JPWO2017110066A1 - 流量制御装置および流量制御装置を用いる異常検知方法 - Google Patents
流量制御装置および流量制御装置を用いる異常検知方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017110066A1 JPWO2017110066A1 JP2017557699A JP2017557699A JPWO2017110066A1 JP WO2017110066 A1 JPWO2017110066 A1 JP WO2017110066A1 JP 2017557699 A JP2017557699 A JP 2017557699A JP 2017557699 A JP2017557699 A JP 2017557699A JP WO2017110066 A1 JPWO2017110066 A1 JP WO2017110066A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- downstream
- upstream
- convergence
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
- G05B23/0224—Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
- G05B23/0227—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions
- G05B23/0235—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions based on a comparison with predetermined threshold or range, e.g. "classical methods", carried out during normal operation; threshold adaptation or choice; when or how to compare with the threshold
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
- G01F1/42—Orifices or nozzles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
- G01M3/28—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds
- G01M3/2876—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for valves
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0208—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the configuration of the monitoring system
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
- G05B23/0221—Preprocessing measurements, e.g. data collection rate adjustment; Standardization of measurements; Time series or signal analysis, e.g. frequency analysis or wavelets; Trustworthiness of measurements; Indexes therefor; Measurements using easily measured parameters to estimate parameters difficult to measure; Virtual sensor creation; De-noising; Sensor fusion; Unconventional preprocessing inherently present in specific fault detection methods like PCA-based methods
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
- G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
- G05D7/0647—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged in series
Abstract
Description
ここで、Sはオリフィス断面積、Cはガス物性によって決まる定数(フローファクタ)、T1は上流側ガス温度である。上記式から、ガス温度T1およびフローファクタCが一定であるとき、流量Qcは上流圧力P1に比例することがわかる。このため、制御弁の開閉調整により上流圧力P1を制御するだけで、流量を高精度に制御することができる。
・Δt>Δt0かつP’=P0の場合:
測定された収束時間Δtが基準時間Δt0を上回り、測定された収束圧力P’が基準圧力P0と同じである場合、絞り部の異常、より具体的には、開口部の詰まりの異常が生じていると判断することができる。これは、開口部の詰まりによって、差圧の解消に、より長い時間が必要になったためと考えられるからである。
・Δt<Δt0かつP’=P0の場合:
測定された収束時間Δtが基準時間Δt0を下回り、測定された収束圧力P’が基準圧力P0と同じである場合、絞り部の異常、より具体的には、開口部の拡大が生じていると判断することができる。これは、開口部の拡大によって、差圧の解消がより少ない時間で済んだためと考えられるからである。
・Δt>Δt0かつP’>P0の場合(図4に示す場合):
測定された収束時間Δtが基準時間Δt0を上回り、測定された収束圧力P’が基準圧力P0を上回る場合、制御バルブの異常、より具体的には制御バルブのシートリークが生じていると判断することができる。これは、絞り部上流側(すなわち高圧側)に配置されている制御バルブにシートシークが生じていると、平衡圧力が高圧側にずれることに起因すると考えられるからである。また、シートシークが生じていることで収束時間はより長くなるものと考えられる。
・Δt>Δt0かつP’<P0の場合:
測定された収束時間Δtが基準時間Δt0を上回り、測定された収束圧力P’が基準圧力P0を下回る場合、下流バルブの異常、より具体的には下流バルブのシートリークが生じていると判断することができる。これは、絞り部下流側(すなわち低圧側)に配置されている下流バルブにシートシークが生じていると、平衡圧力が低圧側にずれることに起因すると考えられるからである。また、シートシークが生じていることで収束時間はより長くなるものと考えられる。
4 真空ポンプ
10 流量制御装置
12 絞り部
14 第1圧力センサ
16 温度センサ
18 制御バルブ
19 ピエゾ素子駆動部
24 第2圧力センサ
28 下流バルブ
30 演算処理回路
40 外部制御装置
42 表示部
Claims (11)
