JPWO2017038572A1 - 導電性ペースト - Google Patents

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Abstract

比較的大きなチップを基板に接合する場合であっても、接合部における大きなボイドの発生を抑制することのできる導電性ペーストを提供する。平均粒径0.5〜10μmの金属粉と、金属微粒子と、金属微粒子の表面を被覆している被覆剤と、金属粉及び前記金属微粒子を分散させている溶剤と、を含む導電性ペーストであって、金属微粒子の表面に付着した被覆剤を含めた金属微粒子の平均粒径が1〜50nmであり、被覆剤は、炭素数が6〜20の化合物であってカルボキシル構造を有する化合物であり、溶剤は、ヒドロキシル構造、エステル構造及びエーテル構造からなる群から選択される少なくとも一種を有する化合物である、導電性ペースト。

Description

本発明は、例えばチップ型電子部品をプリント配線基板に接合するために好適に使用することのできる、導電性ペーストに関する。
古くから、基板上に電子部品を表面実装するための接合材として、ハンダが用いられてきた。
近年、ハンダによる接合の代わりに、銀などの金属の微粒子を含む導電性ペーストを被接合物同士の間に介在させ、接合材中の金属を焼結させて、被接合物同士を接合する技術が開発されている。
接合材による接合部に大きなボイドが存在すると、繰り返して冷熱サイクルを受けた場合などにおいて、ボイドから接合部に亀裂が生じ、接合の信頼性が低下することがある。
特許文献1には、ボイドの発生を抑制することのできる接合材として、ヘキサン酸などの炭素数8以下の有機化合物で被覆され平均一次粒子径1〜50nmの銀微粒子と、オレイン酸などの有機化合物で被覆された平均一次粒子径0.5〜4μmの銀粒子と、3〜7質量%のアルコールと0.3〜1質量%のトリオールとからなる溶剤と、0.5〜2質量%の酸系分散剤と0.01〜0.1質量%のリン酸エステル系分散剤からなる分散剤と、0.01〜0.1質量%のジグリコール酸などの焼結助剤とを含む銀ペーストからなる接合材において、銀微粒子の含有量が5〜30質量%、銀粒子の含有量が60〜90質量%、銀微粒子と銀粒子の合計の含有量が90質量%以上である、接合剤が開示される。
特許文献2には、4.6g/cc以上のタップ密度を有するマイクロまたはサブマイクロサイズの銀フレークと、銀表面に存在する任意の脂肪酸潤滑剤または界面活性剤を溶解する溶媒を含む、導電性組成物が開示される。この文献における課題は、従来の半導体組み立てにおけるハンダの代替品として高出力デバイスの導電性の増強をもたらし、従来の銀フレークおよび接着性樹脂を含む典型的な導電性接着剤組成物並びに圧力をかけて焼結する必要があるナノ銀だけを含む組成物の代替品を提供することである。
特許文献3には、脂肪酸、脂肪酸塩および脂肪酸エステルからなる群から選択される少なくとも1つの化合物を含むコーティングを有する金属粒子と、少なくとも1つの脂肪族炭化水素化合物とを含有する、ペーストが開示される。前記少なくとも1つのコーティング化合物は、8〜28個の炭素原子を有する飽和脂肪酸、8〜28個の炭素原子を有する飽和脂肪酸の塩、8〜28個の炭素原子を有する飽和脂肪酸のエステル、およびこれらの混合物からなる群から選択されることができる。この文献における課題は、電子部品が基板と安定的に結合されるようにする焼結プロセスであって、プロセス温度が250℃未満であるプロセスと、このプロセスに使用可能なペーストを提供することである。
特開2015−004105号公報 特表2014−512634号公報 特開2012−084514号公報
本発明者の検討によれば、従来の銀ペーストによってチップサイズ約2mm以下の比較的小さいチップを基板に接合した場合、接合部における大きなボイドの発生を抑制することが可能であるが、例えばチップサイズ10mm程度の比較的大きなチップを接合する場合、従来の銀ペーストでは接合部における大きなボイドの発生を抑制することが難しいことがある。
本発明の目的は、比較的大きなチップを基板に接合する場合であっても、接合部における大きなボイドの発生を抑制することのできる導電性ペーストを提供することである。
本発明の一態様によれば、
平均粒径0.5μm以上10μm以下の金属粉と、
金属微粒子と、
前記金属微粒子の表面を被覆している被覆剤と、
前記金属粉及び前記金属微粒子を分散させている溶剤と、
を含む導電性ペーストであって、
金属微粒子の表面に付着した被覆剤を含めた金属微粒子の平均粒径が1nm以上50nm以下であり、
前記被覆剤は、炭素数が6以上20以下の化合物であってカルボキシル構造を有する化合物であり、
前記溶剤は、ヒドロキシル構造、エステル構造及びエーテル構造からなる群から選択される少なくとも一種を有する化合物である、
