JP5157409B2 - 光モジュール - Google Patents
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多機能化への要求を満足する方法としては、例えば、光モジュール90内で波長可変半導体レーザ93と半導体光変調器94とをハイブリッド集積したり(図5(a))、モノリシック集積したりする手法(図5(b))、が用いられてきた。
図5(a)、(b)において、符号92は、モニタPD、符号91はレンズ、符号95は光アイソレータ、符号96は光取り出しポートである。
特に、光源が、単一波長の半導体レーザから、広帯域に亘り任意の波長を出力できる波長可変半導体レーザへと変わり、搭載される光変調器も、波長依存性を持つ電界吸収(Electro Absorption、EA)型の光変調器から、波長無依存性に優れるマッハツェンダー型の光変調器へと変わっていくと考えられる現在、半導体レーザも光変調器も、各々素子長が長くなり、数mmを超える長さを必要とする。そのため、光モジュール90の長手方向(光出力方向)の小型化が重要な課題となってきている。
そこで、まず、図6に示すような光モジュールを考えた。
この光モジュールでは、波長可変半導体レーザ93の光出力方向と、半導体光変調器94の光入力方向が一致する構成となる。この構成では、波長可変半導体レーザ93の側に位置する端面に高反射膜98を設け、半導体光変調器94の光出力側の位置する端面に、反射防止膜99等を別々に形成することができる。しかしながら、波長可変半導体レーザ93と半導体光変調器94を接続するための導波路97が半導体レーザ93全長、若しくは光変調器94全長と同等の長さにまで極めて長くなるため、導波路伝搬損失増大等の観点で、現実的ではない。
この場合においても、波長可変半導体レーザの光変調器への光出力方向と、光変調器の光入力方向とは一致しているため、図6に示した場合と同様、光導波路が長くなってしまう。
すなわち、本発明によれば、波長可変半導体レーザと、この波長可変半導体レーザからの光を変調する半導体光変調器と、前記半導体光変調器からの光を出力するための光取り出しポートとを有する光モジュールにおいて、前記波長可変半導体レーザの前記半導体光変調器への光出力方向と、前記半導体光変調器の光入力方向とが反対方向であり、前記光取り出しポート側からみて、前記波長可変半導体レーザと半導体光変調器とが並列配置されており、前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、前記レーザ素子において、一の端面には反射防止膜が設けられており、前記光変調素子において、互いに対向する一対の端面の少なくとも一方には反射防止膜が設けられており、前記レーザ素子または前記光変調素子のいずれか一方または双方において、反射防止膜が形成された端面に隣接し、かつ互いに対向する一対の端面には、反射防止膜および高反射膜が形成されていない光モジュールが提供される。
ここで、波長可変半導体レーザと半導体光変調器とが並列配置されているとは、波長可変半導体レーザと半導体光変調器とが平行に配置されている場合に限らず、たとえば、波長可変半導体レーザが半導体光変調器に対し傾いて配置されていてもよい。
すなわち、光取り出しモジュールの出力光軸と直交する軸線上に波長可変半導体レーザと半導体光変調器とが配置されていればよい。
なお、このパラレル接続が効果的な状況は、波長可変半導体レーザ、及び半導体光変調器の長手方向の長さが各々1mm以上の場合である。
モノリシック集積で、波長可変半導体レーザと半導体光変調器を集積する場合、集積素子サイズが大きく、集積度が高まるため、素子のコスト及び総歩留まりという観点で懸念が残る。特にInP半導体を用いる場合には、ウエハサイズが2インチ程度と小さいため、1ウエハから取れる素子収量が少なくなり、歩留まりが低い場合は、集積素子の高コスト化が予想される。この問題の回避には、一つにはウエハサイズを3インチ以上へと拡大することが考えられるが、現状では、各々の素子を個別に作製し、ハイブリッド集積する方が、より望ましいと考えている。
そこで、はじめに、ハイブリッド集積する方法に関して述べる。
波長可変半導体レーザと、半導体光変調器とをハイブリッド集積する場合についての課題について述べる。
この構成においては、波長可変半導体レーザのレーザ共振器を形成するための反射器は、回折格子反射器やリングループ反射器等で構成し、基本的にチップ端面の反射は利用しない構成が採用できる。これによって、チップ端面へ施すコーティング膜は、半導体光変調器が必要とする無反射コーティングのみで良くなる。
このようなバー状態でコーティングを行うことで、プロセスのハンドリング容易化さらには、歩留まり向上を図っていた。
そしてコーティングを行った後、図7(a)に示すように、一つの波長可変半導体レーザと一つの半導体光変調器がカスケード接続された状態に分離していた。
なお、図7において符号20は光反射器、符号21は活性領域、符号22は光変調領域を示す。また、図8において符号23は反射防止膜、符号24は、高反射膜を示す。
