JPWO2018016510A1 - 電流センサ - Google Patents

Abstract

第１のホール素子および第２のホール素子を備える電流センサを提供する。第１のホール素子と、第１のホール素子と並列に接続された第２のホール素子と、被測定電流が流れ、被測定電流により生じた被測定磁場を、第１のホール素子および第２のホール素子に異極性で与えるように配置された一次導体と、基準電流が流れ、基準電流により生じた基準磁場を、第１のホール素子および第２のホール素子に同極性で与えるように配置された二次導体とを備える電流センサを提供する。

Description

本発明は、電流センサに関する。

従来、第１のホール素子および第２のホール素子を有する電流センサにおいて、一次導体に被測定電流が流れることにより、第１のホール素子および第２のホール素子に被測定磁場が与えられることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１ 特表２０１４−５１７９１９号公報

解決しようとする課題

しかしながら、従来の電流センサは、第１のホール素子および第２のホール素子に被測定磁場を同極性で与える。そのため、被測定電流に応じた成分とオフセット成分とを簡単な演算でキャンセルすることができない。

一般的開示

本発明の第１の態様においては、第１のホール素子と、第１のホール素子と並列に接続された第２のホール素子と、被測定電流が流れ、被測定電流により生じた被測定磁場を、第１のホール素子および第２のホール素子に異極性で与えるように配置された一次導体と、基準電流が流れ、基準電流により生じた基準磁場を、第１のホール素子および第２のホール素子に同極性で与えるように配置された二次導体とを備える電流センサを提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

電流センサ１００の構成の概要を示す。 実施例１に係る電流センサ１００の構成の一例を示す。 実施例１に係る電流センサ１００の具体的な構成の一例を示す。 実施例１に係る電流センサ１００のタイミングチャートの一例を示す。 実施例２に係る電流センサ１００の構成の一例を示す。 実施例２に係る電流センサ１００の具体的な構成の一例を示す。 実施例２に係る電流センサ１００の第１フィードバック動作時の構成の一例を示す。 実施例２に係る電流センサ１００の第２フィードバック動作時の構成の一例を示す。 実施例２に係る電流センサ１００のタイミングチャートの一例を示す。 磁気素子１０の具体的な構成の一例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、電流センサ１００の構成の概要を示す。本例の電流センサ１００は、磁気素子１０、出力部２０および制御部３０を備える。磁気素子１０は、ホール素子１１およびホール素子１２を備える。

磁気素子１０は、磁場の変化を検出することにより被測定電流Ｉ_ｏを検出する。本例の磁気素子１０は、被測定電流Ｉ_ｏが磁気素子１０の近傍を流れることにより生じた被測定磁場Ｂ_ｉｎの変化により被測定電流Ｉ_ｏを検出する。一例において、磁気素子１０は、ホール素子を備える。磁気素子１０は、被測定電流Ｉ_ｏに応じた被測定磁場Ｂ_ｉｎの変化に基づいて出力信号Ｓ_ｏを生成する。例えば、出力信号Ｓ_ｏはホール素子からのホール起電力信号に対応する。磁気素子１０がホール素子を有する場合の駆動方法は、定電流駆動であっても、定電圧駆動であってもよい。

ホール素子１１およびホール素子１２は、互いに並列に接続される。本例のホール素子１１およびホール素子１２は、被測定磁場Ｂ_ｉｎに応じた差動信号をそれぞれ出力する。例えば、ホール素子１１およびホール素子１２は、差動信号として出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２をそれぞれ出力する。即ち、磁気素子１０の出力信号Ｓ_ｏには、出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２が含まれている。

出力部２０は、磁気素子１０の出力信号Ｓ_ｏに基づいて、電流センサ１００の出力信号Ｓ_ｏｕｔを生成する。出力部２０は、被測定電流Ｉ_ｏに応じた信号として出力信号Ｓ_ｏｕｔを出力する。例えば、出力部２０は、出力信号Ｓ_ｏからオフセット成分が除去された出力信号Ｓ_ｏｕｔを出力する。

制御部３０は、磁気素子１０の出力信号Ｓ_ｏに応じて、磁気素子１０の動作を制御する。また、制御部３０は、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動を別々に制御する。より具体的には、制御部３０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１１の駆動電流を制御する。また、制御部３０は、ホール素子１１の駆動電流の制御と別に、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１２の駆動電流を制御する。

本明細書において、ホール素子１１の駆動電流の制御と別に、ホール素子１２の駆動電流を制御するとは、出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２の両方の信号を含む出力信号Ｓ_ｏに基づいて、異なる系統のフィードバック回路又は時分割動作により、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動電流を別々に制御することを指す。例えば、本例の制御部３０は、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１１を制御するためのフィードバック信号Ｓ_ｆｂ１を生成する。また、制御部３０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１２を制御するためのフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２を生成する。フィードバック信号Ｓ_ｆｂ１およびフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２は、異なる系統によりそれぞれ生成され、又は時分割で生成される。

［実施例１］
図２は、実施例１に係る電流センサ１００の構成の一例を示す。本例の制御部３０は、フィードバック回路４０、チョッパ回路４１、フィードバック回路５０およびチョッパ回路５１を備える。本例の電流センサ１００は、２系統の制御部３０を有する場合の一例である。

フィードバック回路４０およびフィードバック回路５０は、制御部３０において並列に設けられている。フィードバック回路４０およびフィードバック回路５０には、出力信号Ｓ_ｏがそれぞれ入力される。つまり、フィードバック回路４０およびフィードバック回路５０は、ホール素子１１およびホール素子１２の両方の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２が入力される。本例のフィードバック回路４０およびフィードバック回路５０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動をそれぞれ別々に制御する。本明細書において、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動を別々の系統で制御する場合を２系統の電流センサ１００と称する。