- 絞り部と、前記絞り部の上流側に設けられた制御バルブと、前記絞り部の上流側かつ前記制御バルブの下流側に設けられた第1圧力センサと、前記絞り部の下流側に設けられた第2圧力センサとを備える流量制御装置と、前記第2圧力センサの下流側に設けられた下流バルブとを用いた異常検知方法であって、
前記制御バルブおよび前記下流バルブを開状態から閉状態に変化させるステップと、
前記制御バルブおよび前記下流バルブを閉状態に維持したまま前記第1圧力センサおよび前記第2圧力センサを用いて上流圧力および下流圧力を測定するステップと、
下記のステップ(a)およびステップ(b)のうちの少なくとも一方のステップ:
(a)前記上流圧力と前記下流圧力との差が所定値に達した時点または前記所定値を下回った時点での上流圧力を上流収束圧力として抽出し、下流圧力を下流収束圧力として抽出するステップ、
(b)前記制御バルブおよび前記下流バルブを開状態から閉状態に変化させた時点から前記上流圧力と前記下流圧力との差が所定値に達した時点または前記所定値を下回った時点までの時間を収束時間として抽出するステップ
とを包含し、
前記ステップ(a)または前記ステップ(b)のいずれかのステップで得たデータと、前記データのそれぞれ基準となる値との比較に基づいて異常の有無を判断する異常検知方法。 - 前記上流収束圧力および前記下流収束圧力を抽出するステップ(a)と、前記収束時間を抽出するステップ(b)との両方を包含し、前記ステップ(a)および前記ステップ(b)で得た両方のデータと、前記基準となる値それぞれとの比較に基づいて異常の有無を判断する、請求項1に記載の異常検知方法。
- 前記上流収束圧力および前記下流収束圧力に対しては基準圧力を、前記収束時間に対しては基準時間を前記基準となる値とする、請求項1または2に記載の異常検知方法。
- 前記基準圧力は、予め測定された正常状態における収束圧力であり、前記基準時間は、予め測定された正常状態における収束時間である、請求項3に記載の異常検知方法。
- 前記第1圧力センサおよび前記第2圧力センサを用いて、前記制御バルブおよび前記下流バルブを閉じる前の開状態における前記上流圧力および前記下流圧力を測定するステップと、
測定された前記開状態における前記上流圧力および前記下流圧力に基づいて、前記基準圧力および前記基準時間を決定するステップと
をさらに包含する、請求項3または4に記載の異常検知方法。 - 前記開状態における前記上流圧力及び前記下流圧力と、前記基準時間及び前記基準圧力との関係を示す表を予め用意するステップと、前記表に従って前記基準圧力および前記基準時間を決定するステップとを包含する、請求項5に記載の異常検知方法。
- 前記上流圧力と下流圧力と差の所定値は0に設定されており、前記上流圧力と前記下流圧力とが同じになった時点において、前記上流収束圧力、前記下流収束圧力または前記収束時間を抽出する、請求項1から6のいずれかに記載の異常検知方法。
- 前記上流収束圧力または前記下流収束圧力に基づいて前記制御バルブおよび前記下流バルブのシートリークを検知し、前記収束時間に基づいて前記絞り部が有する開口部の拡大および縮小を検知する、請求項1から7のいずれかに記載の異常検知方法。
- 前記流量制御装置は、前記制御バルブの下流側に設けられた温度センサをさらに備え、前記温度センサの出力に基づいて前記上流収束圧力または前記下流収束圧力を補正するステップをさらに包含する、請求項1から8のいずれかに記載の異常検知方法。
- 前記制御バルブおよび前記下流バルブが閉状態に維持された状態で、前記上流圧力と前記下流圧力との差が収束後にも基準となる値からずれたまま維持されるとき、前記第1圧力センサまたは前記第2圧力センサが異常であると判断する、請求項1から9のいずれかに記載の異常検知方法。
- 絞り部と、
前記絞り部の上流側に設けられた制御バルブと、
前記絞り部の上流側かつ前記制御バルブの下流側に設けられた第1圧力センサと、
前記絞り部の下流側に設けられた第2圧力センサと、
前記第1圧力センサと前記第2圧力センサとの出力に基づいて前記制御バルブを制御することにより流量が設定流量となるように制御する演算処理回路と
を備える圧力式の流量制御装置であって、前記第2圧力センサの下流において、前記流量制御装置に内蔵された、または、前記流量制御装置の外部に配置された下流バルブが設けられており、
前記演算処理回路は、
前記下流バルブの閉時に前記制御バルブが閉じられた状態で、前記第1圧力センサおよび前記第2圧力センサの出力に基づいて上流圧力と下流圧力との差を演算し、
前記演算により得られた前記差が所定値に達した時点または前記所定値を下回った時点の前記上流圧力または前記下流圧力をメモリに格納された基準圧力と比較するか、前記制御バルブ及び前記下流バルブが閉となった時点から前記差が所定値に達した時点または所定値を下回った時点までの時間をメモリに格納された基準時間と比較するか、のいずれかもしくは両方の比較を行い、
前記基準圧力又は前記基準時間との比較に基づいて異常判定信号を生成する、流量制御装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015253577 | 2015-12-25 | ||
JP2015253577 | 2015-12-25 | ||
PCT/JP2016/005143 WO2017110066A1 (ja) | 2015-12-25 | 2016-12-15 | 流量制御装置および流量制御装置を用いる異常検知方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017110066A1 true JPWO2017110066A1 (ja) | 2018-10-11 |
JP6892687B2 JP6892687B2 (ja) | 2021-06-23 |
Family
ID=59089887
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017557699A Active JP6892687B2 (ja) | 2015-12-25 | 2016-12-15 | 流量制御装置および流量制御装置を用いる異常検知方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11313756B2 (ja) |
JP (1) | JP6892687B2 (ja) |
KR (1) | KR102121260B1 (ja) |
CN (1) | CN108369425B (ja) |
TW (1) | TWI631320B (ja) |
WO (1) | WO2017110066A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10684159B2 (en) * | 2016-06-27 | 2020-06-16 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on choked flow |
JP7164938B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2022-11-02 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
