JP6005394B2 - ハニカムフィルタの製造方法、及び、ハニカムフィルタの製造システム - Google Patents

Description

本発明は、ハニカムフィルタの製造方法、及び、ハニカムフィルタの製造システムに関する。

従来より、ディーゼルパティキュレートフィルタとして用いられるハニカムフィルタの欠陥検査方法が知られている。例えば、特許文献１には、粒子を含むガス流をハニカムフィルタの入口端面に提供し、このハニカムフィルタの出口端面から出るガス流に光を照射し、粒子を照らすことが開示されている。

そして、特許文献１の図２Ａでは、チャンバ４３６内でノズル４１２により粒子を発生させ、チャンバ４３６内にチャンバ４３４からのガスを供給することにより、ハニカムフィルタ３００に対して粒子含有ガスを供給していた。

特開２００９−５０３５０８号公報

しかしながら、従来の方法では、欠陥の検出精度が十分では無かった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、欠陥の検出精度をより向上できる、ハニカムフィルタの製造方法、及び、ハニカムフィルタの製造システムを提供することを目的とする。

本発明は、互いに平行に伸びる複数の流路を形成する隔壁、及び、複数の流路の内の一部の一端及び複数の流路の内の残部の他端を閉鎖する封口部を有するハニカムフィルタの製造方法であって、第一検査工程と第二検査工程とを備えたハニカムフィルタの製造方法である。

この構成によれば、複数の検査工程である第一検査工程及び第二検査工程を組み合わせることにより、欠陥を見逃すことを防止しつつ、欠陥の検出精度をより向上させることができる。

この場合、ハニカムフィルタのグリーンの欠陥を検査する第一検査工程と、検査後のグリーンを焼成してハニカムフィルタを得る焼成工程と、ハニカムフィルタの欠陥を検査する第二検査工程と、を備える。そして、第一検査工程は、グリーンの複数の流路の一端に対してガスによる圧力を印加すること、及び、複数の流路の他端上のガス屈折率の分布を取得すること、を有し、第二検査工程は、粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給すること、及び、ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を取得すること、を有する。

また、本発明は、互いに平行に伸びる複数の流路を形成する隔壁、及び、複数の流路の内の一部の一端及び複数の流路の内の残部の他端を閉鎖する封口部を有するハニカムフィルタの製造システムである。このシステムは、ハニカムフィルタのグリーンの欠陥を検査する第一検査装置と、検査後のグリーンを焼成してハニカムフィルタを得る焼成装置と、ハニカムフィルタの欠陥を検査する第二検査装置とを備える。そして、第一検査装置は、グリーンの複数の流路の一端に対してガスによる圧力を印加する手段、及び、複数の流路の他端上のガス屈折率の分布を取得する手段、を有し、第二検査装置は、粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する手段、及び、ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を取得する手段、を有する。

本発明によれば、第一検査工程（装置）において、焼成前のグリーンの内壁や封口部に欠陥があると他端からガスが漏れる。そして、漏れるガスの密度を雰囲気ガスの密度と異ならせることにより、ガスの漏れの有無を検出でき、したがって、欠陥の有無を認識できる。

また、第二検査工程（装置）において、焼成済みのハニカムフィルタの内壁や封口部に欠陥があると、他端から粒子が漏れる。したがって、粒子の濃度分布に基づいて欠陥の有無を認識できる。

さらに、第一検査工程（装置）と第二検査工程（装置）とでは、検査方法が異なるために、検出し易い欠陥と検出しにくい欠陥とが互いに異なる。したがって、最終的に得られるハニカムフィルタの欠陥の有無を高い精度で検出できる。

ここで、前記第一検査工程は、さらに、前記屈折率の分布に基づいて前記グリーンの欠陥の有無を判断すること、及び、

欠陥を有さないと判断されたグリーンを前記焼成工程に供給し、欠陥を有すると判断されたグリーンを前記焼成工程以外の工程に供給すること、を有することが好ましい。

また、前記第二検査工程は、さらに、前記濃度分布に基づいて前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断すること、及び、

欠陥を有さないと判断されたハニカムフィルタを、欠陥を有すると判断されたハニカムフィルタとは別工程に供給すること、を有することが好ましい。

これらによれば、欠陥品に対して無駄な処理を行わなくすることができるので、製造効率を高くできる。

また、前記ハニカムフィルタの欠陥を検査する第三検査工程（装置）をさらに備え、第三検査工程（装置）は、ハニカムフィルタの一端面に光を照射すること（手段）、及び、ハニカムフィルタの他端面から出射する光の輝度の二次元分布を取得すること（手段）、を有することが好ましい。

ハニカムフィルタの隔壁や封口部に破損や欠落等の欠陥部位がある場合、当該欠陥部位は正常部位に比べて光の通り易さが大きく異なる。したがって、ハニカムフィルタの一端面に光を照射し、ハニカムフィルタの内部を通過させ他端面から光を出射させると、他端面における欠陥部位に面する部分からの出射光の輝度が他の部分よりも大きく異なることとなる。従って、ハニカムフィルタの欠陥の有無や場所を迅速に検出することができる。

さらに、第一検査工程（装置）及び第二検査工程（装置）とは異なる第三検査工程（装置）を有することにより、さらに、最終的に得られるハニカムフィルタの欠陥の有無をより高い精度で検出できる。

また、前記第三検査工程は、さらに、前記二次元分布に基づいて前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断すること、及び、

欠陥を有さないと判断されたハニカムフィルタを、欠陥を有すると判断されたハニカムフィルタとは別工程に供給すること、を有することが好ましい。

また、前記第一検査工程（装置）は、さらに、前記屈折率の分布に基づいて前記ハニカムフィルタのグリーンの欠陥の有無を判断すること（手段）、及び、

欠陥を有さないと判断されたグリーンを前記焼成工程（装置）に供給すること（手段）、を有することが好ましい。

また、前記第一検査工程（装置）では、前記屈折率の分布を、シャドウグラフ法、マッハツェンダー法、及び、シュリーレン法のいずれかにより取得することが好ましい。

また、前記第一検査工程（装置）では、前記複数の流路の他端上の雰囲気ガスの密度を０℃、１ａｔｍにおいて１とした場合に、前記圧力を印加するためのガスの密度が０℃、１ａｔｍにおいて０．１〜０．９、又は、１．１〜５．０であることが好ましい。

