JPWO2017188253A1 - 電子部品搭載用基板、電子装置および電子モジュール - Google Patents

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Abstract

電子部品搭載用基板は、主面に電子部品を搭載する搭載部を有する、平面視で矩形状の絶縁基板と、絶縁基板の厚み方向に貫くように設けられた、複数の第1ビア導体を有する第1ビア導体群および複数の第2ビア導体を有する第2ビア導体群とを有しており、第1ビア導体より第2ビア導体を多く有し、平面透視において、搭載部と第1ビア導体群と第2ビア導体群とが重ならないように配置されており、第1ビア導体群が搭載部と第2ビア導体群との間に位置している。

Description

本発明は、電子部品搭載用基板、電子装置および電子モジュールに関するものである。
従来、電子部品搭載用基板は、絶縁基板の一方主面に設けられ、電子部品を搭載する搭載部と、絶縁基板の他方主面に設けられた端子用電極と、搭載部から絶縁基板の内部に設けられたビア導体とを有するものがある。電子部品および電子部品搭載用基板を含む電子装置を半田等の接合材によって例えばモジュール用基板に接合する場合、端子用電極が半田等の接合材を介しモジュール用基板に接合される(特開2015−043374号公報参照)。
近年、電子装置の高機能化および小型化が求められてきている。電子装置の高機能化のために、平面透視で搭載部に重なるように複数のビア導体を密集して設けると、電子装置の作動時に、電子部品が発する熱と密集した複数のビア導体が発する熱とが集中して偏ってしまい、電子部品搭載用基板の変形およびひずみが大きくなりやすく、長期間使用時に電子部品と電子部品搭載用基板との間、あるいは電子部品搭載用基板とモジュール用基板との間で接続不良が発生することが懸念される。
本発明の一つの態様によれば、電子部品搭載用基板は、主面に電子部品を搭載する搭載部を有する、平面視で矩形状の絶縁基板と、該絶縁基板の厚み方向に貫くように設けられた、複数の第1ビア導体を有する第1ビア導体群および複数の第2ビア導体を有する第2ビア導体群とを有しており、前記第1ビア導体より前記第2ビア導体を多く有し、平面透視において、前記搭載部と前記第1ビア導体群と前記第2ビア導体群とが重ならないように配置されており、前記第1ビア導体群が前記搭載部と前記第2ビア導体群との間に位置している。
本発明の他の態様によれば、電子装置は、上記構成の電子部品搭載用基板と、前記搭載部に搭載された電子部品とを有している。
本発明の他の態様によれば、電子モジュールは、接続パッドを有するモジュール用基板と、前記接続パッドにはんだを介して接続された上記構成の電子装置とを有している。
本発明の一つの態様による電子部品搭載用基板は、電子部品搭載用基板は、主面に電子部品を搭載する搭載部を有する、平面視で矩形状の絶縁基板と、絶縁基板の厚み方向に貫くように設けられた、複数の第1ビア導体を有する第1ビア導体群および複数の第2ビア導体を有する第2ビア導体群とを有しており、第1ビア導体より前記第2ビア導体を多く有し、平面透視において、搭載部と第1ビア導体群と第2ビア導体群とが重ならないように配置されており、第1ビア導体群が搭載部と第2ビア導体群との間に位置している。この構成により、搭載部と第2ビア導体群とが離れたものとなり、例えば電子装置の作動時に、電子部品が発する熱と第2ビア導体群が発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板の変形およびひずみを抑制することができるので、電子部品と電子部品搭載用基板との間、あるいは電子部品搭載用基板とモジュール用基板との間の接続を良好なものとし、信頼性に優れた電子部品搭載用基板とすることができる。
本発明の他の態様による電子装置は、上記構成の電子部品搭載用基板と、搭載部に搭載された電子部品とを有していることによって、長期信頼性に優れた電子装置とすることができる。
本発明の他の態様による電子モジュールは、接続パッドを有するモジュール用基板と、接続パッドにはんだを介して接続された上記構成の電子装置とを有していることによって、長期信頼性に優れたものとすることができる。
(a)は、本発明の第1の実施形態における電子装置を示す上面図であり、(b)は(a)の下面図である。 図1に示された電子装置における電子部品搭載用基板の内部上面図である。 (a)は、図1(a)に示された電子装置のA−A線における縦切断部端面図であり、(b)は、図1(a)に示された電子装置のB−B線における縦断面図、(c)は、図1(a)に示された電子装置のC−C線における縦切断部端面図である。 図1における電子装置を用いたモジュール用基板に実装した電子モジュールを示す縦断面図である。 (a)は、本発明の第2の実施形態における電子装置を示す上面図であり、(b)は(a)の下面図である。 図5に示された電子装置における電子部品搭載用基板の内部上面図である。

