JPWO2017061383A1 - ハニカムフィルタの検査方法、ハニカムフィルタの検査装置、及びハニカムフィルタの製造方法 - Google Patents

ハニカムフィルタの検査方法、ハニカムフィルタの検査装置、及びハニカムフィルタの製造方法 Download PDF

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Abstract

このハニカムフィルタの欠陥の検査方法は、粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに当該他端面に沿うように広がるレーザーシートが照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を異なる時刻に複数回取得する画像取得工程と、画像が取得される時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの前記画像において前記他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域が存在するか否かを検出する工程と、を備える。

Description

本発明は、ハニカムフィルタの検査方法等に関する。
従来より、ディーゼルパティキュレートフィルタとして用いられるハニカムフィルタの欠陥の検査方法が知られている。例えば、特許文献1には、粒子を含むガス流をハニカムフィルタの入口端面に供給し、このハニカムフィルタの出口端面から出るガス流にレーザを照射しながら出口端面を観察することが開示されている。ハニカムフィルタに不良部位があると、当該不良部位から粒子が漏れ、漏れた粒子がレーザ光を散乱するため、不良部位の有無及び位置を外部から確認できる。
特開2009−503508号公報
しかしながら、従来の方法では、検査精度が十分では無く、不良部位を有さないハニカムフィルタを不良であると判定することがあった。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、検査精度をより向上できるハニカムフィルタの欠陥の検査方法等を提供することを目的とする。
本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査方法は、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートが照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を異なる時刻に複数回取得する画像取得工程と、
画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの前記画像において、周りよりも明暗の異なる領域が前記他端面の同位置に存在するか否かを検出する工程と、を備える。
1つの画像内において他端面上に周りよりも明暗の異なる領域が観察される原因として、一端面から供給した粒子がフィルタ内を通り抜けて他端面から排出される際に、フィルタ内の欠陥部位の存在のためにその粒子がレーザ光を散乱した場合と、ハニカムフィルタ外を浮遊する異物粒子がたまたま他端面上に到達したり、又はハニカムフィルタ内に元々存在していた異物粒子がたまたまガス流れによりフィルタから離脱して他端面上に到達したりしてレーザ光を散乱した場合とがある。
本発明によれば、画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2枚の画像において前記他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域が存在するか否かを検出する。ハニカムフィルタ外を浮遊する異物粒子及びハニカムフィルタ内に元々存在していた異物粒子がたまたま他端面上に到達してレーザが散乱された場合、到達した異物粒子は通常50msの時間を隔てると別の場所に移動するため、50ms以上後の画像の同位置に周りよりも明暗の異なる領域が観察される可能性はほとんど無い。これに対して、フィルタの欠陥部位の存在により粒子がレーザ光を散乱している場合、通常は、50ms以上後でも同じ位置に該散乱が存在するため、50ms以上後の画像の同じ位置に周りよりも明暗の異なる領域が観察されることになる。したがって、画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2枚の画像において前記他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域があるか否かを検出することにより、浮遊する異物粒子及びハニカムフィルタ内に元々存在した異物粒子による誤検知を抑制して、高い精度でフィルタの欠陥部位の有無及びその位置を検知できる。
ここで、前記供給工程は、粒子を発生させる工程と、発生した前記粒子をガスと共に前記ハニカムフィルタの一端面までパイプで導く工程と、を含み、