SG11202003902XA (en) * | 2017-11-29 | 2020-05-28 | Fujikin Kk | Abnormality diagnosis method of fluid supply line |
CN111373340A (zh) * | 2017-11-30 | 2020-07-03 | 株式会社富士金 | 流量控制装置的自我诊断方法 |
KR102569945B1 (ko) * | 2018-04-19 | 2023-08-24 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유량 제어 장치, 진단 방법, 및 유량 제어 장치용 프로그램이 저장된 기록매체 |
CN111989635A (zh) * | 2018-04-27 | 2020-11-24 | 株式会社富士金 | 流量控制方法以及流量控制装置 |
WO2020004183A1 (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-02 | 株式会社フジキン | 流量制御方法および流量制御装置 |
JP7148302B2 (ja) * | 2018-07-17 | 2022-10-05 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置 |
CN110874106B (zh) | 2018-08-31 | 2022-09-02 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | 用于回流焊炉的气体控制系统和方法 |
CN109237116B (zh) * | 2018-09-30 | 2021-04-20 | 浙江华龙巨水科技股份有限公司 | 一种计时提醒阀门 |
JP2020067689A (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査方法及び検査装置 |
JP7197897B2 (ja) * | 2018-11-29 | 2022-12-28 | 株式会社フジキン | コントロール弁のシートリーク検知方法 |
JP7437980B2 (ja) * | 2019-03-12 | 2024-02-26 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置、流体制御システム、診断方法、及び、流体制御装置用プログラム |
JPWO2020218138A1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | ||
JP7111408B2 (ja) * | 2019-12-06 | 2022-08-02 | 株式会社フジキン | 流量制御装置の異常検知方法および流量監視方法 |
JP7398306B2 (ja) | 2020-03-24 | 2023-12-14 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス検査方法、基板処理方法及び基板処理システム |
CN112683466A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-04-20 | 上海东富龙爱瑞思科技有限公司 | 一种快速传递阀检漏装置 |
JP2023080611A (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-09 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
WO2024004535A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 株式会社フジキン | コントロール弁のシートリーク検知方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001242940A (ja) * | 1999-11-23 | 2001-09-07 | Nt Internatl Inc | 流体制御モジュール |
JP2008015581A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Fujikin Inc | 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法 |
JP2010186234A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Surpass Kogyo Kk | 流量コントローラ |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5496632A (en) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | Toyota Motor Corp | Preventing system of overheating in catalyzer converter |
JP3554509B2 (ja) * | 1999-08-10 | 2004-08-18 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置における流量異常検知方法 |
JP4102564B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-06-18 | 忠弘 大見 | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP4082901B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-04-30 | 忠弘 大見 | 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 |
JP4669193B2 (ja) | 2002-10-16 | 2011-04-13 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置の温度測定装置 |
JP2004212099A (ja) | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Fujikin Inc | Q=q(p,t)関係を用いた圧力式流量制御方法及びq=q(p,t)関係測定方法 |
JP4204400B2 (ja) * | 2003-07-03 | 2009-01-07 | 忠弘 大見 | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
JP4866682B2 (ja) * | 2005-09-01 | 2012-02-01 | 株式会社フジキン | 圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法 |
CN100437408C (zh) * | 2006-01-19 | 2008-11-26 | 北京化工大学 | 脉码调制和脉宽调制混合模式流量调节系统及调节方法 |