この構成は、後述する第一実施形態の構成と同じ構成である。この構成では、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14とは図示しない光取り出しポートからみて並列に平行配置されている。換言すると、光取り出しポートの光出力光軸と直交する軸線上に波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14とが位置している。また、波長可変半導体レーザ13の光出力方向(矢印A)と、半導体光変調器14の光入力方向(矢印B)とが反対方向となっている。
波長可変半導体レーザ13を含む素子(レーザ素子)130と、半導体光変調器14を含む素子(光変調素子)140とは基板を異にする別体の素子である。素子130,140いずれも長手方向の長さは1mm以上である。
波長可変半導体レーザ13を含む素子130は、直方体形状であり、基板表面側からみて短辺方向に沿った一方の端面にHR膜24がコーティングされている。
また、波長可変半導体レーザ13を含む素子130の他方の端面(半導体レーザ13からの光を出力する光出力端面)にはAR膜26がコーティングされている。
一方、半導体光変調器14は、半導体基板上に形成された光変調領域22を有するものである。この半導体光変調器14を含む素子140も直方体形状であり、基板表面側からみて短辺方向に沿った一対の端面(半導体光変調器14への光入力端面および半導体光変調器14からの光出力端面)にAR膜26、AR膜23がそれぞれコーティングされている。
さらには、波長可変半導体レーザ13の半導体光変調器14への光出力方向と、半導体光変調器14の光入力方向とを反対方向としており、図6に示すように波長可変半導体レーザの光出力方向と、半導体光変調器の光入力方向が一致する構成としていない。
このようにすることで、波長可変半導体レーザの光出力端と、半導体光変調器の光入力端とを近づけることができ、図6の構成に比べ、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14を接続するための導波路25を短くすることが可能となる。
この構成では、波長可変半導体レーザ13を含む素子130と、半導体光変調器14を含む素子140とが図示しない光取り出しポートからみて並列に配置されている。換言すると、光取り出しポートの光出力光軸と直交する軸線上に波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14とが位置している。また、波長可変半導体レーザ13の光出力方向(矢印A)と、半導体光変調器14の光入力方向(矢印B)とが反対方向となっている。
波長可変半導体レーザ13を含む素子130は、波長可変半導体レーザ13と、この波長可変半導体レーザ13に接続された導波路131とを備えたものである。
半導体光変調器14を含む素子140は、半導体光変調器14と、半導体光変調器14に接続された導波路141とを備えたものである。
波長可変半導体レーザ13を含む素子130と、半導体光変調器14を含む素子140とは基板を異にする別体の独立した素子であり、いずれも直方体形状である。
また、素子130の長手方向に沿った他方の端面(素子130からの光出力端面であり、素子140との対向面)には、AR膜23が施されている。
さらに、半導体光変調器14を含む素子140の短辺方向に沿った一対の端面である光出力端面および光入力端面にも、AR膜23がコーティングされている。
半導体光変調器14を含む素子140の短辺方向に沿った一対の端面のうち、一方の端面には、波長可変半導体レーザ13からの光を半導体光変調器14へと導く導波路141の端部が位置し、他方の端面には、半導体光変調器14からの光を光取り出しポートへと導く導波路141の端部が位置する。
すなわち、この構成の技術ポイントは、波長可変半導体レーザ13からの光出力を適切な角度で、素子130の長手方向に沿った端面から出射するように導波路131を曲げ、その出射角度に応じて、半導体光変調器14に接続される導波路141を曲げることにある。
半導体光変調器14に接続される導波路141は、可能な限り、素子140の長手方向に沿った端面に近い位置に形成することが望ましい。ここでは、光変調素子140は、レーザ素子130の長手方向に沿った前記端面に対し、当該光変調素子140の短辺方向に沿った端面が隣接するように配置されている。光変調素子140の短辺方向に沿った端面は、レーザ素子130の長手方向に沿った前記端面に対し直交する面である。光変調素子140の短辺方向に沿った端面のうち、導波路131の端部に隣接する部分には、導波路141の端部が位置する。
図1(b)の構成では、図1(a)と同様の効果を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
