JPWO2017073628A1 - ハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置 - Google Patents

ハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置 Download PDF

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Abstract

ハニカム構造体の端面の隔壁のクラックを検出することができる端面検査方法、及び端面検査装置を提供する。ハニカム構造体1を、第2の端面2bを載置面3として配置する配置工程と、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12を照射しながら、第1の端面2aの第1の処理用画像データを得る。また、上記の角度kが40°未満である光12を照射しながら、第1の端面2aの第2の処理用画像データを得る。第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを比較してクラックを検出することにより、ハニカム構造体1の端面検査を行う。

Description

本発明はハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置に関する。さらに詳しくは、ハニカム構造体の端面の隔壁のクラックを検出することができるハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置に関する。
化学、電力、鉄鋼等の様々な分野において、環境対策や特定物資の回収等のために使用される触媒装置用の担体として、セラミック製のハニカム構造体が採用されている。また、セラミック製のハニカム構造体は、ディーゼルパティキュレートフィルター(DPF)等の排ガス浄化用のフィルターとしても広く用いられている。このようなセラミック製のハニカム構造体は、耐熱性、耐食性に優れたものであり、上述したような種々の用途に採用されている。
ハニカム構造体は、例えばセラミック原料を焼結助剤等と共に混合して坏土を作製し、その坏土を口金により押出成形し、次に焼成することにより作製される。作製されたハニカム構造体には、押出成形工程や焼成工程等でその端面にクラック等の不良が現れることがある。上述した種々の用途において、ハニカム構造体の端面の隔壁にクラック等の不良が現れると、そのハニカム構造体は使用できない。このため、これらの不良をハニカム構造体毎に検査する必要がある。
従来、ハニカム構造体の端面の不良を検査するために、目視による検査を行うことが一般的であった。また、装置を用いてハニカム構造体の端面を検査する方法としては、例えば、ハニカム構造体の端面の画像を密着型センサを用いたスキャナーで走査して端面の原画像を求め、求めた原画像に基づき、端面の検査を行う方法がある(特許文献1)。
特開2002−257736号公報
ハニカム構造体の端面における隔壁の欠陥として、チッピングとクラックが存在する。チッピングは端面の欠けであり、クラックはハニカム構造体の長手方向の隔壁の切れである。製品の特性に与える影響がチッピングとクラックで異なり、クラックのみを不良として判定する必要がある。
従来は、目視による端面検査で、このクラックとチッピングとを区別していたが、検査に時間を要していた。また、特許文献1に記載の方法では、端面の欠陥がチッピングによるものなのか、クラックによるものなのか区別することが困難であった。
本発明の課題は、ハニカム構造体の端面を精度よく、速く検査することのできるハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置を提供することである。
ハニカム構造体の第1の端面に、ハニカム構造体の載置面(第2の端面)に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射しながら、第1の端面の第1の処理用画像データを得る。また、ハニカム構造体の載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射しながら、第1の端面の第2の処理用画像データを得る。そして、第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを比較してクラックのみを検出することにより、上記目的を解決することができることを、本発明者らは見出した。すなわち、本発明によれば、以下の端面検査方法、及び端面検査装置が提供される。
[1] 第1の端面から第2の端面まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体を、前記第2の端面を載置面として載置して所定の位置に配置する配置工程と、前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射しながら、前記第1の端面の第1の処理用画像データを得る第1の処理用画像データ取得工程と、前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射しながら、前記第1の端面の第2の処理用画像データを得る第2の処理用画像データ取得工程と、前記第1の処理用画像データと前記第2の処理用画像データとを比較して前記隔壁のクラックを検出するクラック検出工程と、を含む端面検査方法。
[2] 前記第1の処理用画像データを得た後、または得る前に、前記第2の処理用画像データを得る前記[1]に記載の端面検査方法。
[3] 前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光と、40°未満である光は、異なる波長の光であり、異なる波長の光を用いて、前記第1の処理用画像データと前記第2の処理用画像データとを同時に得る前記[1]に記載の端面検査方法。
[4] 前記クラック検出工程において、前記第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求め、その第1の2値画像データにおいて前記隔壁における欠損部分の幅を求め、前記幅と所定の閾値を比較することによって前記隔壁のクラックの有無を検出する前記[1]〜[3]のいずれかに記載の端面検査方法。
[5] 前記クラック検出工程において、前記第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求め、その第1の2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセルを抽出し、抽出した前記セルの抽出画像データを収縮処理し、前記隔壁のクラックの有無を検出する前記[1]〜[3]のいずれかに記載の端面検査方法。
[6] 前記クラック検出工程において、前記第2の処理用画像データを2値化して第2の2値画像データを求め、その第2の2値画像データを基に1セルの面積よりも大きい面積を有するセルを抽出することにより、前記第1の端面のクラックを検出する前記[1]〜[5]のいずれかに記載の端面検査方法。