導電性ペーストが提供される。
本発明の別の態様によれば、前記導電性ペーストの焼結体からなる層を有する、基板が提供される。
本発明によれば、比較的大きなチップを基板に接合する場合であっても、接合部における大きなボイドの発生を抑制することのできる導電性ペーストが提供される。
本発明に係る導電性ペーストは、
平均粒径0.5μm以上10μm以下の金属粉と、
金属微粒子と、
前記金属微粒子の表面を被覆している被覆剤と、
前記金属粉及び前記金属微粒子を分散させている溶剤と、
を含む。
金属微粒子の表面に付着した被覆剤を含めた金属微粒子の平均粒径が1nm以上50nm以下である。
なお、本発明に関して、金属微粒子の量(質量や含有量)に言及する場合、特に断りのない限り、金属微粒子のみ(したがって被覆剤は含まない)の量を意味する。一方、金属微粒子の粒径に言及する場合、特に断りのない限り、金属微粒子の表面に付着した被覆剤を含んだ粒径を意味する。また、平均粒径は、体積基準の存在比率の積算値が50%のメジアン径を意味する。
〔金属成分〕
導電性ペースト中の金属成分として、平均粒径0.5μm以上10μm以下の金属粉と、平均粒径1nm以上50nm以下の金属微粒子と、を用いる。金属粉の平均粒径は、好ましくは0.5〜2μmである。金属微粒子の平均粒径は、好ましくは1〜30nmである。このような金属粉および金属微粒子を用いることにより、導電性ペーストの焼結体からなる接合部に大きなボイドが発生するのを抑制することができる。
導電性および入手容易性の観点から、好ましくは、金属粉は、銀、銅、アルミニウムおよびニッケルからなる群から選択される少なくとも一種からなる。
金属粉の形状は適宜選ぶことができるが、金属粉が、球状金属粉とフレーク状金属粉とを含むことが好ましい。金属粉は、球状金属粉とフレーク状金属粉とからなることもできる。球状金属粉とフレーク状金属粉との質量比(球状金属粉:フレーク状金属粉)が、90:10〜15:85の範囲にあることが好ましい。球状金属粉とフレーク状金属粉とを用いること、さらに好ましくは前記比率で用いることによって、焼成時に揮発する有機成分が抜けやすくなり、接合部に大きなボイドが発生することをいっそう確実に抑制することができる。
なお、金属粉の球状、フレーク状はアスペクト比をもとに定義しており、金属粉が球状であるとは、アスペクト比が1.1未満であることを意味し、金属粉がフレーク状であるとは、アスペクト比が1.1以上であることを意味する。アスペクト比とは、金属粉の[平均長径(μm)]/[平均厚さ(μm)]で算出されるものである。球状金属粉の平均長径および平均厚さは、走査型電子顕微鏡で適正な倍率(2000倍前後)の観察像を得て、その観察像の中にある30個以上の粒子の長径及び厚さを直接観察して、その平均値として得られた値を用いることができる。一方、フレーク状金属粉の平均長径および平均厚さは、まずフレーク銀粉をエポキシ樹脂で固めた試料を製造し、次にその試料の断面を走査型電子顕微鏡(倍率10000倍)で直接観察し、視野内にある銀粒子の30個以上の長径、厚さそれぞれの総和をフレーク状金属粉の個数で除して求めることができる。
導電性の観点から、好ましくは、金属微粒子は、銀、銅、パラジウムおよびニッケルからなる群から選択される少なくとも一種からなる。
金属粉を構成する金属と、金属微粒子を構成する金属とが同じであってもよく、また異なっていてもよい。
〔被覆剤〕
金属微粒子は、金属微粒子同士の凝集を抑制する目的で、被覆剤によって被覆される。この被覆剤は、炭素数が6以上20以下の化合物であってカルボキシル構造を有する化合物、特には有機化合物である。この化合物は、金属微粒子表面に強力に付着可能であり、また、導電性ペーストが使用される200℃〜400℃の温度領域にて分解される一方で、室温では十分に安定(金属微粒子から分離・揮発しにくい)である。好ましい炭素数は6以上18以下である。また、被覆剤として、炭素数6〜8のカルボン酸と炭素数16〜18のカルボン酸を併用することが好ましい。
被覆剤は、分子構造中にカルボキシル基を1つだけ含んでもよいし、2つ以上含んでもよい。また被覆剤は、分子構造中に、カルボキシル基の他に、エステル基、エーテル基およびヒドロキシル基からなる群から選ばれる一種以上の基を含んでいてもよい。被覆剤として、マレイン酸モノエチルやリシノール酸などが好ましい。被覆剤として、これら化合物を単独で使用しても良いし、複数種を併用しても良い。
被覆剤として使用されるカルボキシル基を有する化合物は、構造中に不飽和結合を1つ以上有していてもよいし、不飽和結合を有していなくてもよい。
〔溶剤〕
金属粉および金属微粒子を分散させるために、溶剤を用いる。溶剤は、ヒドロキシル構造、エステル構造及びエーテル構造からなる群から選択される少なくとも一種を有する化合物、特には有機化合物である。