また、前記第一検査工程（装置）では、前記複数の流路の他端上の雰囲気ガスとは異なる組成のガスにより前記複数の流路の一端に対して圧力を印加することが好ましい。

また、前記第一検査工程（装置）では、前記複数の流路の他端上の雰囲気ガスとは異なる温度のガスにより前記複数の流路の一端に対して圧力を印加することが好ましい。

また、前記第一検査工程（装置）では、前記屈折率の分布を、前記複数の流路の軸線と直交する２方向からそれぞれ取得することが好ましい。

また、前記グリーンは、無機化合物源と、バインダと、を含むことが好ましい。

また、前記第二検査工程（装置）では、水とドライアイスとの混合により前記粒子を生成することや、２流体ノズルにより前記粒子を生成することが好ましい。

また、前記ハニカムフィルタの隔壁は多孔質であることが好ましい。

本発明によれば、欠陥の検出精度をより向上できる、ハニカムフィルタの製造方法、及び、ハニカムフィルタの製造システムを提供される。

図１は、本実施形態に係るハニカムフィルタ製造システムの概略構成図である。 図２の（ａ）は検査対象となるハニカムフィルタ１００Ｆ及びそのグリーン１００の斜視図、図２の（ｂ）は（ａ）のＩＩｂ−ＩＩｂ矢視図である。 図３は、グリーン１００の欠陥を検査する第一検査装置４００の概略断面図である。 図４は、図３の上面図である。 図５の（ａ）,（ｂ）は、それぞれシュリーレン部３００Ａ，３００Ｂのカメラによって撮影された像３１０Ａ，３１０Ｂの模式図である。 図６は、ハニカムフィルタ１００Ｆの欠陥を検査する第二検査装置５００の概略断面図である。 図７は、図６の第二検査装置５００のハニカムフィルタ１００Ｆ周りの上面図である。 図８は、ハニカムフィルタ１００Ｆの欠陥を検査する第三検査装置６００の概略断面図である。 図９は、図８の第三検査装置６００のハニカムフィルタ１００Ｆ周りの上面図である。

図面を参照して、発明の実施形態について説明する。図１に示すように、本実施形態にかかるハニカムフィルタの製造システム１０００は、第一検査工程を行う第一検査装置４００、焼成工程を行う焼成装置８００、第二検査工程を行う第二検査装置５００、及び、第三検査工程を行う第三検査装置６００を備える。

（第一検査装置４００）
第一検査装置４００は、ハニカムフィルタの未焼成体であるグリーン１００の欠陥の有無を検査する装置であり、主として、圧力印加部材２００、シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂ、欠陥判断部４０２、及び、欠陥のないグリーンを焼成工程に送り出す選択供給部４０４を備えている。

まず、ハニカムフィルタのグリーン１００について説明する。グリーン１００は、図２の（ａ）及び（ｂ）に示すように、互いに平行に伸びる複数の流路１１０を形成する隔壁１１２、及び、複数の流路１１０の内の一部の一端（図２の（ｂ）の左端）、及び、複数の流路１１０の内の残部の他端（図２の（ｂ）の右端）を閉鎖する封口部１１４を有する円柱体である。

グリーン１００の流路１１０が延びる方向の長さは特に限定されないが、例えば、４０〜３５０ｍｍとすることができる。また、グリーン１００の外径も特に限定されないが、例えば、１００〜３２０ｍｍとすることできる。流路１１０の断面のサイズは、例えば、正方形の場合一辺０．８〜２．５ｍｍとすることができる。隔壁１１２の厚みは、０．０５〜０．５ｍｍとすることができる。

グリーン１００は、後で焼成することにより多孔性セラミクスとなるグリーン（未焼成体）であり、セラミクス原料を含む非多孔性の材料である。セラミクスは特に限定されないが、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、コーディエライト、ガラス、チタン酸アルミニウム等の酸化物、シリコンカーバイド、窒化珪素、金属等が挙げられる。なお、チタン酸アルミニウムは、さらに、マグネシウム及び／又はケイ素を含むことができる。

グリーン１００は、好ましくは、セラミクス原料である無機化合物源粉末、及び、メチルセルロース等の有機バインダ、及び、必要に応じて添加される添加剤を含む。

例えば、セラミクスがチタン酸アルミニウムの場合、無機化合物源粉末は、αアルミナ粉等のアルミニウム源粉末、及び、アナターゼ型やルチル型のチタニア粉末等のチタニウム源粉末を含み、必要に応じて、さらに、マグネシア粉末やマグネシアスピネル粉末等のマグネシウム源粉末及び／又は、酸化ケイ素粉末やガラスフリット等のケイ素源粉末を含むことができる。

有機バインダとしては、メチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシアルキルメチルセルロース、ナトリウムカルボキシルメチルセルロースなどのセルロース類；ポリビニルアルコールなどのアルコール類；リグニンスルホン酸塩を例示できる。

添加物としては、例えば、造孔剤、潤滑剤および可塑剤、分散剤、溶媒が挙げられる。

造孔剤としては、グラファイト等の炭素材；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメタクリル酸メチル等の樹脂類；でんぷん、ナッツ殻、クルミ殻、コーンなどの植物材料；氷；およびドライアイス等などが挙げられる。

潤滑剤および可塑剤としては、グリセリンなどのアルコール類；カプリル酸、ラウリン酸、パルミチン酸、アラキジン酸、オレイン酸、ステアリン酸などの高級脂肪酸；ステアリン酸Ａｌなどのステアリン酸金属塩などが挙げられる。

分散剤としては、たとえば、硝酸、塩酸、硫酸などの無機酸；シュウ酸、クエン酸、酢酸、リンゴ酸、乳酸などの有機酸；メタノール、エタノール、プロパノールなどのアルコール類；ポリカルボン酸アンモニウム、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルなどの界面活性剤などが挙げられる。

溶媒としては、たとえば、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノールなどのアルコール類；プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、エチレングリコールなどのグリコール類；および水などを用いることができる。

上述のように、グリーン１００の複数の流路１１０のうちの一部の左端が封口部１１４により封口され、グリーン１００の複数の流路１１０のうちの残部の右端が封口部１１４により封口されている。封口部１１４としては、グリーン１００と同様の、焼成することによりセラミクスとなる材料を用いることができる。上述の「複数の流路１１０のうちの一部」と「複数の流路１１０のうちの残部」とは、好ましくは、図２の（ａ）に示すように、端面側から見て行列状に配列された複数の流路の内の、縦方向及び横方向それぞれ１つおきに選択された流路の組合せである。

このようなグリーン１００は例えば以下のようにして製造することができる。

まず、無機化合物源粉末と、有機バインダと、溶媒と、必要に応じて添加される添加物を用意する。そして、これらを混練機等により混合して原料混合物を得、得られた原料混合物を隔壁の形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出し、所望の長さに切断後、公知の方法で乾燥することにより、グリーン１００を得ることができる。その後、公知の方法によって流路１１０の端部を封口すればよい。

続いて、図３及び図４を参照して、グリーン１００の欠陥を検査する第一検査装置４００について詳細に説明する。

この第一検査装置４００は、グリーン１００の複数の流路１１０の一端（図３の下端）にガス供給源２１０から供給されるガスによる圧力を印加するための圧力印加部材２００と、複数の流路１１０の他端（図３の上端）上のガス屈折率の分布を取得する取得部としてのシュリーレン部３００Ａ，３００Ｂと、スケール３６０Ａ，３６０Ｂと、シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂの結果に基づいてグリーンの欠陥の有無を判断する欠陥判断部４０２と、欠陥のないグリーンを焼成工程に供給する選択供給部４０４と、を備える。

圧力印加部材２００は、グリーン１００の軸方向（複数の流路１１０の軸方向）の一端部（図３では下端部）を外側から包囲してシールする筒状シール部２０１と、複数の流路１１０の下端１１０ｂと対向する部分に空間Ｖを形成する空間形成部２０２とを有する。