[7] 第1の端面から第2の端面まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体を、前記第2の端面を載置面として載置して所定の位置に移動させて配置する配置手段と、前記配置手段によって第1の位置に配置された前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射するための第1の光源と、前記第1の端面を撮影する第1の撮影装置とを有し、前記第1の端面の第1の処理用画像データを得る第1の処理用画像データ取得手段と、前記配置手段によって第2の位置に配置された前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射するための第2の光源と、前記第1の端面を撮影する第2の撮影装置とを有し、前記第1の端面の第2の処理用画像データを得る、前記第1の処理用画像データ取得手段とは異なる位置に設けられた、第2の処理用画像データ取得手段と、を含むハニカム構造体の端面検査装置。
[8] 前記第1の撮影装置、及び/又は、前記第2の撮影装置は、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向に備えられており、前記第1の光源は、前記第1の撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられており、前記第2の光源は、前記第2の撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられている前記[7]に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[9] 前記第1の撮影装置、及び/又は、前記第2の撮影装置は、テレセントリック光学系を備える前記[7]または[8]に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[10] 前記第1の光源、及び/又は、前記第2の光源から照射された光を反射して前記ハニカム構造体の前記第1の端面に所定の角度で光を照射するためのミラーを備える前記[7]〜[9]のいずれかに記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[11] 第1の端面から第2の端面まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体を、前記第2の端面を載置面として載置して所定の位置に配置する配置手段と、前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射するための第1の光源と、前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射するための第2の光源と、前記第1の光源により前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射して、前記第1の端面の第1の処理用画像データを得、前記第2の光源により前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射して、前記第1の端面の第2の処理用画像データを得る撮影装置と、を備えるハニカム構造体の端面検査装置。
[12] 前記撮影装置は、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向に備えられており、前記第1の光源は、前記撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられており、前記第2の光源は、前記撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられている前記[11]に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[13] 前記撮影装置は、テレセントリック光学系を備える前記[11]または[12]に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[14] 前記第1の光源の光を照射して前記第1の処理用画像データを得た後、または得る前に前記第2の光源の光を照射して前記第2の処理用画像データを得る前記[11]〜[13]のいずれかに記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[15] 前記第1の光源の光と前記第2の光源の光は、異なる波長の光であり、前記第1の処理用画像データと前記第2の処理用画像データとを同時に得る前記[11]〜[13]のいずれかに記載のハニカム構造体の端面検査装置。
[16] 前記第1の光源、及び/又は、前記第2の光源から照射された光を反射して前記ハニカム構造体の前記第1の端面に所定の角度で光を照射するためのミラーを備える前記[11]〜[15]のいずれかに記載のハニカム構造体の端面検査装置。
本発明の端面検査方法、及び端面検査装置によれば、ハニカム構造体の載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射して取得した第1の端面の第1の処理用画像データと、角度が40°未満である光を照射して取得した第1の端面の第2の処理用画像データとを比較することにより、端面のチッピングとクラックを区別して検出することができる。
第1の処理用画像データ取得手段と、第2の処理用画像データ取得手段とを備え、ハニカム構造体を移動させて画像データを得る端面検査装置を上から見た図である。 ハニカム構造体の載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射しながら、第1の端面の第1の処理用画像データを得る方法の一例を説明する図である。 ハニカム構造体の載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射しながら、第1の端面の第2の処理用画像データを得る方法の一例を説明する図である。 ハニカム構造体の載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度について説明するための他の説明図である。 ハニカム構造体を移動させずに画像データを得る、または移動させつつ所定の位置を通過させて画像データを得る、端面検査装置の第2の実施形態を示す図である。 端面検査装置の第3の実施形態を横から見た図である。 光源の光の角度を変化させるミラーを備えた実施形態を示す図である。 ハニカム構造体を示す軸方向の第1の端面から見た模式図である。 ハニカム構造体を示す斜視図である。 第1の端面にチッピングを有する隔壁の一例を示す断面図である。 第1の端面にクラックを有する隔壁の一例を示す断面図である。 第1の端面にチッピングを有するハニカム構造体の、第1の端面を撮影した第1の処理用画像の一例を示す画像である。 第1の端面に細い幅のクラックを有するハニカム構造体の、第1の端面を撮影した第1の処理用画像の一例を示す画像である。 第1の端面に太い幅のクラックを有するハニカム構造体の、第1の端面を撮影した第1の処理用画像の一例を示す画像である。 第1の端面にチッピングを有するハニカム構造体の、第1の端面を撮影した、第2の処理用画像の一例を示す画像である。 第1の端面に細い幅のクラックを有するハニカム構造体の、第1の端面を撮影した第2の処理用画像の一例を示す画像である。 第1の端面に太い幅のクラックを有するハニカム構造体の、第1の端面を撮影した第2の処理用画像の一例を示す画像である。 画像処理の流れを説明するための図である。 第1の処理用画像データを用いて、画像処理をする方法の一実施形態を示す説明図である。 第1の処理用画像データを用いて、画像処理をする方法の他の実施形態を示す説明図である。 第2の処理用画像データを用いて、画像処理をする方法の一実施形態を示す説明図である。 第2の処理用画像データを用いて、画像処理をする方法の他の実施形態を示す説明図である。 ハニカム構造体の検出箇所A1の処理用画像である。 ハニカム構造体の検出箇所B1の処理用画像である。 ハニカム構造体の検出箇所C1の処理用画像である。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、変更、修正、改良を加え得るものである。
