JPWO2017111091A1 - ガラス用研磨液および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
Description
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンが1.74mol/Lの濃度になるように添加した溶液を実施例1の研磨液サンプルとした。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンが0.88mol/Lの濃度になるように添加した溶液を実施例2の研磨液サンプルとした。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンが0.40mol/Lの濃度になるように添加した溶液を実施例3の研磨液サンプルとした。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンが0.10mol/Lの濃度になるように添加した溶液を実施例4の研磨液サンプルとした。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。
フッ酸が3質量%の溶液にナトリウムイオンが1.74mol/Lの濃度になるように添加した溶液を実施例5の研磨液サンプルとした。なお、ナトリウムイオンは、塩化ナトリウム(NaCl)で供給した。
フッ酸が3質量%の溶液にナトリウムイオンが0.88mol/Lの濃度になるように添加した溶液を実施例6の研磨液サンプルとした。なお、ナトリウムイオンは、塩化ナトリウム(NaCl)で供給した。
フッ酸が3質量%、硫酸が75質量%(残部は水)の混合溶液を比較例1の研磨液サンプルとした。
フッ酸が3質量%、硫酸が60質量%(残部は水)の混合溶液を比較例2の研磨液サンプルとした。
フッ酸が3質量%、硫酸が50質量%(残部は水)の混合溶液を比較例3の研磨液サンプルとした。
フッ酸が3質量%(残部は水)の溶液を比較例4の研磨液サンプルとした。比較例4の研磨液サンプルはリファレンスである。
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンを0.88mol/Lの濃度になるように添加した溶液で、片面15μmの厚み分だけ前研磨し、その後、濃度が10質量%のフッ酸水溶液で、片面300μmの厚み分の後研磨を行った。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。前研磨に用いた研磨液は実施例2と同じものである。なお、フッ酸水溶液とは、フッ化水素酸の水溶液である。
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンを0.40mol/Lの濃度になるように添加した溶液で、片面15μmの厚み分だけ前研磨し、その後、濃度が10質量%のフッ酸水溶液で、片面300μmの厚み分の後研磨を行った。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。前研磨に用いた研磨液は実施例3と同じものである。なお、フッ酸水溶液とは、フッ化水素酸の水溶液である。
フッ酸が3質量%の溶液にカリウムイオンを0.10mol/Lの濃度になるように添加した溶液で、片面15μmの厚み分だけ前研磨し、その後、濃度が10質量%のフッ酸水溶液で、片面300μmの厚み分の後研磨を行った。なお、カリウムイオンは、塩化カリウム(KCl)で供給した。前研磨に用いた研磨液は実施例4と同じものである。なお、フッ酸水溶液とは、フッ化水素酸の水溶液である。
フッ酸が3質量%の溶液にナトリウムイオンを0.88mol/Lの濃度になるように添加した溶液で、片面15μmの厚み分だけ前研磨し、その後、濃度が10質量%のフッ酸水溶液で、片面300μmの厚み分の後研磨を行った。なお、ナトリウムイオンは、塩化ナトリウム(NaCl)で供給した。前研磨に用いた研磨液は実施例6と同じものである。
フッ酸が3質量%で硫酸が75質量%の混合溶液で、片面15μmの厚み分だけ前研磨し、その後、濃度が10質量%のフッ酸水溶液で、片面300μmの厚み分の後研磨を行った。前研磨に用いた研磨液は比較例1と同じものである。
フッ酸が3質量%の溶液で、片面15μmの厚み分だけ前研磨し、その後、濃度が10質量%のフッ酸水溶液で、片面300μmの厚み分の後研磨を行った。前研磨に用いた研磨液は比較例4と同じものである。結果を表2に示す。
Claims (4)
- 板ガラスの研磨液であって、
フッ化水素酸とアルカリ金属イオンを含むことを特徴とする研磨液。 - 前記アルカリ金属イオンは、少なくともナトリウムまたはカリウムを含むことを特徴とする請求項1に記載された研磨液。
- 前記板ガラスは、アルミノボロシリケートガラス(アルミノホウケイ酸塩ガラス)であることを特徴とする請求項1または2のいずれかの請求項に記載された研磨液。
- 板ガラスを研磨する方法であって、
請求項1乃至3のいずれか1の請求項に記載された研磨液で前記板ガラスを前研磨をする工程と、
アルカリ金属イオンが添加されていないフッ酸水溶液を含む研磨液で前記板ガラスをさらに研磨する工程を含む板ガラスの研磨方法。
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