空間形成部２０２には、バルブＶ１を有するラインＬ１を介してガス供給源２１０が接続されている。

ガス供給源２１０のガスは、複数の流路１１０の上端１１０ｔの上の雰囲気ガスとは異なる屈折率のガスであれば特に限定されない。異なる屈折率とするためには、ガスの密度を変えればよい。ガス供給源２１０のガスの密度は、０℃、１ａｔｍにおける雰囲気ガスの密度（例えば空気）を１として、０℃、１ａｔｍにおいて０．１〜０．９、又は、１．１〜５．０であることが好ましい。

具体的には、例えば、ガス供給源２１０のガスとして、雰囲気ガスとは異なる組成のガスを用いればよい。例えば、検査の容易さから雰囲気ガスは空気であることが好ましく、雰囲気ガスが空気である場合には、ヘリウム、ネオン、窒素、アルゴン、キセノン、クリプトン、酸素、及び、二酸化炭素からなる群から選択されるいずれかのガス、又は、この群の内の２種以上の混合ガス（空気組成を除く）、又は、この群の内の１種以上と空気との混合ガスであることが好ましい。また、ガス供給源２１０のガスの温度は０〜３０℃であることが好ましい。

また、ガス供給源２１０のガスと雰囲気ガスとの組成が同じ場合であっても、ガス供給源２１０のガスの温度を、雰囲気ガスとは異なる温度とすることにより雰囲気ガス中に漏出した状態で密度差、すなわち屈折率差を与えることもできる。この場合、温度差は、１０〜５０℃とすることが好ましい。勿論組成、及び、温度の両方に差をつけてもよい。

図４に示すシュリーレン部３００Ａ，３００Ｂは、それぞれ、図３に示すようにグリーン１００の複数の流路１１０の上端１１０ｔ上のガス屈折率の分布を可視化して取得するものであり、光源部３０１、及び観測部３０２をそれぞれ備える。光源部３０１は、光源３４０、及び、光源３４０から出射する光を平行光にするコリメータレンズ３５０を備える。観測部３０２は、コリメータレンズ３５０から出射され、複数の流路１１０の上端１１０ｔ上を通過した光を収束させるコリメータレンズ３２０、収束した光の焦点位置に設けられたナイフエッジ３３０、及び、ナイフエッジ３３０通過後の光の像を撮影するカメラ３１０を備える。

本実施形態では、図４に示すように、第１のシュリーレン部３００Ａの光源部３０１及び観測部３０２は、複数の流路１１０が伸びるＺ方向に垂直な方向であるＸ方向に互いに離間しつつ、複数の流路１１０の上端１１０ｔの上の部分を間に挟むように配置されている。一方、第２のシュリーレン部３００Ｂの光源部３０１及び観測部３０２は、複数の流路１１０が伸びるＺ方向に垂直な方向であるＹ方向に互いに離間しつつ、複数の流路１１０の上端１１０ｔの上の部分を間に挟むように配置されている。これにより、複数の流路１１０の上端１１０ｔ上のガスの屈折率の分布を、複数の流路１１０の軸線であるＺ軸と直交する２方向（Ｘ方向及びＹ方向）からそれぞれ取得可能となっている。

図３及び図４に示すように、スケール３６０Ａは、シュリーレン部３００Ａが観察する視野内に存在するように、スケール３６０Ｂは、シュリーレン部３００Ｂが観察する視野内に存在するように、それぞれ複数の流路１１０の上端１１０ｔよりも上方かつ各シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂの光源部３０１寄りに配置されている。スケール３６０Ａ，３６０Ｂは、それぞれ、シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂの観測部３０２から見て、複数の流路１１０の中心軸に対応する位置にそれぞれマーク３６１を有する。

欠陥判断部４０２は、シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂのそれぞれのカメラ３１０が取得した画像データに基づいて、各グリーンの欠陥の有無を判断する。判定方法は特に限定されないが、例えば、画像の二値化等によりガスの漏れの有無を検出し、ガス漏れがなければ欠陥を有さないと判断でき、ガス漏れがあれば当該場所に欠陥を有すると判断できる。欠陥判断部４０２は、必要に応じて、この部分の座標を取得し、出力することもできる。欠陥判断部４０２の機能は、コンピュータ上で動くソフトウエアにより実現できる。

選択供給部４０４は、図１に示すように、欠陥判断部４０２が、欠陥を有さないと判断したグリーン１００を、矢印Ａにしたがって後述する焼成装置８００に供給する。一方、選択供給部４０４は、欠陥判断部４０２が欠陥を有すると判断したグリーン１００を、焼成工程以外の補修工程（矢印Ｂ）や粉砕工程（矢印Ｃ）に供給する。選択供給部４０４の構成は特に限定されないが、例えば、ロボットアーム等により欠陥を有さないと判断されたグリーンを保持して焼成装置８００に移送すればよい。

（第一検査方法）
続いて、上述の第一検査装置４００を使用したグリーン１００の第一検査方法について説明する。

ここでは、一例として、図３に示すように、グリーン１００の隔壁１１２には、欠陥として、上端が封口された流路１１０ｘと、下端が封口された流路１１０ｙとを連通させる孔ｈがあるものとする。ここで、図３及び図４に示すように、流路１１０ｘは、スケール３６０Ｂにおいて一番左側のマーク３６１の位置にあり、かつ、スケール３６０Ａにおいて下から３番目のマーク３６１の位置にある。一方、流路１１０ｙは、スケール３６０Ｂにおいて左から２番目のマーク３６１の位置にあり、スケール３６０Ａにおいて下から３番目のマーク３６１の位置にあるものとする。

まず、圧力印加部材２００をグリーン１００の下部に装着する。そして、バルブＶ１を開放して、例えば、アルゴンガスにより、グリーン１００の複数の流路１１０の下端にガスによる圧力を印加する（圧力を印加する工程）。圧力は特に限定されないが、例えば、大気圧に対する差圧として、０．０１〜１ＭＰａとすることができる。そして、複数の流路１１０の上端１１０ｔの上には、雰囲気ガスの流れが殆ど無い状態、例えば、流速１ｍ／ｓ以下としておくことが好ましい。また、実験の容易さから、雰囲気ガスの温度は０〜３０℃であることが好ましい。

このように圧力を印加すると、図３に示すような孔ｈが存在する場合、流路１１０ｘ、孔ｈ、及び、流路１１０ｙによって複数の流路１１０の上端１１０ｔと下端１１０ｂとを結ぶ流路が形成されるため、当該欠陥がある流路１１０ｙの上端から、加圧に使用したガスＧが流出する。封口部１１４が欠落している場合や、封口部１１４と流路１１０とのあいだに隙間が生じている等の欠陥がある場合も同様である。これに対して、グリーン１００に、上述のような欠陥が無い場合には、複数の流路１１０の下端に圧力が印加されても、複数の流路１１０の上端１１０ｔを越えてガスが流れ出ることはできず、複数の流路１１０の上端１１０ｔ上にガスは流出しない。

