014-07-09 | 2017-04-25 | Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. | Optical module installing a semiconductor optical amplifier and process of assembling the same |
-
2017
- 2017-12-22 JP JP2018558086A patent/JP7166932B2/ja active Active
- 2017-12-22 CN CN201780079212.5A patent/CN110088994B/zh active Active
- 2017-12-22 WO PCT/JP2017/046089 patent/WO2018117251A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-06-18 US US16/444,778 patent/US11545814B2/en active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005017839A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nec Corp | 光学素子ホルダ及びこれを用いた光通信モジュール |
JP2005019820A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nec Corp | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 |
JP2006269846A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Anritsu Corp | サブマウント及びそれを用いた光半導体装置 |
WO2007032182A1 (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-22 | Nec Corporation | 光送信モジュールおよびその製造方法 |
JP2009522757A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学的にポンピングされる半導体装置の製造方法 |
WO2007108508A1 (ja) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 光モジュール |
JP2008090128A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法 |
JP2008090129A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法、及び、光素子 |
US20100303109A1 (en) * | 2009-05-26 | 2010-12-02 | Venkata Adiseshaiah Bhagavatula | Proximity Coupled Athermal Optical Package Comprising Laser Source And Compound Facet Wavelength Conversion Device |
JP2012164737A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Sony Corp | サブマウント、サブマウント組立体及びサブマウント組立方法 |
WO2013180291A1 (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール |
JP2016018121A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光増幅モジュールを製造する方法 |
JP2016028273A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-25 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光モジュールを製造する方法及び光モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190312414A1 (en) | 2019-10-10 |
CN110088994B (zh) | 2021-03-23 |
US11545814B2 (en) | 2023-01-03 |
JP7166932B2 (ja) | 2022-11-08 |
WO2018117251A1 (ja) | 2018-06-28 |
CN110088994A (zh) | 2019-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8646959B2 (en) | Laser light source | |
JP6739154B2 (ja) | 光モジュール | |
JPH09211272A (ja) | 光モジュール | |
US7275877B2 (en) | Optical module having individual housing for an optical processing unit and an optical sub-assembly | |
JP2011238698A (ja) | レーザモジュール | |
JP2016045237A (ja) | 発光モジュール及び多チャネル発光モジュール | |
JPWO2007108508A1 (ja) | 光モジュール | |
JPWO2010106978A1 (ja) | 半導体レーザモジュール及び光モジュール | |
WO2004025789A2 (en) | Miniaturized internal laser stabilizing apparatus with inline output for fiber optic applications | |
JP6794140B2 (ja) | 光送信機及びこれを含む光モジュール | |
JP2008026462A (ja) | 光モジュール | |
US7909518B2 (en) | Optical assembly connecting a laser with optical fibre | |
US20050025420A1 (en) | Optical sub-assembly laser mount having integrated microlens | |
Duperron et al. | Hybrid integration of laser source on silicon photonic integrated circuit for low-cost interferometry medical device | |
WO2018117251A1 (ja) | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの製造方法 | |
JP2012164924A (ja) | 光通信用送信モジュール | |
JP2008166577A (ja) | 波長モニタ付レーザモジュール | |
US7408867B2 (en) | Method of aligning an optical fiber, method of manufacturing a semiconductor laser module, and semiconductor laser module | |
JP6507659B2 (ja) | 光モジュールの製造方法 | |
Lin et al. | Grating coupled laser (GCL) for Si photonics | |
JP5837329B2 (ja) | 光半導体装置の製造方法 | |
US20020094590A1 (en) | Method for manufacturing semiconductor laser module, semiconductor laser module and Raman amplifier | |
JP3956515B2 (ja) | ファイバグレーティング光モジュールの調芯方法 | |
WO2002039154A1 (en) | Semiconductor laser module, and raman amplifier using the semiconductor laser module | |
JP2010232337A (ja) | 光源装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221026 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7166932 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |