JP2018087735A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品の検査を正確かつ効率よく行うことができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品を第1温度で検査する第1検査と、前記第1検査の後に前記電子部品を前記第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査とが可能な検査部が配置された検査領域と、前記第1検査の前の前記電子部品が載置される第1載置部が配置可能な第1載置領域と、前記第1載置領域と異なる位置に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品が載置される第2載置部が配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図3
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
従来から、例えばICデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、ICデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている(例えば、特許文献1参照)。
また、電子部品検査装置では、複数のICデバイスをトレイに載置し、トレイごと装置内に入れることにより、トレイが、搬送部によって検査が行われる検査部まで搬送される。そして、検査が終わると、ICデバイスは、トレイに載置され、搬送部によってトレイごと搬送され、装置外に排出される。なお、特許文献1に記載されている電子部品搬送装置では、検査が終わると、そのままリテスト(再検査)を行うことが可能となっている。
しかしながら、特許文献1に記載の電子部品搬送装置では、電子部品の検査が完了して異なる温度で再度検査を行う場合、異なる電子部品搬送装置にオペレーターが搬送する必要がある。この場合、オペレーターによる搬送ミスが生じたりすることがある。また、オペレーターが電子部品を搬送する時間分、検査効率が低下する。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を第1温度で検査する第1検査及び前記第1検査の後に前記電子部品を前記第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査が可能な検査部を配置可能な検査領域と、
前記第1検査の前の前記電子部品を載置可能な第1載置部を配置可能な第1載置領域と、
前記第1載置領域と異なる領域に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品を載置可能な第2載置部を配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする。
前記第1検査の前の前記電子部品を載置可能な第1載置部を配置可能な第1載置領域と、
前記第1載置領域と異なる領域に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品を載置可能な第2載置部を配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする。
これにより、第1載置領域の第1載置部に載置された電子部品に対して第1検査を行った後に、第2載置領域の第2載置部に載置された電子部品に対して第2検査を行うことができる。すなわち、1つの電子部品搬送装置で、互いに温度が異なる第1検査および第2検査を行うことができる。その結果、オペレーターが、第1検査後に、電子部品を第2検査専用の電子部品搬送装置に搬送するという作業を省略することができる。よって、オペレーターによるミスを防止することができるとともに、迅速に第1検査および第2検査を行うことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品は、前記第1載置領域から前記検査領域に搬送され、前記検査領域で前記第1検査が行われた後に前記第2載置領域に搬送され、前記第2載置領域から前記検査領域に搬送され、前記検査領域で前記第2検査が行われた後に、前記第1載置領域に搬送されるのが好ましい。
これにより、第1検査を終えて第2載置領域に搬送された電子部品を逆走させるという簡単な構成で、第1検査および第2検査を行うことができる。よって、第1検査を終えてから第2検査を円滑に開始することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前前記第1載置領域から前記検査領域に搬送される第1経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向と、
前記第2載置領域から前記検査領域に搬送される第2経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向とは、反対方向であるのが好ましい。
前記第2載置領域から前記検査領域に搬送される第2経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向とは、反対方向であるのが好ましい。
第1検査時と第2検査時とでは、電子部品が検査領域に搬送される方向が反対であることにより、オペレーターは、第1検査が行われているか第2検査が行われているかを目視で容易に確認することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品が前記第1載置部から前記検査領域に搬送される経路で、前記電子部品の温度を調整可能な第1温度調整部と、
前記電子部品が前記第2載置部から検査領域に搬送される経路で、前記電子部品の温度を調整可能な第2温度調整部と、を有するのが好ましい。
前記電子部品が前記第2載置部から検査領域に搬送される経路で、前記電子部品の温度を調整可能な第2温度調整部と、を有するのが好ましい。
これにより、第1検査の前に、電子部品の温度調整をより確実に行うことができるとともに、第2検査の前に、電子部品の温度調整をより確実に行うことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記検査部は、前記第2検査の後に、前記第1温度および前記第2温度と異なる第3温度で前記電子部品を検査する第3検査を行うものであるのが好ましい。
これにより、1つの電子部品搬送装置で、3種類の検査を行うことができる。
これにより、1つの電子部品搬送装置で、3種類の検査を行うことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1載置領域は、前記第3検査の前の前記電子部品が載置可能であるのが好ましい。
これにより、第3検査に際し、第3検査の前の電子部品を供給する領域を第1載置領域とは別途設けるのを省略することができる。よって、装置構成を簡素にすることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記検査領域で前記第2検査が行われた後に、前記第1載置領域に搬送された前記電子部品は、前記第1載置領域から前記検査領域に搬送され、前記検査領域で、前記第1温度および前記第2温度と異なる第3温度で前記電子部品を検査する第3検査が行われた後に、前記第2載置領域に搬送されるのが好ましい。
これにより、第2検査を終えて第1載置領域に搬送された電子部品を逆走させるという簡単な構成で、第3検査を行うことができる。よって、第2検査を終えてから第3検査を円滑に開始することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第3検査で前記第1載置領域から前記検査領域に搬送される第3経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向と、前記第1検査で前記第1載置領域から前記検査領域に搬送される第1経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向とは、同方向であるのが好ましい。
第2検査時と第3検査時とでは、電子部品が検査部に搬送される方向が反対であることにより、オペレーターは、第2検査が行われているか第3検査が行われているかを目視で容易に確認することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1温度は、前記第2温度よりも高いのが好ましい。
一般的には、第1検査の方が第2検査よりも不良品が出やすい。このため、第1温度を第2温度よりも高くして第1検査を先に行い、第1検査での不良品の検査を第2検査で省略することにより、検査効率を高めることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1温度は、室温よりも高く、前記第2温度は、室温であるかまたは室温よりも低いのが好ましい。
これにより、上記効果をより確実に奏することができ、検査効率を高めることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1温度は、室温であるのが好ましい。
これにより、第1検査を行うに際し、室温状態になっている部分を加熱したり冷却したりするのを省略することができ、円滑に第1検査を開始することができる。
これにより、第1検査を行うに際し、室温状態になっている部分を加熱したり冷却したりするのを省略することができ、円滑に第1検査を開始することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1温度は室温よりも低く、前記第2温度は室温であるかまたは室温よりも高いのが好ましい。
一般的には、温度が低い検査を終えた後に、そのまま電子部品を装置の外側に排出すると、電子部品に結露が生じやすい。このため、温度が低い第1検査を先に行い、その後に第2検査を行うことにより、電子部品に結露が生じるのを防止または抑制することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1載置領域および前記第2載置領域とは異なる領域に、前記電子部品が載置される第3載置部を配置可能な第3載置領域を備えるのが好ましい。
これにより、第3載置部を、第1載置領域または第2載置領域に補充することができる。よって、検査後のランク分けのランクを増やすことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第3載置領域に配置された前記第3載置部は、前記第1載置領域に配置された前記第1載置部または前記第2載置領域に配置された前記第2載置部上に移動可能であるのが好ましい。
これにより、第3載置部を、第1載置領域または第2載置領域に補充することができる。よって、検査後のランク分けのランクを増やすことができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を第1温度で検査する第1検査及び前記第1検査の後に前記電子部品を前記第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査が可能な検査部と、
前記検査部が配置された検査領域と、
前記第1検査の前の前記電子部品を載置可能な第1載置部を配置可能な第1載置領域と、
前記第1載置領域と異なる領域に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品を載置可能な第2載置部を配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする。
前記検査部が配置された検査領域と、
前記第1検査の前の前記電子部品を載置可能な第1載置部を配置可能な第1載置領域と、
前記第1載置領域と異なる領域に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品を載置可能な第2載置部を配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする。
これにより、第1載置領域の第1載置部に載置された電子部品に対して第1検査を行った後に、第2載置領域の第2載置部に載置された電子部品に対して第2検査を行うことができる。すなわち、1つの電子部品搬送装置で、互いに温度が異なる第1検査および第2検査を行うことができる。その結果、オペレーターが、第1検査後に、電子部品を第2検査専用の電子部品搬送装置に搬送するという作業を省略することができる。よって、オペレーターによるミスを防止することができるとともに、迅速に第1検査および第2検査を行うことができる。また、検査部にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部から搬送することができる。
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図6を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1〜図4(図7、図8および図11〜図14についても同様)に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言うことがある。
以下、図1〜図6を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1〜図4(図7、図8および図11〜図14についても同様)に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言うことがある。
図1および図2に示す電子部品搬送装置10は、電子部品としてのICデバイス90を第1温度で検査する第1検査及び第1検査の後にICデバイス90を第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査が可能な検査部16を配置可能な検査領域A3と、第1検査の前のICデバイス90を載置可能な第1載置部であるトレイ200を配置可能な第1載置領域である第1トレイ供給除去領域A1と、第1トレイ供給除去領域A1と異なる領域に位置し、第2検査の前のICデバイス90を載置可能な第2載置部であるトレイ200を配置可能な第2載置領域としての第2トレイ供給除去領域A5と、を備える。
これにより、第1トレイ供給除去領域A1のトレイ200に載置されたICデバイス90に対して第1検査を行った後に、第2トレイ供給除去領域A5のトレイ200に載置されたICデバイス90に対して第2検査を行うことができる。すなわち、1つの電子部品搬送装置10で、互いに温度が異なる第1検査および第2検査を行うことができる。その結果、オペレーターが、第1検査後に、ICデバイス90を第2検査専用の電子部品搬送装置に搬送するという作業を省略することができる。よって、オペレーターによるミスを防止することができるとともに、迅速に第1検査および第2検査を行うことができる。
また、電子部品検査装置1は、電子部品としてのICデバイス90を第1温度で検査する第1検査及び第1検査の後にICデバイス90を第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査が可能な検査部16が配置された検査領域A3と、第1検査の前のICデバイス90を載置可能な第1載置部であるトレイ200を配置可能な第1載置領域である第1トレイ供給除去領域A1と、第1トレイ供給除去領域A1と異なる領域に位置し、第2検査の前のICデバイス90を載置可能な第2載置部であるトレイ200を配置可能な第2載置領域としての第2トレイ供給除去領域A5と、を備える。
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られる。また、検査部16にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部16から搬送することができる。
以下、各部の構成について説明する。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を内蔵する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を内蔵する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。
なお、ICデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale Integration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)」や、ICデバイスを複数モジュールパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
また、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、ICデバイス90の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、ICデバイス90が載置される載置部があり、その載置部としては、例えば、後述する温度調整部12、第1デバイス供給回収部14等がある。また、ICデバイス90が載置される載置部としては、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意する検査部16やトレイ200もある。
電子部品検査装置1は、第1トレイ供給除去領域A1と、デバイス第1デバイス搬送領域(以下単に「第1デバイス搬送領域」と言う)A2と、検査領域A3と、デバイス第2デバイス搬送領域(以下単に「第2デバイス搬送領域」と言う)A4と、第2トレイ供給除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ICデバイス90は、第1トレイ供給除去領域A1から第2トレイ供給除去領域A5まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように電子部品検査装置1は、各領域でICデバイス90を搬送する電子部品搬送装置10であるハンドラーと、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、制御部800とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
なお、電子部品検査装置1は、第1トレイ供給除去領域A1、第2トレイ供給除去領域A5が配された方、すなわち、図2中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図2中の上側が背面側として使用される。また、電子部品検査装置1は、第1検査である常温検査と、第2検査である低温検査と、第3検査である高温検査を行うものであるが、以下では、第1検査である常温検査を行っている状態を例に挙げて説明する。
第1トレイ供給除去領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される領域である。第1トレイ供給除去領域A1では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
第1デバイス搬送領域A2は、第1トレイ供給除去領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、第1トレイ供給除去領域A1と第1デバイス搬送領域A2とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11が設けられている。トレイ搬送機構11は、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向、すなわち、図2中の矢印α11方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、ICデバイス90を安定して第1デバイス搬送領域A2に送り込むことができるとともに、空のトレイ200を第1デバイス搬送領域A2から第1トレイ供給除去領域A1に移動させることができる。
第1デバイス搬送領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13とが設けられている。
温度調整部12は、ICデバイス90(電子部品)が第1載置部としてのトレイ200から検査領域A3に搬送される経路で、ICデバイス90の温度を調整可能な第1温度調整部として機能する。この温度調整部12は、載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査が行われる前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、検査に適した温度に調整することができる。そして、トレイ搬送機構11によって第1トレイ供給除去領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、温度調整部12まで搬送される。なお、この載置部としての温度調整部12は、固定されていることにより、当該温度調整部12上でICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。
デバイス搬送ヘッド13は、第1デバイス搬送領域A2内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。これにより、デバイス搬送ヘッド13は、第1トレイ供給除去領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述する第1デバイス供給回収部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、ICデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。また、第1デバイス搬送領域A2と検査領域A3とを跨ぐように移動する第1デバイス供給回収部14と、検査領域A3と第2デバイス搬送領域A4とを跨ぐように移動する第2デバイス供給回収部18も設けられている。
第1デバイス供給回収部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置される載置部として構成され、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる「シャトルプレート」または単に「シャトル」と呼ばれるものである。
また、この載置部としての第1デバイス供給回収部14は、第1デバイス搬送領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能に支持されている。これにより、第1デバイス供給回収部14は、ICデバイス90を第1デバイス搬送領域A2から検査領域A3の検査部16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデバイス搬送ヘッド17によって取り去られた後は再度第1デバイス搬送領域A2に戻ることができる。
図2に示す構成では、第1デバイス供給回収部14は、Y方向に2つ配置されており、温度調整部12上のICデバイス90は、いずれかの第1デバイス供給回収部14まで搬送される。また、第1デバイス供給回収部14は、温度調整部12と同様に、当該第1デバイス供給回収部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。
デバイス搬送ヘッド17は、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90が把持され、当該ICデバイス90を検査領域A3内で搬送する動作部である。このデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、第1デバイス搬送領域A2から搬入された第1デバイス供給回収部14上のICデバイス90を検査部16上に搬送し、載置することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向およびZ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
なお、このデバイス搬送ヘッド17は、Y方向に2つに分けることができ、+Y方向側から、デバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bに分けることができる。これらデバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bは、Z方向に互いに独立して移動することもできる。
また、デバイス搬送ヘッド17は、把持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ICデバイス90における温度調整状態を、第1デバイス供給回収部14から検査部16まで継続して維持することができる。
検査部16は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査する載置部として構成されている。この検査部16には、ICデバイス90の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ICデバイス90の端子とプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ICデバイス90の検査を行なうことができる。ICデバイス90の検査は、検査部16に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部16でも、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
第2デバイス供給回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90を第2デバイス搬送領域A4まで搬送することができる載置部として構成され、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。
また、第2デバイス供給回収部18は、検査領域A3と第2デバイス搬送領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、第2デバイス供給回収部18は、第1デバイス供給回収部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、検査部16上のICデバイス90は、いずれかの第2デバイス供給回収部18に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド17によって行なわれる。
第2デバイス搬送領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。この第2デバイス搬送領域A4には、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構22と、温度調整部15が設けられている。また、第2デバイス搬送領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
デバイス搬送ヘッド20は、第2デバイス搬送領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。これにより、デバイス搬送ヘッド20は、ICデバイス90を第2デバイス供給回収部18から空のトレイ200に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
また、空のトレイ200は、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部となる。そして、第2デバイス搬送領域A4に移動してきた第2デバイス供給回収部18上のICデバイス90は、空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
温度調整部15は、ICデバイス90(電子部品)が第2載置部としてのトレイ200から検査領域A3に搬送される経路で、ICデバイス90の温度を調整可能な第2温度調整部として機能する。この温度調整部15は、載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で後述する第2検査が行われる前のICデバイス90を予め冷却して、第2検査に適した温度に調整することができる。
第2トレイ供給除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。第2トレイ供給除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、第2デバイス搬送領域A4と第2トレイ供給除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22が設けられている。トレイ搬送機構22は、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのICデバイス90を第2デバイス搬送領域A4から第2トレイ供給除去領域A5に搬送することができるとともに、空のトレイ200を第2トレイ供給除去領域A5から第2デバイス搬送領域A4に移動させることができる。
制御部800は、例えば、トレイ搬送機構11と、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、第1デバイス供給回収部14と、温度調整部15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、第2デバイス供給回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構22等の各部の作動を制御することができる。
また、制御部800は、記憶部801を有する。この記憶部801には、検査プログラム等が記憶されており、制御部800は、この検査プログラムに基づいて検査を行うことができる。
このような記憶部801は、例えば、RAM等の揮発性メモリー、ROM等の不揮発性メモリー、EPROM、EEPROM、フラッシュメモリー等の書き換え可能(消去、書き換え可能)な不揮発性メモリー等、各種半導体メモリー(ICメモリー)等で構成される。
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示すように、第2トレイ供給除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられる。後述する第1検査、第2検査および第3検査の選択は、このモニター300の画面を見ながら設定することができる。
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
電子部品検査装置1は、第1トレイ供給除去領域A1と第1デバイス搬送領域A2との間が第1隔壁231によって区切られており、第1デバイス搬送領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区切られており、検査領域A3と第2デバイス搬送領域A4との間が第3隔壁233によって区切られており、第2デバイス搬送領域A4と第2トレイ供給除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られている。また、第1デバイス搬送領域A2と第2デバイス搬送領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られている。
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トップカバー245がある。
さて、従来の電子部品搬送装置では、ICデバイス90の検査が完了して、異なる温度で検査を行う場合、オペレーターが、検査の後のICデバイス90を異なる電子部品搬送装置に搬送する必要がある。この場合、オペレーターによる搬送ミスが生じたりすることがある。また、オペレーターがICデバイス90を搬送する時間分、検査効率が低下する。本発明では、このような問題を解決することができる。以下、このことについて説明する。
なお、本実施形態では、常温(室温)での検査を「常温検査(第1検査)」と言い、低温での検査を「低温検査(第2検査)」と言い、高温での検査を「高温検査(第3検査)」と言う。また、本明細書中では、常温とは、15℃以上、25℃未満のことを言い、低温とは、−55℃以上、15°未満のことを言い、高温とは、25℃以上、170℃以下のことを言う。
電子部品搬送装置10では、図5に示すフローチャートに示すように、常温検査(ステップS101)、低温検査(ステップS102)および高温検査(ステップS103)を、この順で連続して行うことができる。まず、常温検査について説明する。
常温検査(ステップS101)では、まず、図2に示すように、第1トレイ供給除去領域A1にICデバイス90が載置されたトレイ200を配置する。その後、ICデバイス90は、トレイ搬送機構11によって、トレイ200ごと第1デバイス搬送領域A2に搬送される。次いで、ICデバイス90は、デバイス搬送ヘッド13によって、第1デバイス供給回収部14上に搬送される。
次いで、ICデバイス90は、第1デバイス供給回収部14によって、検査領域A3に搬送され、デバイス搬送ヘッド17によって、検査部16上に載置され、常温検査が行われる。常温検査を終えたICデバイス90は、デバイス搬送ヘッド17によって、第2デバイス供給回収部18上に載置され、第2デバイス搬送領域A4に搬送される。
そして、第2デバイス搬送領域A4に搬送されたICデバイス90は、デバイス搬送ヘッド20によって、第2デバイス搬送領域A4で待機しているトレイ200上に載置される。このとき、第2デバイス搬送領域A4には、3つのトレイ200がX方向に並んで配置されており、常温検査のランクごとに分類される。このランクとしては、例えば、−X方向のトレイ200から順に「合格」、「再検査」および「不合格」とすることができる。なお、図2では、「合格」のICデバイス90を代表的に図示している。
トレイ200に分類されたICデバイス90は、トレイ搬送機構22によって、トレイ200ごと第2トレイ供給除去領域A5に搬送される。
以上、常温検査について説明した。
以上、常温検査について説明した。
このように、第1検査(常温検査)の第1温度は、室温である。すなわち、電子部品搬送装置10では、常温検査から行われる。これにより、温度調整部12および温度調整部15等の温度を調整する時間を省略することができ、第1検査を円滑に開始することができる。よって、検査効率を高めることができる。
次に、低温検査(ステップS102)について説明する。以下、図3を用いて低温検査について説明するが、図3では、常温検査の結果が「合格」であるICデバイス90のうちの1つを代表的に図示している。なお、「再検査」および「不合格」に分類されたICデバイス90は、第2トレイ供給除去領域A5に載置されたままであってもよく、オペレーターによって排出されてもよい。また、図3では、ICデバイス90が搬送される経路を矢印α90で示している。
まず、ICデバイス90を搬送するのに先立って、図3中ハッチングで示す部分、すなわち、温度調整部15、検査部16、デバイス搬送ヘッド17および第2デバイス供給回収部18を、低温検査に適した温度に調整する。温度調整が完了したら、ICデバイス90の搬送を開始する。なお、このとき、図6のタイミングチャートに示すように、温度調整部12の加熱も同時に行う(時間t1)。
図3に示すように、低温検査では、常温検査と反対側に搬送されていく。常温検査を経て、第2トレイ供給除去領域A5のトレイ200上に載置されているICデバイス90は、トレイ200ごと第2デバイス搬送領域A4に搬送される。そして、ICデバイス90は、温度調整部15上に載置されて、温度が低温検査に適した状態とされる。
温度が調整されたICデバイス90は、第2デバイス供給回収部18上に載置され、検査領域A3に搬送される。そして、デバイス搬送ヘッド17によって、検査部16上に搬送され、低温検査が行われる。
低温検査が完了したICデバイス90は、デバイス搬送ヘッド17によって第1デバイス供給回収部14上に載置され、第1デバイス供給回収部14によって、第1デバイス搬送領域A2に搬送される。そして、第1デバイス搬送領域A2のトレイ200上に搬送される。
このとき、第1デバイス搬送領域A2には、3つのトレイ200がX方向に並んで配置されており、低温検査のランクごとに分類される。このランクとしては、常温検査と同様に、−X方向のトレイ200から順に「合格」、「再検査」および「不合格」とすることができる。なお、図3では、「合格」のICデバイス90を代表的に図示している。
以上、低温検査について説明した。
以上、低温検査について説明した。
低温検査では、ICデバイス90は、第1トレイ供給除去領域A1から検査領域A3に搬送され、検査領域A3で第1検査が行われた後に第2トレイ供給除去領域A5に搬送され、第2トレイ供給除去領域A5から検査領域A3に搬送され、検査領域A3で第2検査が行われた後に、第1トレイ供給除去領域A1に搬送される。これにより、第1検査を終えて第2トレイ供給除去領域A5に搬送されたICデバイス90を逆走させるという簡単な構成で、第1検査および第2検査を行うことができる。よって、第1検査を終えてから第2検査を円滑に開始することができる。
また、第1トレイ供給除去領域A1から検査領域A3に搬送される第1経路においてICデバイス90が検査領域A3内に搬入される方向(図2中矢印α90参照)と、第2トレイ供給除去領域A5から検査領域A3に搬送される第2経路においてICデバイス90が検査領域A3内に搬入される方向(図3中矢印α90参照)とは、反対方向である。これにより、オペレーターは、常温検査が行われているか低温検査が行われているかを、ICデバイス90が搬送されている方向を見ることにより、目視で容易に確認することができる。
次に、高温検査(ステップS103)について説明する。以下、図4を用いて高温検査について説明するが、図4では、低温検査の結果が「合格」であるICデバイス90のうちの1つを代表的に図示している。なお、「再検査」および「不合格」に分類されたICデバイス90は、第1トレイ供給除去領域A1に載置されたままであってもよく、オペレーターによって排出されてもよい。また、図4では、ICデバイス90が搬送される経路を矢印α90で示している。
まず、ICデバイス90を搬送するのに先立って、図4中ハッチングで示す部分、すなわち、検査部16、デバイス搬送ヘッド17および第1デバイス供給回収部14を、高温検査に適した温度に調整する。温度調整が完了したら、ICデバイス90の搬送を開始する。なお、前述したように、低温検査が終わったとき、温度調整部12は、高温検査に適した温度となっている。これにより、検査部16、デバイス搬送ヘッド17および第1デバイス供給回収部14を加熱するだけで、高温検査を開始することができる。すなわち、熱容積が大きく、所定温度に達するのに時間がかかる温度調整部12の加熱を省略することができ、迅速に高温検査を開始することができる。
また、図6のタイミングチャートに示すように、低温検査が終わったら、温度調整部15の作動を停止する(図6中t2参照)。これにより、消費電力を抑制することができる。
図4に示すように、高温検査では、低温検査と反対側に搬送されていく。すなわち、低温検査を経て、第1トレイ供給除去領域A1のトレイ200上に載置されているICデバイス90は、トレイ200ごと第1デバイス搬送領域A2に搬送される。そして、温度調整部12上に載置されて、温度が高温検査に適した状態とされる。
温度が調整されたICデバイス90は、第1デバイス供給回収部14上に搬送され、検査領域A3に搬送される。そして、デバイス搬送ヘッド17によって、検査部16上に搬送され、高温検査が行われる。
高温検査が完了したICデバイス90は、デバイス搬送ヘッド17によって第2デバイス供給回収部18上に搬送され、第2デバイス供給回収部18によって、第2デバイス搬送領域A4に搬送される。そして、第2デバイス搬送領域A4のトレイ200上に搬送される。
このとき、第2デバイス搬送領域A4には、3つのトレイ200がX方向に並んで配置されており、高温検査のランクごとに分類される。このランクとしては、常温検査と同様に、−X方向のトレイ200から順に「合格」、「再検査」および「不合格」とすることができる。なお、図4では、「合格」のICデバイス90を代表的に図示している。
以上、高温検査について説明した。
以上、高温検査について説明した。
高温検査では、第1載置領域としての第1トレイ供給除去領域A1は、第3検査である高温検査の前のICデバイス90(電子部品)が載置可能である。これにより、高温検査に際し、高温検査の前のICデバイス90を供給する領域を第1トレイ供給除去領域A1とは別に設けるのを省略することができる。よって、装置構成を簡素にすることができる。
また、検査部16は、第2検査である低温検査の後に、常温(第1温度)および低温(第2温度)と異なる高温(第3温度)でICデバイス90(電子部品)を検査する第3検査としての高温検査が可能であるため、1つの電子部品搬送装置10で、3種類の検査を行うことができ、検査の精度が向上する。
記検査領域A3で第2検査が行われた後に、第1トレイ供給除去領域A1(第1載置領域)に搬送されたICデバイス90は、第1トレイ供給除去領域A1から検査領域A3に搬送され、検査領域A3で、第1温度および第2温度と異なる第3温度でICデバイス90を検査する第3検査が行われた後に、第2トレイ供給除去領域A5(第2載置領域)に搬送される。これにより、第2検査を終えて第1トレイ供給除去領域A1に搬送されたICデバイス90を逆走させるという簡単な構成で、第3検査を行うことができる。よって、第2検査を終えてから第3検査を円滑に開始することができる。
また、第3検査で第1トレイ供給除去領域A1から検査領域A3に搬送される第3経路においてICデバイス90が検査領域A3内に搬入される方向と、第1検査で第1トレイ供給除去領域A1から検査領域A3に搬送される第1経路においてICデバイス90が検査領域A3内に搬入される方向とは、同方向である。これにより、第2検査で第2トレイ供給除去領域A5から検査領域A3に搬送される第2経路においてICデバイス90が検査領域A3内に搬入される方向(図3中矢印α90参照)と、第3経路においてICデバイス90が検査領域A3内に搬入される方向(図4中矢印α90参照)とが反対となり、オペレーターは、低温検査が行われているか高温検査が行われているかを目視で容易に確認することができる。
以上説明したように、電子部品搬送装置10によれば、互いに異なる温度の検査である常温検査(第1検査)、低温検査(第2検査)および高温検査(第3検査)を、オペレーターの手を介さず、連続して自動で行うことができる。これにより、従来のように、1つの検査が終わって、オペレーターが、異なる電子部品搬送装置に検査の後のICデバイス90を搬送するのを省略することができる。よって、オペレーターによる搬送ミスを省略することができるとともに、オペレーターがICデバイス90を搬送する時間を省略することができる。その結果、正確に検査を行うことができるとともに、検査効率を高めることができる。
<第2実施形態>
以下、図7および図8を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図7および図8を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、デバイス搬送ヘッドの構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
本実施形態では、デバイス搬送ヘッド17のうち、図7に示すようにデバイス搬送ヘッド17Aは、冷却のみがなされ、図8に示すように、デバイス搬送ヘッド17Bは、加熱のみがなされる。
図7に示すように、低温検査時には、温度調整部15、検査部16、デバイス搬送ヘッド17Aおよび第2デバイス供給回収部18Aが冷却される。すなわち、低温検査時には、デバイス搬送ヘッド17Bおよび第2デバイス供給回収部18Bの冷却が省略される。これにより、デバイス搬送ヘッド17Bおよび第2デバイス供給回収部18Bの冷却が省略される分、消費電力を抑制することができる。なお、低温検査時には、図7中矢印α90で示すように、ICデバイス90は、第2デバイス供給回収部18Aを経由し、デバイス搬送ヘッド17Aによって搬送される。
また、図8に示すように、高温検査時には、温度調整部12、第1デバイス供給回収部14B、検査部16およびデバイス搬送ヘッド17Bが加熱される。すなわち、高温検査時には、第1デバイス供給回収部14Aおよびデバイス搬送ヘッド17Aの加熱が省略される。これにより、第1デバイス供給回収部14Aおよびデバイス搬送ヘッド17Aの加熱が省略される分、消費電力を抑制することができる。なお、高温検査時には、図8中矢印α90で示すように、ICデバイス90は、第1デバイス供給回収部14Bを経由し、デバイス搬送ヘッド17Bによって搬送される。
<第3実施形態>
以下、図9を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、各検査の順番が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
以下、図9を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、各検査の順番が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図9のフローチャートに示すように、本実施形態では、第1検査としての低温検査(ステップS201)、第2検査としての常温検査(ステップS202)および第3検査としての高温検査(ステップS203)が、この順で行われる。すなわち、第1検査の第1温度は、室温よりも低く、第2検査の第2温度は、室温であるかまたは室温よりも高い。
このような順番で各検査を行うことにより、次のような利点を得ることができる。一般的には、温度が低い検査を終えた後に、そのままICデバイス90を装置の外側に排出すると、ICデバイス90に結露が生じやすい。このため、温度が低い第1検査を先に行い、その後に第2検査を行うことにより、ICデバイス90が低温状態のまま、装置の外側に排出されるのを防止することができる。その結果、ICデバイス90に結露が生じるのを防止または抑制することができる。
<第4実施形態>
以下、図10を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第4実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、各検査の順番が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
以下、図10を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第4実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、各検査の順番が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図10のフローチャートに示すように、本実施形態では、第1検査としての高温検査(ステップS301)、第2検査としての常温検査(ステップS302)および第3検査としての低温検査(ステップS303)が、この順で行われる。すなわち、第1検査の第1温度は、第2検査の第2温度よりも高い。また、第1検査の第1温度は、室温よりも高く、第2検査の第2温度は、室温であるかまたは室温よりも低い。このような順番で各検査を行うことにより、次のような利点を得ることができる。一般的には、高い温度で検査を行う方が、低い温度で検査を行うよりも不良品が出やすい。このため、本実施形態のように、高い温度の検査から順に行うことにより、先に行った検査での「不良品」のICデバイス90の検査を行うのを省略することができる。
<第5実施形態>
以下、図11〜図14を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第5実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図11〜図14を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第5実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、第3載置領域が設けられていること以外は前記第1実施形態と同様である。
図11に示すように、本実施形態では、電子部品検査装置1は、第1トレイ供給除去領域A1と、第1デバイス搬送領域A2と、検査領域A3と、第2デバイス搬送領域A4と、第2トレイ供給除去領域A5と、トレイ補充領域A6と、トレイ待機領域A7とを備えている。また、電子部品検査装置1は、トレイ搬送機構31と、トレイ搬送機構32とを備えている。
トレイ補充領域A6は、第1トレイ供給除去領域A1と第2トレイ供給除去領域A5との間に設けられている。トレイ補充領域A6は、ICデバイス90が載置されていない空の補充用のトレイ200が供給される第3載置領域である。このように、第1トレイ供給除去領域A1(第1載置領域)および第2トレイ供給除去領域A5(第2載置領域)とは異なる領域(間)に配置され、ICデバイス90(電子部品)が載置される第3載置部としてのトレイ200を配置可能なトレイ補充領域A6(第3載置領域)を備えることにより、後述するように、トレイ200を第1トレイ供給除去領域A1または第2トレイ供給除去領域A5に補充することができる。よって、検査の後のランク分けのランクを増やすことができる。
トレイ待機領域A7は、第1デバイス搬送領域A2と第2デバイス搬送領域A4との間に設けられている。トレイ待機領域A7は、トレイ補充領域A6から供給されたトレイ200を待機させておく領域である。これらトレイ補充領域A6およびトレイ待機領域A7では、多数のトレイ200を積み重ねることもできる。
また、トレイ搬送機構31は、トレイ補充領域A6およびトレイ待機領域A7を跨ぐように設けられている。このトレイ搬送機構31は、トレイ200を、Y方向、すなわち、図11中の矢印α31方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、トレイ200を安定してトレイ待機領域A7に送り込むことができるとともに、トレイ200をトレイ待機領域A7からトレイ補充領域A6に移動させることができる。
また、トレイ搬送機構32は、第1デバイス搬送領域A2、トレイ待機領域A7および第2デバイス搬送領域A4を跨ぐように設けられている。このトレイ搬送機構32は、トレイ200を、X方向、すなわち、図11中の矢印α32方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、トレイ200を安定して第1デバイス搬送領域A2または第2デバイス搬送領域A4に送り込むことができるとともに、トレイ200を第1デバイス搬送領域A2または第2デバイス搬送領域A4からトレイ待機領域A7に移動させることができる。
このような電子部品搬送装置10によれば、以下のような利点を得ることができる。以下、このことについて、常温検査を例に挙げて説明する。
図12は、常温検査を終えたICデバイス90を第2デバイス搬送領域A4の3つのトレイ200ごとにランク付けを行って分類している状態を示す図である。例えば、4つのランク「合格1」、「合格2」、「再検査」および「不合格」ごとに分類する場合、第2デバイス搬送領域A4には、3つのトレイ200が配置されており、1つトレイ200が不足していることとなる。なお、図12では、一例として、第2デバイス搬送領域A4に配置されている3つのトレイ200を、−Y方向側から順に、「合格1」、「合格2」および「再検査」を分類するトレイ200とする。すなわち、第2デバイス搬送領域A4では、「不合格」のICデバイス90を載置するトレイ200が不足している。
この場合、図13中矢印α200で示すように、「不合格」のICデバイス90を載置するトレイ200を、トレイ搬送機構32によって、トレイ待機領域A7から第2デバイス搬送領域A4の「合格1」用のトレイ200上に配置(補充)することができる。よって、図14に示すように、「不合格」のICデバイス90を、補充されたトレイ200上に載置して分類することができる。
そして、再度、第2デバイス搬送領域A4から「不合格」用のトレイ200をトレイ待機領域A7に退避させてもよく、そのまま、次の「合格1」のICデバイス90が搬送されてくるまで第2デバイス搬送領域A4に配置したままでも良い。
なお、図示の構成では、3枚のトレイ200を一括して+X方向に、トレイ1枚分ずらすように移動させているが、2枚分または3枚分一括してずらしてもよい。また、1枚のトレイ200のみを搬送する構成であってもよい。また、「不合格」用のトレイ200は、「合格2」用のトレイ200上に配置されてもよく、「再検査」用のトレイ200上に配置されてもよい。
また、第2検査を行う場合であっても、同じように、トレイ搬送機構32によって、トレイ待機領域A7から第1デバイス搬送領域A2のトレイ200のうちのいずれかのトレイ200上に配置(補充)することができる。
このように、トレイ補充領域A6(第3載置領域)に配置された第3載置部としてのトレイ200は、第1トレイ供給除去領域A1(第1載置領域)に配置された第1載置部としてのトレイ200または第2トレイ供給除去領域A5(第2載置領域)に配置された第2載置部としてのトレイ200上に移動可能である。これにより、第3載置部としてのトレイ200を、第1トレイ供給除去領域A1または第2トレイ供給除去領域A5に補充することができる。よって、検査の後のランク分けのランクを増やすことができる。
<第6実施形態>
以下、図15を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第6実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図15を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第6実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、ヒートポンプが設けられていること以外は前記第1実施形態と同様である。
図14に示すように、本実施形態の電子部品搬送装置10は、加熱部23と、冷却部24と、ヒートポンプ25を有している。
加熱部23は、例えば、通電により発熱するヒーターで構成されている。加熱部23は、図1に示す温度調整部12、デバイス搬送ヘッド13、第1デバイス供給回収部14、検査部16およびデバイス搬送ヘッド17に内蔵されており、各部を加熱する。
冷却部24は、例えば、冷媒が供給されることにより、冷却を行う構成とすることができる。この冷却部24は、温度調整部15、検査部16、第2デバイス供給回収部18、デバイス搬送ヘッド17およびデバイス搬送ヘッド20に内蔵されており、各部を冷却する。
ヒートポンプ25は、例えば、ペルチェ素子を有する構成とすることができる。ヒートポンプ25は、冷却部24で各部の冷却を行った際に生じた排熱を加熱部23に供給するものである。これにより、加熱部23が各部を加熱する際、その加熱を補助することができる。よって、加熱を行う際の消費電力を抑制することができる。
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置では、常温検査、高温検査および低温検査の順に検査を行ってもよく、低温検査、高温検査および常温検査の順に検査を行ってもよく、高温検査、低温検査および常温検査の順に検査を行ってもよい。
常温検査、高温検査および低温検査のうち、少なくとも2つの検査を行う場合でも、本発明の効果を奏することができる。
1…電子部品検査装置、10…電子部品搬送装置、11…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス搬送ヘッド、14…第1デバイス供給回収部、14A…第1デバイス供給回収部、14B…第1デバイス供給回収部、15…温度調整部、16…検査部、17…デバイス搬送ヘッド、17A…デバイス搬送ヘッド、17B…デバイス搬送ヘッド、18…第2デバイス供給回収部、18A…第2デバイス供給回収部、18B…第2デバイス供給回収部、20…デバイス搬送ヘッド、22…トレイ搬送機構、23…加熱部、24…冷却部、25…ヒートポンプ、31…トレイ搬送機構、32…トレイ搬送機構、90…ICデバイス、200…トレイ、231…第1隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、241…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカバー、245…トップカバー、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…制御部、801…記憶部、A1…第1トレイ供給除去領域、A2…第1デバイス搬送領域、A3…検査領域、A4…第2デバイス搬送領域、A5…第2トレイ供給除去領域、A6…トレイ補充領域、A7…トレイ待機領域、S101…ステップ、S102…ステップ、S103…ステップ、S201…ステップ、S202…ステップ、S203…ステップ、S301…ステップ、S302…ステップ、S303…ステップ、t1…時間、t2…時間、α11…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α200…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α22…矢印、α31…矢印、α32…矢印、α90…矢印
Claims (15)
- 電子部品を第1温度で検査する第1検査及び前記第1検査の後に前記電子部品を前記第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査が可能な検査部を配置可能な検査領域と、
前記第1検査の前の前記電子部品を載置可能な第1載置部を配置可能な第1載置領域と、
前記第1載置領域と異なる領域に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品を載置可能な第2載置部を配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記電子部品は、前記第1載置領域から前記検査領域に搬送され、前記検査領域で前記第1検査が行われた後に前記第2載置領域に搬送され、前記第2載置領域から前記検査領域に搬送され、前記検査領域で前記第2検査が行われた後に、前記第1載置領域に搬送される請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1載置領域から前記検査領域に搬送される第1経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向と、
前記第2載置領域から前記検査領域に搬送される第2経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向とは、反対方向である請求項2に記載の電子部品搬送装置。 - 前記電子部品が前記第1載置部から前記検査領域に搬送される経路で、前記電子部品の温度を調整可能な第1温度調整部と、
前記電子部品が前記第2載置部から検査領域に搬送される経路で、前記電子部品の温度を調整可能な第2温度調整部と、を有する請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。 - 前記検査部は、前記第2検査の後に、前記第1温度および前記第2温度と異なる第3温度で前記電子部品を検査する第3検査を行うものである請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1載置領域は、前記第3検査の前の前記電子部品が載置可能である請求項5に記載の電子部品搬送装置。
- 前記検査領域で前記第2検査が行われた後に、前記第1載置領域に搬送された前記電子部品は、前記第1載置領域から前記検査領域に搬送され、前記検査領域で、前記第1温度および前記第2温度と異なる第3温度で前記電子部品を検査する第3検査が行われた後に、前記第2載置領域に搬送される請求項2または3に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第3検査で前記第1載置領域から前記検査領域に搬送される第3経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向と、前記第1検査で前記第1載置領域から前記検査領域に搬送される第1経路において前記電子部品が前記検査領域内に搬入される方向とは、同方向である請求項7に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1温度は、前記第2温度よりも高い請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1温度は、室温よりも高く、前記第2温度は、室温であるかまたは室温よりも低い請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1温度は、室温である請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1温度は室温よりも低く、前記第2温度は室温であるかまたは室温よりも高い請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1載置領域および前記第2載置領域とは異なる領域に、前記電子部品が載置される第3載置部を配置可能な第3載置領域を備える請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第3載置領域に配置された前記第3載置部は、前記第1載置領域に配置された前記第1載置部または前記第2載置領域に配置された前記第2載置部上に移動可能である請求項11に記載の電子部品搬送装置。
- 電子部品を第1温度で検査する第1検査及び前記第1検査の後に前記電子部品を前記第1温度と異なる第2温度で検査する第2検査が可能な検査部と、
前記検査部が配置された検査領域と、
前記第1検査の前の前記電子部品を載置可能な第1載置部を配置可能な第1載置領域と、
前記第1載置領域と異なる領域に位置し、前記第2検査の前の前記電子部品を載置可能な第2載置部を配置可能な第2載置領域と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
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2016
- 2016-11-29 JP JP2016230933A patent/JP2018087735A/ja active Pending
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