そして、ガスＧの屈折率が、複数の流路１１０の上端上の雰囲気ガスの屈折率と異なるため、欠陥がある場合には流路１１０ｙの上端上では屈折率のムラが生ずる。

そして、この屈折率のムラを、シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂによってそれぞれ明暗の差等として取得する（屈折率の分布を取得する工程）。例えば、シュリーレン部３００Ａ，３００Ｂのカメラによって撮影される像３１０Ａ，３１０Ｂの模式図をそれぞれ図５の（ａ），（ｂ）に示す。

そして、欠陥判断部４０２は、像３１０Ａでは、スケール３６０Ａの左から３番目のマーク３６１の上に屈折率のムラに基づく濃淡がある部分Ｄが見え、像３１０Ｂでは、スケール３６０Ｂの左から２番目のマーク３６１の上に屈折率のムラに基づく濃淡がある部分Ｄが見えることから、座標（３、２）に欠陥があるというデータを得ることができる。

また、欠陥判断部４０２は、このような部分Ｄがあれば検査対象グリーンが欠陥を有すると判断でき、部分Ｄがなければ検査対象グリーンが欠陥を有さないと判断できる。なお、欠陥判断部４０２は、像３１０Ａ，３１０Ｂに基づいて、公知のコンピュータを用いた画像処理方法によって部分Ｄの有無や位置を判断することができるが、人手によって部分Ｄの有無や位置を判断することも可能である。

そして、選択供給部４０４は、欠陥を有さないグリーンを図１の矢印Ａのように焼成装置８００に供給する。一方、選択供給部４０４は、欠陥を有するグリーンを、欠陥の程度に応じて、矢印Ｂのように、欠陥部分を補修する工程に供給したり、矢印Ｃのように、粉砕してグリーンの原料にリサイクルする工程等の、焼成工程以外の工程に供給することができる。

第一検査装置及び方法によれば、流路の欠陥の有無に応じて、当該流路１１０ｙの上に屈折率のムラが生じ、これを可視化により取得することにより欠陥の有無や場所を容易に検出できる。

また、本実施形態では、複数の流路１１０の上端１１０ｔ上のガスの屈折率の分布を、複数の流路１１０の軸線（Ｚ軸）と直交する２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）からシュリーレン部３００Ａ，３００Ｂによってそれぞれ可視化するので、屈折率にムラのある場所について二次元的な情報（座標）が得られ、欠陥のある流路の場所の特定が容易である。また、スケール３６０Ａ，３６０Ｂを備えることにより、より一層、欠陥のある流路の特定が容易となっている。

また、ガス中に、ガス以外の微粒子（例えば、グリコール系微粒子や、水蒸気ミスト）を添加する必要が無いので、検査後に微粒子を除去する必要がなく簡便である。

そして、欠陥の有無を判断し、欠陥を有さないグリーンを選択的に後述する焼成工程に供給するので、欠陥のあるグリーンを焼成してしまう無駄が省けるとともに、欠陥を有するグリーンを欠陥の程度に応じて適切な後工程に移送することができる。

第一検査は、上記実施形態に限定されずさまざまな変形態様が可能である。

例えば、上記実施形態では、屈折率の分布の取得方法として、シュリーレン法を採用しているがガスの屈折率差を取得できるものであればこれに限定されず、例えば、シャドウグラフ法やマッハツェンダー法を採用してもよい。

また、上記実施形態では、２つのシュリーレン部３００Ａ、３００Ｂを有するが、いずれかのシュリーレン部のみを有していても欠陥の有無の判定は可能である。

また、上記実施形態では、雰囲気ガスが空気であるが、他のガスを雰囲気ガスとしてもよいことは言うまでも無い。

（焼成装置及び焼成工程）
続いて、図１に示すように、良品と判定されたグリーン１００を焼成装置８００において焼成し、ハニカムフィルタ１００Ｆを得る。焼成装置や方法は特に限定されず、グリーンの組成等に応じて公知の種々の焼成炉による焼成法を用いることができる。

得られるハニカムフィルタ１００Ｆの形状は、隔壁１１２が多孔質となる以外は、概ねグリーン１００と同様である。なお、封口部１１４も焼成により多孔質と成ることができる。焼成されたハニカムフィルタ１００Ｆにおいて、図２の（ｂ）に示すように、流路１１０の左端から供給されたガスは、多孔質の隔壁１１２を通過して隣の流路１１０に到達し、流路１１０の右端から排出される。このとき、流入したガス中の粒子が、隔壁１１２によって除去されてフィルタとして機能する。

（第二検査装置）
続いて、図１、図６及び図７を参照して、ハニカムフィルタ１００Ｆの第二検査装置５００について説明する。

第二検査装置５００は、焼成装置８００により焼成されたハニカムフィルタ１００Ｆの欠陥を検査する装置である。第二検査装置５００は、粒子Ｐを含むガスをハニカムフィルタ１００Ｆの下端面１００ｂに供給する供給部５０１と、ハニカムフィルタ１００Ｆの上端面１００ｔから排出されるガス中の粒子Ｐの濃度分布を取得する粒子濃度検出部５５０と、濃度分布に基づいて欠陥の有無を判断する欠陥判断部５０２と、欠陥のないハニカムフィルタを第三検査工程に送り出す選択供給部５０４と、を主として備える。

図６に示すように、供給部５０１は、ミスト（粒子）Ｐを含むガスを生成する２流体ノズル（粒子生成器）２０と、２流体ノズル２０により生成されたミストを含むガスを移送する配管３０、配管３０に接続されてミストを含むガス及び他のガスを混合して混合ガスを提供する混合器４０、混合器４０から供給される混合ガスをハニカムフィルタ１００Ｆの複数の流路１１０の一端（図６の下端）に導くミスト供給路５６と、を備える。

２流体ノズル２０は、タンク１０から供給される液体を、ポンプ１２を介して受け入れると共に、ガス源１４から供給されるガス、例えば、空気をバルブＶ１及びラインＬ２を介して受入、ミストを含むガスを生成する。２流体ノズルの形態は特に限定されない。また、ミストの径は特に限定されないが、例えば、０．１〜１０μｍ程度とすることができる。

液体としては、検査後の除去の容易さを考えると、揮発性の液体が好ましく、特に、水が好ましい。

配管３０は、２流体ノズル２０によって生成されたミストを含むガスを混合器４０に供給する。配管３０の径は特に限定されないが、２０〜１００ｍｍとすることができる。また、配管３０の長さは特に限定されないが、２流体ノズル２０によって生成されたミストが移動する距離が１０〜１０００ｍｍであることが好ましい。

混合器４０は、配管３０から供給されるミスト及び他のガスを十分混合するためのものである。混合器４０の形状は特に限定されないが、例えば、容器内に、他のガスを高い速度（例えば、１〜１０ｍ／ｓ）で流入させる形式のものや、容器内に攪拌翼を有するもの、スタティックミキサーのように容器内に設けた内装物により流れの乱れを起こすものなど種々のものが利用できる。

混合器４０には、ガス源２４から、ガス（例えば、空気）を、バルブＶ２を介して供給する。混合後の混合ガス中のミスト濃度は、０．０００１〜０．０１ｇ／Ｌが好ましい。

ミスト供給路５６は、混合器４０に接続された配管５４、配管５４の先端に接続されたフィルタ接続部５３を有している。フィルタ接続部５３は、ハニカムフィルタ１００Ｆの軸方向（複数の流路１１０の軸方向）の一端部（図６では下端部）を外側から包囲してシールする筒状シール部５１と、複数の流路１１０の下端１１０ｂと対向する部分に逆円錐状の空間Ｖを形成する空間形成部５２２とを有する。ハニカムフィルタ１００Ｆに対して供給するガスの流量は特に限定されないが、例えば、１００〜５００Ｌ／ｍｉｎとすることができる。

ガス供給源１４，２４のガスは特に限定されないが、経済性の点で、空気が好ましい。ガス供給源１４，２４のガスは互いに同一でもよいが異なっていてもよい。

また、ガス供給源１４，２４のガスの温度は０〜５０℃であることが好ましく、０〜３０℃であることがより好ましい。

図６に示す粒子濃度取得部５５０は、レーザーシートＬＳを発生させるレーザ光源５１０、レーザーシートＬＳを撮影するカメラ５２０、カメラ５２０が取得する視野内に入る位置に設けられるスケール５６０Ａ，５６０Ｂを備える。

本実施形態では、レーザーシートＬＳは、図６に示すように、ハニカムフィルタ１００Ｆの複数の流路１１０が伸びるＺ方向に垂直な方向であるＸＹ平面に平行に照射され、カメラ５２０は、レーザーシートＬＳに対して垂直な方向（Ｚ方向）から、レーザーシートＬＳの内のハニカムフィルタ１００Ｆの上端面１００ｔとの対向部を撮影する。

カメラ５２０が撮影する画像の視野ＦＶを図７に示す。視野ＦＶ内には、スケール５６０Ａ、５６０Ｂが配置されている。スケール５６０Ａ，５６０Ｂは、それぞれ、Ｙ方向、Ｘ方向に延びており、それぞれ、ハニカムフィルタ１００Ｆの複数の流路１１０の中心軸に対応する位置にマーク５６１を有する。

図６に戻って、欠陥判断部５０２は、カメラ５２０が撮影した画像を画像解析し、粒子が排出している部分を取得する。例えば、画像から所定のしきい値に比べて明るい部分を抽出し、この部分を粒子が排出している部分とすればよい。そして、粒子が排出している部分があれば、ハニカムフィルタ１００Ｆの当該部分に欠陥があり、粒子が排出されている部分が無ければ、ハニカムフィルタ１００Ｆに欠陥が無いと判断できる。欠陥判断部５０２は、必要に応じて、この部分の座標を取得し、出力することもできる。欠陥判断部５０２の機能は、コンピュータ上で動くソフトウエアにより実現できる。

選択供給部５０４は、欠陥判断部５０２が、欠陥を有さないと判断したハニカムフィルタ１００Ｆを、図１の矢印Ａに従って、後述する第三検査工程に供給する。また、選択供給部５０４は、欠陥判断部５０２が、欠陥を有すると判断したハニカムフィルタ１００Ｆを、第三検査工程以外の補修工程（矢印Ｂ）や粉砕工程（矢印Ｃ）に供給する。選択供給部５０４の構成は特に限定されないが、例えば、ロボットアーム等により欠陥を有さないと判断されたハニカムフィルタ１００Ｆを保持して次工程に移送すればよい。

（第二検査方法）
続いて、上述の第二検査装置５００を使用したハニカムフィルタ１００Ｆの第二検査方法について説明する。

ここでは、一例として、図６に示すように、ハニカムフィルタ１００Ｆの隔壁１１２には、欠陥として、上端が封口された流路１１０ｘと、下端が封口された流路１１０ｙとを連通させる孔ｈがあるものとする。ここで、図７に示すように、流路１１０ｘは、スケール５６０Ｂにおいて一番左側のマーク５６１の位置にあり、かつ、スケール５６０Ａにおいて下から３番目のマーク５６１の位置にある。一方、流路１１０ｙは、スケール５６０Ｂにおいて左から２番目のマーク５６１の位置にあり、スケール５６０Ａにおいて下から３番目のマーク５６１の位置にあるものとする。

図６に戻って、まず、フィルタ接続部５３をハニカムフィルタ１００Ｆの下部に装着する。そして、バルブＶ１を開放すると共に、ポンプＰ１２を駆動して、２流体ノズル２０から、ミストを含むガスを発生させる（粒子を生成する工程）。発生したミストを含むガスは、配管３０を介して混合器４０に供給される（移送工程）。続いて、バルブＶ２を調節して、ガス源２４からのガスを、ラインＬ３を介して混合器４０に供給する。これにより、混合器４０内で、配管３０からのミストを含むガスと、ラインＬ３からのガスとが混合し、ミストの濃度の均一性の高い混合ガスが得られる（混合工程）。そして、この混合ガスは、ミスト供給路５６を介してハニカムフィルタ１００Ｆの下端面１００ｂに供給される（供給工程）。これにより、ハニカムフィルタ１００Ｆの上端面１００ｔからガスが流出する。このとき、ハニカムフィルタ１００Ｆの上端面１００ｔの上においては、雰囲気ガスの流れが殆ど無い状態、例えば、流速１ｍ／ｓ以下としておくことが好ましい。また、実験の容易さから、雰囲気ガスの温度は０〜３０℃であることが好ましい。雰囲気ガスは空気であることが好ましい。

そして、流路１１０間に図６に示すような孔ｈが存在する場合、流路１１０ｘ、孔ｈ、及び、流路１１０ｙによって複数の流路１１０の上端１１０ｔと下端１１０ｂとを結ぶ流路が形成されるため、矢印Ｇに示すように、当該欠陥がある流路１１０ｙの上端から、ミストを含む混合ガスが他の流路１１０に比べて高い流量や流速で集中的に流出する。封口部１１４が欠落している場合や、封口部１１４と流路１１０との間に隙間が生じている等の欠陥がある場合も同様にミストを含む混合ガスが集中的に流出する。したがって、このような流路１１０ｙの上方では、他の部分と比べて、ミストの濃度が相対的に高くなる。

そして、ハニカムフィルタ１００Ｆの上端から流出するガスにミストの濃度の不均一がある場合、この濃度の高い部分がレーザーシートＬＳを通過する際にレーザ光を強く散乱し、カメラ５２０が撮影する画像において相対的に明るい部分となって現れる。そして、欠陥判断部５０２は、この明るい部分の有無により、粒子の濃度のムラを検出できる（粒子濃度分布取得工程）。

例えば、図７に示す画像の視野ＦＶにおいて、例えば、スケール５６０Ａの下から３番目のマーク５６１の上でかつ、スケール５６０Ｂの左から２番目のマーク５６１の上に明るい点が生じた場合には、座標（３、２）というデータを得ることができる。

また、流路１１０間を連通する等の欠陥が無い場合には、図６の矢印Ｈに示すように、混合ガスは多孔体である隔壁１１２をそれぞれ通過して上端出口から流出する。この際、混合ガス中のミストは、ミストの径や隔壁１１２の空孔のサイズ等に応じて、全部捕集されたり、一部が捕集されたり、まったく捕集されない場合があるが、いずれにしても、各流路１１０の上端から流出するガスの流速や流量は互いにほぼ均一であり、したがって、流路１１０の上端１１０ｔの上でミストの濃度の不均一は起こりにくい。