フィードバック回路４０は、ホール素子１１およびホール素子１２からの出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１１の駆動電流を制御する。一例において、フィードバック回路４０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１１の駆動を制御するためのフィードバック信号Ｓ_ｆｂ１を生成する。本例のフィードバック回路４０は、生成したフィードバック信号Ｓ_ｆｂ１をホール素子１１に入力する。例えば、フィードバック信号Ｓ_ｆｂ１は、ホール素子１１の駆動を制御するための駆動電流である。

フィードバック回路５０は、ホール素子１１およびホール素子１２からの出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１２の駆動電流を制御する。一例において、フィードバック回路５０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１１の駆動を制御するためのフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２を生成する。本例のフィードバック回路５０は、生成したフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２をホール素子１２に入力する。例えば、フィードバック信号Ｓ_ｆｂ２は、ホール素子１２の駆動を制御するための駆動電流である。

チョッパ回路４１は、フィードバック回路４０と磁気素子１０との間に設けられる。チョッパ回路４１は、出力信号Ｓ_ｏの内、出力信号Ｓ_ｈ１および出力信号Ｓ_ｈ２のいずれか一方の極性を切り替える。例えば、チョッパ回路４１は、出力信号Ｓ_ｈ２の信号の極性を切替える場合は、予め定められた周波数で繰り返す。即ち、本明細書において、極性を切り替える場合とは、極性をスイッチングさせる場合を指す。一方、極性を切り替えない場合とは、極性が入れ替えられない場合を指す。なお、チョッパ回路４１は、第１のチョッパ回路の一例である。

チョッパ回路５１は、フィードバック回路５０と磁気素子１０との間に設けられる。チョッパ回路５１は、出力信号Ｓ_ｏの内、出力信号Ｓ_ｈ１および出力信号Ｓ_ｈ２のいずれか一方の極性を切り替える。本例のチョッパ回路５１は、チョッパ回路４１が極性を切り替える信号と異なる信号の極性を切り替える。例えば、チョッパ回路５１は、チョッパ回路４１が出力信号Ｓ_ｈ２の極性を切り替える場合に、出力信号Ｓ_ｈ１の極性を切り替える。また、チョッパ回路５１は、チョッパ回路４１が出力信号Ｓ_ｈ１の極性を切り替える場合に、出力信号Ｓ_ｈ２の極性を切り替えてよい。なお、チョッパ回路５１は、第２のチョッパ回路の一例である。

図３は、実施例１に係る電流センサ１００の具体的な構成の一例を示す。本構成例は、実施例１に係る電流センサ１００の一例であり、他の構成によって電流センサ１００が構成されてもよい。

一次導体１３は、被測定電流Ｉ_ｏが流れ、被測定電流Ｉ_ｏにより生じた被測定磁場Ｂ_ｉｎを磁気素子１０に与えるように配置される。本例の一次導体１３は、ホール素子１１およびホール素子１２に、被測定電流Ｉ_ｏに応じた被測定磁場Ｂ_ｉｎを異極性で与えるように設けられている。本明細書において、磁場を異極性で与えるとは、ホール素子１１に与える磁場の向きと逆向きの磁場をホール素子１２に与えることを指す。なお、ホール素子１１およびホール素子１２に与える磁場の大きさは同一であっても、異なっていてもよい。ホール素子１１，１２および一次導体１３の具体的な構造は、図８を用いて説明する。

スイッチ回路１６は、スピニングカレント周波数ｆ_ｓの駆動信号に応じて、磁気素子１０をスピニングカレント動作させる。スピニングカレント動作時において、スイッチ回路１６は、ホール素子１１およびホール素子１２の出力電圧を駆動電流の向きに応じて出力する。本例のスイッチ回路１６は、スピニングカレント周波数ｆ_ｓで磁気素子１０の駆動電流の向きを変化させる。例えば、スイッチ回路１６は、ホール素子１１およびホール素子１２に入力される駆動電流の向きをそれぞれスピニングカレント周波数ｆ_ｓで切り替える。これにより、スイッチ回路１６は、被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分をＡＣ成分として出力する。

二次導体１４は、基準電流Ｉ_ｒｅｆが流れ、基準電流Ｉ_ｒｅｆにより生じた基準磁場Ｂ_ｒｅｆを磁気素子１０に与えるように配置される。本例の二次導体１４は、ホール素子１１およびホール素子１２に、基準磁場Ｂ_ｒｅｆを同極性で与えるように配置されている。本明細書において、磁場を同極性で与えるとは、ホール素子１１に与える磁場の向きと同一の向きの磁場をホール素子１２に与えることを指す。

スイッチ回路１７は、二次導体１４に流れる基準電流Ｉ_ｒｅｆの方向を切り替える。例えば、スイッチ回路１７は、スピニングカレント周波数ｆ_ｓで基準電流Ｉ_ｒｅｆの方向を切り替える。これにより、ホール素子１１およびホール素子１２に同極性で与えられる基準磁場Ｂ_ｒｅｆの向きがスピニングカレント周波数ｆ_ｓで切り替えられる。

出力部２０は、減算部２１（ＤＤＡ）、復調部２２、増幅部２３、フィルタ部２４、コンパレータ２５（ＣＭＰ）、フィルタ部２６（ＤＩＧ＿ＦＩＬ１）およびＤＡ変換部２７（ＤＡＣ１）を備える。

減算部２１は、出力信号Ｓ_ｈ１と出力信号Ｓ_ｈ２との減算結果を出力する。ここで、本例では、被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分が異極性で与えられ、基準磁場Ｂ_ｒｅｆ成分が同極性で与えられている。そのため、減算部２１は、出力信号Ｓ_ｈ１と出力信号Ｓ_ｈ２との減算により、同極性で与えられた基準磁場Ｂ_ｒｅｆ成分を除去する。基準磁場Ｂ_ｒｅｆ成分が除去されると、被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分のみが残される。これにより、減算部２１は、被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分のみを抽出する。