溶剤は、分子構造中にヒドロキシル基を1つ以上含むものが好ましく、ヒドロキシル基に加えて、エステル基および/またはエーテル基を含んでいてもよい。
溶剤の沸点(1気圧における)が好ましくは200〜400℃の範囲、より好ましくは220〜320℃の範囲であると、導電性ペーストの安定性を保ちつつ、焼成時の大きなボイドの発生をより確実に抑制することができる。
溶剤には、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(沸点230℃)、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル(沸点258℃)、ジエチレングリコールモノオクチルエーテル(沸点286℃)、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール(沸点244℃)、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート(沸点247℃)、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール(沸点255℃)などが好ましい。これら溶剤は単独で使用しても良いし、複数種を併用しても良い。
〔組成〕
導電性ペースト中の金属成分の含有量(金属粉と金属微粒子の合計含有量)は、好ましくは87質量%超、98質量%未満、より好ましくは88質量%以上、97質量%以下である。さらに好ましくは、90質量%以上、96質量%以下である。焼成時に揮発させるべき有機成分を低減することができ、接合部に大きなボイドが発生することを、より確実に抑制することができるからである。また、導電性ペースト中の金属成分の含有量は、後に詳述する導電性ペーストの粘度にも関連し、上記範囲の上限値は粘度も考慮したものである。
金属微粒子と被覆剤との合計量に対する被覆剤の量の比率は、好ましくは4質量%を超え、13質量%未満であり、より好ましくは5質量%以上、12質量%以下である。さらに好ましくは、5質量%以上、9質量%以下である。焼成時に揮発させるべき有機成分を低減することができ、接合部に大きなボイドが発生することを、より確実に抑制することができるからである。
導電性ペーストは、金属粉、金属微粒子、被覆剤および溶剤からなっていてよい。あるいは、導電性ペーストがこれら以外の他の成分を含むこともできる。
金属粉と金属微粒子の好ましい質量比は97:3〜80:20、より好ましくは93:7〜87:13である。
有機成分が焼成膜内部に残存することに起因して、導電性ペーストの焼結体の比抵抗が大きくなることを防止する観点から、導電性ペーストは、重合して形成される熱硬化性の樹脂成分を含有しないことが好ましい。
〔導電性ペーストの粘度〕
導電性ペーストの粘度(E型粘度計で10rpm、25℃にて測定した値)は、好ましくは3Pa・s以上150Pa・s以下の範囲、より好ましくは10Pa・s以上100Pa・s以下の範囲である。これにより、メタルマスク印刷やディスペンス印刷に適したペーストにすることができる。
〔導電性ペーストの使用〕
導電性ペーストを基板に塗布し、特にはメタルマスク印刷やディスペンサー印刷などの印刷法によって塗布し、その後適宜焼成することによって導電性ペーストを焼結させることができる。その方法は導電性ペーストの分野で従来公知の方法を用いることができる。そのようにして基板上に形成された焼結体からなる層は、配線や電極として利用できる。また、上記と同様の方法で基板に導電性ペーストを塗布し、その塗膜に接して電子部品などの物体を配置し、焼成することにより、導電性ペーストを接合材として利用できる。樹脂を含まない導電性ペーストは、樹脂成分(有機成分)が焼成膜内部に残存しないため、比較的低温での焼成が可能である。基板としては例えば電子回路基板、特にはプリント基板を適宜用いることができる。
以下に詳述するように、銀微粒子を調製した後、この銀微粒子を用いて導電性ペーストを作成した。
〔実施例1〕
<銀微粒子の調製>
・工程1a
2Lビーカーに、粉末状酸化銀(東洋化学工業製 酸化銀特級、粒度分布30μm以下、平均粒径6μm)を54.25g、メチルシクロヘキサン(沸点101℃の非極性炭化水素溶媒)を225g加えて撹拌した後、30秒間かけてギ酸を22.8g加えて撹拌した。
・工程1b
ギ酸銀生成による発熱がおさまり、液温が30℃になった時点で、オレイルアミン(1級アミン、分子量267.49)4.35g、ジブチルアミン(2級アミン、分子量129.24)64g、メチルシクロヘキサン40gを同時に加えて分解的還元反応を行った。液温は58℃まで上昇した。液温が40℃以下になった時点で撹拌を停止した。
・工程1c
得られた濃紺色の分散液を1Lナス型フラスコに移し、エバポレーター(商品名:N−1100S、東京理科器械製)を用いて、40℃、50hPaの条件で、反応溶媒のメチルシクロヘキサンを留去した。銀微粒子を含有する、スラリー状の残渣を得た。
・工程1d
脱メチルシクロヘキサン後の残渣にメタノールを200g加えた後3分間撹拌を行った。メタノールを加えると銀微粒子の凝集が起こり、1級アミンと2級アミンを被覆してなる銀微粒子はメタノール中に分散することなく、沈殿した。余剰のギ酸やアミン、またはそれらを含有する塩などの成分の相当量は、メタノールに溶解される。その後、上澄み層をデカンテーションにより除去した(1回目の洗浄)。次いで同様にメタノール125gを加え3分間撹拌を行い、上澄み層をデカンテーションにより除去した(2回目の洗浄)。さらに同様にメタノールを10g加え3分間撹拌し、上澄み層をデカンテーションにより除去し(3回目の洗浄)、洗浄工程を終了した。
・工程1e
工程1dから得られたメタノールで洗浄した残渣にメタノール125g、リシノール酸(極性溶媒に対して親和性を有する保護剤すなわち被覆剤として使用される有機酸)3.0gを加えて40℃で15分撹拌を行った。この段階で、銀微粒子はメタノールに完全には分散しておらず、メタノール中で沈殿している。メタノールをデカンテーションにより除去した後、メタノール75gを加えて3分間撹拌することで洗浄を行い、メタノールをデカンテーションにより除去した。得られた残渣にメタノール25gとマレイン酸モノエチル(極性溶媒に対して親和性を有する保護剤すなわち被覆剤として使用される有機酸)5gを加えて40℃で15分撹拌した。
・工程1f
得られた銀微粒子とメタノールとの混合物にヘキサンを100g加えて3分間撹拌した。この微粒子は極性溶媒に対して親和性を有するため、炭化水素溶媒であるヘキサンを加えることで凝集し沈殿する。メタノールとヘキサンの混合層をデカンテーションで除去することで微粒子の洗浄を行った(1回目の洗浄)。メタノールとヘキサンの混合層をデカンテーションにより除去した後、ヘキサン100gを加えて3分間撹拌し、ヘキサンをデカンテーションにより除去することで微粒子の洗浄を行った(2回目の洗浄)。得られた残渣にアセトン100gを加えて3分間撹拌し、アセトンをデカンテーションにより除去した(3回目の洗浄)。得られた残渣にヘキサン50gを加えて3分間撹拌し、ヘキサンをデカンテーションにより除去すること(4回目の洗浄)で洗浄を終了した。洗浄後の残渣から洗浄溶剤を除いたもの(銀微粒子+被覆剤)の一部を熱分析したところ、銀微粒子と被覆剤の合計に対する銀微粒子の割合は93.0質量%であった。
・工程1g
得られた銀微粒子(工程1fから得られた残渣)にイソプロパノール(IPA)を125g加えて、IPA分散液(被覆剤で被覆された銀微粒子がIPAに分散した分散液)を得た。このIPA分散液中には洗浄工程で用いた若干のメタノール、ヘキサン、アセトンが混入している。エバポレーターを用いて40℃、120hPaの条件でそれらの溶媒を蒸気圧の差を用いて選択的に除去した。IPA分散液を0.5μmのガラスフィルター(アドバンテック製)で濾過し、分散液中に少量含まれる凝集物を除去した。IPA分散液(175.1g)中に含まれる銀濃度(分散液全体に対する銀微粒子の質量割合)を測定すると、27.4質量%(銀収率:95質量%)であった。
・工程1h
得られた銀微粒子のIPA分散液(工程1gから得られた分散液)175.1gのうち、73gを300mlのナスフラスコに取り、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を5.0g加えて、エバポレーターを用いて60℃、30hPaの条件でIPAを除去した。これにより、銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液(25.0g)が得られ、銀濃度を測定すると80.0質量%であった。銀微粒子の平均粒径は15nmであった。
<導電性ペーストの作成>
・工程1i
工程1hで得られた銀微粒子分散液25.0gのうち、11.63g(導電性ペーストに含まれる銀微粒子および被覆剤と、導電性ペーストに含まれる溶剤の一部との合計量に相当する)をポリプロピレン製の容器に取った。そこにジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を4.67g(工程1hで得られた銀微粒子分散液には溶剤が1.63g含まれているので、導電性ペーストに含まれる全溶剤量より1.63g少ない量)加え、撹拌脱泡装置(クラボウ社製、商品名:KK−V300、自転:720rpm、公転:935rpm)にて30秒間混合した。そこに、球状銀粉(DOWAエレクトロニクス株式会社製、商品名:Ag−2−1C、平均粒径1.0μm)、フレーク状銀粉:(徳力本店製、商品名:TC−506C、平均粒径3.6μm)をそれぞれ41.85gずつ加え、撹拌脱泡装置にて60秒間混合し、導電性銀ペーストを得た。得られた導電性銀ペーストの銀濃度を測定すると93.2質量%であった。
銀微粒子の平均粒径は、動的光散乱法を用いたナノトラック粒度分析計(日機装製、商品名:UPA−EX 1.50)により測定した。
<導電性ペーストの評価>
上記導電性ペーストについて、次の評価を行った。
・ボイドの評価
導電性ペースト100mgを銀めっき銅基板にディスペンス印刷し、ペースト膜厚が100μmとなるようにシリコンチップ(金めっき付き、10mm□)を搭載した。その後、焼成炉(エスペック製、商品名:PHH−101M)を用いて下記の温度条件で焼成を行った。
温度条件:
室温から昇温速度10℃/分で120℃に昇温し、120℃で30分保持し、次いで昇温速度10℃/分で250℃に昇温し、250℃で60分保持。
焼成した10mm□チップの接合サンプルは、中心部分を切断・研磨したのちに、SEM(日立ハイテクノロジーズ製、商品名:S3400N型走査電子顕微鏡)を用いてボイドを評価した。
接合サンプルの切断面に観察されたボイドのうち、最も大きいボイドの長軸方向の長さをボイドの大きさ(μm)として表1に示す。最も大きいボイドの長軸方向の長さが20μm未満である場合、表1のボイドの大きさの欄に「−」と示した。
・粘度測定
E型粘度計(東機産業製、商品名:TV−25)を用いて回転数10rpm、20℃にて粘度を測定した。
表1に、これらの評価結果を、導電性ペーストの製造条件とともに示す。
以下実施例2〜10について説明するが、これらの例では被覆剤の量を変化させている。表1に実施例2〜10の導電性ペーストの製造条件と評価結果も示す。
〔実施例2〕
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を3.99gに変更したこと、およびジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.34g、マレイン酸モノエチル0.34gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例3〕
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.10gに変更したこと、およびジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.285g、マレイン酸モノエチル0.285gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例4〕
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.22gに変更したこと、およびジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.225g、マレイン酸モノエチル0.225gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例5〕
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.34gに変更したこと、およびジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.165g、マレイン酸モノエチル0.165gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例6〕
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.45gに変更したこと、およびジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.11g、マレイン酸モノエチル0.11gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例7〕
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.56gに変更したこと、およびジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.055g、マレイン酸モノエチル0.055gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例8〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1fの変更