そして、欠陥判断部５０２は、濃度のムラがあれば欠陥を有するハニカムフィルタと判断でき、濃度のムラがなければ欠陥を有さないハニカムフィルタであると判断できる。なお、公知の画像処理方法によって画像の濃度のムラの有無や位置を判断してもよいが、人手によって画像の濃度のムラの有無や位置を判断してもよい。

そして、選択供給部５０４は、欠陥を有さないハニカムフィルタ１００Ｆを図１の矢印Ａのように第三検査装置６００に供給する。一方、選択供給部５０４は、欠陥を有するハニカムフィルタ１００Ｆを、欠陥の程度に応じて、矢印Ｂのように、欠陥部分を補修する工程に供給したり、矢印Ｃのように、粉砕してグリーンの原料にリサイクルする工程に供給したりするなど、矢印Ａ以外の工程に供給することができる。

第二検査方法及び装置によれば、流路１１０から流出するガス中の粒子の濃度分布を取得することにより、流路の欠陥の有無や場所を容易に検出できる。

また、本実施形態では、ミストを含むガスを、配管３０を介して混合器４０に供給し、その後混合器４０内において他のガスと混合するので、混合器４０内でミストを発生させる場合に比べて、ガス中でのミストの混合を十分に行ないやすく、ハニカムフィルタ１００Ｆに供給されるガス中のミストの濃度をより均一化できる。

なお、本装置からは、ミストを含むガスが排出されるため、これらのガスを捕集して、外部に排気する排気手段を設けることが好ましい。

本第二検査は上記実施形態に限定されずさまざまな変形態様が可能である。

例えば、上記実施形態では、ミストの生成方法として２流体ノズルを採用しているがこれに限られず、例えば、他のノズルを使用してもよいし、また、水とドライアイスとを混合することによりミストを生成してもよく、グリコール系アルコール（例えば、プロピレングリコール）のミストを使用してもよい。また、上記実施形態では、粒子としてミスト、すなわち、液体の粒子を採用しているがこれに限定されず、カーボンブラック等の固体粒子を用いても実施は可能である。

また、レーザーシートの方向や、カメラの方向も、上記実施形態の態様に限定されるものではない。

また、上記実施形態では、粒子の濃度分布の取得方法として、粒子に光をあてることにより生ずる散乱光を取得しているが、これに限られず、例えば、粒子に超音波を当てることにより生ずる反射波等を取得してもよい。

また、上記実施形態では、雰囲気ガスが空気であるが、他のガスを雰囲気ガスとしてもよいことは言うまでも無い。

また、供給部５０１は、比較的均一に粒子を含むガスをハニカムフィルタに供給できるのであれば、混合器４０を有さなくても本発明の実施は可能である。

（第三検査装置）
続いて、図１、図８及び図９を参照して、ハニカムフィルタ１００Ｆの第三検査装置６００について説明する。

第三検査装置６００は、主として、光源６１４、カメラ６３０、濃度分布に基づいて欠陥の有無を判断する欠陥判断部６０２、及び、欠陥のないハニカムフィルタを次工程に送り出す選択供給部６０４を備える。

光源６１４は特に限定されず、点光源、線光源、面光源等任意に選択できる。例えば、電球（ハロゲンランプなど）、放電ランプ（蛍光灯、水銀ランプ、メタルハライドランプなど）、レーザ、ＬＥＤ、有機ＥＬ素子等が挙げられる。光源６１４は、単数でも複数でもよい。光源６１４が出射する光は、単色光でもよいが、白色光が好ましい。また、光源６１４が出射する光は、３８０〜７５０ｎｍの範囲の光を含むことが好ましく、４５０〜６５０ｎｍの範囲の光を含むことがより好ましく、５００〜６００ｎｍの範囲の光を含むことがより一層好ましい。

図８に示すように、光源６１４は、好ましくは、開口６１２ａを有する遮光容器６１２内に収容されている。開口６１２ａには光を出射可能な出射窓６１６が設けられていることが好ましい。光源６１４が、ハニカムフィルタ１００Ｆの端面を照らす明るさは特に限定されないが、１０００〜１０万ｌｘが好ましく、５０００〜１０万ｌｘがより好ましく、１万〜５万ｌｘがより一層好ましい。

出射窓６１６は、光源６１４からの光をそのまま通過させる透明平板であることもできるが、光源６１４からの光を拡散させる機能を有することができる。特に、光源６１４が、有機ＥＬ素子のような面光源以外の場合には、出射窓６１６は、光拡散機能を有することが好ましい。光拡散機能は、窓の材料中あるいは窓の表面に微粒子を分散させることや、窓の表面及び／又は裏面に凹凸を設けることにより付与できる。出射窓６１６の材料としては、ガラス、樹脂等が挙げられる。

ハニカムフィルタ１００Ｆは、ハニカムフィルタ１００Ｆの一方面（以下、下端面と呼ぶ）１００ｂが光源６１４と対向する用に配置される。好ましくは、ハニカムフィルタ１００Ｆは、その下端面１００ｂが、遮光容器６１２の開口６１２ａと対向するように保持される。より好ましくは、図３に示すように、ハニカムフィルタ１００Ｆの下端面１００ｂの周縁が、遮光容器６１２の開口６１２ａの縁と接触するように、ハニカムフィルタ１００Ｆを遮光容器６１２に載置することができる。光の漏れの抑制の観点から、ハニカムフィルタ１００Ｆの下端面１００ｂの縁が、遮光容器６１２の開口６１２ａの縁と接触するようにハニカムフィルタ１００Ｆを配置することが好ましい。なお、図示しないハニカムフィルタ保持具を用いて、ハニカムフィルタ１００Ｆを保持してもよい。

なお、光源６１４として、有機ＥＬ素子のような面光源を使用する場合には、有機ＥＬ素子上に直接下端面１００ｂを載置してもよい。

カメラ６３０は、光源６１４に対向して配置され、ハニカムフィルタ１００Ｆの他端面（以下、上端面と呼ぶ）１００ｔから出射する光の輝度（例えば、単位はｃｄ／ｍ^２）の二次元分布を取得する。カメラ６３０としては、二次元輝度分布を測定できる物であれば特に限定されないが、二次元輝度計と呼ばれるものを好適に使用できる。二次元輝度計は、例えば以下のようにして輝度の二次元分布を取得する。すなわち、他端面１００ｔを複数の行列状の領域（画素）に分けたうえで、ＣＩＥ１９３１の等色関数に準拠したフィルタ等を用いて、それぞれの領域から出射された光についてＣＩＥ１９３１に規定されるＸＹＺの３刺激値を測定し、Ｙに基づいて各領域の輝度を求めることができる。なお、輝度に加えてさらに、各領域毎に３刺激値に基づいて色度（ｘ、ｙ）を得ることができ、これにより、より高い精度での欠陥位置の検出が可能になる。

