JPWO2017056607A1 - 電子部品の検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
20 第1検査室
22 搬送テーブル
23 貫通孔
25a 吸引孔
25b 吹出孔
26 部品通路
28 第1のドライガス供給部の供給孔
29 第2のドライガス供給部の供給孔
50 第1のドライガス供給部
52 第2のドライガス供給部
54 吸引部
56 吹出部
58 第1温度制御部
60 第2温度制御部
62 第3温度制御部
R1 第1のドライガス供給部の供給孔径
R2 第2のドライガス供給部の供給孔径
S1 第1空間
S2 第2空間
W 電子部品
Claims (19)
- ドライガスが供給された状態で電子部品の温度特性を検査する検査装置であって、
前記電子部品を検査する検査室と、
前記検査室内に設けられ、前記検査室に供給された電子部品を検査するために搬送する搬送機構と、
前記検査室における前記搬送機構の一方面側の第1空間にドライガスを供給する第1ドライガス供給部と、
前記検査室における前記搬送機構の他方面側の第2空間にドライガスを供給する第2ドライガス供給部と
を備え、
前記第1空間は、前記第2空間以上の広さを有しており、
前記第2ドライガス供給部のドライガス供給圧力は、前記第1ドライガス供給部のドライガス供給圧力よりも大きい、電子部品の検査装置。 - 前記電子部品を前記検査室に供給するための部品供給路と、
前記電子部品を前記部品供給路から前記検査室に供給するために、前記検査室内の吸引孔からガスを吸引する吸引部と
をさらに備えた、請求項1記載の検査装置。 - 前記吸引部の吸引孔は、前記第2空間側に設けられた、請求項2記載の検査装置。
- 前記第2ドライガス供給部の供給孔は、前記吸引部の吸引孔に隣接して設けられた、請求項3記載の検査装置。
- 前記部品供給路と前記検査室との間は、前記検査装置が作動している間、前記電子部品が供給可能なように常に開放された、請求項2から4のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記電子部品を前記検査室から排出するための部品排出路と、
前記電子部品を前記検査室から前記部品排出路へ排出するために、前記検査室内の吹出孔にガスを吹出す吹出部と
をさらに備えた、請求項2から5のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記部品排出路と前記検査室との間は、前記検査装置が作動している間、前記電子部品が排出可能なように常に開放された、請求項6記載の検査装置。
- 前記電子部品を所定温度に設定するために前記検査室の温度を制御する第1温度制御部と、
前記検査室における前記吸引部の吸引孔付近の領域の温度を制御する第2温度制御部と、
前記検査室における前記吹出部の吹出孔付近の領域の温度を制御する第3温度制御部と
をさらに備えた、請求項6又は7に記載の検査装置。 - 前記第2及び第3温度制御部による温度の少なくとも一方は、前記第1温度制御部による温度と常温の間に制御される、請求項8記載の検査装置。
- 前記搬送機構は、前記電子部品を水平方向に搬送する、請求項1から9のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記搬送機構は、前記検査室の平面視において前記電子部品を回転方向に搬送する、請求項1から10のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記搬送機構には、前記第1空間と前記第2空間を連通する少なくとも一つの貫通孔が形成された、請求項1から11のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記第2ドライガス供給部は、前記第2空間から前記貫通孔を通って前記第1空間に向かうガス流が形成されるように、前記貫通孔側に向かってドライガスを供給する、請求項12記載の検査装置。
- 前記第2のドライガス供給部の供給孔径は、前記第1のドライガス供給部の供給孔径よりも小さい、請求項1から13のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記電子部品は、水晶振動デバイスである、請求項1から14のいずれか一項に記載の検査装置。
- ドライガスが供給された状態で電子部品の温度特性を検査する検査装置であって、
前記電子部品を検査する検査室と、
前記検査室内に設けられ、前記検査室に供給された電子部品を検査するために搬送する搬送機構と、
前記検査室内にドライガスを供給するドライガス供給部と、
前記電子部品を前記検査室に供給するための部品供給路と、
前記電子部品を前記検査室から排出するための部品排出路と、
前記電子部品を前記部品供給路から前記検査室に供給するために、前記検査室内の吸引孔からガスを吸引する吸引部と、
前記電子部品を前記検査室から前記部品排出路へ排出するために、前記検査室内の吹出孔にガスを吹出す吹出部と、
前記電子部品を所定温度に設定するために前記検査室の温度を制御する第1温度制御部と、
前記検査室における前記吸引部の吸引孔付近の領域の温度を制御する第2温度制御部と、
前記検査室における前記吹出部の吹出孔付近の領域の温度を制御する第3温度制御部とを備え、
前記第2及び第3温度制御部による温度の少なくとも一方は、前記第1温度制御部による温度と常温の間に制御される、検査装置。 - 前記部品供給路と前記検査室との間は、前記検査装置が作動している間、前記電子部品が供給可能なように常に開放された、請求項16記載の検査装置。
- 前記部品排出路と前記検査室との間は、前記検査装置が作動している間、前記電子部品が排出可能なように常に開放された、請求項16又は17に記載の検査装置。
- ドライガスが供給された状態で電子部品の温度特性を検査する検査方法であって、
(a)検査室にドライガスを供給すること、
(b)前記検査室に電子部品を供給すること、及び、
(c)前記検査室内に設けられた搬送機構によって、前記検査室に供給された電子部品を検査するために搬送すること
を含み、
前記(a)は、前記検査室における前記搬送機構の一方面側の第1空間にドライガスを供給し、前記検査室における前記搬送機構の他方面側の第2空間にドライガスを供給することを含み、
前記第1空間は、前記第2空間以上の広さを有しており、前記第2空間側へ供給するドライガス供給圧力は、前記第1空間側へ供給するドライガス圧力よりも大きい、電子部品の検査方法。
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