(a)は、図5(a)に示された電子装置のA−A線における縦切断部端面図であり、(b)は、図5(a)に示された電子装置のB−B線における縦断面図、(c)は、図5(a)に示された電子装置のC−C線における縦切断部端面図である。 (a)は、本発明の第2の実施形態の他の例における電子装置を示す上面図であり、(b)は(a)の下面図である。 図8に示された電子装置における電子部品搭載用基板の内部上面図である。 (a)は、図8(a)に示された電子装置のA−A線における縦切断部端面図であり、(b)は、図8(a)に示された電子装置のB−B線における縦断面図、(c)は、図8(a)に示された電子装置のC−C線における縦切断部端面図である。 (a)は、本発明の第3の実施形態における電子装置を示す上面図であり、(b)は(a)の下面図である。 図11に示された電子装置における電子部品搭載用基板の内部上面図である。 (a)は、図11(a)に示された電子装置のA−A線における縦切断部端面図であり、(b)は、図11(a)に示された電子装置のB−B線における縦切断部端面図、(c)は、図11(a)に示された電子装置のC−C線における縦切断部端面図である。 (a)〜(c)は、本発明の第4の実施形態における電子装置を示す縦切断端面図である。
本発明のいくつかの例示的な実施形態について、添付の図面を参照しつつ説明する。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態における発光装置は、図1〜図4に示された例のように、電子部品搭載用基板1と、電子部品搭載用基板1の上面に設けられた電子部品2とを含んでいる。電子装置は、図4に示された例のように、例えば電子モジュールを構成するモジュール用基板5上の接続パッド51に接合材6を用いて接続される。
本実施形態における電子部品搭載用基板1は、主面に電子部品を搭載する搭載部12を有する、平面視で矩形状の絶縁基板11と、絶縁基板11の厚み方向に貫くように設けられた、複数の第1ビア導体13を有する第1ビア導体群13aおよび複数の第2ビア導体14を有する第2ビア導体群14aとを有している。電子部品搭載用基板1は、第1ビア導体13より第2ビア導体14aを多く有し、平面透視において、搭載部12と第1ビア導体群13aと第2ビア導体群14aとが重ならないように配置されている。第1ビア導体群13aは、搭載部12と第2ビア導体群14aとの間に位置している。また、電子部品搭載用基板1は、絶縁基板11の表面に、搭載用電極15と端子用電極16とを有しており、絶縁基板11の表面および内部に配線導体17を有している。図1〜図4において、電子装置は仮想のxyz空間におけるxy平面に実装されている。図1〜図4において、上方向とは、仮想のz軸の正方向のことをいう。なお、以下の説明における上下の区別は便宜的なものであり、実際に電子部品搭載用基板1等が使用される際の上下を限定するものではない。
図1(a)に示す例において、第1ビア導体13が、平面透視において、搭載用電極15と重なる領域を破線にて示している。また、図1(b)に示す例において、第2ビア導体14が、平面透視において、端子用電極16と重なる領域を破線にて示している。図2に示す例において、第1ビア導体13および第2ビア導体14が、平面透視において、配線導体17と重なる領域を破線にて示している。
図1〜図3に示す例において、第1ビア導体群13Gは、3つの第1ビア導体13を有しており、第2ビア導体群14Gは、5つの第2ビア導体14を有している。電子部品搭載用基板1は、搭載部12を挟んでは相対して配置されている一対の第1ビア導体群13Gおよび1対の第2ビア導体群14Gを有している。
絶縁基板11は、一方主面(図1〜図3では上面)および他方主面(図1〜図3では下面)を有している。絶縁基板11は、平面視において、一方主面および他方主面のそれぞれに対して二組の対向する辺(4辺)を有した矩形の板状の形状を有している。絶縁基板11は、電子部品2を支持するための支持体として機能し、絶縁基板11の一方主面に設けられた搭載用電極15上に電子部品2が半田バンプ等の接続部材3を介して接着され固定される。
絶縁基板11は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス),窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体またはガラスセラミックス焼結体等のセラミックスを用いることができる。絶縁基板11は、例えば酸化アルミニウム質焼結体である場合であれば、酸化アルミニウム(Al),酸化珪素(SiO),酸化マグネシウム(MgO),酸化カルシウム(CaO)等の原料粉末に適当な有機バインダーおよび溶剤等を添加混合して泥漿物を作製する。この泥漿物を、従来周知のドクターブレード法またはカレンダーロール法等を採用してシート状に成形することによってセラミックグリーンシートを作製する。次に、このセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに、セラミックグリーンシートを必要に応じて複数枚積層して生成形体を形成し、この生成形体を高温(約1600℃)で焼成することによって複数の絶縁層11aからなる絶縁基板11が製作される。