素子130,140間を直接光学接続しているため、基本的に素子130,140間距離は、図1(a)よりも短くなりトータルでの小型化には有効である。ただし、図1(b)の構成においては、高精度な実装技術を要求する。
また、図1(b)の構成では、PLC素子27が不要となるので、部材点数の削減を図ることができる。
この構成では、波長可変半導体レーザ13を含む素子130と、半導体光変調器14を含む素子140とが図示しない光取り出しポートからみて並列に配置されている。換言すると、光取り出しポートの光出力光軸と直交する軸線上に波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14とが位置している。また、波長可変半導体レーザ13の光出力方向(矢印A)と、半導体光変調器14の光入力方向(矢印B)とが反対方向となっている。
波長可変半導体レーザ13を含む素子130は、波長可変半導体レーザ13と、この波長可変半導体レーザ13に接続された導波路131とを備えたものである。
半導体光変調器14を含む素子140は、半導体光変調器14と、半導体光変調器14に接続された導波路141とを備えたものである。
波長可変半導体レーザ13を含む素子130と、半導体光変調器14を含む素子140とは基板を異にする別体の独立した素子である。
具体的には、波長可変半導体レーザ13を含む素子130の一方の長手方向に沿った端面(素子130の光出力端面と反対側の端面)には、HR膜24がコーティングされている。
また、波長可変半導体レーザ13を含む素子130の他方の長手方向に沿った端面(素子130の光出力端面であり、素子140に対向する端面)には、AR膜26がコーティングされている。
さらに、素子140の一方の長手方向に沿った端面(光入出力端面であり、素子130に対向する端面)には、AR膜26がコーティングされている。
半導体光変調器14に接続される導波路141は、その端部が素子140の素子130と対向する端面に位置するように形成されている。
さらに、半導体光変調器14に接続された他の導波路141は素子140の素子130と対向する端面に端部が位置するように形成されている。
素子130と素子140の対向する端面間、さらには、素子140の前記端面と、PLC導波路素子27との間には、屈折率マッチングジェル28を充填する構成となっている。よって、AR膜26は、屈折率マッチングジェル28に対する膜となっている。
図1(c)の構成では、図1(b)と同様の効果を奏することができる。
素子140においても、対向する一対の端面のみ、あるいは、4つの端面のうち、一つの端面のみに、AR膜等の機能性膜が形成されている。
すなわち、素子130,140において、直交する端面のうち、一方の端面にAR膜等の機能性膜が形成され、他方の端面には形成されていない。
このような構成とすることで、素子130,140をならべてバー状態とし、端面に膜を形成することが可能となる。
図2(a)では、半導体光変調器を含む素子140からの光を光取り出しポート16へと導く光結合用のレンズ11,光アイソレータ15がパッケージ10内に配置されている。
また、半導体光変調器14を駆動する光変調器ドライバ17は、半導体光変調器14を含む素子140に対し、隣接し、並列配置されており、信号線18で素子140に最短距離で直線的に接続されている。図2(a)はいわゆるバタフライ型の光モジュールである。
また、半導体光変調器14を駆動する光変調器ドライバ17は、半導体光変調器14を含む素子140の後方に隣接して配置されている。そして、光変調器ドライバ17は、光取り出しポート16側からみて、半導体光変調器14を含む素子140に直列接続されており、信号線18で半導体光変調器14に最短距離で直線的に接続されている。
図2(b)はいわゆるTOSA(Transmitter Optical Sub Assembly)型モジュールである。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
はじめに、図3を参照して本発明の光モジュールの概要について説明する。
本実施形態の光モジュールは、波長可変半導体レーザ13と、この波長可変半導体レーザ13からの光を変調する半導体光変調器14と、半導体光変調器14からの光を出力するための光取り出しポート16とを有する光モジュールである。
波長可変半導体レーザ13の半導体光変調器14への光出力方向(矢印A)と、半導体光変調器14の光入力方向(矢印B)とが反対方向であり、光取り出しポート16側からみて、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14とが並列配置されている。
素子130から出力された光は、素子140に入射する構成となっている。
特許文献1に記載された構成では、リング共振器の右回りと左回りの二つのリング共振器モードが同時に発生し、受光素子側への光出力は光変調器にて変調されず、無駄となるため、レーザ光の取り出し効率が劣化するという課題も内包している。
これに対し、本実施形態では、素子130から出力された光は素子140に入射し、変調されるため、レーザ光の取り出し効率が低下するという問題は発生しない。