復調部２２は、ＡＣ成分の被測定磁場Ｂ_ｉｎをＤＣ成分に復調させる。例えば、被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分がベースバンドに復調される。被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分が復調されることにより、後のフィルタ回路で高周波側のノイズ成分が除去される。

増幅部２３は、復調された被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分を増幅する。例えば、増幅部２３は、被測定磁場Ｂ_ｉｎに応じて発生した磁気素子１０のホール起電力信号を増幅する。なお、増幅部２３において、残留したオフセット成分および増幅部２３で生じたオフセット成分が補正されてもよい。

フィルタ部２４は、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）を有する。フィルタ部２４は、高周波領域の信号を除去する。これにより、フィルタ部２４は、ベースバンド成分を選択し、センサ出力信号Ｓ_ｏｕｔとして出力する。

コンパレータ２５は、復調部２２の出力した差動信号に基づく比較結果をフィルタ部２６に出力する。一例において、コンパレータ２５は、差動信号の差分に応じた比較結果を二値化して出力する。フィルタ部２６は、ＬＰＦを有し、入力された比較結果をデジタルフィルタリング処理する。また、ＤＡ変換部２７は、フィルタ部２６が出力したデジタル信号をアナログ信号に変換して減算部２１に出力する。これにより、減算部２１は、出力信号Ｓ_ｏからオフセット成分を除去する。

フィードバック回路４０は、加算部４２（ＤＤＡ１）、増幅部４３（Ｇ２＿１）、演算部４４（ＳＣＦ１）、比較部４５（ＣＭＰ１）、フィルタ部４６（ＤＩＧ＿ＦＩＬ２）、ＤＡ変換部４７（ＤＡＣ２）およびＶＩ変換部４８を備える。これにより、フィードバック回路４０は、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１１の感度を補正する。

加算部４２は、出力信号Ｓ_ｈ１と出力信号Ｓ_ｈ２とを加算する。本例のチョッパ回路４１は、フィードバック回路４０とホール素子１２との間に設けられている。これにより、加算部４２には、極性が切り替えられた出力信号Ｓ_ｈ２および極性が切り替えられていない出力信号Ｓ_ｈ１が入力される。増幅部４３は、加算した結果を増幅して演算部４４に出力する。

演算部４４は、位相φ１〜φ４においてそれぞれ入力された信号に応じて予め定められた演算を行う。演算部４４は、演算結果を比較部４５に出力する。比較部４５は、演算部４４が出力した演算結果に応じた比較結果をフィルタ部４６に出力する。比較部４５は、比較結果をデジタル信号として出力してよい。

フィルタ部４６は、入力されたデジタル信号をＬＰＦでフィルタリング処理する。ＤＡ変換部４７は、フィルタ部４６が出力したデジタル信号をアナログ信号に変換する。ＶＩ変換部４８は、ＤＡ変換部４７が出力したアナログ信号に応じてホール素子１１を駆動するための駆動電流を生成する。これにより、フィードバック回路４０は、ホール素子１１が出力した出力信号Ｓ_ｈ１に応じて、ホール素子１１の駆動電流を調整する。したがって、フィードバック回路４０は、ホール素子１１の感度を補正できる。

フィードバック回路５０は、加算部５２（ＤＤＡ２）、増幅部５３（Ｇ２＿２）、演算部５４（ＳＣＦ２）、比較部５５（ＣＭＰ２）、フィルタ部５６（ＤＩＧ＿ＦＩＬ３）、ＤＡ変換部５７（ＤＡＣ３）およびＶＩ変換部５８を備える。これにより、フィードバック回路５０は、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１２の感度を補正する。

加算部５２は、出力信号Ｓ_ｈ１と出力信号Ｓ_ｈ２とを加算する。本例のチョッパ回路５１は、フィードバック回路５０とホール素子１１との間に設けられている。これにより、加算部５２には、極性が切り替えられた出力信号Ｓ_ｈ１および極性が切り替えられていない出力信号Ｓ_ｈ２が入力される。増幅部５３は、加算した結果を増幅して演算部５４に出力する。

演算部５４は、位相φ１〜φ４においてそれぞれ入力された信号に応じて予め定められた演算を行う。演算部５４は、演算結果を比較部５５に出力する。比較部５５は、演算部５４が出力した演算結果に応じた比較結果をフィルタ部５６に出力する。比較部５５は、比較結果をデジタル信号として出力してよい。

フィルタ部５６は、入力されたデジタル信号をＬＰＦでフィルタリング処理する。ＤＡ変換部５７は、フィルタ部５６が出力したデジタル信号をアナログ信号に変換する。ＶＩ変換部５８は、ＤＡ変換部５７が出力したアナログ信号に応じてホール素子１２を駆動するための駆動電流を生成する。これにより、フィードバック回路５０は、ホール素子１２が出力した出力信号Ｓ_ｈ２に応じて、ホール素子１２の駆動電流を調整する。したがって、フィードバック回路５０は、ホール素子１２の感度を補正できる。

図４は、実施例１に係る電流センサ１００のタイミングチャートの一例を示す。本例では、基準電流Ｉ_ｒｅｆのみを考慮した場合におけるオフセットの除去方法について説明する。即ち、本例では、被測定電流Ｉ_ｏが与える影響について考慮していない。

ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫは、磁気素子１０の駆動状態を制御する信号である。磁気素子１０の駆動は、スピニングカレント周波数ｆ_ｓで０°と９０°に切り替えられる。０°と９０°では、磁気素子１０に流れる駆動電流の方向が９０°異なるように切り替えられている。より具体的には、０°の場合にホール素子１１に流れる駆動電流の方向と９０°の場合にホール素子１１に流れる駆動電流の方向とが９０°異なる。ホール素子１２の場合も同様である。即ち、本例のホール素子１１およびホール素子１２は、それぞれスピニングカレント動作している。ホール素子１１およびホール素子１２は、スピニングカレント動作することによりオフセットをキャンセルできる。なお、本例のＨＡＬＬチョッピングＣＬＫの周波数Ｆｃｈｏｐは１ＭＥＧ［Ｈｚ］である。周波数Ｆｃｈｏｐは、スピニングカレント周波数ｆ_ｓの一例である。