1.端面検査装置
(第1の実施形態)
図1Aは、第1の処理用画像データ取得手段21と、第2の処理用画像データ取得手段22とを備え、ハニカム構造体1を移動させて画像データを得る端面検査装置10を上から見た模式図である。図1B及び図1Cは、端面検査装置10を横から見た場合の一部を示す図である。また、図1Bは、本発明のハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12を照射しながら、第1の端面2aの第1の処理用画像データを得る方法を説明する図である。また、図1Cは、本発明のハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°未満である光12を照射しながら、第1の端面2aの第2の処理用画像データを得る方法を説明する図である。
図1A〜図1Cに示す端面検査装置10は、配置手段23、第1の処理用画像データ取得手段21、第2の処理用画像データ取得手段22を含む。第1の実施形態では、ハニカム構造体1を第1の位置26に配置し、第1の処理用画像データを取得し、ハニカム構造体1を第2の位置27まで移動させて、第2の処理用画像データを取得する。なお、ハニカム構造体1を第1の位置26に配置するとは、第1の位置26に静止状態で置く場合のみならず、移動させつつ第1の位置26を通過させる場合も含む。第2の位置27についても同様である。
配置手段23は、第1の端面2aから第2の端面2bまで延びる複数のセル5を区画形成する多孔質の隔壁4を有するハニカム構造体1を、第2の端面2bを載置面3として載置して所定の位置に移動させて配置する。
第1の処理用画像データ取得手段21は、配置手段23によって第1の位置26に配置されたハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°以上である光12を照射するための第1の光源11aと、第1の端面2aを撮影する第1の撮影装置13aとを有し、第1の端面2aの第1の処理用画像データを得る。
第2の処理用画像データ取得手段22は、配置手段23によって第2の位置27に配置されたハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°未満である光12を照射するための第2の光源11bと、第1の端面2aを撮影する第2の撮影装置13bとを有し、第1の端面2aの第2の処理用画像データを得る。第2の処理用画像データ取得手段22は、第1の処理用画像データ取得手段21とは異なる位置に設けられている。なお、図1Aでは、第1の処理用画像データ取得手段21が上流で、第2の処理用画像データ取得手段22が下流となっているが、逆でもよい。
図1Dに示すように、ハニカム構造体1の第1の端面2aには、点pの他、点pや点p等様々な点がある。本明細書において、光12の角度が40°未満という場合は、撮影視野内において、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸a(垂直軸)との間に形成される角度が40°未満ということである。図1Dでは、撮影視野内の点p1〜p3のどの点においても角度k1、k2、k3が40°未満である。また、40°以上についても同様である。
図1Bに示すように第1の撮影装置13a、及び/又は、図1Cに示すように第2の撮影装置13bは、ハニカム構造体1の第1の端面2aに対向して備えられていることが好ましく、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向に備えられていることが好ましい。第1の光源11aは、第1の撮影装置13aを挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられていることが好ましい。第2の光源11bは、第2の撮影装置13bを挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられていることが好ましい。
また、図1Aに示すように、第1の撮影装置13a、及び/又は、第2の撮影装置13bは、ラインセンサを使用することができる。ラインセンサは、撮影対象のハニカム構造体1の第1の端面2aの移動方向に垂直な方向の長さよりも長いことが好ましい。また、ラインセンサを挟む位置に配置された少なくとも一対の光源11を有することが好ましく、光源11としては、ライン照明を使用することが好ましい。ラインセンサを用いるときは、光源11の光は、第1の端面2aにおいて、ラインセンサの幅に近くなるように絞ることが好ましい。
ラインセンサを使用すると、ハニカム構造体1を移動させながら(停止せずに)、撮影することができる。ハニカム構造体1を移動させながらラインセンサで撮影すると、タクトを速くすることができる。なお、エリアカメラ(センサ)を用いることもできるが、この場合、ハニカム構造体1を一旦停止させて、撮影することが好ましい。また、光源11としては、LED光源、レーザー、ハロゲン、メタルハライド光源等を用いることができる。
撮影装置13は、テレセントリック(Telecentric)光学系を備えることが好ましい。テレセントリック光学系を備えると、隔壁4(リブ)の写りこみがなくなるため、ハニカム構造体1の第1の端面2aの全体を検査するために好ましい。
(第2の実施形態)
図2Aは、端面検査装置10の第2の実施形態を示す図である。第2の実施形態では、配置手段23、第1の光源11a、第2の光源11b、撮影装置13を含む。第2の実施形態では、ハニカム構造体1を所定の位置に配置し、第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを取得する。なお、本実施形態においても、ハニカム構造体1を所定の位置に配置するとは、所定の位置に静止状態で置く場合のみならず、移動させつつ所定の位置を通過させる場合も含む。
配置手段23(台14)は、第1の端面2aから第2の端面2bまで延びる複数のセル5を区画形成する多孔質の隔壁4を有するハニカム構造体1を、第2の端面2bを載置面3として載置して所定の位置に配置する。
第1の光源11aは、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°以上である光12を照射する。第2の光源11bは、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°未満である光12を照射する。
撮影装置13は、第1の光源11aによりハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°以上である光12を照射して、第1の端面2aの第1の処理用画像データを得る。また、第2の光源11bによりハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°未満である光12を照射して、第1の端面2aの第2の処理用画像データを得る。