欠陥判断部６０２は、カメラ６３０により得られた輝度の二次元分布に基づいて、例えば、輝度が所定の閾値よりも低い領域及び／又は高い領域を欠陥場所として抽出する。カメラ６３０がさらに各領域の色度の情報を得た場合には、さらに各領域の色度に基づいて、欠陥場所を抽出してもよい。また、欠陥判断部６４０は、必要に応じて、抽出した領域の座標を取得し外部に出力することができる。さらに、欠陥判断部６４０は、当該領域があれば、ハニカムフィルタ１００Ｆの当該場所に欠陥があり、当該領域が無ければ、ハニカムフィルタ１００Ｆに欠陥が無いと判断する。欠陥判断部５０２の機能は、コンピュータ上で動くソフトウエアにより実現できる。なお、欠陥判断部６４０が行う欠陥場所の抽出は、人が行ってもよい。

選択供給部６０４は、欠陥判断部６０２が、欠陥を有さないと判断したハニカムフィルタ１００Ｆを、後述する後工程、例えば、他の検査や梱包等の工程に供給する。また、選択供給部６０４は、欠陥判断部６０２が欠陥を有すると判断したハニカムフィルタ１００Ｆを、補修工程や粉砕工程等の上述とは異なる工程に供給する。選択供給部６０４の構成は特に限定されないが、例えば、ロボットアーム等により欠陥を有さないと判断されたハニカムフィルタ１００Ｆを保持して次工程に移送すればよい。

（第三検査方法）
続いて、上述の第三検査装置６００を使用したハニカムフィルタ１００Ｆの第三検査方法の一例について説明する。

ここでは、一例として、図８に示すように、ハニカムフィルタ１００Ｆの隔壁１１２には、欠陥ｈがあり、周りの流路１１０に隔壁１１２の破片１１２ｈが入り込んでいるものとする。

まず、ハニカムフィルタ１００Ｆを、その下端面１００ｂが、光源６１４と対向するように、好ましくは、下端面１００ｂの周縁が、遮光容器６１２の開口６１２ａの縁と接触する用に、配置する。また、光源６１４を駆動して、ハニカムフィルタ１００Ｆの下端面１００ｂに、光を照射する。

下端面１００ｂから入射した光は、ハニカムフィルタ１００Ｆの内部を透過して、ハニカムフィルタ１００Ｆの上端面１００ｔから出射する。そして、カメラ６３０により、上端面１００ｔの画像、すなわち、上端面１００ｔから出射する光の輝度の二次元分布を取得する。図９の（ａ）の画像６３０Ａに示すように、流路１１０の隔壁１１２に欠陥がない場合には、ハニカムフィルタ１００Ｆの上端面１００ｔには光の輝度に特段のムラは見られない。これに対して、ハニカムフィルタ１００Ｆの隔壁１１２に、図８に示すような欠陥ｈが存在する場合、破片１１２ｈによって光の通過が妨げられるためか、上端面１００ｔにおける当該欠陥部分Ａやその近傍において、図９の（ｂ）の画像６３０Ｂに示すように、上端面１００ｔの光の輝度が周りよりもかなり弱くなる。そして、欠陥判断部６０２は、このような輝度のムラに基づいて欠陥の有無や、場所を検出することができる。なお、図９の画像では、網が濃いほど輝度が弱いことを示す。なお、必要に応じて、さらに、色度のムラに基づいてより高精度に欠陥の判定をしてもよい。

また、内部欠陥だけでなく、封口部１１４の不良も検出できる。例えば、ある流路１１０の両端にいずれも封口部１１４がない場合には、当該流路では光が強く透過するので当該流路が他の部分よりも明るくなる。また、ある流路１１０の両端にいずれも封口部１１４がある場合には、当該流路が他の部分よりも暗くなる。なお、画像に基づいて、人手によって濃度のムラの有無や位置を判断してもよいが、公知の画像処理方法によって、濃度のムラの有無や位置を判断してもよい。

そして、濃度のむらがあれば欠陥を有するハニカムフィルタと判断でき、濃度のムラがなければ欠陥を有さないハニカムフィルタであると判断できる。そして、選択供給部６０４は、欠陥を有さないハニカムフィルタ１００Ｆを図１の矢印Ａのように、他の検査や梱包等の工程に供給する。一方、欠陥を有するハニカムフィルタ１００Ｆは、欠陥の程度に応じて、矢印Ｂのように、欠陥部分を補修する工程に供給したり、矢印Ｃのように、粉砕してグリーンの原料にリサイクルする工程に供給したりするなど、矢印Ａとは異なる工程に供給することができる。

このように、第三検査方法及び装置によれば、ハニカムフィルタの一端面に光を照射し、他端面から出射する光の輝度の二次元分布を測定しているので、隔壁や封口部の欠陥の有無や場所を容易に検出できる。また、ハニカムフィルタ１００Ｆに粒子やガスを供給する必要がなく、検査を迅速に行えると共に、粒子の除去等の後処理も必要ない。

そして、上述のような本実施形態にかかるハニカムフィルタの製造方法及びシステム１０００によれば、第一検査工程（装置）と第二検査工程（装置）と第三検査工程（装置）とでは、検査方法が互いに異なるために、検出し易い欠陥と検出しにくい欠陥とが互いに異なる。したがって、最終的に得られるハニカムフィルタの欠陥の有無を高い精度で検出できる。

例えば、第一検査工程では、半径方向外周部の欠陥の検出精度が高い一方、半径方向中央部の欠陥の検出精度があまり高くない場合がある。また、第二検査工程では、半径方向中央部の欠陥の検出精度が高い一方、半径方向外周部の欠陥の検出精度があまり高くない場合がある。さらに、第三検査工程では、外観上の割れ、欠け、封口不足という欠陥の検出精度が高い一方、フィルタ内部の壁の割れ、穴開きという欠陥の検出精度があまり高くない場合がある。したがって、これらを組み合わせることにより互いの短所を補完して特に欠陥のないハニカムフィルタの製造が可能となる。

本発明は上記実施形態に限定されずさまざまな変形態様が可能である。

例えば、上記実施形態では、ハニカムフィルタ１００Ｆに対して、第二検査工程を先に行い、第三検査工程を後に行っているが、第三検査工程を先に行い、第二検査工程を後に行ってもよい。この場合は、第三検査工程で欠陥がないと判断されたフィルタを第二検査工程に供給し、第三検査工程で欠陥があると判断されたフィルタをそれ以外の工程に供給することができる。また、第二検査工程で欠陥がないと判断されたフィルタを他の検査や梱包等の後工程に供給し、第二検査工程で欠陥があると判断されたフィルタをそれ以外の工程に供給することができる。