第1ビア導体13、第2ビア導体14、搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17は、電子部品搭載用基板1の搭載部12に搭載された電子部品2とモジュール用基板5とを電気的に接続するためのものである。また、搭載用電極15は、電子部品搭載用基板1と電子部品2とを接合するためのものである。端子用電極16は、電子部品搭載用基板1とモジュール用基板5とを接合するためのものである。複数の第1ビア導体13(第1ビア導体群13G)は、搭載用電極15に接続しており、複数の第2ビア導体14(第2ビア導体14G)は、端子用電極16に接続している。配線導体17は、絶縁基板11内、すなわち絶縁層11a間に設けられており、複数の第1ビア導体13と複数の第2ビア導体14(第2ビア導体群14G)とを接続している。
第1ビア導体13Gは、3〜5個の第1ビア導体13を有しており、第2ビア導体群14Gは、4〜8個の第2ビア導体14を有している。第2ビア導体群14Gを構成する第2ビア導体14は、第1ビア導体群13Gを構成する第1ビア導体13よりもビア導体を1〜3個程度多く有している。第1ビア導体群13Gと第2ビア導体群14Gとは、平面透視および平面方向(側面透視)において、重ならないように、また互いに異なる絶縁層11aに配置されている。第1ビア導体群13Gは、平面透視において、搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間に配置されている。また、第1ビア導体群13Gは、平面透視において、搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間の領域の30%〜70%の領域に位置している。第1ビア導体群13Gは、平面透視において、搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間の領域の中央領域に、すなわち、搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間の仮想中心線上に、第1ビア導体13(第1ビア導体群13G)が位置していることが好ましい。
第1ビア導体13、第2ビア導体14、搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17の材料は、例えばタングステン(W),モリブデン(Mo),マンガン(Mn),銀(Ag)または銅(Cu)等を主成分とする金属粉末メタライズである。第1ビア導体13および第2ビア導体14は、例えば、絶縁基板11用のセラミックグリーンシートに金型またはパンチングによる打ち抜き加工またはレーザー加工等の加工方法によって第1ビア導体13または第2ビア導体14用の貫通孔を形成し、この貫通孔に第1ビア導体13または第2ビア導体14用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段によって充填しておき、絶縁基板11用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって形成される。また、搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17は、例えば絶縁基板11用のセラミックグリーンシートに搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段によって印刷塗布し、絶縁基板11用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって形成される。上述のメタライズペーストは、上述の金属粉末に適当な溶剤およびバインダーを加えて混練することによって、適度な粘度に調整して作製される。なお、絶縁基板11との接合強度を高めるために、ガラス粉末、セラミック粉末を含んでいても構わない。
搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17の絶縁基板11から露出した表面には、ニッケル,金等の耐蝕性に優れる金属めっき層が被着される。搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17が腐食することを低減できるとともに、搭載用電極15と電子部品2との接合、搭載用電極15と接続部材3との接続、またはモジュール用基板5と端子用電極16とを強固に接合することができる。例えば、搭載用電極15、端子用電極16、配線導体17の絶縁基板11から露出した表面には、厚さ1〜10μm程度のニッケルめっき層と厚さ0.1〜3μm程度の金めっき層とが順次被着される。
また、めっき層は、ニッケルめっき層/金めっき層に限られるものではなく、ニッケルめっき層/金めっき層/銀めっき層、あるいはニッケルめっき層/パラジウムめっき層/金めっき層等を含むその他のめっき層であっても構わない。
また、電子部品2が搭載される搭載用電極15上では、例えば上述のニッケルめっき層と金めっき層の下地層に、例えば、厚さ10〜80μm程度の銅めっき層を金属めっき層として被着させておくことにより、電子部品2の熱を銅めっき層を介して電子部品搭載用基板1側に良好に放熱させやすくしてもよい。
また、端子用電極16上では、例えば上述のニッケルめっき層と金めっき層の下地層に、例えば、厚さ10〜80μm程度の銅めっき層を金属めっき層として被着させておくことにより、電子部品搭載用基板1の熱を銅めっき層を介してモジュール用基板5側に良好に放熱させやすくしてもよい。
電子部品搭載用基板1の一方主面に設けられた搭載用電極15上に、電子部品2が搭載されることによって電子装置を作製できる。電子部品搭載用基板1に搭載される電子部品2は、ICチップまたはLSIチップ等の半導体素子,発光素子,水晶振動子または圧電振動子等の圧電素子および各種センサ等である。例えば、電子部品2がフリップチップ型の半導体素子である場合には、半導体素子は、はんだバンプ、金バンプまたは導電性樹脂(異方性導電樹脂等)等の接続部材3を介して、半導体素子の電極と搭載用電極15的および機械的に接続されることによって電子部品搭載用基板1に搭載される。また、例えば、電子部品2がワイヤボンディング型の半導体素子である場合には、半導体素子は、低融点ろう材または導電性樹脂等の接合部材によって、電子部品2を搭載する一方の搭載用電極15上に固定された後、ボンディングワイヤ等の接続部材3を介して半導体素子の電極と他方の搭載用電極15とが電気的に接続されることによって電子部品搭載用基板1に搭載される。また、電子部品搭載用基板1には、複数の電子部品2を搭載しても良いし、必要に応じて、抵抗素子、容量素子、ツェナーダイオード等の他の電子部品を搭載しても良い。また、電子部品2は必要に応じて、樹脂、ガラス等からなる封止材4、樹脂、ガラス、セラミックス、金属等からなる蓋体等により封止される。
本実施形態の電子装置が、図4に示された例のように、モジュール用基板5の接続パッド51に半田等の接合材6を介して接続されて、電子モジュールとなる。
本実施形態の電子部品搭載用基板1によれば、主面に電子部品2を搭載する搭載部12を有する、平面視で矩形状の絶縁基板11と、絶縁基板11の厚み方向に貫くように設けられた、複数の第1ビア導体13を有する第1ビア導体群13Gおよび複数の第2ビア導体14を有する第2ビア導体群14Gとを有しており、第1ビア導体13より第2ビア導体14を多く有し、平面透視において、搭載部12と第1ビア導体群13Gと第2ビア導体群14Gとが重ならないように配置されており、第1ビア導体群13Gが搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間に位置していることにより、搭載部12と第2ビア導体群14Gとが離れたものとなり、例えば電子装置の作動時に、電子部品2が発する熱と第2ビア導体群14Gが発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができるので、電子部品2と電子部品搭載用基板1との間、あるいは電子部品搭載用基板1とモジュール用基板5との間の接続を良好なものとし、信頼性に優れた電子部品搭載用基板1とすることができる。
また、平面透視および平面方向(側面透視)において、第2ビア導体14より数が少ない第1ビア導体13を有する第1ビア導体群13Gが搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間に位置していることにより、例えば電子装置の作動時に、電子部品2および第1ビア導体群13Gおよび第2ビア導体群14Gが発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなる。また、平面透視および平面方向(側面透視)において、発熱量が比較的小さい第1ビア導体群13Gが搭載部12と第2ビア導体群14Gとの間に位置しているため、熱の偏りがより抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができるので、電子部品2と電子部品搭載用基板1との間、あるいは電子部品搭載用基板1とモジュール用基板5との間の接続をより良好なものとし、信頼性に優れた電子部品搭載用基板1とすることができる。
本実施形態における電子部品搭載用基板1は、薄型で高出力の電子装置において好適に使用することができ、電子部品搭載用基板1における信頼性を向上することができる。例えば、電子部品2として、発光素子を搭載する場合、薄型で高輝度の発光装置用の電子部品搭載用基板1として好適に用いることができる。
また、絶縁基板11内における第1ビア導体13の数が第2ビア導体14の数よりも少ないので、搭載部12側の主面に延出するビア導体の数を少なくし、搭載部12への電子部品2の搭載を良好にしやすくなるので、小型の電子部品搭載用基板1として好適に用いることができる。
また、平面透視において、第2ビア導体群14Gが絶縁基板11の外縁に沿って帯状に設けられていると、第2ビア導体群14Gが発する熱を絶縁基板11の側面側に放出させやすくすることができる。また、搭載部12と第2ビア導体群14Gとがより離れたものとなり、電子部品2が発する熱と第2ビア導体群14Gが発する熱とがより集中しにくく、熱が部分的に偏るのがより抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
なお、第2ビア導体群14Gが帯状に設けられているとは、第2ビア導体群14Gを構成する複数の第2ビア導体14が並んで配置されていることを示している。
また、平面透視において、第1ビア導体群13Gが帯状に設けられていると、複数の第1ビア導体13が発する熱が部分的に偏るのを抑制することができ、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。さらに、平面透視において、第1ビア導体群13Gが絶縁基板11の外縁に平行となるように設けられていると、複数の第1ビア導体13が発する熱が部分的に偏るのをより抑制することができ、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみをより抑制することができる。