コイルチョッピングＣＬＫは、二次導体１４に流れる基準電流Ｉ_ｒｅｆの方向を制御する信号である。本例のコイルチョッピングＣＬＫは、基準電流Ｉ_ｒｅｆの方向を＋Ｉと−Ｉに制御する。＋Ｉと−Ｉとでそれぞれ反対方向に基準電流Ｉ_ｒｅｆが流れる。即ち、＋Ｉと−Ｉとでホール素子１１およびホール素子１２に異極性の磁場が与えられる。ここで、コイルチョッピングＣＬＫの周波数は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫの周波数と同一であってよい。また、コイルチョッピングＣＬＫは、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫと同位相となってよい。なお、本例のコイルチョッピングＣＬＫの周波数Ｆｃｏｉｌは、１ＭＥＧ［Ｈｚ］である。

コイルイネーブルＣＬＫは、二次導体１４に基準電流Ｉ_ｒｅｆを流すか否かを切り替える。コイルイネーブルＣＬＫがハイとなっている場合、基準電流Ｉ_ｒｅｆに応じた基準磁場Ｂ_ｒｅｆが磁気素子１０に与えられる。例えば、コイルイネーブルＣＬＫがハイとなっている場合、コイルチョッピングＣＬＫに応じて、+Ｉ又は−Ｉの基準電流Ｉ_ｒｅｆが流れる。一方、コイルイネーブルＣＬＫがローとなっている場合、基準電流Ｉ_ｒｅｆに応じた基準磁場Ｂ_ｒｅｆが磁気素子１０に与えられない。即ち、コイルイネーブルＣＬＫがローの場合Ｉ＝０となる。本例のコイルイネーブルＣＬＫの周波数Ｆｃｏｉｌｅｎは、０．５ＭＥＧ［Ｈｚ］である。

ＨＡＬＬ１出力は、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１を示す。また、ＨＡＬＬ２出力は、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２を示す。

基準電流Ｉ_ｒｅｆが０の場合、ホール素子１１の出力がなくなり、出力信号Ｓ_ｈ１＝０となる。同様に、基準電流Ｉ_ｒｅｆが０の場合、ホール素子１２の出力における基準磁場Ｂｒｅｆに由来する成分がなくなり、出力信号Ｓ_ｈ２＝０となる。

一方、基準電流Ｉ_ｒｅｆが＋Ｉ又は−Ｉの場合、基準磁場Ｂ_ｒｅｆがホール素子１１およびホール素子１２に対してそれぞれ同極性となるので、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２がいずれも正となる。即ち、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号における基準磁場Ｂ_ｒｅｆに由来する成分が＋Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。

ここで、フィードバック回路４０への入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが０°の場合に＋Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。一方、フィードバック回路４０への入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが９０°の場合に＋Ｓ_ｈ１および−Ｓ_ｈ２となる。但し、出力信号の符号が正となるか負となるかについては、チョッパ回路４１の配置によって適宜変更されてよい。

また、フィードバック回路５０への入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが０°の場合に＋Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。一方、フィードバック回路５０の入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが９０°の場合に、−Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。但し、出力信号の符号が正となるか負となるかについては、チョッパ回路５１の配置によって適宜変更されてよい。

ここで、フィードバック回路４０は、演算部４４を用いた演算により、ホール素子１１のオフセットを除去する。演算部４４は、オフセットを除去するための位相φ１，φ２，φ３，φ４における出力信号に基づいて、オフセットを除去する。フィードバック回路４０は、出力信号をサンプリングするためのオフセットサンプリング期間に対して、適当な周期でオフセットキャンセルを実行するオフセット除去期間を設ける。オフセット除去期間は、要求される検出精度や消費電力等に応じて適宜設けられてよい。本例のオフセット除去期間は、０．２５ＭＥＧ［Ｈｚ］に設定されるが、これに限定されない。オフセット除去期間は、オフセットサンプリング期間に対してランダムに設定されてもよい。位相φ１，φ２，φ３，φ４では、出力信号がそれぞれＳ_ｈ１＝０，Ｓ_ｈ２＝０，Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２，Ｓ_ｈ１−Ｓ_ｈ２となる。本例の演算部４４は、φ１+φ２およびφ３＋φ４を算出する。そして、演算部４４は、φ１+φ２とφ３＋φ４との減算により（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を算出する。即ち、（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）の演算により、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２に関する信号が除去される。これにより、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１のみを抽出できる。

演算部４４は、算出した差分（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を比較部４５に入力する。比較部４５は、クロックドコンパレータを用いて、比較部のオフセットを除去しても良い。その後、比較部４５の判定結果に応じて、カウンタを更新する。一例において、カウンタは、Ｋ＝３である。この場合、カウンタがＫ＝０，１，２と加算されて、Ｋ＝３（即ち、Ｋ＝０）となるタイミングでＤＡ変換部４７の設定値が更新される。

本例のフィードバック回路４０は、出力信号Ｓ_ｏからホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１に基づく信号のみを抽出する。これにより、フィードバック回路４０は、ホール素子１１の感度を制御する。