撮影装置13は、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向に備えられていることが好ましい。また、第1の光源11aは、撮影装置13aを挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられており、第2の光源11bは、撮影装置13bを挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられていることが好ましい。
第2の実施形態の撮影装置13としては、エリアカメラを用いることができる。また、撮影装置13は、テレセントリック光学系を備えることが好ましい。エリアカメラにより、ハニカム構造体1の第1の端面全体を撮影することができる。あるいは、複数のエリアカメラを備えて、分割して第1の端面2aを撮影してもよい。なお、第2の実施形態においても、ラインセンサを用いることもできる。
光源11を備える照明としては特に限定されず、ライン照明、点照明を用いることができるが、第1の端面2aの全体を照射することができるものが好ましい。また、光源11としては、LED光源、レーザー、ハロゲン、メタルハライド光源等を用いることができる。
なお、ハニカム構造体1の第1の端面2aと、光源11との間の距離は特に限定されず、良好な第1の処理用画像データを得ることができる位置であれば良い。
第2の実施形態では、ハニカム構造体1を所定の位置に配置した後、第1の光源11aの光12を照射して第1の処理用画像データを得た後、または得る前に第2の光源11bの光12を照射して第2の処理用画像データを得ることができる。第1の処理用画像データと第2の処理用画像データのどちらを先に取得するように構成してもよい。第1の処理用画像データと第2の処理用画像データは、ハニカム構造体1を移動させずに同じ位置で取得する。
第1の光源11aの光12と第2の光源11bの光12を、異なる波長の光とすることもできる。この場合、第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを同時に得ることができる。異なる波長の光12として、例えば、青色の光源と赤色の光源を用いることができる。第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを同時に得た場合、一つの処理用画像データに、第1の処理用画像データと第2の処理用画像データが含まれることになる。この場合、一つの処理用画像データのRGBデータから第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを分離することができる。
(第3の実施形態)
図2B及び図2Cを用いて第3の実施形態を説明する。第3の実施形態の端面検査装置10は、配置手段23、第1の処理用画像データ取得手段21、第2の処理用画像データ取得手段22を含む。また、ハニカム構造体1の上下を反転するための反転装置28を含む。
図2Bに示すように、第3の実施形態では、2つのハニカム構造体1を1組として台14に載せて移動させる。まず、第2の処理用画像データ取得手段22で、第1の端面2aの第2の処理用画像データを取得し、第1の処理用画像データ取得手段21で、第1の端面2aの第1の処理用画像データを取得する。その後、反転装置28にて、ハニカム構造体1の上下を反転させ、第2の端面2bについて、同様に処理用画像データを取得する。
図2Cに示すように、第1の処理用画像データ取得手段21は、第1の光源11a及びハニカム構造体1との間に、ミラー15を備える。ミラー15は、第1の光源11aから照射された光12を反射してハニカム構造体1の端面2(第1の端面2a、第2の端面2b)に所定の角度で光12を照射するためのものである。ミラー15を備えることにより、ハニカム構造体1の端面2に照射する光12の角度を容易に所望の角度に設定できる。また第1の処理用画像データ取得手段21のサイズをコンパクトにすることができることから取得手段同士の設置間隔を狭くすることができ、ハニカム構造体1の移動距離を短く(=検査時間を短く)することができる。なお、ミラー15は、第2の処理用画像データ取得手段22に備えても良い。
第3の実施形態では、反転装置28を備えることにより、第1の端面2aのみならず、第2の端面2bも検査できるように構成されている。他の実施形態においても、同様にハニカム構造体1を反転させて、第1の端面2aのみならず、第2の端面2bも検査するように構成してもよい。
(検査対象)
(ハニカム構造体)
図3Aに、本発明の端面検査方法の検査対象として用いられるハニカム構造体1の一例であり、軸方向9の一方の端面2から見た模式図を示す。図3Bに、ハニカム構造体1の斜視図を示す。ハニカム構造体1は柱状に形成され、軸(長手)方向9の第1の端面2aから第2の端面2bまで貫通する流体の流路を有するものである。ハニカム構造体1は、隔壁4を有し、隔壁4によって流体の流路となる多数のセル5が区画形成されている。
ハニカム構造体1としては、特に限定されず、どのような形状、大きさ、材質のものであっても良い。したがって、ハニカム構造体1の外形は、円柱状に限らず、軸(長手)方向9に垂直な断面が楕円形であってもよい。また、ハニカム構造体1の外形は、角柱状、すなわち、軸(長手)方向9に垂直な断面が、四角形、またはその他の多角形であってもよい。
ハニカム構造体1のセル5の隔壁4の厚さ(壁厚4a(またはリブ厚ともいう):図4B参照)や隔壁4の密度についても、目的に応じて適宜設計すればよく、特に制限はない。
ハニカム構造体1は、セラミックを主成分とするものが好ましく用いられる。なお、本明細書にいうセラミックを主成分とするとは、セラミックを50質量%以上含むことをいう。
(欠陥)
ハニカム構造体1の端面2の隔壁4の欠陥として、チッピングとクラックが挙げられる。図4Aに、第1の端面2aにチッピングを有する隔壁4の一例を示す断面図を示す。また、図4Bに、第1の端面2aにクラックを有する隔壁4の一例を示す断面図を示す。なお、図4Bの上の図は、第1の端面2aを正面から見た図である。クラックは、端面2の切れである。
(処理用画像データ)
処理用画像データについて説明する。図5A〜図5Fに、隔壁4にチッピング、細い幅のクラック、又は太い幅のクラックを有する第1の端面2aを撮影した処理用画像の一例を示す。図5A〜図5Cは、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12を照射しながら、第1の端面2aを撮影した第1の処理用画像である。図5D〜図5Fは、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°未満である光12を照射しながら、第1の端面2aを撮影した第2の処理用画像である。また、図5A及び図5Dは、隔壁4にチッピングを有する第1の端面2aの処理用画像である。図5B及び図5Eは、隔壁4に細い幅のクラックを有する第1の端面2aの処理用画像である。図5C及び図5Fは隔壁4に太い幅のクラックを有する第1の端面2aの処理用画像である。
ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12を照射しながら、第1の端面2aを撮影した第1の処理用画像では、図5Bに示すように、細い幅のクラックを良好に確認することができる。これは、照射した光12によりクラックの影が強調されるためである。しかし、照射した光12がハニカム構造体1の長手方向のセル5の奥にまで届かないため、図5A及び図5Cに示すように、チッピングと太い幅のクラックとを区別し難くなる。
一方、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°未満である光12を照射しながら、第1の端面2aを撮影した第2の処理用画像では、図5D及び図5Fに示すように、太い欠陥について、それがチッピングであるか、クラックであるか区別することができる。これは、ハニカム構造体1の長手方向のセル5の奥まで光12が照射されているためである。しかし、図5Eに示すように、細い幅のクラックは検出し難くなる。
したがって、細い幅のクラックを検出可能な第1の処理用画像データと、太い幅のクラックを検出可能な第2の処理用画像データを組み合わせて端面検査することにより、細い幅のクラック、太い幅のクラックといったクラックのみを検出可能になる。また第1の処理用画像データと第2の処理用画像データの位置座標を合わせることにより、チッピングをクラックと区別して検出することができる。
2.端面検査方法
(端面検査方法の概要)
本発明の端面検査方法は、第1の端面2aから第2の端面2bまで延びる複数のセル5を区画形成する多孔質の隔壁4を有するハニカム構造体1を、第2の端面2bを載置面3として台14に載置し所定の位置に配置する(配置工程)。そして、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、そのハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12を照射しながら、第1の端面2aの第1の処理用画像データを得る(第1の処理用画像データ取得工程)。また、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°未満である光12を照射しながら、第1の端面2aの第2の処理用画像データを得る(第2の処理用画像データ取得工程)。このようにして得られた第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを比較してクラックを検出する(クラック検出工程)。
第1の処理用画像データを得た後、または得る前に、第2の処理用画像データを得るように構成することができる。あるいは、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度が40°以上である光12と、40°未満である光12が、異なる波長であるようにして、第1の処理用画像データと第2の処理用画像データとを同時に得るように構成することもできる。
クラック検出工程において、第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求め、その第1の2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、抽出したセル5の抽出画像データを収縮処理し、隔壁4のクラックの有無を検出する。
クラック検出工程において、第2の処理用画像データを2値化して第2の2値画像データを求め、その第2の2値画像データを基に1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出することにより、端面2のクラックを検出する。
なお、クラック検出工程において、2値画像データを収縮処理して、隔壁4のクラックの有無を検出する方法を説明したが、2値画像データにおいて隔壁4における欠損部分の幅を求め、幅と所定の閾値を比較することによって隔壁4のクラックの有無を検出することもできる。
(端面検査方法の詳細)
端面検査方法の具体的な工程について詳細に説明する。具体的には、第1の処理用画像データの撮影及び画像データ処理の方法(隔壁4の細い幅のクラック検出)、第2の処理用画像データの撮影及び画像データ処理の方法(隔壁4の太い幅のクラック検出)について説明する。なお、クラックの幅は、例えば、細い幅は、100μm未満、太い幅は、100μm以上である。ただし、細い幅と太い幅の区切りは、収縮処理の収縮度合いにより、変更することができるため、所望の値で区切ることができる。
図6に、端面検査方法の工程を示す。第1の処理画像データにより、細い幅のクラックと、太い幅のクラック又はチッピングとを区別する。さらに、第2の処理画像データにより、太い幅のクラックと、チッピングとを区別する。
なお、第1の処理用画像データの撮影及び第2の処理用画像データを撮影は、どちらを先に行っても良く、同時に行っても良い。また、図6では、第1の処理用画像データの処理を先に行っているが、第2の処理用画像データの処理を先に行ってもよい。同時に撮影する場合、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12と、40°未満である光12を同時に照射することになる。このため、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12と、40°未満である光12は、異なる波長の光12を用いることが好ましい。異なる波長の光12を用いることにより、1回の撮像で照射角度が異なる二つの画像を得ることが可能となる。これにより検査時間が短くなる、また、チッピングのみを抽出する際の位置座標合わせが簡便になるという効果が得られる。以下、図6に示すように、第1の処理用画像データの処理を先に行う場合を例として説明する。
(第1の処理用画像データの処理)
図1Bに示すように、ハニカム構造体1を、第2の端面2bを載置面3として台14に配置する。そして、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、そのハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°以上である光12を照射しながら、第1の端面2aの第1の処理用画像データを得る。
光12は、光源11からハニカム構造体1の第1の端面2aに向かって照射される。照射される光12と、ハニカム構造体1の載置面3に対して垂直方向の軸aとの間に形成される角度kは、40°以上である。より好ましくは上記角度kが60°〜80°である。これは、第1の端面2aのどの点においても、光源11からの光12の角度が60°〜80°ということである。上記角度kを40°以上にすることにより、細い幅のクラックの画像データを良好に撮影することができる。
次に、図7A及び図7Bに示す手順により、得られた第1の処理用画像データを用いて、第1の端面2aの細い幅のクラックを検出する。なお、図5A及び図5Cに示すように、第1の処理用画像の撮影では、チッピングもまた、第1の端面2aの隔壁4の太い幅のクラックと同様に撮影される。したがって、第1の処理用画像から太い幅のクラックとチッピングを見分けることは困難である。よって、第1の処理用画像を用いて、太い幅のクラックを検出しないことが好ましい。
第1の処理用画像データは、コンピュータにより画像処理され、細い幅のクラックの検出に用いられるが、画像処理の方法は特に限定されるものではなく、公知のコンピュータ画像処理方法を用いることができる。例えば、2値化等の方法を挙げることができる。