工程1fの4回目の洗浄で得られた残渣に、さらにアセトン100gを加えて3分間撹拌し、アセトンをデカンテーションにより除去した(5回目の洗浄)。得られた残渣にヘキサン50gを加えて3分間撹拌し、ヘキサンをデカンテーションにより除去すること(6回目の洗浄)で洗浄を終了した。洗浄後の残渣から洗浄溶剤を除いたもの(銀微粒子+被覆剤)を熱分析したところ、銀微粒子と被覆剤の合計に対する銀微粒子の割合は96.0質量%であった。
・工程1iの変更
工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.45gに変更し、また、エチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.11g、マレイン酸モノエチル0.11gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合した。
なお、工程1gで得られたIPA分散液(175.1g)中に含まれる銀濃度(分散液全体に対する銀微粒子の質量割合)を測定すると、27.4質量%(銀収率:95質量%)であった。また、工程1gで得られた銀微粒子分散液からIPAを除去し、銀微粒子を得た。これを熱分析した結果、銀微粒子(被覆剤込み)中の銀固形分の割合(銀微粒子と被覆剤の合計量に対する銀微粒子の割合)は96.0質量%であった。
また、工程1hで得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液(25.0g)中の銀濃度を測定すると80.0質量%であった。銀微粒子の平均粒径は15nmであった。
〔実施例9〕
工程1hまで実施例8と同様にして銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液(25.0g)を得たこと、工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.56gに変更したこと、および工程1iで、ジエチレングリコールモノブチルエーテル添加に続いて、さらにリシノール酸0.055g、マレイン酸モノエチル0.055gを配合したうえで撹拌脱泡装置で混合したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例10〕
工程1hまで実施例8と同様にして銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液(25.0g)を得たこと、および工程1iにおいて、配合するジエチレングリコールモノブチルエーテルの量を4.67gに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
以下実施例11〜16について説明するが、これらの例では球状銀粉とフレーク状銀粉の比を変化させている。表2に、これら実施例の導電性ペーストの製造条件と評価結果を示し、また便宜上実施例1のデータも再掲した。
〔実施例11〕
工程1iで配合する球状銀粉の量を83.70g、フレーク状銀粉を未配合とした以外は実施例1と同様にして同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例12〕
工程1iで配合する球状銀粉を79.52gとし、フレーク状銀粉を4.19gとした以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例13〕
工程1iで配合する球状銀粉を75.33gとし、フレーク状銀粉を8.37gとした以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例14〕
工程1iで配合する球状銀粉を16.74gとし、フレーク状銀粉を66.96gとした以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例15〕
工程1iで配合する球状銀粉を12.56gとし、フレーク状銀粉を71.14gとした以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔実施例16〕
工程1iで配合する球状銀粉を8.37gとし、フレーク状銀粉を75.33gとした以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
以下、実施例17〜22について説明するが、これらの例では金属成分の量を変化させている。表3に、これらの例の導電性ペーストの製造条件と評価結果を示し、また便宜上実施例7のデータを再掲した。
〔実施例17〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1hの変更
工程1hにおいて、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)の添加量を2.0gに変更したこと以外は、実施例1の工程1hと同様にしてIPAを除去した。その結果、銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液(23.5g)が得られ、銀濃度を測定すると85.0質量%であった。銀微粒子の平均粒径は15nmであった。
・工程1iの変更
上記で得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液のうち、11.53gをポリプロピレン容器に取り分け、そこにジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)0.26g、リシノール酸0.02g、マレイン酸モノエチル0.02gを配合した後、実施例1の工程1iと同様に撹拌脱泡装置で混合した。さらに、球状銀粉の添加量を44.1gとし、フレーク状銀粉の添加量を44.1gとした。
〔実施例18〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1iの変更
工程1hで得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液から12.125gをポリプロピレン容器に取り分け、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を0.545g、リシノール酸0.015g、マレイン酸モノエチル0.015gを配合した後、実施例1の工程1iと同様に撹拌脱泡装置で混合した。さらに、球状銀粉の添加量を43.65gとし、フレーク状銀粉の添加量を43.65gとした。
〔実施例19〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1iの変更
工程1hで得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液から11.25gをポリプロピレン容器に取り分け、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を7.64g、リシノール酸0.055g、マレイン酸モノエチル0.055gを配合した後、実施例1の工程1iと同様に撹拌脱泡装置で混合した。さらに、球状銀粉の添加量を40.50gとし、フレーク状銀粉の添加量を40.50gとした。
〔実施例20〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1iの変更
工程1hで得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液から11.25gをポリプロピレン容器に取り分け、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を8.67g、リシノール酸0.055g、マレイン酸モノエチル0.055gを配合した後、実施例1の工程1iと同様に撹拌脱泡装置で混合した。さらに、球状銀粉の添加量を40.05gとし、フレーク状銀粉の添加量を40.05gとした。
〔実施例21〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1iの変更
工程1hで得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液から12.13gをポリプロピレン容器に取り分け、ジエチレングリコールモノブチルエーテルを9.69g、リシノール酸0.055g、マレイン酸モノエチル0.055gを配合した後、実施例1の工程1iと同様に撹拌脱泡装置で混合した。さらに、球状銀粉の添加量を39.60gとし、フレーク状銀粉の添加量を39.60gとした。
〔実施例22〕
本例では、以下に述べる点以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1iの変更
工程1hで得られた銀微粒子のジエチレングリコールモノブチルエーテル分散液から12.13gをポリプロピレン容器に取り分け、ジエチレングリコールモノブチルエーテルを10.72g、リシノール酸0.055g、マレイン酸モノエチル0.055gを配合した後、実施例1の工程1iと同様に撹拌脱泡装置で混合した。さらに、球状銀粉の添加量を39.15gとし、フレーク状銀粉の添加量を39.15gとした。
以下実施例23について説明するが、この例では溶剤の種類を変更した。
〔実施例23〕
工程1hおよび1iで使用した溶剤の種類をジエチレングリコールモノブチルエーテルから2−エチル−1,3−ヘキサンジオールに変更した以外は実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