また、フィードバック回路５０も同様に、演算部５４を用いた演算により、ホール素子１２のオフセットを除去する。演算部５４は、位相φ１，φ２，φ３，φ４における出力信号に基づいて、オフセットを除去する。位相φ１，φ２，φ３，φ４では、出力信号がそれぞれＳ_ｈ１＝０，Ｓ_ｈ２＝０，Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２，−Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２となる。本例の演算部５４は、φ１+φ２およびφ３＋φ４を算出する。そして、演算部５４は、φ１+φ２とφ３＋φ４との減算により（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を算出する。即ち、（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）の演算により、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１に関する信号が除去される。これにより、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２のみを抽出できる。

演算部５４は、算出した差分（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を比較部５５に入力する。その後、比較部５５の判定結果に応じて、カウンタを更新する。一例において、カウンタは、Ｋ＝３である。この場合、カウンタがＫ＝０，１，２と加算されて、Ｋ＝３（即ち、Ｋ＝０）となるタイミングでＤＡ変換部５７の設定値が更新される。

フィードバック回路５０は、出力信号Ｓ_ｏからホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２に基づく信号のみを抽出する。これにより、フィードバック回路５０は、ホール素子１２の感度を補正する。

以上の通り、本例の電流センサ１００は、出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２の両方の信号を含む出力信号Ｓ_ｏに基づいて、フィードバック回路４０およびフィードバック回路５０の異なる系統のフィードバック回路により、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動電流を別々に制御する。よって、本例の電流センサ１００は、ホール素子１１とホール素子１２との間に感度差が生じた場合であっても、磁気素子１０の感度を高精度に自己補正できる。

［実施例２］
図５は、実施例２に係る電流センサ１００の構成の一例を示す。本例の制御部３０は、フィードバック回路６０を備える。即ち、本例の電流センサ１００は、１系統の制御部３０を有する場合の一例である。この場合、制御部３０は時分割で動作する。

フィードバック回路６０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動を時分割で制御する。より具体的には、フィードバック回路６０は、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１１の駆動電流を制御する第１のフィードバック動作と、ホール素子１１およびホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１２の駆動電流を制御する第２のフィードバック動作とを時分割で動作する。

例えば、フィードバック回路６０は、ホール素子１１およびホール素子１２を制御するためのフィードバック信号Ｓ_ｆｂ１およびフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２を生成する。本例のフィードバック回路６０は、フィードバック信号Ｓ_ｆｂ１およびフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２を時分割で生成し、ホール素子１１およびホール素子１２にそれぞれ出力する。

本例の電流センサ１００は、１系統の制御部３０を有し、ホール素子１１およびホール素子１２の感度をそれぞれ補正できる。即ち、本例の電流センサ１００は、実施例１に係る電流センサ１００のように２系統の制御部３０を有する場合よりも、回路構成を簡素化できる。

図６Ａは、実施例２に係る電流センサ１００の具体的な構成の一例を示す。本例の電流センサ１００は、ホール素子１１の感度を補正する第１のフィードバック動作と、ホール素子１２の感度を補正する第２のフィードバック動作とを時分割で繰り返す点で実施例１に係る電流センサ１００と異なる。本構成例は、実施例２に係る電流センサ１００の一例であり、他の構成によって電流センサ１００が構成されてもよい。

フィードバック回路６０は、加算部６２、増幅部６３、演算部６４ａ，６４ｂ、比較部６５ａ，６５ｂ、フィルタ部６６ａ，６６ｂ、ＤＡ変換部６７ａ，６７ｂおよびＶＩ変換部６８ａ，６８ｂを備える。これらの回路構成は、基本的にフィードバック回路４０およびフィードバック回路５０が有する各回路構成と同様に機能する。但し、フィードバック回路４０およびフィードバック回路５０が２系統で動作するのに対して、フィードバック回路６０が１系統の時分割で動作する点で異なる。本例では、フィードバック回路４０およびフィードバック回路５０と異なる点について主に説明する。

チョッパ回路６１は、出力信号Ｓ_ｏの極性を切り替える。チョッパ回路６１は、磁気素子１０と加算部６２との間に設けられる。本例のチョッパ回路６１は、チョッパ回路６１ａおよびチョッパ回路６１ｂを備える。

チョッパ回路６１ａは、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２の極性を切り替える。チョッパ回路６１ａは、フィードバック回路６０とホール素子１２との間に設けられる。チョッパ回路６１ａは、極性が切り替えられた出力信号Ｓ_ｈ２を、フィードバック回路６０に出力する。チョッパ回路６１ａは、第３のチョッパ回路の一例である。

チョッパ回路６１ｂは、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１の極性を切り替える。チョッパ回路６１ｂは、フィードバック回路６０とホール素子１１との間に設けられる。チョッパ回路６１ｂは、極性が切り替えられた出力信号Ｓ_ｈ１を、フィードバック回路６０に出力する。チョッパ回路６１ｂは、第４のチョッパ回路の一例である。

図６Ｂは、実施例２に係る電流センサ１００の第１フィードバック動作時の構成の一例を示す。同図では、第１フィードバック動作時に動作する構成のみが示されている。

第１フィードバック動作時では、スイッチの切替により、チョッパ回路６１ａ、加算部６２、増幅部６３、演算部６４ａ、比較部６５ａ、フィルタ部６６ａ、ＤＡ変換部６７ａおよびＶＩ変換部６８ａを用いて動作する。これにより、フィードバック回路６０は、ホール素子１１の駆動を制御する。なお、本明細書において、第１フィードバック動作時に用いられる制御パスを制御パス１と称する。

図６Ｃは、実施例２に係る電流センサ１００の第２フィードバック動作時の構成の一例を示す。同図では、第２フィードバック動作時に動作する構成のみが示されている。

第２フィードバック動作時では、スイッチの切替により、チョッパ回路６１ｂ、加算部６２、増幅部６３、演算部６４ｂ、比較部６５ｂ、フィルタ部６６ｂ、ＤＡ変換部６７ｂおよびＶＩ変換部６８ｂを用いて動作する。これにより、フィードバック回路６０は、ホール素子１２の駆動を制御する。なお、本明細書において、第２フィードバック動作時に用いられる制御パスを制御パス２と称する。