なお、第1ビア導体群13Gが帯状に設けられているとは、第1ビア導体群13Gを構成する複数の第1ビア導体13が、並んで配置されていることを示している。
また、平面透視において、図2に示すように、第2ビア導体群14Gが相対するように位置していると、それぞれの第2ビア導体群14Gが発する熱の偏りを抑制することで、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
また、平面透視において、図2に示すように、第1ビア導体群13Gが相対するように位置していると、それぞれの第1ビア導体群13Gが発する熱の偏りを抑制することで、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
第1ビア導体13は、平面透視において、隣接する第1ビア導体13同士が等間隔で配置されていると、複数の第1ビア導体13が発する熱の集中を抑制し、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができるので好ましい。第2ビア導体14は、同様に、平面透視において、隣接する第2ビア導体14同士が等間隔で配置されていることが好ましい。
また、平面透視において、図2に示す例のように、隣接する第1ビア導体13同士の間隔は、第1ビア導体13と第2ビア導体14との間隔よりも大きいと、複数の第1ビア導体13に熱が滞ることを抑制し、第1ビア導体13Gに部分的に熱が偏ること抑制することができるので、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
また、配線導体17は、図2に示す例のように、平面透視において、接続する第1ビア導体群13Gの領域および第2ビア導体群14Gの領域よりも大きく形成し、複数の第1ビア導体13と複数の第2ビア導体14との全体の接続を良好なものとし、熱の偏りを抑制し、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
本実施形態の電子装置によれば、上記構成の電子部品搭載用基板1と、搭載部12に搭載された電子部品2とを有していることによって、電気的信頼性に関して向上されている。
本実施形態の電子モジュールによれば、接続パッド51を有するモジュール用基板5と、接続パッド51にはんだ6を介して接続された上記記載の電子装置とを有することから、長期信頼性に優れたものとすることができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態による電子装置について、図5〜図7を参照しつつ説明する。
本発明の第2の実施形態における電子装置において、上記した実施形態の電子装置と異なる点は、図5〜図7に示された例のように、第2ビア導体群14Gの一端が絶縁基板11の角部側に設けられている点である。
図5〜図7に示す例において、第1ビア導体群13Gは、3つの第1ビア導体13を有しており、第2ビア導体群14Gは、4つの第2ビア導体14を有している。電子部品搭載用基板1は、一対の第1ビア導体群13Gおよび1対の第2ビア導体群14Gを有している。
本発明の第2の実施形態の電子部品搭載用基板1によれば、第1の実施形態と同様に、搭載部12と第2ビア導体群14Gとが離れたものとなり、例えば電子装置の作動時に、電子部品2が発する熱と第2ビア導体群14Gが発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができるので、電子部品2と電子部品搭載用基板1との間、あるいは電子部品搭載用基板1とモジュール用基板5との間の接続を良好なものとし、信頼性に優れた電子部品搭載用基板1とすることができる。
なお、第2ビア導体群14Gの一端が絶縁基板11の角部側に設けられている場合には、平面透視において、第2ビア導体群14Gの中心部が、第2ビア導体群14Gの周囲の絶縁基板11の外縁(一辺)の中心部よりも絶縁基板11の角部側に偏倚して設けられている。
また、図8〜図10に示された例のように、電子部品2を挟んで相対する一対の第2ビア導体群14Gの一端が絶縁基板11の対角側の角部に位置するようにそれぞれ設けておくと、相対する一対の第2ビア導体群14Gの一端が絶縁基板11の同一辺側の角部に偏倚して設ける場合と比較して、絶縁基板11の一辺側に熱が集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
また、図8〜図10に示された例のように、第1ビア導体群13Gが、第2ビア導体群14Gが設けられた角部側とは異なる角部側に設けていると、第2ビア導体群14Gが発する熱を絶縁基板11の両側面側に放出させやすくするとともに、第1ビア導体13Gが発する熱と第2ビア導体群14Gが発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