図7Aは、ハニカム構造体1が隔壁4に太い幅のクラックまたはチッピングを有する場合の、第1の処理用画像データを用いた画像処理の方法を示している。また、図7Bは、ハニカム構造体1が隔壁4に細い幅のクラックを有する場合の、第1の処理用画像データを用いた画像処理の方法を示している。2値化を用いた画像処理では、まず、第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求め、その第1の2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出する。次に、抽出したセル5の抽出画像データを収縮処理し、抽出画像データが隔壁4により複数のセル5に分割されるか否かにより、隔壁4の細い幅のクラックの有無を検出することが好ましい。
図7Aの一段目の図及び図7Bの一段目の図に、第1の処理用画像データを2値化処理した際の模式的説明図を示す。なお、2値化処理は、輝度の任意の値を閾値として行うことができる。また、画像データに含まれるRGBデータのR,G,Bのいずれかの輝度で2値化処理を行ってもよい。第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求めると、セル5と隔壁4が異なる領域として分けられる。四辺にクラックやチッピングがある隔壁4が無いセル5は正常セル面積を有するセル5として見える。一方、いずれかの辺にクラックやチッピングがあるセル5は、クラックやチッピングがある隔壁4を挟んで隣り合うセル5と繋がり、1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5として見える。そして、図7Aの二段目の図及び図7Bの二段目の図に示すように、このような第1の2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出する。
次に、図7Aの三段目の図及び図7Bの三段目の図に示すように、抽出したセル5の抽出画像データを収縮処理する。収縮処理することにより、隔壁4の細い幅のクラックは収縮され、クラックが消えて切れていた隔壁4がつながる。したがって、図7Bの三段目の図に示すように、1セルの面積よりも大きい面積を有していたセル5は、その隔壁4により分割されて1セルずつに分かれる。一方、図7Aの三段目の図に示すように、太い幅のクラックまたはチッピングを有する隔壁4は、収縮処理しても隔壁4がつながらず、1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5のままの形で残る。このようにして、抽出画像データを収縮処理し、抽出画像データが隔壁4により複数のセル5に分割されるか否かにより、隔壁4の細い幅のクラックの有無を検出することができる。なお、第1の2値画像データから、端面2の隔壁4の太い幅の切れは、チッピングによるものなのか、クラックによるものなのか判断できない。このため、図7Aの四段目の図に示すように、第1の2値画像データから、端面2の隔壁4の太い幅のクラック検出は行わないことが好ましい。
(第2の処理用画像データの処理)
第1の処理用画像データを得た後、または得る前、あるいは同時に、隔壁4の太い幅のクラックを検出するための第2の処理用画像データを得る。図1Cに示すように、ハニカム構造体1を、第2の端面2bを載置面3として台14に配置する。そして、ハニカム構造体1の第1の端面2aに、そのハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kが40°未満である光12を照射しながら、第1の端面2aの第2の処理用画像データを得る。
光12は、光源11からハニカム構造体1の第1の端面2aに向かって照射される。照射される光12とハニカム構造体1の載置面3に対して垂直方向の軸aとの間に形成される角度kは、40°未満である。より好ましくは10°〜30°である。上記角度kを40°未満にすることにより、ハニカム構造体1の長手方向のセル5の奥深くまで照射することができ、図5D及び図5Fに示すように、第2の処理用画像データを撮影した際にチッピングと太い幅のクラックとを区別することができる。一方で、図5Eに示すように、細い幅のクラックの撮影には不向きである。
次に、図8A及び図8Bに示すように、上記で得られた第2の処理用画像データを用いて第1の端面2aの太い幅のクラックを検出する。なお、クラックは、チッピングよりもハニカム構造体1の長手方向に対してのクラックの深さが深い。このため、図5Fに示すように、第2の処理用画像データの撮影では、隔壁4の太い幅のクラックは隔壁4が切れた状態で撮影される。一方、図5Dに示すように、隔壁4の太い幅のチッピングは、そのクラックの深さが浅い。このため、第2の処理用画像データの撮影により、隔壁4の欠けは撮影されず、クラックを有さない隔壁4として認識することができる。
第2の処理用画像データは、コンピュータにより画像データ処理され、隔壁4の太い幅のクラックの検出に用いられる。画像データ処理の方法は特に限定されるものではなく、公知のコンピュータ画像データ処理方法を用いることができる。例えば、2値化等の方法を挙げることができる。
図8Aは、ハニカム構造体1が隔壁4にチッピングを有する場合の、第2の処理用画像データを用いた画像データ処理の方法を示している。また、図8Bは、ハニカム構造体1が隔壁4に太い幅のクラックを有する場合の、第2の処理用画像データを用いた画像データ処理の方法を示している。2値化を用いた画像データ処理では、まず、第2の処理用画像データを2値化して第2の2値画像データを求める。その第2の2値画像データを基に、1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出することにより、端面2の太い幅のクラックを検出することが好ましい。以下に、この画像データ処理方法について、より詳細に説明する。
図8Aの一段目の図及び図8Bの一段目の図に示すように、第2の処理用画像データを2値化して第2の2値画像データを求めると、その2値画像データの第2の処理用画像データにおいて太い幅のクラックにより隔壁4が切れて撮影されなかった箇所は、セル5と同一の色を示す。これにより、その切れた隔壁4を有するセル5は隣接するセル5と繋がり、1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5として見える。そして、図8Bの二段目の図に示すように、このような第2の2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出する。一方、図8Aの二段目の図に示すように、ハニカム構造体1の端面2の太い幅のチッピングは、1セルよりも大きい面積を有するセル5が見られないため、検出しない。したがって、太い幅のクラックのみを検出することができ、チッピングの過剰検出を防止することができる。
なお、上記の端面検査方法では、ハニカム構造体1の第1の端面2aの検査について説明したが、第2の端面2bについても同様に検査を行ってもよい。
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
(ハニカム構造体の作製)
まず、以下のようにして、撮影用のハニカム構造体1を作製した。原材料を所定の割合で混合して、水を加えて混練することにより坏土を調製した。調製した坏土を真空脱気した後、押出成形することによりハニカム成形体を得た。次に、ハニカム成形体を焼成することによってハニカム焼成体(多孔質基材)を得た。