このように、本例の電流センサ１００は、回路構成をスイッチで切り替えることにより、第１のフィードバック動作と第２のフィードバック動作とを時分割で切り替える。これにより、電流センサ１００は、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動電流を時分割で別々に制御する。

図７は、実施例２に係る電流センサ１００のタイミングチャートの一例を示す。本例では、基準電流Ｉ_ｒｅｆのみを考慮した場合におけるオフセットの除去方法について説明する。即ち、本例では、被測定電流Ｉ_ｏが与える影響について考慮していない。また、同図では、図４で示した実施例１に係る場合の電流センサ１００のタイミングチャートと異なる点について特に説明する。

制御パス時分割ＣＬＫは、電流センサ１００の時分割動作のタイミングを切り替える。本例の制御パス時分割ＣＬＫは、第１のフィードバック動作を実行する制御パス１と、第２のフィードバック動作を実行する制御パス２とを時分割で切り替える。制御パス時分割ＣＬＫは、周波数０．１２５ＭＥＧ［Ｈｚ］で動作する。

制御パス１において、フィードバック回路６０への入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが０°の場合に＋Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。一方、制御パス１において、フィードバック回路６０への入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが９０°の場合に＋Ｓ_ｈ１および−Ｓ_ｈ２となる。但し、出力信号の符号が正となるか負となるかについては、チョッパ回路６１ａの配置によって適宜変更されてよい。

また、制御パス２において、フィードバック回路６０への入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが０°の場合に、＋Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。一方、制御パス２において、フィードバック回路６０の入力は、ＨＡＬＬチョッピングＣＬＫが９０°の場合に、−Ｓ_ｈ１および＋Ｓ_ｈ２となる。但し、出力信号の符号が正となるか負となるかについては、チョッパ回路６１ｂの配置によって適宜変更されてよい。

ここで、制御パス１において、フィードバック回路６０は、演算部６４ａを用いた演算により、ホール素子１１のオフセットを除去する。演算部６４ａは、位相φ１，φ２，φ３，φ４における出力信号に基づいて、オフセットを除去する。位相φ１，φ２，φ３，φ４では、出力信号がそれぞれＳ_ｈ１＝０，Ｓ_ｈ２＝０，Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２，Ｓ_ｈ１−Ｓ_ｈ２となる。本例の演算部６４ａは、φ１+φ２およびφ３＋φ４を算出する。そして、演算部６４ａは、φ１+φ２とφ３＋φ４との減算により（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を算出する。即ち、（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）の演算により、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２に関する信号が除去される。これにより、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１のみを抽出できる。

演算部６４ａは、算出した差分（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を比較部６５ａに入力する。その後、比較部６５ａの判定結果に応じて、カウンタを更新する。一例において、カウンタは、Ｋ＝３である。この場合、カウンタがＫ＝０，１，２と加算されて、Ｋ＝３（即ち、Ｋ＝０）となるタイミングでＤＡ変換部６７ａの設定値が更新される。

第１のフィードバック動作時のフィードバック回路６０は、出力信号Ｓ_ｏからホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１に基づく信号のみを抽出する。これにより、フィードバック回路６０は、ホール素子１１の感度を制御する。

また、第２のフィードバック動作時も同様に、演算部６４ｂを用いた演算により、ホール素子１２のオフセットを除去する。演算部６４は、位相φ１，φ２，φ３，φ４における出力信号に基づいて、オフセットを除去する。位相φ１，φ２，φ３，φ４では、出力信号がそれぞれＳ_ｈ１＝０，Ｓ_ｈ２＝０，Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２，−Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２となる。本例の演算部６４ｂは、φ１+φ２およびφ３＋φ４を算出する。そして、演算部６４ｂは、φ１+φ２とφ３＋φ４との減算により（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を算出する。即ち、（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）の演算により、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１に関する信号が除去される。これにより、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２のみを抽出できる。

演算部６４ｂは、算出した差分（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を比較部６５ｂに入力する。その後、比較部６５ｂの判定結果に応じて、カウンタを更新する。一例において、カウンタは、Ｋ＝３である。この場合、カウンタがＫ＝０，１，２と加算されて、Ｋ＝３（即ち、Ｋ＝０）となるＤＡ変換部６７ｂの設定値が更新される。

第２のフィードバック動作時のフィードバック回路６０は、出力信号Ｓ_ｏからホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２に基づく信号のみを抽出する。これにより、フィードバック回路６０は、ホール素子１２の感度を制御する。

以上の通り、本例の電流センサ１００は、出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２の両方の信号を含む出力信号Ｓ_ｏに基づいて、時分割動作するフィードバック回路６０により、ホール素子１１およびホール素子１２の駆動電流を別々に制御する。よって、本例の電流センサ１００は、ホール素子１１とホール素子１２との間に感度差が生じた場合であっても、磁気素子１０の感度を高精度に自己補正できる。

また、本例の電流センサ１００は、フィードバック回路６０を用いて１系統で動作するので、系統間のばらつきを考慮する必要がない。よって、本例の電流センサ１００は、磁気素子１０の感度を補正する効果が更に高い。

図８は、磁気素子１０の具体的な構成の一例を示す。同図は、ホール素子１１およびホール素子１２の周辺について特に拡大した図である。本例のホール素子１１およびホール素子１２は、互いに並列に接続されている。本例の磁気素子１０は、化合物半導体で形成されたホール素子を有するがこれに限られない。