前記パイプは、最も内径の小さな絞り部、前記絞り部よりも下流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな下流部、及び、前記絞り部よりも上流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな上流部を有し、
前記下流部の流路の長さをLとし、前記絞り部の内径をDとしたときに、L/D≧3を満たすことができる。
これによれば、粒子を含むガスを、内径Dの絞り部を通過させた後、3D以上の長さの下流部を通過させてからフィルタに供給するので、発生した粒子がパイプの径方向に良好に分散され、ハニカムフィルタに対して供給されるミストの濃度のフィルタ断面方向における均一性が高まり、より一層精度が向上する。
ここで、上記方法において前記粒子はミストであることができる。
これによれば、検査の後にハニカムフィルタから粒子を除去することが容易である。
また、前記供給工程では、超音波により生成したミスト、及び、二流体ノズルにより生成したミストの混合物を前記ハニカムフィルタの一端面に供給することができる。
これによれば、超音波により生成した相対的に粒径の小さいミストと、二流体ノズルにより生成した相対的に粒径の大きいミストとが混合されるため、欠陥部位から漏れ出るミストの散乱光を濃くすることができ、より一層検査の精度が向上する。
また、前記ハニカムフィルタの他端面の色は、黒色、又は、前記レーザ光の色と補色の関係にある色であることができる。
これによれば、画像における粒子による散乱光と、バックグラウンドのハニカムフィルタの他端面とのコントラストが高まるため、より検査精度が高まる。
本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査装置は、
粒子を含むガスを前記ハニカムフィルタの一端面に供給する供給部と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートを照射する光源と、
前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を異なる時刻で複数回取得するカメラと、
画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの前記画像において、周りよりも明暗の異なる領域が前記他端面の同位置に存在するか否かを検出する検出部と、を備える。
ここで、前記供給部は、前記粒子を発生する粒子発生部と、発生した前記粒子をガスと共に前記ハニカムフィルタの一端面まで導くパイプを有し、
前記パイプは、最も内径の小さな絞り部、前記絞り部よりも下流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな下流部、及び、前記絞り部よりも上流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな上流部を有し、
前記下流部の流路の長さをLとし、前記絞り部の内径をDとしたときに、L/D≧3を満たすことができる。
また、前記粒子はミストであることができる。
また、前記供給部は、超音波ミスト生成器、及び、二流体ノズルを備えることができる。
本発明に係るハニカムフィルタの製造方法は、上述の方法により、ハニカムフィルタの欠陥を検出する検出工程と、
前記検出工程において欠陥が検出されないハニカムフィルタを選別する選別工程と、を備える。
本発明によれば、検査精度をより向上できるハニカムフィルタの欠陥の検査方法等が提供される。
図1の(a)は検査対象となるハニカムフィルタ100の斜視図、図1の(b)は(a)のIb−Ib矢視図である。 図2は、ハニカムフィルタ100の欠陥の検査装置400の概略断面図である。 図3はカメラにより取得される画像の例であり、(a)は欠陥部位がある場合の時刻t1、t2、t3、t4における画像の模式図、(b)はフィルタ外を浮遊/フィルタ内に元々存在した異物粒子がたまたま他端面上に到達した場合の時刻t1、t2、t3、t4における画像の模式図である。
図面を参照して、発明の実施形態について説明する。まず、本実施形態で検査対象となるハニカムフィルタ100について説明する。このハニカムフィルタ100は、例えば、ディーゼルパティキュレートフィルタとして用いることのできるものである。
本実施形態において対象となるハニカムフィルタ100は、図1の(a)及び(b)に示すように、互いに平行に伸びる複数の流路110を形成する隔壁112、及び、複数の流路110の内の一部の一端(図1の(b)の左端)、及び、複数の流路110の内の残部の他端(図1の(b)の右端)を閉鎖する封口部114を有する円柱体である。
ハニカムフィルタ100の流路110が延びる方向の長さは特に限定されないが、例えば、40〜350mmとすることができる。また、ハニカムフィルタ100の外径も特に限定されないが、例えば、100〜320mmとすることできる。流路110の断面のサイズは、例えば、正方形の場合一辺0.8〜2.5mmとすることができる。隔壁112の厚みは、0.05〜0.5mmとすることができる。
ハニカムフィルタ100の隔壁112の材質は、多孔性セラミクス(焼成体)である。セラミクスは特に限定されないが、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、コージェエライト、ガラス、チタン酸アルミニウム等の酸化物、シリコンカーバイド、窒化珪素、金属等が挙げられる。なお、チタン酸アルミニウムは、さらに、マグネシウム及び/又はケイ素を含むことができる。
上述のように、ハニカムフィルタ100の複数の流路110のうちの一部の左端が封口部114により封口され、ハニカムフィルタ100の複数の流路110のうちの残部の右端が封口部114により封口されている。封口部114の材質としては、ハニカムフィルタ100と同様のセラミクスを用いることができる。上述の「複数の流路110のうちの一部」と「複数の流路110のうちの残部」とは、好ましくは、図1の(a)に示すように、端面側から見て行列状に配列された複数の流路の内の、縦方向及び横方向それぞれ1つおきに選択された流路の組合せである。
ハニカムフィルタ100の隔壁112は多孔質であり、図1の(b)に示すように、流路110の左端から供給されたガスは、隔壁112を通過して隣の流路110に到達し、流路110の右端から排出される。このとき、流入したガス中の粒子が、隔壁112によって除去されることにより、ハニカムフィルタ100はフィルタとして機能する。
このようなハニカムフィルタ100は例えば以下のようにして製造することができる。まず、無機化合物源粉末と、有機バインダと、溶媒と、必要に応じて添加される添加物を用意する。そして、これらを混練機等により混合して原料混合物を調製し、この原料混合物を隔壁の形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出し(押出工程)、所望の長さに切断後、公知の方法で乾燥することにより、グリーンハニカム成形体を得る。グリーンハニカム成形体の流路の端部を公知の方法によって封口材で封口し(封口工程)、その後、グリーンハニカム成形体を焼成してハニカムフィルタ100を得る(焼成工程)。あるいは、グリーンハニカム成形体の焼成を先に実施し、その後、公知の方法によって流路の端部を封口してハニカムフィルタ100を得てもよい。
<検査装置>
図2及び図3を参照して、ハニカムフィルタ100の検査装置について説明する。検査装置400は、ミスト(粒子)を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する粒子供給部150と、粒子可視化部200とを備える。
粒子供給部150は、主粒子発生部としての二流体ノズル20、二流体ノズル20で発生したミストをハニカムフィルタ100の下面(一端面)100bに導くパイプ50、及び、副粒子発生部としての超音波ミスト生成器60を備える。
二流体ノズル20は、液体源10から供給される液体をラインL1を介して受け入れると共に、ガス源14から供給されるガス、例えば、空気をラインL2を介して受け入れ、ミストを含むガスを生成する。二流体ノズルの形態は特に限定されない。また、ミストの径は特に限定されないが、例えば、5〜15μm程度とすることができる。
液体としては、検査後の除去の容易さを考えると、揮発性の液体が好ましく、特に、水が好ましい。
パイプ50は、二流体ノズル(粒子発生部)20で生成したミストを含むガスをハニカムフィルタ100の下面100bに導く。パイプ50は、最も内径の小さな絞り部50b、絞り部50bよりも下流側に接続されて絞り部50bよりも内径の大きな下流部50c、絞り部50bよりも上流側に接続されて絞り部50bよりも内径の大きな上流部50a、及び、ハニカムフィルタ100を保持する保持部50dを有する。二流体ノズル20は、上流部50a内でミストを含むガスを生成させる。
本実施形態では、上流部50aの最上流部側は複数の二流体ノズル20が収容された円筒形状を有し、それよりも下流側にあって絞り部50bに接続する部分は、流れ方向に沿って断面積が縮小するテーパー形状を有する。
下流部50cは、流れ方向に沿って断面積が拡大するテーパー形状を有する。保持部50dは筒状形状を有し、ハニカムフィルタの下端部を収容する。ハニカムフィルタ100の側面と、保持部50dの内面との隙間には、シール材80が配置され、粒子を含むガスの漏れが防がれる。シール材80の例は、中空ゴムチューブであり、チューブ内部への空気の出し入れによりシール状態、非シール状態を切り替えることができる。