得られたハニカム構造体1は、底面の直径100mm、軸方向長さ100mmの円筒形であり、隔壁厚さは80μm、セル密度は、600cpsi(セル/平方インチ)(=93セル/cm)であった。また、得られたハニカム構造体1は、セル5がハニカム構造体1の軸方向9に延び、両端面が中心軸に垂直に形成されたものであった。また、セル5の延びる方向に直交する断面において、セル形状は正方形であった。
図1B、図1Cに示すような、端面検査装置10を用いてハニカム構造体1の端面2を撮影した。図1B、図1Cに示すように、ハニカム構造体1の載置面3に対し垂直方向の軸aと撮影装置13の光軸とが一致するように配置し、軸aから、つまり光軸からの照明(光源11)の角度kを変化させてハニカム構造体1の端面2を撮影した。照射する光12と、ハニカム構造体1の載置面3(第2の端面2b)に対し垂直方向の軸aとの間に形成される角度kを70°、50°、30°、10°として撮影した。撮影装置13としては、ラインセンサカメラ(DALSA社製、商品名:ES−80−08K80)を使用し、光源11(照明)としては、ライン照明(CCS社製、商品名:LNSP−200SW)を使用した。また、撮影装置13は、画像データ処理装置に接続した。画像データ処理装置としては、パソコンと市販の画像データ処理ソフトウェアを使用した。
処理用画像データから、細い幅のクラック(検出箇所A1〜A3)、チッピング(検出箇所B1〜B3)、太い幅のクラック(検出箇所C1〜C3)を選んだ。クラックの幅や、チッピングの深さは、表1〜表3に示す。また、図9に、検出箇所A1、図10に、検出箇所B1、図11に検出箇所C1の処理用画像データを示す。
(隔壁の細い幅のクラック検出)
次に、細い幅のクラックの画像データ(検出箇所A1〜A3)について、画像データ解析を行った。光軸からの照明(光源11)の角度kが40°以上の場合は図7Aと図7Bに示すように、処理用画像データを、コンピュータにより2値化処理をし、次に、2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、抽出したセル5の抽出画像データを収縮処理した。抽出画像データが隔壁4により複数のセル5に分割されるか否かにより、隔壁4の100μm未満の幅のクラックの有無を検出した。角度kが40°未満の場合は図8Aと図8Bに従って、処理用画像データを、コンピュータにより2値化処理をし、次に、2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、クラックの有無を検出した。
画像データ解析を行った結果、検出箇所を含む領域が2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5として抽出されるか、また、検出箇所がクラックとして検出されるか、について表1に示す。1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5として抽出された場合をA、されなかった場合をB、その結果、クラックとして検出された場合をC、されなかった場合をDとして表す。なお、表に記載のクラックの幅は、光学顕微鏡で測定した。
細い幅のクラックの検出箇所A1〜A3は、照射する光12が光軸から70°であれば、クラックとして検出することができた。
(チッピングの検出)
チッピングを有する検出箇所B1〜B3についても、検出箇所A1〜A3と同様に処理用画像データを得た。光軸からの照明(光源11)の角度kが40°以上の場合は図7Aと図7Bに示すように、処理用画像データを、コンピュータにより2値化処理をし、次に、2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、抽出したセル5の抽出画像データを収縮処理した。抽出画像データが隔壁4により複数のセル5に分割されるか否かにより、隔壁4のチッピングの有無を検出した。角度kが40°未満の場合は図8Aと図8Bに従って、処理用画像データを、コンピュータにより2値化処理をし、次に、2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、チッピングの有無を検出した。
表2に、1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5として抽出された場合をA、されなかった場合をB、その結果、クラックとして検出された場合をC、されなかった場合をDとして表す。なお、表に記載のチッピングの深さは、ノギスで測定した。
チッピングの検出箇所B1〜B3は、照射する光12がいずれの角度であっても、クラックとして検出されることはなかった。
(隔壁の太い幅のクラック検出)
太い幅のクラックを有する検出箇所C1〜C3についても、検出箇所A1〜A3と同様に処理用画像データを得た。kが40°以上の場合は図7Aと図7Bに示すように、処理用画像データを、コンピュータにより2値化処理をし、次に、2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、抽出したセル5の抽出画像データを収縮処理した。抽出画像データが隔壁4により複数のセル5に分割されるか否かにより、隔壁4の100μm以上の幅のクラックの有無を検出した。角度kが40°未満の場合は図8Aと図8Bに従って、処理用画像データを、コンピュータにより2値化処理をし、次に、2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5を抽出し、クラックの有無を検出した。
表3に、1セルの面積よりも大きい面積を有するセル5として抽出された場合をA、されなかった場合をB、その結果、クラックとして検出された場合をC、されなかった場合をDとして表す。なお、表に記載のクラックの幅は、光学顕微鏡で測定した。
太い幅のクラックの検出箇所C1〜C3は、照射する光12が光軸から40°未満の場合、チッピングと区別して検出することができた。
表1〜表3に示すように、光12の照射方向を変化させた処理用画像データを画像データ処理することにより、チッピング、細い幅のクラック、太い幅のクラックを区別することができた。
本発明のハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置は、作製したハニカム構造体について、良品、不良品を振り分ける工程において好適に利用される。
1:ハニカム構造体、2:端面、2a:第1の端面、2b:第2の端面、3:載置面、4:隔壁、4a:壁厚、5:セル、9:軸方向、10:端面検査装置、11:光源、11a:第1の光源、11b:第2の光源、12:(照射する)光、13:撮影装置、13a:第1の撮影装置、13b:第2の撮影装置、14:台、15:ミラー、21:第1の処理用画像データ取得手段、22:第2の処理用画像データ取得手段、23:配置手段、26:第1の位置、27:第2の位置、28:反転装置、a:ハニカム構造体の載置面に対し垂直方向の軸、k:角度。

Claims (16)

  1. 第1の端面から第2の端面まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体を、前記第2の端面を載置面として載置して所定の位置に配置する配置工程と、