本例の二次導体１４は、磁気素子１０と同一基板上に形成されている。そして、二次導体１４と磁気素子１０は、同一のモールド樹脂に覆われている。本例では、ホール素子１１およびホール素子１２の両方が同一のモールド樹脂に覆われている。また、一次導体１３は、二次導体１４と磁気素子１０を覆う同一のモールド樹脂に一部が覆われ、一部が露出している。つまり、一次導体１３は、二次導体１４と磁気素子１０を覆う同一のモールド樹脂に覆われる部分と覆われていない部分とを有する。本例では、一次導体１３のうち磁気素子１０に磁場を与える部分がモールド樹脂に覆われており、一次導体１３のうち電流を入出力する部分がモールド樹脂に覆われていない。

一次導体１３は、被測定電流Ｉ_ｏが流れ、被測定電流Ｉ_ｏにより生じた被測定磁場Ｂ_ｉｎを、ホール素子１１およびホール素子１２に異極性で与える。本例の一次導体１３は、ホール素子１１と、ホール素子１２との間に設けられる。本例の一次導体１３は、同一平面において、ホール素子１１およびホール素子１２の間に設けられるが、一次導体１３が設けられる平面の表面側および裏面側にホール素子１１およびホール素子１２が設けられてもよい。本例の一次導体１３は、ホール素子１１およびホール素子１２に異極性で被測定磁場Ｂ_ｉｎを与えるので、外乱磁場を単純な減算でキャンセルできる。外乱磁場とは、ホール素子１１と、ホール素子１２とに入力される同極性のオフセット磁場である。これにより、電流センサ１００のメインパスである出力部２０からの出力信号Ｓ_ｏｕｔの精度が出やすくなる。一方、ホール素子１１およびホール素子１２に同極性で被測定磁場Ｂ_ｉｎを与える方法では、加算により被測定電流Ｉ_ｏを検出できるが、外乱磁場をキャンセルするためには複雑な計算が必要となる。なお、本例の一次導体１３は、ホール素子１１とホール素子１２との間において、等間隔に設けられている。但し、一次導体１３とホール素子１１およびホール素子１２との距離の関係は本例に限られない。

二次導体１４は、ホール素子１１に対応するコイル部１５ａと、ホール素子１２に対応するコイル部１５ｂを備える。コイル部１５ａに基準電流Ｉ_ｒｅｆが流れることにより、ホール素子１１に基準磁場Ｂ_ｒｅｆを発生させる。コイル部１５ｂに基準電流Ｉ_ｒｅｆが流れることにより、ホール素子１２に基準磁場Ｂ_ｒｅｆを発生させる。

本例のコイル部１５ａおよびコイル部１５ｂは、同一方向に巻かれることにより、ホール素子１１およびホール素子１２に同極性の基準磁場Ｂ_ｒｅｆを与える。また、コイル部１５ａおよびコイル部１５ｂは、異なる方向に巻かれてもよい。この場合、コイル部１５ａおよびコイル部１５ｂには、同一の電流を逆方向に流すことでホール素子１１およびホール素子１２に同極性の基準磁場Ｂ_ｒｅｆを与えられる。コイル部１５ａの巻き数は、コイル部１５ｂの巻き数と同一である。コイル部１５ａおよびコイル部１５ｂを同一の巻き数で構成することにより、共通の基準電流Ｉ_ｒｅｆを流すことができる。なお、本例では、ホール素子１１およびホール素子１２に対して２つのコイル部１５ａ、１５ｂをそれぞれ設けたが、ホール素子１１およびホール素子１２の両方を囲む１つのコイル部を設けてもよい。この場合であっても、ホール素子１１およびホール素子１２に同極性の基準磁場Ｂ_ｒｅｆを与えることができる。

二次導体１４は、基準電流Ｉ_ｒｅｆが流れ、基準電流Ｉ_ｒｅｆにより生じた基準磁場Ｂ_ｒｅｆを、ホール素子１１およびホール素子１２に同極性で与える。本例の二次導体１４は、共通の電流により、ホール素子１１とホール素子１２に同極性の磁場を与える。共通の電流とは、ホール素子１１に対して基準磁場Ｂ_ｒｅｆを発生するコイル部１５ａと、ホール素子１２に対して基準磁場Ｂ_ｒｅｆを発生するコイル部１５ｂとが電気的に接続されていることにより、一方のコイル部で流れた電流が他方のコイル部でも流れることを指す。

以上の通り、本例の磁気素子１０は、被測定磁場Ｂ_ｉｎを、ホール素子１１およびホール素子１２に異極性で与え、基準磁場Ｂ_ｒｅｆをホール素子１１およびホール素子１２に同極性で与えるように構成されている。そのため、出力部２０において簡単な減算により、被測定磁場Ｂ_ｉｎと外乱磁場とをキャンセルして、被測定電流Ｉ_ｏを検出できる。よって、本例の磁気素子１０を用いた電流センサ１００は、高精度に被測定電流Ｉ_ｏを検出できる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０・・・磁気素子、１１・・・ホール素子、１２・・・ホール素子、１３・・・一次導体、１４・・・二次導体、１５・・・コイル部、２０・・・出力部、２１・・・減算部、２２・・・復調部、２３・・・増幅部、２４・・・フィルタ部、２５・・・コンパレータ、２６・・・フィルタ部、２７・・・ＤＡ変換部、３０・・・制御部、４０・・・フィードバック回路、４１・・・チョッパ回路、４２・・・加算部、４３・・・増幅部、４４・・・演算部、４５・・・比較部、４６・・・フィルタ部、４７・・・ＤＡ変換部、４８・・・ＶＩ変換部、５０・・・フィードバック回路、５１・・・チョッパ回路、５２・・・加算部、５３・・・増幅部、５４・・・演算部、５５・・・比較部、５６・・・フィルタ部、５７・・・ＤＡ変換部、５８・・・ＶＩ変換部、６０・・・フィードバック回路、６１・・・チョッパ回路、６２・・・加算部、６３・・・増幅部、６４・・・演算部、６５・・・比較部、６６・・・フィルタ部、６７・・・ＤＡ変換部、６８・・・ＶＩ変換部、１００・・・電流センサ