また、第1ビア導体群13Gが、絶縁基板11の角部側に設けていると、ボンディングワイヤ等の接続部材3を介して電子部品2と搭載用電極15とを接続する場合の電子装置において、複数の第1ビア導体13が一方の角部に偏倚して設けられ、第1ビア導体13の非形成領域、すなわち、他方の角部にボンディングワイヤ等の接続部材3の接続領域を広くしやすくなるので、接続部材3と搭載用電極15との接続信頼性に優れた電子装置とすることができる。
また、図6、図7、図9、図10に示すように、配線導体17は、絶縁基板11の側面に延出する延出部17aを有していると、第1ビア導体群13Gおよび第2ビア導体群14Gが発する熱が絶縁基板11の側面側への放熱されやすくなるので、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
なお、図6および図7に示す例において、延出部17aは、複数の第1ビア導体13または複数の第2ビア導体14の配置(並び)と同じ方向に設けている(図7ではY方向)が、さらに第2ビア導体14の配置(並び)に直交する側(図7ではX方向)の絶縁基板11の側面に延出させても構わない。
これらの延出部17aは、配線導体17と同様の材料および方法により形成され、配線導体17の幅よりも小さく形成される。
第2の実施形態における電子部品搭載用基板1は、薄型で高出力の電子装置において好適に使用することができ、電子部品搭載用基板1における信頼性を向上することができる。例えば、電子部品2として、発光素子を搭載する場合、薄型で高輝度の発光装置用の電子部品搭載用基板1として好適に用いることができる。
第2の実施形態の電子部品搭載用基板1は、上述の第1の実施形態の電子部品搭載用基板1と同様の製造方法を用いて製作することができる。
(第3の実施形態)
次に、本発明の第3の実施形態による電子装置について、図11〜図13を参照しつつ説明する。
本発明の第3の実施形態における電子装置において、上記した実施形態の電子装置と異なる点は、図11〜図13に示された例のように、第1ビア導体13の径と第2ビア導体14の径とが異なる点である。図11〜図13に示す例において、第1ビア導体13の径は、第2ビア導体14の径よりも大きくなっている。
本発明の第3の実施形態の電子部品搭載用基板1によれば、第1の実施形態と同様に、搭載部12と第2ビア導体群14Gとが離れたものとなり、例えば電子装置の作動時に、電子部品2が発する熱と第2ビア導体群14Gが発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができるので、電子部品2と電子部品搭載用基板1との間、あるいは電子部品搭載用基板1とモジュール用基板5との間の接続を良好なものとし、信頼性に優れた電子部品搭載用基板1とすることができる。
また、第1ビア導体13の径は第2ビア導体14の径より大きくなっていることから、第1ビア導体13の熱抵抗が小さいものとなり、第1ビア導体群13Gが発する熱をより抑制し、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
上述の場合、第1ビア導体13の径は、第2ビア導体14の径の1.05倍〜2倍程度に大きくすることが好ましい。
また、絶縁基板11の外縁寄りに配置される複数の第2ビア導体14の径が小さくなるので、第2ビア導体14の径を第1ビア導体13の径と同等の大きさにて配置した場合と比較して、隣接する第2ビア導体14同士の間、あるいは第2ビア導体14と絶縁基板11の外縁との間に、クラックを生じにくくし、電子部品搭載用基板1内に第2ビア導体14をより多く配置したり、小型の電子部品搭載用基板1として構成しやすくすることができる。
また、第3の実施形態の電子部品搭載用基板1において、平面透視における第1ビア導体群13Gの面積(平面透視における第1ビア導体13の合計面積)は、平面透視における第2ビア導体群14Gの面積(平面透視における第2ビア導体14の合計面積)よりも大きくしておくと、第1ビア導体群13G側の熱抵抗が小さいものとなり、第1ビア導体群13Gが発する熱をより抑制し、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
第3の実施形態における電子部品搭載用基板1は、薄型で高出力の電子装置において好適に使用することができ、電子部品搭載用基板1における信頼性を向上することができる。例えば、電子部品2として、発光素子を搭載する場合、薄型で高輝度の発光装置用の電子部品搭載用基板1として好適に用いることができる。
第3の実施形態の電子部品搭載用基板1は、上述の実施形態の電子部品搭載用基板1と同様の製造方法を用いて製作することができる。
(第4の実施形態)
次に、本発明の第4の実施形態による電子装置について、図14を参照しつつ説明する。
本発明の第4の実施形態における電子装置において、上記した実施形態の電子装置と異なる点は、図14に示された例のように、第1ビア導体13Gが設けられた絶縁層11aと第2ビア導体群14Gが設けられた絶縁層11aとの厚みが異なる点である。図14に示す例において、第2ビア導体群14Gが設けられた絶縁層11aの厚みは、第1ビア導体群13Gが設けられた絶縁層11aの厚みよりも小さくなっている。
本発明の第4の実施形態の電子部品搭載用基板1によれば、第1の実施形態と同様に、搭載部12と第2ビア導体群14Gとが離れたものとなり、例えば電子装置の作動時に、電子部品2が発する熱と第2ビア導体群14Gが発する熱とが集中しにくく、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができるので、電子部品2と電子部品搭載用基板1との間、あるいは電子部品搭載用基板1とモジュール用基板5との間の接続を良好なものとし、信頼性に優れた電子部品搭載用基板1とすることができる。
また、第2ビア導体群14Gが設けられた絶縁層11aの厚みは、第1ビア導体群13Gが設けられた絶縁層11aの厚みよりも小さいことから、第2ビア導体群14Gを構成する第2ビア導体14の長さが、第1ビア導体群13Gを構成する第1ビア導体13の長さより小さくなり、第2ビア導体群14Gを構成する第2ビア導体14の熱抵抗が小さいものとなり、第2ビア導体群14Gが発する熱をより抑制し、熱の偏りが抑制されたものとなり、電子部品搭載用基板1の変形およびひずみを抑制することができる。
上述の場合、第2ビア導体群14Gが設けられた絶縁層11aの厚みは、第1ビア導体群13Gが設けられた絶縁層11aの厚みの0.8倍〜0.95倍程度に小さくすることが好ましい。
第4の実施形態における電子部品搭載用基板1は、薄型で高出力の電子装置において好適に使用することができ、電子部品搭載用基板1における信頼性を向上することができる。例えば、電子部品2として、発光素子を搭載する場合、薄型で高輝度の発光装置用の電子部品搭載用基板1として好適に用いることができる。
第4の実施形態の電子部品搭載用基板1は、上述の実施形態の実施形態の電子部品搭載用基板1と同様の製造方法を用いて製作することができる。
本開示は、上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、種々の変更は可能である。例えば、絶縁基板11の角部に、面取り部あるいは円弧状の切欠き部が絶縁基板11の厚み方向に形成された電子部品搭載用基板1であっても構わない。
絶縁基板11の一方主面または他方主面に設けられた搭載用電極15および端子用電極16は、上述の例では、コファイア法により形成しているが、従来周知のポストファイア法あるいは薄膜法等を用いて形成した金属層からなるものであっても構わない。この場合、位置精度に優れた電子部品搭載用基板1および電子装置とすることができる。
また、上述の例では、絶縁基板11は、2層の絶縁層11aより形成しているが、3層以上の絶縁層11aより形成していても構わない。例えば、絶縁基板11が3層の絶縁層11aからなる場合、一方主面側の2つの絶縁層11aに複数の第1ビア導体13を形成し、他方主面側の1つの絶縁層11aに複数の第2ビア導体14を形成しても構わない。この場合、一方主面側の複数の第1ビア導体13と他方主面側の複数の第1ビア導体13とを接続する広領域の配線導体17を、絶縁層11a間に設けていても構わない。
また、端子用電極16は、絶縁基板11の他方主面に設けられているが、絶縁基板11の側面と他方主面との間に穴が設けられており、絶縁基板11の他方主面から穴の内面にかけて端子用電極16が延出された、いわゆるキャスタレーション導体を有していてもよい。
また、搭載用電極15または端子用電極16は、搭載用電極15または端子用電極16のそれぞれの長さまたは幅が異なっていても構わない。
また、第1〜第4の実施形態の電子部品搭載用基板1の形態を組み合わせても構わない。例えば、第2の実施形態の電子部品搭載用基板1において、絶縁基板11の他方主面側に設けられた端子用電極16を3つ以上設けても良いし、第3の実施形態の電子部品搭載用基板1において、絶縁基板11の一方主面に設けられた搭載用電極15を3つ以上設けても構わない。
第1の実施形態の電子部品搭載用基板1、第3の実施形態の電子部品搭載用基板1または第4の実施形態の電子部品搭載用基板1において、第2の実施形態の電子部品搭載用基板1のように、配線導体17の延出部17aを有していても構わない。

Claims (9)

  1. 主面に電子部品を搭載する搭載部を有する、平面視で矩形状の絶縁基板と、
    該絶縁基板の厚み方向に貫くように設けられた、複数の第1ビア導体を有する第1ビア導体群および複数の第2ビア導体を有する第2ビア導体群とを有しており、
    前記第1ビア導体より前記第2ビア導体を多く有し、
    平面透視において、前記搭載部と前記第1ビア導体群と前記第2ビア導体群とが重ならないように配置されており、前記第1ビア導体群が前記搭載部と前記第2ビア導体群との間に位置していることを特徴とする電子部品搭載用基板。
  2. 平面透視において、前記第2ビア導体群が前記絶縁基板の外縁に沿って帯状に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品搭載用基板。
  3. 平面透視において、前記第2ビア導体群の一端が前記絶縁基板の角部側に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の電子部品搭載用基板。
  4. 平面透視において、前記第1ビア導体群が帯状に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子部品搭載用基板。
  5. 平面透視において、前記第2ビア導体群が相対するように位置していることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電子部品搭載用基板。
  6. 平面透視において、前記第1ビア導体群が相対するように位置していることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の電子部品搭載用基板。
  7. 前記第1ビア導体の径が前記第2ビア導体の径より大きくなっていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の電子部品搭載用基板。
  8. 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の電子部品搭載用基板と、
    前記搭載部に搭載された電子部品とを有することを特徴とする電子装置。
  9. 接続パッドを有するモジュール用基板と、
    前記接続パッドにはんだを介して接続された請求項8に記載の電子装置とを有することを特徴とする電子モジュール。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113474884A (zh) * 2019-02-27 2021-10-01 京瓷株式会社 布线基板、电子装置以及电子模块
JP7449768B2 (ja) * 2020-04-23 2024-03-14 新光電気工業株式会社 セラミックス基板及びその製造方法、静電チャック、基板固定装置、半導体装置用パッケージ
WO2021246389A1 (ja) * 2020-06-03 2021-12-09 日亜化学工業株式会社 面状光源及びその製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001185653A (ja) * 1999-10-12 2001-07-06 Fujitsu Ltd 半導体装置及び基板の製造方法
JP3546961B2 (ja) * 2000-10-18 2004-07-28 日本電気株式会社 半導体装置搭載用配線基板およびその製造方法、並びに半導体パッケージ
US7109573B2 (en) 2003-06-10 2006-09-19 Nokia Corporation Thermally enhanced component substrate
JP4271590B2 (ja) * 2004-01-20 2009-06-03 新光電気工業株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP2006310783A (ja) * 2005-03-30 2006-11-09 Sanyo Electric Co Ltd 回路装置
US8031484B2 (en) * 2006-06-16 2011-10-04 Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd. IC packages with internal heat dissipation structures
JP5223571B2 (ja) * 2008-09-30 2013-06-26 富士通株式会社 半導体装置、基板設計方法、基板設計装置
US9082806B2 (en) * 2008-12-12 2015-07-14 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming a vertical interconnect structure for 3-D FO-WLCSP
US8373073B2 (en) * 2009-05-29 2013-02-12 Ibiden Co., Ltd. Wiring board and method for manufacturing the same
US8421213B2 (en) * 2009-08-24 2013-04-16 Unimicron Technology Corporation Package structure
JP5357706B2 (ja) * 2009-11-10 2013-12-04 パナソニック株式会社 半導体実装構造体
JP5670250B2 (ja) * 2011-04-18 2015-02-18 イビデン株式会社 Led基板、発光モジュール、発光モジュールを有する機器、led基板の製造方法、発光モジュールの製造方法、及び発光モジュールを有する機器の製造方法
JP6423141B2 (ja) 2013-08-26 2018-11-14 京セラ株式会社 発光素子搭載用部品および発光装置
EP3042402A4 (en) * 2013-09-04 2017-05-31 Dyesol Ltd A photovoltaic device
JP2015122351A (ja) * 2013-12-20 2015-07-02 京セラ株式会社 電子部品搭載基板および回路基板
US9232686B2 (en) * 2014-03-27 2016-01-05 Intel Corporation Thin film based electromagnetic interference shielding with BBUL/coreless packages

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