波長可変半導体レーザ13は、n-InP基板上に作製され、InGaAlAs系材料からなる活性領域(電極31が形成されている領域)と、InGaAsP系材料からなり組成波長1.3um程度の導波路層からなる位相調整領域(電極32が形成されている領域)と、多モード干渉(MMI、Multi Mode Interference)型光合分波器33と、マイクロヒータによる屈折率チューニングが可能なループリング型波長可変光反射器34とを含む。
MMI型光合分波器33と光反射器34は、ハイメサ構造導波路で構成され、それ以外の導波路は、pnp埋め込み導波路から構成されている。
この素子130では、光出力側の端面にのみ膜が形成されている。
なお、素子130は、前述した波長可変半導体レーザ13に加えて、波長可変半導体レーザ13からの光を石英系PLC導波路素子27へと導く導波路131を備えて構成される。
光変調素子140は、半導体光変調器14と、この半導体光変調器14に光を入力するための導波路141と、半導体光変調器14からの光をレンズ11へと出力する導波路141とを有する。
素子140の光入力端面には、屈折率マッチングジェル28を考慮したAR膜26が形成され、光出力端面には空気を考慮したAR膜23が形成されている。そして素子全長(長手方向の長さ)は約2.2mmである。なお、前記光入力端面と前記光出力端面は対向する一対の端面である。
素子140では、短辺方向に沿った端面にのみ膜が形成されている。
また、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14が、光取り出しポート16からみて並列に並んで配置されていることにより、光モジュールの光軸方向(光モジュールからの光出力方向)の大幅な短尺化ができ、モジュールサイズの超小型化が可能となる。
さらに、波長可変半導体レーザ13の半導体光変調器14への光出力方向と、半導体光変調器14の光入力方向とを反対方向とすることで、波長可変半導体レーザ13の光出力端と、半導体光変調器14の光入力端とを近づけることができ、図6の構成に比べ、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14を接続するための導波路25を短くすることが可能となる。
また、素子140において、対向する光入力端面と光出力端面とにAR膜23,26を形成し、長手方向に沿った端面に膜を形成しない構成としている。これにより、AR膜23,26を容易に形成することができる。
素子130においても、光出力端面にのみLow Reflection(LR)端面コーティング膜29を形成しているので、Low Reflection(LR)端面コーティング膜29を容易に形成することができる。
図4を参照して、本発明の第二実施形態について説明する。
図4には、広帯域波長可変半導体レーザと半導体光変調器が同一半導体基板上にモノリシック集積された集積光源(素子)36を搭載した超小型TOSA型光モジュールの上面模式図(図4(a))と、搭載されている素子の上面模式図(図4(b))が示されている。
このTOSA型光モジュールでは、前記実施形態と同様、波長可変半導体レーザ13の半導体光変調器14への光出力方向(矢印A)と、半導体光変調器14の光入力方向(矢印B)とが反対方向であり、光取り出しポート16側からみて、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14とが並列配置されている光モジュールである。
半導体光変調器14と、波長可変半導体レーザ13とが並列配置されているため、光変調器ドライバ17を、半導体光変調器14に対し直列的に接続しても、光モジュールの光軸方向の小型化を図ることができる。
ドライバICの出力電圧は2.5Vppであり、10GHzの高速変調に対応している。そして、半導体光変調器14からの光出力は、光結合用レンズ11(光軸方向厚さ1.5mm)、光アイソレータ15(光軸方向厚さ2mm)、光結合用レンズ11(光軸方向厚さ1.5mm)を経て、光取り出しポート(たとえば、光ファイバ接続用レセプタクルポート)16へ結合され、モジュール外部へ取り出される構成となる。
本モジュールでは、波長可変半導体レーザ13と半導体光変調器14がモノリシックに並列に集積された構造のチップを搭載しているため、超小型のTOSA型光モジュールを光変調器ドライバICを実装した形で実現することが出来た。TOSA型モジュールの長手方向サイズは、約10mmと超小型化できている。なお、モジュール高さは約7mm、横幅は10mmである。
このような第二実施形態によれば、第一実施形態と同様の効果を奏することができる。
また、波長可変半導体レーザ13、及び半導体光変調器14をモノリシック集積させ、半導体基板上に波長可変半導体レーザ13の反射器34を設けることで、集積光源36の光出力端面にAR膜23を施すことができるようになる。この工程は、通常のAR膜形成工程を用いることが出来るため、AR膜23の形成に余計な手間を要さず、容易に形成することができる。また、AR膜23を設けることで、光の反射戻り光等の影響による半導体光変調器14の特性劣化を防止できる。
たとえば、前記第一実施形態および図3(a)〜(c)では、素子130と素子140とが平行に配置されており、波長可変半導体レーザ13の光軸、半導体光変調器14の光軸が光取り出しポート16の光軸と平行となっていた。しかしながら、これに限らず、たとえば、素子130が素子140に対し傾いて配置されていてもよい。すなわち、光取り出しポート16の出力光軸と直交する軸線上に素子130,140が配置されていればよい。
なお、本発明は、以下の態様を含む。
(付記1)
波長可変半導体レーザと、
この波長可変半導体レーザからの光を変調する半導体光変調器と、
前記半導体光変調器からの光を出力するための光取り出しポートとを有する光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザの前記半導体光変調器への光出力方向と、前記半導体光変調器の光入力方向とが反対方向であり、
前記光取り出しポート側からみて、前記波長可変半導体レーザと前記半導体光変調器とが並列配置されている光モジュール。
(付記2)
付記1に記載の光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
前記波長可変半導体レーザから出力された光は、光導波路素子を介して、前記半導体光変調器に入射する光モジュール。
(付記3)
付記2に記載の光モジュールにおいて、
前記光変調素子は、対向する一対の端面のうち、一方の端面から前記光導波路素子からの光が入力され、他方の端面から、前記半導体光変調器からの光が出力され、
前記一対の端面に反射防止膜が形成されている光モジュール。
(付記4)
付記1に記載の光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの出力光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置し、
前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの光を前記半導体光変調器へと導く、導波路の端部が位置する光モジュール。
(付記5)
付記4に記載の光モジュールにおいて、
前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、前記半導体光変調器からの出力光を前記光取り出しポートへと導く導波路の端部が位置し、
前記導波路の端部と、前記光取り出しポートとは、光導波路素子を介して、接続される光モジュール。
(付記6)
付記5に記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面および、前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、それぞれ反射防止膜が形成されている光モジュール。
(付記7)
付記1に記載の光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
前記レーザ素子および前記光変調素子はいずれも直方体形状であり、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの出力光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置し、
前記光変調素子は、一端面が前記レーザ素子の前記端面に対して直交するように配置されるとともに、前記光変調素子の前記一端面が、前記レーザ素子の前記端面に形成された導波路の端部に隣接するように配置され、
前記光変調素子の前記一端面には、波長可変半導体レーザからの光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置する光モジュール。
(付記8)
付記7に記載の光モジュールにおいて、
前記光変調素子の前記一端面と対向する他の端面には、前記半導体光変調器からの光を前記光取り出しポートへと導く導波路の端部が位置し、
前記一端面および前記他の端面には、反射防止膜が形成されている光モジュール。
(付記9)
付記1乃至8のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
各素子の長手方向の長さが1mm以上である光モジュール。
(付記10)
付記1に記載の光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザおよび前記半導体光変調器とは、同一半導体基板上にモノリシック集積された素子として構成され、
前記半導体基板上には、前記波長可変半導体レーザの反射器が形成されている光モジュール。
(付記11)
付記10に記載の光モジュールにおいて、
前記半導体光変調器からの光を出力する前記素子の端面には、反射防止膜が設けられている光モジュール。
(付記12)
付記1乃至11のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記半導体光変調器を駆動するための駆動素子を有し、
前記駆動素子が前記半導体光変調器を含む素子に隣接して配置されている光モジュール。
11 光結合用レンズ
13 波長可変半導体レーザ
14 半導体光変調器
15 光アイソレータ
16 光取り出しポート
17 光変調器ドライバ(駆動素子)
18 信号線
19 コネクタ
20 光反射器
21 活性領域
22 光変調領域
23 AR膜(反射防止膜)
24 HR膜(高反射膜)
25 導波路
26 AR膜(反射防止膜)
27 光導波路素子
28 屈折率マッチングジェル
29 Low Reflection(LR)端面コーティング膜
30 半導体ギャップミラー
31 電極
32 電極
33 MMI型光合分波器
34 ループリング型波長可変光反射器
35 電極
36 集積光源
90 光モジュール
91 レンズ
92 モニタPD
93 波長可変半導体レーザ
94 半導体光変調器
95 光アイソレータ
96 光取り出しポート
97 導波路
98 高反射膜
99 反射防止膜
130 レーザ素子
131 導波路
140 光変調素子
141 導波路
Claims (16)
- 波長可変半導体レーザと、
この波長可変半導体レーザからの光を変調する半導体光変調器と、
前記半導体光変調器からの光を出力するための光取り出しポートとを有する光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザの前記半導体光変調器への光出力方向と、前記半導体光変調器の光入力方向とが反対方向であり、
前記光取り出しポート側からみて、前記波長可変半導体レーザと前記半導体光変調器とが並列配置されており、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
前記レーザ素子において、一の端面には反射防止膜が設けられており、
前記光変調素子において、互いに対向する一対の端面の少なくとも一方には反射防止膜が設けられており、
前記レーザ素子または前記光変調素子のいずれか一方または双方において、反射防止膜が形成された端面に隣接し、かつ互いに対向する一対の端面には、反射防止膜および高反射膜が形成されていない光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子において、反射防止膜が設けられた端面と対向する端面には高反射膜が形成されている光モジュール。 - 請求項1または2に記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子は、前記波長可変半導体レーザからみて反射防止膜が設けられた端面とは反対側に位置する光反射器を有する光モジュール。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザから出力された光は、光導波路素子を介して、前記半導体光変調器に入射する光モジュール。 - 請求項4に記載の光モジュールにおいて、
前記光変調素子は、
対向する一対の端面のうち、一方の端面から前記光導波路素子からの光が入力され、他方の端面から前記半導体光変調器からの光が出力され、
かつ、前記光導波路素子からの光が入力される端面および前記半導体光変調器からの光が出力される端面に反射防止膜が形成されている光モジュール。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの出力光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置し、
前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの光を前記半導体光変調器へと導く、導波路の端部が位置する光モジュール。 - 請求項6に記載の光モジュールにおいて、
前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、前記半導体光変調器からの出力光を前記光取り出しポートへと導く導波路の端部が位置し、
前記導波路の端部と、前記光取り出しポートとは、光導波路素子を介して、接続される光モジュール。 - 請求項7に記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面および、前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、それぞれ反射防止膜が形成されている光モジュール。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子および前記光変調素子はいずれも直方体形状であり、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの出力光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置し、
前記光変調素子は、一端面が前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面に対して直交するように配置されるとともに、前記光変調素子の前記一端面が、前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面に形成された導波路の端部に隣接するように配置され、
前記光変調素子の前記一端面には、波長可変半導体レーザからの光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置する光モジュール。 - 請求項9に記載の光モジュールにおいて、
前記光変調素子の前記一端面と対向する他の端面には、前記半導体光変調器からの光を前記光取り出しポートへと導く導波路の端部が位置し、
前記一端面、および前記一端面と対向する前記他の端面には、反射防止膜が形成されている光モジュール。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
各素子の長手方向の長さが1mm以上である光モジュール。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記半導体光変調器を駆動するための駆動素子を有し、
前記駆動素子が前記半導体光変調器を含む素子に隣接して配置されている光モジュール。 - 波長可変半導体レーザと、
この波長可変半導体レーザからの光を変調する半導体光変調器と、
前記半導体光変調器からの光を出力するための光取り出しポートとを有する光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザの前記半導体光変調器への光出力方向と、前記半導体光変調器の光入力方向とが反対方向であり、
前記光取り出しポート側からみて、前記波長可変半導体レーザと前記半導体光変調器とが並列配置されており、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
前記レーザ素子のうち前記光変調素子と対向する端面、および前記光変調素子のうち前記レーザ素子と対向する端面に隣接する一対の端面には、反射防止膜が形成されており、
前記レーザ素子または前記光変調素子のいずれか一方または双方において、反射防止膜が形成された端面に隣接し、かつ互いに対向する一対の端面には、反射防止膜および高反射膜が形成されていない光モジュール。 - 請求項13に記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの出力光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置し、
前記光変調素子は、一端面が前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面に対して直交するように配置されるとともに、前記光変調素子の前記一端面が、前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面に形成された導波路の端部に隣接するように配置され、
前記光変調素子の前記一端面のうち、前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面に形成された導波路の端部に隣接する部分には、波長可変半導体レーザからの光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置する光モジュール。 - 波長可変半導体レーザと、
この波長可変半導体レーザからの光を変調する半導体光変調器と、
前記半導体光変調器からの光を出力するための光取り出しポートとを有する光モジュールにおいて、
前記波長可変半導体レーザの前記半導体光変調器への光出力方向と、前記半導体光変調器の光入力方向とが反対方向であり、
前記光取り出しポート側からみて、前記波長可変半導体レーザと前記半導体光変調器とが並列配置されており、
前記波長可変半導体レーザを含んで構成されるレーザ素子と、前記半導体光変調器を含んで構成される光変調素子とは、異なる半導体基板上に形成された素子であり、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面および、前記光変調素子の前記レーザ素子と対向する端面には、それぞれ反射防止膜が形成されており、
前記レーザ素子または前記光変調素子のいずれか一方または双方において、反射防止膜が形成された端面に隣接し、かつ互いに対向する一対の端面には、反射防止膜および高反射膜が形成されていない光モジュール。 - 請求項15に記載の光モジュールにおいて、
前記レーザ素子の前記光変調素子と対向する端面には、前記波長可変半導体レーザからの出力光を前記半導体光変調器へと導く導波路の端部が位置する光モジュール。
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