JP2008090128A - 光モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光モジュールの製造方法は、集光レンズを第1の光素子から出射した光の光軸方向に移動させて、第1の光素子から出射し集光レンズを通過した光を第2の光素子6の入射側端面に位置合せする第1ステップと、集光レンズを光軸と直交する面内に移動させて、集光レンズを通過した光の出射方向側から観察したときに集光レンズを通過した光の焦点のスポットが、第2の光素子6の頂面上に第2の光素子6の光導波路と整列して形成された突起部35aと、光軸に直交し且つ基台の主面に平行な方向で整列するように位置合わせする第2ステップと、集光レンズを基台の主面に垂直な方向に移動させて、集光レンズを通過した光が第2の光素子6の光導波路に光結合するように集光レンズを位置合わせする第3ステップと、集光レンズの位置を固定する第4ステップと、を順次に有する。
【選択図】図2
Description
前記集光レンズを前記第1の光素子から出射した光の光軸方向に移動させて、前記第1の光素子から出射し前記集光レンズを通過した光を前記第2の光素子の入射側端面に位置合わせする第1ステップと、
前記集光レンズを前記光軸と直交する面内で移動させて、前記集光レンズを通過した光の出射方向側から観察したときに前記集光レンズを通過した光の焦点のスポットが、前記第2の光素子の頂面上に前記第2の光素子の光導波路と整列して形成された突起又は切欠きと、前記光軸に直交し且つ前記基台の主面に平行な方向で整列するように位置合わせする第2ステップと、
前記集光レンズを前記基台の主面に垂直な方向に移動させて、前記集光レンズを通過した光が前記第2の光素子の光導波路に光結合するように前記集光レンズを位置合わせする第3ステップと、
前記集光レンズの位置を固定する第4ステップと、
を順次に有することを特徴とする。
2:ペルチェモジュール
3:基台
4:フォトダイオード
5:レーザダイオード
6:MZ型変調器
7:コリメートレンズ
8:アイソレータ
9:集光レンズ
10:コリメートレンズ
11:集光レンズ
12:光ファイバ
13:フェルール
14:蓋
15:窓
21:固定部材
22:固定部材
23:固定部材
24:固定部材
25:固定部材
26:固定部材
27:サブマウント部材
30:半導体基板
31:MMIカプラ
32:アーム
33:駆動電極
34a:入射側導波路
34b:出射側導波路
35:突起部
35a:(入射側の)突起部
35b:(出射側の)突起部
36:焦点
37:MZ型変調器
38:溝部
38a:(入射側の)溝部
38b:(出射側の)溝部
39:カメラ
41:基部
42:起立壁
43:レンズホルダ
44:溶接部位
45:溶接部位
51:半導体基板
52:下部クラッド層
53:光導波路
53a:導波路形成層
54:上部クラッド層
55:エッチングストップ層
56:突起部
56a:突起部形成層
57:SiNxマスク
58:コンタクト層
58a:コンタクト形成層
59:SiNxマスク
60:埋込み層
61:SiNxマスク
62:SiNx膜
63:駆動電極
64:共通電極
71:溝部
71a:溝部形成層
72:SiNxマスク
73:SiNxマスク
74:SiNxマスク
74a:SiNx膜
100:光モジュール
Claims (7)
- 第1及び第2の光素子の底部をそれぞれ基台の主面上の所定位置に固定した後に、前記第1の光素子から出射した光を第2の光素子の光導波路に入射させる集光レンズの位置を固定する、集光レンズを用いた光モジュールの製造方法において、
前記集光レンズを前記第1の光素子から出射した光の光軸方向に移動させて、前記第1の光素子から出射し前記集光レンズを通過した光を前記第2の光素子の入射側端面に位置合わせする第1ステップと、
前記集光レンズを前記光軸と直交する面内で移動させて、前記集光レンズを通過した光の出射方向側から観察したときに前記集光レンズを通過した光の焦点のスポットが、前記第2の光素子の頂面上に前記第2の光素子の光導波路と整列して形成された突起又は切欠きと、前記光軸に直交し且つ前記基台の主面に平行な方向で整列するように位置合わせする第2ステップと、
前記集光レンズを前記基台の主面に垂直な方向に移動させて、前記集光レンズを通過した光が前記第2の光素子の光導波路に光結合するように前記集光レンズを位置合わせする第3ステップと、
前記集光レンズの位置を固定する第4ステップと、
を順次に有することを特徴とする光モジュールの製造方法。 - 前記第1ステップでは、前記第2の光素子の入射側端面で散乱され、前記第2の光素子の入射側端面に沿う視軸を有するカメラに入射する散乱光の光量が最大になるように、前記集光レンズを位置合わせする、請求項1に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記第3ステップでは、前記第2の光素子の前記光導波路に結合する光の光量が最大になるように前記集光レンズを位置合わせする、請求項1又は2に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記突起又は切欠きが、前記第2の光素子の頂面上で光軸方向に連続して形成される、請求項1〜3の何れか一に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記突起又は切欠きが、前記第2の光素子の頂面上に、光入射側端面及び光出射側端面に近接してそれぞれ形成される、請求項1〜3の何れか一に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記第2の光素子が受動光導波路素子である、請求項1〜5の何れか一に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記第1の光素子が発光素子であり、前記第2の光素子が光変調器である、請求項1〜5の何れか一に記載の光モジュールの製造方法。
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