    前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射しながら、前記第1の端面の第1の処理用画像データを得る第1の処理用画像データ取得工程と、
    前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射しながら、前記第1の端面の第2の処理用画像データを得る第2の処理用画像データ取得工程と、
    前記第1の処理用画像データと前記第2の処理用画像データとを比較して前記隔壁のクラックを検出するクラック検出工程と、を含む端面検査方法。
  2. 前記第1の処理用画像データを得た後、または得る前に、前記第2の処理用画像データを得る請求項1に記載の端面検査方法。
  3. 前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光と、40°未満である光は、異なる波長の光であり、異なる波長の光を用いて、前記第1の処理用画像データと前記第2の処理用画像データとを同時に得る請求項1に記載の端面検査方法。
  4. 前記クラック検出工程において、前記第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求め、その第1の2値画像データにおいて前記隔壁における欠損部分の幅を求め、前記幅と所定の閾値を比較することによって前記隔壁のクラックの有無を検出する請求項1〜3のいずれか一項に記載の端面検査方法。
  5. 前記クラック検出工程において、前記第1の処理用画像データを2値化して第1の2値画像データを求め、その第1の2値画像データにおいて1セルの面積よりも大きい面積を有するセルを抽出し、抽出した前記セルの抽出画像データを収縮処理し、前記隔壁のクラックの有無を検出する請求項1〜3のいずれか一項に記載の端面検査方法。
  6. 前記クラック検出工程において、前記第2の処理用画像データを2値化して第2の2値画像データを求め、その第2の2値画像データを基に1セルの面積よりも大きい面積を有するセルを抽出することにより、前記第1の端面のクラックを検出する請求項1〜5のいずれか一項に記載の端面検査方法。
  7. 第1の端面から第2の端面まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体を、前記第2の端面を載置面として載置して所定の位置に移動させて配置する配置手段と、
    前記配置手段によって第1の位置に配置された前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射するための第1の光源と、前記第1の端面を撮影する第1の撮影装置とを有し、前記第1の端面の第1の処理用画像データを得る第1の処理用画像データ取得手段と、
    前記配置手段によって第2の位置に配置された前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射するための第2の光源と、前記第1の端面を撮影する第2の撮影装置とを有し、前記第1の端面の第2の処理用画像データを得る、前記第1の処理用画像データ取得手段とは異なる位置に設けられた、第2の処理用画像データ取得手段と、
    を含むハニカム構造体の端面検査装置。
  8. 前記第1の撮影装置、及び/又は、前記第2の撮影装置は、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向に備えられており、
    前記第1の光源は、前記第1の撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられており、
    前記第2の光源は、前記第2の撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられている請求項7に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  9. 前記第1の撮影装置、及び/又は、前記第2の撮影装置は、テレセントリック光学系を備える請求項7または8に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  10. 前記第1の光源、及び/又は、前記第2の光源から照射された光を反射して前記ハニカム構造体の前記第1の端面に所定の角度で光を照射するためのミラーを備える請求項7〜9のいずれか一項に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  11. 第1の端面から第2の端面まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体を、前記第2の端面を載置面として載置して所定の位置に配置する配置手段と、
    前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射するための第1の光源と、
    前記ハニカム構造体の前記第1の端面に、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射するための第2の光源と、
    前記第1の光源により前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°以上である光を照射して、前記第1の端面の第1の処理用画像データを得、前記第2の光源により前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向の軸との間に形成される角度が40°未満である光を照射して、前記第1の端面の第2の処理用画像データを得る撮影装置と、を備えるハニカム構造体の端面検査装置。
  12. 前記撮影装置は、前記ハニカム構造体の前記載置面に対し垂直方向に備えられており、
    前記第1の光源は、前記撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられており、
    前記第2の光源は、前記撮影装置を挟んで、対称位置に少なくとも一対設けられている請求項11に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  13. 前記撮影装置は、テレセントリック光学系を備える請求項11または12に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  14. 前記第1の光源の光を照射して前記第1の処理用画像データを得た後、または得る前に前記第2の光源の光を照射して前記第2の処理用画像データを得る請求項11〜13のいずれか一項に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  15. 前記第1の光源の光と前記第2の光源の光は、異なる波長の光であり、前記第1の処理用画像データと前記第2の処理用画像データとを同時に得る請求項11〜13のいずれか一項に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
  16. 前記第1の光源、及び/又は、前記第2の光源から照射された光を反射して前記ハニカム構造体の前記第1の端面に所定の角度で光を照射するためのミラーを備える請求項11〜15のいずれか一項に記載のハニカム構造体の端面検査装置。
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