フィードバック回路５０は、ホール素子１１およびホール素子１２からの出力信号Ｓ_ｈ１，Ｓ_ｈ２に基づいて、ホール素子１２の駆動電流を制御する。一例において、フィードバック回路５０は、出力信号Ｓ_ｏに基づいて、ホール素子１２の駆動を制御するためのフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２を生成する。本例のフィードバック回路５０は、生成したフィードバック信号Ｓ_ｆｂ２をホール素子１２に入力する。例えば、フィードバック信号Ｓ_ｆｂ２は、ホール素子１２の駆動を制御するための駆動電流である。

復調部２２は、ＡＣ成分の被測定磁場Ｂ_ｉｎ 成分をＤＣ成分に復調させる。例えば、被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分がベースバンドに復調される。被測定磁場Ｂ_ｉｎ成分が復調されることにより、後のフィルタ回路で高周波側のノイズ成分が除去される。

また、第２のフィードバック動作時も同様に、演算部６４ｂを用いた演算により、ホール素子１２のオフセットを除去する。演算部６４ｂは、位相φ１，φ２，φ３，φ４における出力信号に基づいて、オフセットを除去する。位相φ１，φ２，φ３，φ４では、出力信号がそれぞれＳ_ｈ１＝０，Ｓ_ｈ２＝０，Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２，−Ｓ_ｈ１＋Ｓ_ｈ２となる。本例の演算部６４ｂは、φ１+φ２およびφ３＋φ４を算出する。そして、演算部６４ｂは、φ１+φ２とφ３＋φ４との減算により（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を算出する。即ち、（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）の演算により、ホール素子１１の出力信号Ｓ_ｈ１に関する信号が除去される。これにより、ホール素子１２の出力信号Ｓ_ｈ２のみを抽出できる。

演算部６４ｂは、算出した差分（φ１+φ２）−（φ３＋φ４）を比較部６５ｂに入力する。その後、比較部６５ｂの判定結果に応じて、カウンタを更新する。一例において、カウンタは、Ｋ＝３である。この場合、カウンタがＫ＝０，１，２と加算されて、Ｋ＝３（即ち、Ｋ＝０）となるタイミングで、ＤＡ変換部６７ｂの設定値が更新される。

Claims (11)

1. 第１のホール素子と、
   第２のホール素子と、
   被測定電流が流れ、前記被測定電流により生じた被測定磁場を、前記第１のホール素子および前記第２のホール素子に異極性で与えるように配置された一次導体と、
   基準電流が流れ、前記基準電流により生じた基準磁場を、前記第１のホール素子および前記第２のホール素子に同極性で与えるように配置された二次導体と
   を備える電流センサ。
2. 前記二次導体は、前記第１のホール素子および前記第２のホール素子と同一基板上に形成されており、
   前記二次導体、前記第１のホール素子、および前記第２のホール素子は、同一のモールド樹脂に覆われており、
   前記一次導体は、前記同一のモールド樹脂に覆われている部分と覆われていない部分とを有する
   請求項１に記載の電流センサ。
3. 前記第１のホール素子および前記第２のホール素子の出力信号に基づいて、前記被測定電流に応じた信号を出力する出力部を更に備え、
   前記出力部は、
   前記第１のホール素子の出力信号と、前記第２のホール素子の出力信号との減算結果を出力する減算部を
   有する
   請求項１又は２に記載の電流センサ。
4. 前記一次導体は、前記第１のホール素子と前記第２のホール素子との間に設けられる
   請求項１から３のいずれか一項に記載の電流センサ。
5. 前記二次導体は、
   前記第１のホール素子に前記基準磁場を与えるように配置された第１のコイル部と、
   前記第２のホール素子に前記基準磁場を与えるように配置された第２のコイル部と
   を備え、
   前記第１のコイル部および前記第２のコイル部は、同一方向に巻かれている
   請求項１から４のいずれか一項に記載の電流センサ。
6. 前記第１のコイル部および前記第２のコイル部は、互いに電気的に接続され、共通の前記基準電流により、前記第１のホール素子および前記第２のホール素子に同極性の前記基準磁場を与える
   請求項５に記載の電流センサ。
7. 前記第１のコイル部の巻き数は、前記第２のコイル部の巻き数と同一である
   請求項５又は６に記載の電流センサ。
8. 前記第１のホール素子および前記第２のホール素子からの出力信号に基づいて、前記第１のホール素子の駆動を制御し、前記第１のホール素子および前記第２のホール素子からの出力信号に基づいて、前記第１のホール素子の駆動の制御とは別に前記第２のホール素子の駆動を制御する制御部を更に備える
   請求項１から７のいずれか一項に記載の電流センサ。
9. 前記制御部は、
   前記第１のホール素子および前記第２のホール素子からの出力信号に基づいて、前記第１のホール素子の駆動を制御する第１のフィードバック回路と、
   前記第１のホール素子および前記第２のホール素子からの出力信号に基づいて、前記第２のホール素子の駆動を制御する第２のフィードバック回路と
   を更に備える
   請求項８に記載の電流センサ。
10. 前記第１のフィードバック回路と前記第２のホール素子との間に設けられた第１のチョッパ回路を更に備え、
    前記第１のフィードバック回路は、前記第１のチョッパ回路により極性が切り替えられた前記第２のホール素子の出力信号および極性が切り替えられていない前記第１のホール素子の出力信号が入力される
    請求項９に記載の電流センサ。
11. 前記第２のフィードバック回路と前記第１のホール素子との間に設けられた第２のチョッパ回路を更に備え、
    前記第２のフィードバック回路は、前記第２のチョッパ回路により極性が切り替えられた前記第１のホール素子の出力信号および極性が切り替えられていない前記第２のホール素子の出力信号が入力される
    請求項９又は１０に記載の電流センサ。

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