本実施形態では、下流部50cの流路の長さ、即ち、絞り部50bからハニカムフィルタの下面(一端面)100bまでの長さをL、絞り部50bの内径をDとしたときに、L/Dが3以上であることができる。好ましくは、L/Dは4以上であり、より好ましくは5以上である。なお、下流部50cが直管でなく、曲管である場合には、流路の長さLは、管の断面中心(重心)の集合により形成される軸線の長さと規定することができる。このような構造のパイプ50によれば、生成したミストがパイプ50の径方向に好適に分散し、ハニカムフィルタの各流路に高い均一性を持ってミストを供給することができると言う効果がある。L/Dは、通常、9以下である。
絞り部50bの内径は、例えば、5〜10cmとすることができる。
下流部50cの流路の長さLは特に限定されず、例えば、15〜30cmとすることができる。
超音波ミスト生成器60は、水槽61、水槽61内に設けられた超音波振動子62、及び、発生したミストを下流部50cに供給するライン64を有する。水槽61内には、空気などのガス源24からラインL3を介してガスが供給され、超音波振動子62により発生したミストが、ライン64を介して二流体ノズル20により生成されたミストと混合される。ミストの径は特に限定されないが、例えば、1〜5μm程度とすることができる。二流体ノズル由来のミストと、超音波振動子由来のミストとを混合すると、超音波振動子由来の相対的に粒径の小さいミストと、二流体ノズル由来の相対的に粒径の大きいミストとが混合されるため、欠陥部から漏れ出るミストの散乱光を濃くすることができ、より一層検査の精度が向上する。
ハニカムフィルタ100に対して供給するガスの流量は特に限定されないが、例えば、50〜500L/minとすることができる。ハニカムフィルタ100に供給されるガス中のミスト濃度は、0.0001〜0.1g/Lとすることができる。
ガス源14,24のガスは特に限定されないが、経済性の点で、空気が好ましい。ガス源14,24のガスは互いに同一でもよいが異なっていてもよい。また、ガス源14,24のガスの温度は0〜50℃であることが好ましく、0〜30℃であることがより好ましい。
粒子可視化部200は、ハニカムフィルタ100の上面(他端面)100tから排出されるガスに向けてレーザーシート(レーザ光)LSを照射する光源210と、ハニカムフィルタ100の上面(他端面)100tを含む視野の画像を取得するカメラ220、及び、カメラ220が取得した画像を解析するコンピュータ(判断部)230を備える。
光源210からのレーザーシートLSは、図2に示すように、ハニカムフィルタ100の複数の流路110が伸びるZ方向に垂直な方向であるXY平面に平行である方向に照射される。XY平面は、ハニカムフィルタ100の上面(他端面)100tと平行な面であり、レーザーシートLSは、上面100tに沿うように広がる。レーザーシートLSと上面100tとの距離は、例えば、3〜20mmとすることができる。レーザの色は特に限定されないが、たとえば、波長範囲が630〜690nmの赤色レーザであることができる。
カメラ220は、レーザーシートLSに対して垂直な方向(Z方向)から、ハニカムフィルタ100の上面100tを含む視野の画像を取得する。
カメラ220は、所定の時間毎に同じ視野の画像を取得する。取得する画像の数は2枚以上であればよいが、例えば、5〜10枚取得することができる。画像を取得する時間間隔は50ms以上であることが好ましいが、50ms未満でもよい。好適な時間間隔は、75〜500msである。画像データには、画像に加えて画像が取得された時刻(撮影時刻)が添付される。なお、カメラの露光時間、すなわち、シャッタースピードが遅い場合には、露光開始の時刻を、画像が取得された時刻とすることができる。
コンピュータ230は、カメラ220が取得した画像を画像解析し、上面100t上において周りに比べて明暗の異なる領域を検出する。具体的には、例えば、各画像から所定のしきい値に比べて明るい部分または暗い部分を抽出すればよい。
続いて、コンピュータ230は、画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの画像を選択し、選択された少なくとも2以上の画像間において上面100t上の同じ位置に周りに比べて明暗の異なる領域があるか否かを検出する。選択された少なくとも2以上の画像間において画像が取得された時刻は互いに50ms以上離れていればよく、画像が取得された時刻は互いにどれだけ離れていてもよい。選択された少なくとも2枚以上の画像における画像が取得された時刻の差は100ms以上であることができ、300ms以上であることもできる。また、この差は、1000ms以下であることができる。
例えば、カメラが50ms以上の間隔ΔTで複数枚の画像を取得した場合、得られた画像群から少なくとも2枚の画像を任意に選択すれば、画像が取得された時刻は互いに50ms以上離れることになる。また、カメラが50ms未満の間隔ΔTで複数枚の画像を取得した場合には、得られた画像群から画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れるように複数枚の画像を選択すればよい。そして、選択した画像間で同じ場所に明暗の異なる領域があるか否かを判断すればよい。
選択する画像の数は、最低2つであればよいが、3つ以上が好ましく、10枚以下でもよく、4〜8枚がより好ましい。
上述のようにして選択された複数の画像において、全部の画像に同じ場所に明暗の異なる領域があれば、フィルタの内部欠陥が存在していると判断することができる。また、上述のようにして選択された複数の画像において、全部の画像に同じ場所に明暗の異なる領域がなければ、浮遊する異物粒子又はフィルタ内に元々存在した異物粒子によるノイズと判断できる。
判断結果は、適宜、外部に信号として出力したり、表示装置の画面などに表示することができる。
(検査方法)
続いて、上述の検査装置400を使用したハニカムフィルタ100の検査方法について説明する。ここでは、一例として、図2に示すように、ハニカムフィルタ100の隔壁112には、欠陥として、上面が封口された流路110xと、下面が封口された流路110yとを連通させる孔hがあるものとする。
まず、ハニカムフィルタ100をパイプ50の保持部50dにシール材80を介して固定する。そして、液体源10から液体を、ガス源14からガスを二流体ノズル20に供給し、ミストを含むガスを発生させてパイプ50の上流部50aに供給する。発生したミストを含むガスは、上流部50a、絞り部50b、下流部50cを経て、ハニカムフィルタ100の下面100bからハニカムフィルタ100内に供給される(供給工程)。供給されたガス中の粒子は、ハニカムフィルタの隔壁112によりろ過され、隔壁112を通り抜けたガスはハニカムフィルタ100の複数の流路110の上面100tから流出する。
そして、流路110間に図2に示すような大きな孔hが存在する場合、流路110x、孔h、及び、流路110yによって複数の流路110の上面100tと下面100bとを結ぶ流路が形成されるため、矢印Gに示すように、当該欠陥がある流路110yの上面から、ミストを含む混合ガスが他の流路110に比べて高い流量や流速で集中的に流出する。封口部114が欠落している場合や、封口部114と流路110との間に隙間が生じている等の欠陥がある場合も同様にミストを含む混合ガスが集中的に流出する。したがって、このような流路110yの上方では、他の部分と比べて、ミストの濃度が相対的に高くなる。
次に、光源210からレーザーシートLSを照射し、照射した状態下でハニカムフィルタ100の上面100tを含む画像を異なる時刻で複数枚取得する(画像取得工程)。ハニカムフィルタ100の上面から流出するガスにミストの濃度の不均一がある場合、光源210から照射されたレーザーシートLSは濃度の高い部分を通過する際に散乱し、カメラ220が取得する画像において相対的に明るい領域A(図3の(a)参照)となって現れる。
上記のようにして得られた複数の画像をコンピュータ230で処理する(データ処理工程)。すなわち、画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの画像を選択し、これらの画像において上面100tの同位置に周りよりも明るい領域Aが存在するか否かを検出する。例えば、図3の(a)は、互いに50ms以上離れた時刻t1〜t4に取得された画像の模式図であり、全ての画像においてハニカムフィルタ100の上面100tの同じ位置に相対的に明るい領域Aが存在する。したがって、Aに対応する位置に欠陥があり、相対的に多くの粒子が漏れていると判断できる。
これに対して、図3の(b)では、4枚の画像の内、時刻t1の画像には左下付近に明るい領域Aがあるが、時刻t2〜時刻t4における同位置には対応する明るい領域がない。一方、4枚の画像の内、時刻t3の画像には右側付近に明るい領域Bがあるが、時刻t1、時刻t3、t4における同位置には対応する明るい領域はない。したがって、明るい領域A及びBは、それぞれ、浮遊する異物粒子又はフィルタ内に元々存在した異物粒子がたまたまレーザ光を散乱した光であり、フィルタ自身には欠陥がないと判断することができる。
本実施形態によれば、画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた2枚の画像において他端面の同位置に周りよりも明るい領域が存在するか否かを検出している。ハニカムフィルタ外を浮遊する異物粒子又はフィルタ内に元々存在した異物粒子がたまたま他端面上に到達してレーザが散乱された場合、到達した異物粒子は通常50msの時間を隔てると別の場所に移動するため、50ms以上後の画像の同位置に周りよりも明るい領域が観察される可能性はほとんど無い。これに対して、フィルタの欠陥部位からより多くの粒子が漏れている場合、50ms以上後でも同じ位置に、より多くの粒子が存在することが多く、50ms以上後の画像の同じ位置に周りよりも明るい領域が観察されることになる。したがって、画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2枚の画像において他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域があるか否かを検出することにより、浮遊する異物粒子又はフィルタ内に元々存在した異物粒子による誤検知を抑制して、高い精度でフィルタの欠陥部位の有無及びその位置を検知できる。