WO2008053839A1 (fr) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Mécanisme de diagnostic dans un régulateur de débit massique à pression différentielle |
JP5027729B2 (ja) | 2008-04-25 | 2012-09-19 | 株式会社フジキン | 流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用駆動回路 |
JP5361847B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2013-12-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、この基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板処理装置 |
JP2012163499A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Azbil Corp | 故障判定回復方法及びこの方法を用いた差圧センサ及び流量計測調整弁装置 |
KR101599343B1 (ko) * | 2011-05-10 | 2016-03-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유량 모니터 부착 압력식 유량 제어 장치 |
JP5847106B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2016-01-20 | 株式会社フジキン | 流量モニタ付圧力式流量制御装置。 |
JP6871636B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2021-05-12 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置及び流量自己診断方法 |
CN110431508A (zh) * | 2017-03-28 | 2019-11-08 | 株式会社富士金 | 压力式流量控制裝置以及流量控制方法 |
-
2016
- 2016-12-15 JP JP2017557699A patent/JP6892687B2/ja active Active
- 2016-12-15 KR KR1020187011033A patent/KR102121260B1/ko active IP Right Grant
- 2016-12-15 US US16/063,794 patent/US11313756B2/en active Active
- 2016-12-15 CN CN201680064955.0A patent/CN108369425B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2016-12-15 WO PCT/JP2016/005143 patent/WO2017110066A1/ja active Application Filing
- 2016-12-22 TW TW105142755A patent/TWI631320B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001242940A (ja) * | 1999-11-23 | 2001-09-07 | Nt Internatl Inc | 流体制御モジュール |
JP2008015581A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Fujikin Inc | 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法 |
JP2010186234A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Surpass Kogyo Kk | 流量コントローラ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI631320B (zh) | 2018-08-01 |
WO2017110066A1 (ja) | 2017-06-29 |
CN108369425B (zh) | 2021-03-02 |
US11313756B2 (en) | 2022-04-26 |
JP6892687B2 (ja) | 2021-06-23 |
US20200232873A1 (en) | 2020-07-23 |
TW201730526A (zh) | 2017-09-01 |
CN108369425A (zh) | 2018-08-03 |
KR102121260B1 (ko) | 2020-06-10 |
KR20180056710A (ko) | 2018-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2017110066A1 (ja) | 流量制御装置および流量制御装置を用いる異常検知方法 | |
CN108027618B (zh) | 压力式流量控制装置及其异常检测方法 | |
TWI642910B (zh) | 流量控制機器、流量控制機器的流量校正方法、流量測定機器及使用流量測定機器的流量測定方法 | |
TWI679297B (zh) | 流量控制裝置 | |
CN109324641B (zh) | 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质 | |
JP6216389B2 (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
TWI684844B (zh) | 流量控制裝置的自我診斷方法 | |
TW202221440A (zh) | 流量控制裝置、流量控制方法以及儲存流量控制裝置用程序的程序儲存媒體 | |
JP7197897B2 (ja) | コントロール弁のシートリーク検知方法 | |
KR20210139347A (ko) | 유량 제어 장치 | |
TWI719552B (zh) | 流量控制系統及流量測量方法 | |
JP5442413B2 (ja) | 半導体製造装置および流量制御装置 | |
TWI766961B (zh) | 診斷系統、診斷方法、存儲介質和流量控制裝置 | |
JP7111408B2 (ja) | 流量制御装置の異常検知方法および流量監視方法 | |
JP2021093182A (ja) | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム | |
TW202210982A (zh) | 流量比例控制系統、成膜系統、異常診斷方法和程式媒體 | |
JPH07325625A (ja) | マスフローコントローラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210428 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6892687 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |