JPWO2018037803A1 - 高周波加熱装置 - Google Patents
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Abstract
Description
<全体構成>
図1、図2はそれぞれ、本開示の実施の形態1に係る高周波加熱装置1aの構成を模式的に示す縦断面図、横断面図である。
生成部8は、マグネトロンとインバータとを有し、制御部14に制御されてマイクロ波を生成するように構成される。生成部8は、マグネトロンとインバータとの代わりに、例えば、固体発振器と電力増幅器とを有してもよい。本実施の形態において、生成部8は第1生成部に相当する。
表面波励振体9は、載置台4の下方に設けられる。表面波励振体9は、マイクロ波を表面波モードで伝播させて、載置台4に載置された加熱対象物6を加熱する。
表面波励振体9a、9bの間には間隙が設けられる。その間隙に、表面波励振体9a、9bにマイクロ波を供給するための結合部12が設けられる。表面波励振体9a、9bの間の間隙は、マイクロ波の伝播方向Dにおける表面波励振体9の中間部に位置する。
表面波励振体9の作用について、図3を用いて説明する。図3は、図2に示す横断面図において、表面波モードのマイクロ波が表面波励振体9を伝播する様子、および、載置台4(図3では不図示)上の加熱対象物6の載置位置を模式的に示している。
本開示の実施の形態2に係る高周波加熱装置1bについて、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図4は、高周波加熱装置1bの構成を模式的に示す横断面図である。図4は、表面波モードのマイクロ波が表面波励振体9を伝播する様子、および、載置台4(図4では不図示)上の加熱対象物6の載置位置を模式的に示している。
本開示の実施の形態3に係る高周波加熱装置1cについて、実施の形態2との相違点のみ説明する。図5は、高周波加熱装置1cの構成を模式的に示す横断面図である。図5は、表面波モードのマイクロ波が表面波励振体9を伝播する様子、および、載置台4(図5では不図示)上の加熱対象物6の載置位置を模式的に示している。
本開示の実施の形態4に係る高周波加熱装置1dについて、実施の形態3との相違点のみ説明する。図6は、高周波加熱装置1dの構成を模式的に示す横断面図である。図6は、表面波モードのマイクロ波が表面波励振体9を伝播する様子、および、載置台4(図6では不図示)上の加熱対象物6の載置位置を模式的に示している。
2 加熱室
4 載置台
6,6a,6b 加熱対象物
8 生成部(第1生成部)
9,9a,9b 表面波励振体
11,13 金属板
12 結合部(第1結合部)
14,36,46 制御部
22 結合部(第2結合部)
24 結合部(第3結合部)
26,44 分配器
32 生成部(第2生成部)
34 生成部(第3生成部)
42 生成部(第2生成部)
Claims (7)
- マイクロ波を生成するように構成された第1生成部と、
前記マイクロ波の伝播方向に所定間隔で周期的に配置された複数の金属板を有し、前記マイクロ波を表面波モードで伝播させて加熱対象物を加熱するように構成された表面波励振体と、
前記第1生成部により生成された前記マイクロ波が前記表面波励振体に供給されるように、前記マイクロ波の伝播方向における前記表面波励振体の中間部に設けられた第1結合部と、を備えた高周波加熱装置。 - 前記マイクロ波の伝播方向における前記表面波励振体の一方の端部に設けられた第2結合部と、
前記マイクロ波の伝播方向における前記表面波励振体の他方の端部に設けられた第3結合部と、をさらに備えた請求項1に記載の高周波加熱装置。 - 前記第1生成部により生成された前記マイクロ波を、前記第1結合部と前記第2結合部と前記第3結合部とに分配するように構成された分配器をさらに備えた請求項2に記載の高周波加熱装置。
- 前記第1生成部により生成された前記マイクロ波とは異なる周波数を有するマイクロ波を生成し、前記第2結合部に供給するように構成された第2生成部と、
前記第1生成部により生成された前記マイクロ波とは異なる周波数を有するマイクロ波を生成し、前記第3結合部に供給するように構成された第3生成部と、をさらに備えた請求項2に記載の高周波加熱装置。 - 前記第2生成部により生成された前記マイクロ波が、前記第3生成部により生成された前記マイクロ波と異なる周波数を有する請求項4に記載の高周波加熱装置。
- 前記第1生成部により生成された前記マイクロ波とは異なる周波数を有するマイクロ波を生成する第2生成部と、
前記第2生成部により生成された前記マイクロ波を、前記第2結合部と前記第3結合部とに分配するように構成された分配器と、をさらに備えた請求項2に記載の高周波加熱装置。 - 前記第2生成部により生成された前記マイクロ波が、前記第1生成部により生成された前記マイクロ波と異なる周波数を有する請求項6に記載の高周波加熱装置。
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