また、二流体ノズルにより生成したミストを含むガスを、内径Dの絞り部50bを通過させた後、3D以上の長さの下流部50cを通過させてからフィルタに供給するので、発生した粒子がパイプの径方向に良好に分散され、ハニカムフィルタに対して供給されるミストの濃度のフィルタ断面方向における均一性が高まり、より一層精度が向上する。
なお、超音波ミスト生成器60から超音波によるミストを発生し、下流部50cで二流体ノズルから生成したミストと混合しているので、超音波による相対的に粒径の小さいミストと、二流体ノズルによる相対的に粒径の大きなミストとが好適に混合され、漏れがあった場合にミストがレーザをより散乱しやすくなるという効果がある。
なお、ハニカムフィルタの上面(他端面)100t、すなわち、カメラ220に撮影される側の端面の色は、黒色、又は、レーザ光の色と補色の関係にある色であることができる。この場合、画像における領域Aとバックグラウンドである上面100tとのコントラストが向上し、より一層精度が向上する。フィルタの端面の着色は、染料、あるいは、塗料により行うことができる。レーザが赤色の場合の補色の例は、青緑色である。
本実施形態に係る検査方法をハニカムフィルタ100の製造過程に組み込んでもよい。すなわち、ハニカムフィルタ100の製造方法は、上述の押出工程、封口工程及び焼成工程に加え、さらに、本実施形態に係る検査方法によりハニカムフィルタの欠陥を検出する検出工程、及び、検出工程において欠陥が検出されないハニカムフィルタを選別する選別工程を備えてもよい。選別工程を実施することで、欠陥が検出されないハニカムフィルタを次工程に送出したり、最終製品としたりすることができる。
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されずさまざまな変形態様が可能である。
例えば、上記実施形態では、上記条件であるL/D≧3を満たすパイプ50を採用しているが、上記条件を満たさない、例えば、内径一定のストレートパイプを用いても実施は可能である。
上記実施形態では、超音波ミスト生成器60はライン64を介して下流部50cに接続されているが、絞り部50bに接続されていても良いし、上流部50aに接続されていてもよい。また、二流体ノズル20をパイプ50の底部から取り外し、その代わりに、その位置に超音波ミスト生成器60を設置してもよい。
また、上記実施形態では、二流体ノズル20で発生させたミストをフィルタに供給しているが、他の方法(超音波法)で生成したミストをフィルタに供給してもよく、ミストでない別の粒子を用いてもよい。例えば、水とドライアイスとを混合することによりミストを生成してもよく、グリコール系アルコール(例えば、プロピレングリコール)のミストを使用してもよい。また、液体以外の粒子として、例えば、カーボンブラック等の固体粒子を用いても実施は可能である。
さらに、上記実施形態では、超音波ミストにより生成したミストを、二流体ノズルで生成したミストに追加しているが、追加しなくても実施可能である。
また、レーザーシートの方向や、カメラの方向も、上記実施形態の態様に限定されるものではない。
また、上記実施形態では、雰囲気ガスが空気であるが、他のガスを雰囲気ガスとしてもよいことは言うまでも無い。
また、上記実施形態では、ハニカムフィルタ100の流路110が上下方向に配置されているが、水平方向等、いずれの方向を向いても実施可能である。
また、上記実施形態では、流路110の断面形状は、略正方形であるがこれに限定されず、矩形、円形、楕円形、3角形、6角形、8角形等にすることができる。また、流路110には、径の異なるもの、断面形状の異なるものが混在してもよい。また、流路の配置も、図1では正方形配置であるが、これに限定されず、断面において流路の中心軸が正三角形の頂点に配置される正三角形配置、流路の断面が矩形や正方形の場合には千鳥配置等にすることができる。さらに、ハニカムフィルタの外形も、円柱に限られず、例えば、楕円柱、3角柱、4角柱、6角柱、8角柱等とすることができる。また、封口部114の形状も、プラグ状の封口部でなく、軸方向中央から端面に向かって、各入口流路/出口流路の断面積が縮小し、かつ、各出口流路/入口流路の断面積が拡大している形態でもよい。
また、上記実施形態では、ハニカムフィルタは、隔壁が多孔質である焼成体であるが、焼成前であり非多孔質のグリーン体でも実施は可能である。この場合、欠陥の無い流路からのガスの流出は無い。
また、上記実施形態では、カメラ220により得られた複数の画像に基づいて、コンピュータによって他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域が存在するか否かを判断しているが、人手によって明暗の異なる領域の有無や位置を判断してもよい。
20…二流体ノズル(粒子発生部)、50…パイプ、50a…上流部、絞り部…50b、50c…下流部、60…超音波ミスト生成器、100…ハニカムフィルタ、100t…ハニカムフィルタの上面(他端面)、100b…ハニカムフィルタの下面(一端面)、150…粒子供給部、200…粒子可視化部、210…光源、230…コンピュータ(判断部)、LS…レーザーシート(レーザ光)。

Claims (10)

  1. 粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、
    前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに当該他端面に沿うように広がるレーザーシートが照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を異なる時刻に複数回取得する画像取得工程と、
    画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの前記画像において前記他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域が存在するか否かを判断する工程と、を備える、ハニカムフィルタの検査方法。
  2. 前記供給工程は、粒子を発生させる工程と、発生した前記粒子をガスと共に前記ハニカムフィルタの一端面までパイプで導く工程と、を含み、
    前記パイプは、最も内径の小さな絞り部、前記絞り部よりも下流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな下流部、及び、前記絞り部よりも上流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな上流部を有し、
    前記下流部の流路の長さをLとし、前記絞り部の内径をDとしたときに、L/D≧3を満たす、請求項1記載の方法。
  3. 前記粒子はミストである、請求項1又は2に記載の方法。
  4. 前記供給工程では、超音波により生成したミスト、及び、二流体ノズルにより生成したミストの混合物を前記ハニカムフィルタの一端面に供給する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
  5. 前記ハニカムフィルタの他端面の色は、黒色、又は、前記レーザーシートの色と補色の関係にある色である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
  6. 粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給部と、
    前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がるレーザーシートを照射する光源と、
    前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を異なる時刻で複数回取得するカメラと、
    画像が取得された時刻が互いに50ms以上離れた少なくとも2つの前記画像において前記他端面の同位置に周りよりも明暗の異なる領域が存在するか否かを判断する判断部と、を備える、ハニカムフィルタの検査装置。
  7. 前記供給部は、前記粒子を発生する粒子発生部と、発生した前記粒子をガスと共に前記ハニカムフィルタの一端面まで導くパイプを有し、
    前記パイプは、最も内径の小さな絞り部、前記絞り部よりも下流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな下流部、及び、前記絞り部よりも上流側に接続されて前記絞り部よりも内径の大きな上流部を有し、
    前記下流部の流路の長さをLとし、前記絞り部の内径をDとしたときに、L/D≧3を満たす、請求項6記載の装置。
  8. 前記粒子はミストである、請求項6又は7に記載の装置。
  9. 前記供給部は、超音波ミスト生成器、及び、二流体ノズルを備える、請求項6〜8のいずれか1項記載の装置。
  10. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法により、ハニカムフィルタの欠陥を検出する検出工程と、
    前記検出工程において欠陥が検出されないハニカムフィルタを選別する選別工程と、を備えるハニカムフィルタの製造方法。
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