また、第一検査工程と焼成工程との間、焼成工程と第二検査工程との間、第二検査工程と第三検査工程との間において、他の検査工程等が介在してもよい。

また、第三検査工程を行わなくても、第一検査工程、焼成工程、第二検査工程を行うことにより、欠陥の検出精度を高めることが可能である。

また、上記実施形態では、ハニカムフィルタ１００Ｆの流路１１０が上下方向に配置されているが、水平方向等、いずれの方向を向いても実施可能である。

また、上記実施形態では、グリーン１００やハニカムフィルタ１００Ｆの流路１１０の断面形状は、略正方形であるがこれに限定されず、矩形、円形、楕円形、３角形、６角形、８角形等にすることができる。また、流路１１０には、径の異なるもの、断面形状の異なるものが混在してもよい。また、流路の配置も、図２では正方形配置であるが、これに限定されず、断面において流路の中心軸が正三角形の頂点に配置される正三角形配置、千鳥配置等にすることができる。さらに、グリーンハニカム成形体の外形も、円柱に限られず、例えば３角柱、４角柱、６角柱、８角柱等とすることができる。

２０…粒子生成器、３０…配管、４０…混合器、５３…フィルタ接続部、５６…供給路、１００…ハニカムフィルタのグリーン、１００Ｆ…ハニカムフィルタ、１００ｂ…ハニカムフィルタの下端面（他端面）、１００ｔ…ハニカムフィルタの上端面（一端面）、１１０…流路、１１０ｔ…流路の上端（一端）、１１０ｂ…流路の下端（他端）、１１２…隔壁、１１４…封口部、２００…圧力印加部材（圧力を印加する手段）、３００Ａ，３００Ｂ…シュリーレン部（取得する手段）、３６０…スケール、４００…第一検査装置、５００…第二検査装置、５０１…供給部（粒子を含むガスの供給手段）、５５０…検出部（粒子濃度検出手段）、５６０Ａ，Ｂ…スケール、６００…第三検査装置、６１４…光源、６３０…カメラ、１０００…製造システム、Ｐ…ミスト（粒子）。

Claims (15)

1. 互いに平行に伸びる複数の流路を形成する隔壁、及び、前記複数の流路の内の一部の一端及び前記複数の流路の内の残部の他端を閉鎖する封口部を有するハニカムフィルタの製造方法であって、
   前記ハニカムフィルタのグリーンの欠陥を検査する第一検査工程と、
   前記第一検査工程による検査後のグリーンを焼成してハニカムフィルタを得る焼成工程と、
   前記ハニカムフィルタの欠陥を検査する第二検査工程と、
   前記ハニカムフィルタの欠陥を検査する第三検査工程と、
   を備え、
   前記第一検査工程は、
   前記グリーンの前記複数の流路の一端に対してガスによる圧力を印加すること、及び、
   前記複数の流路の他端上のガス屈折率の分布を取得すること、を有し、
   前記第二検査工程は、
   粒子を含むガスを前記ハニカムフィルタの一端面に供給すること、及び、
   前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出すること、を有し、
   前記第三検査工程は、
   前記ハニカムフィルタの一端面に光を照射すること、及び、
   前記ハニカムフィルタの他端面から出射する光の輝度の二次元分布を取得すること、を有する、ハニカムフィルタの製造方法。
2. 前記第三検査工程は、さらに、前記ハニカムフィルタの一端面に光を照射する光源が開口を有する遮光容器内に収容されること、開口には光を出射可能な出射窓が設けられること、及び、前記ハニカムフィルタの一端面の周縁が前記遮光容器の前記開口の縁と接触するように前記ハニカムフィルタが前記遮光容器に配置されること、を有する、請求項１に記載のハニカムフィルタの製造方法。
3. 前記第三検査工程は、さらに、前記ハニカムフィルタの他端面から出射する光の色度の二次元分布を取得すること、を有する、請求項１又は２に記載のハニカムフィルタの製造方法。
4. 前記第一検査工程は、さらに、前記屈折率の分布に基づいて前記グリーンの欠陥の有無を判断すること、及び、
   欠陥を有さないと判断されたグリーンを前記焼成工程に供給し、欠陥を有すると判断されたグリーンを前記焼成工程以外の工程に供給すること、を有する請求項１〜３のいずれか１項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
5. 前記第二検査工程は、さらに、前記濃度分布に基づいて前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断すること、及び、
   欠陥を有さないと判断されたハニカムフィルタを、欠陥を有すると判断されたハニカムフィルタとは別工程に供給すること、を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
6. 前記第三検査工程は、さらに、前記二次元分布に基づいて前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断すること、及び、
   欠陥を有さないと判断されたハニカムフィルタを、欠陥を有すると判断されたハニカムフィルタとは別工程に供給すること、を有する請求項１〜５のいずれか１項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
7. 前記第一検査工程では、前記屈折率の分布を、シャドウグラフ法、マッハツェンダー法、及び、シュリーレン法のいずれかにより取得する請求項１〜６のいずれか一項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
8. 前記第一検査工程では、前記複数の流路の他端上の雰囲気ガスとは異なる組成のガスにより前記複数の流路の一端に対して圧力を印加する請求項１〜７のいずれか一項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
9. 前記第一検査工程では、前記複数の流路の他端上の雰囲気ガスとは異なる温度のガスにより前記複数の流路の一端に対して圧力を印加する請求項１〜８のいずれか一項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
10. 前記グリーンは、無機化合物源と、バインダと、を含む請求項１〜８のいずれか一項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
11. 前記第二検査工程では、水とドライアイスとの混合により、又は、２流体ノズルにより前記粒子を生成する請求項１〜１０のいずれか一項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
12. 前記ハニカムフィルタの隔壁は多孔質である請求項１〜１１のいずれか一項に記載のハニカムフィルタの製造方法。
13. 互いに平行に伸びる複数の流路を形成する隔壁、及び、前記複数の流路の内の一部の一端及び前記複数の流路の内の残部の他端を閉鎖する封口部を有するハニカムフィルタの製造システムであって、
    前記ハニカムフィルタのグリーンの欠陥を検査する第一検査装置と、
    前記検査後のグリーンを焼成してハニカムフィルタを得る焼成装置と、
    前記ハニカムフィルタの欠陥を検査する第二検査装置と、
    前記ハニカムフィルタの欠陥を検査する第三検査装置と、
    を備え、
    前記第一検査装置は、
    前記グリーンの前記複数の流路の一端に対してガスによる圧力を印加する手段、及び、
    前記複数の流路の他端上のガス屈折率の分布を取得する手段、を有し、
    前記第二検査装置は、
    粒子を含むガスを前記ハニカムフィルタの一端面に供給する手段、及び、
    前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出する手段、を有し、
    前記第三検査装置は、
    前記ハニカムフィルタの一端面に光を照射する手段、及び、
    前記ハニカムフィルタの他端面から出射する光の輝度の二次元分布を取得する手段、を有する、ハニカムフィルタの製造システム。
14. 前記第三検査装置は、さらに、
    前記ハニカムフィルタの一端面に光を照射する手段を収容し、開口を有する遮光容器、及び、
    前記開口に設けられた光を出射可能な出射窓、を有し、
    前記ハニカムフィルタの一端面の周縁が前記遮光容器の前記開口の縁と接触するように前記ハニカムフィルタが前記遮光容器に配置される、請求項１３記載のハニカムフィルタの製造システム。
15. 前記第三検査装置は、さらに、
    前記ハニカムフィルタの他端面から出射する光の色度の二次元分布を取得する手段、を有する、請求項１３又は１４記載のハニカムフィルタの製造システム。

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