表4に、この例の導電性ペーストの製造条件と評価結果を示す。なお、便宜上、実施例1に係るデータを表4に再掲した。
以下実施例24および25について説明するが、これらの例では被覆剤としてリシノール酸およびマレイン酸モノエチルのいずれか一方のみを用いている。
〔実施例24〕
本例では被覆剤としてリシノール酸のみを用いた。具体的には、次の点を除き、実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1eにおいて、マレイン酸モノエチル5gに替えて、リシノール酸5gを使用した。
・工程1g、1hおよび1iに替えて、以下の操作を行った。
工程1fから得られた銀微粒子(残渣)中の溶媒を、エバポレーターを用いて40℃、120hPaの条件で除去し、ペースト状の銀微粒子を得た(53.30g)。その中に含まれる銀濃度を測定すると、90.0質量%(銀収率:95質量%)であった。銀微粒子の平均粒径は15nmであった。
得られた銀微粒子53.30gのうち、10.33g(導電性ペーストに含まれる銀微粒子と被覆剤との合計量に相当)をポリプロピレン製の容器に取り、そこにジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を5.97g加え、撹拌脱泡装置(クラボウ社製、商品名:KK−V300、自転:720rpm、公転:935rpm)にて30秒間混合した。そこに、実施例1と同じ球状銀粉およびフレーク状銀粉をそれぞれ41.85gずつ加え、撹拌脱泡装置にて60秒間混合し、導電性銀ペーストを得た。得られた導電性銀ペーストの銀濃度を測定すると93.1質量%であった。
この例の製造条件および評価結果を表5に示す。表5には、実施例25の導電性ペーストの製造条件と評価結果も示す。
〔実施例25〕
実施例26では被覆剤としてマレイン酸モノエチルのみを用いた。具体的には、次の点を除き、実施例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
・工程1eにおいて、リシノール酸3gに替えて、マレイン酸モノエチル3gを使用した。
・工程1g、1hおよび1iに替えて、以下の操作を行った。
得られた銀微粒子液中の溶媒をエバポレーターを用いて40℃、120hPaの条件で除去し、ペースト状の銀微粒子を得た(58.51g)。中に含まれる銀濃度を測定すると、82.0質量%(銀収率:95質量%)であった。銀微粒子の平均粒径は16nmであった。
得られた銀微粒子58.51gのうち、11.34g(導電性ペーストに含まれる銀微粒子と被覆剤との合計量に相当)をポリプロピレン製の容器に取り、そこにジエチレングリコールモノブチルエーテル(KHネオケム製)を4.96g加え、撹拌脱泡装置(クラボウ社製、商品名:KK−V300、自転:720rpm、公転:935rpm)にて30秒間混合した。そこに、実施例1と同じ球状銀粉およびフレーク状銀粉をそれぞれ41.85gずつ加え、撹拌脱泡装置にて60秒間混合し、導電性銀ペーストを得た。得られた導電性銀ペーストの銀濃度を測定すると93.0質量%であった。
〔比較例1〕
<銀微粒子の調製>
・工程2a
1000mlビーカーに粉末状酸化銀(東洋化学工業製 酸化銀特級、粒度分布30μm以下、平均粒径6μm)を54.25g、スワクリーン150(商品名、丸善石油化学製、沸点150℃、非極性炭化水素溶媒)を100.3g、トリブチルアミン76g(KHネオケム製)、NAA−35(商品名、オレイン酸、日油製)4.75gを加え、加熱しながら内温が75℃になるまで1時間撹拌した。内温が75℃に到達後、温度を保持したまま更に1時間撹拌を継続した。
・工程2b
1時間撹拌後、ジブチルアミノプロピルアミン(KHネオケム製)5.4gを添加し、更に撹拌を継続した。75℃から内温の上昇が確認されたら加熱を止め、更に撹拌を継続した。オレイン酸銀の分解的還元反応により内温が125℃に到達するのを確認し、さらに撹拌しながら内温が50℃になるまで冷却した。
・工程2c
得られた濃紺色の分散液にメタノール180g、水1.8gを添加、撹拌後、上澄み層をデカンテーションにより除去した。2回目は、メタノール180g、3回目は100gをそれぞれ添加し、同様の方法で粒子の洗浄を行い、スラリー状の残渣を得た。得られた残渣にヘプタン80gとジブチルアミノプロピルアミン7.5gを添加し撹拌した。静置後、上部のメタノール層をデカンテーションにより除去した。さらに、メタノール50gを添加、撹拌後上澄み層を除去した。さらに、メタノール50g、蒸留水0.5gを添加、撹拌後、上澄み層を除去した。
・工程2d
工程2cから得られたヘプタン分散液を内温が60℃になるまで加熱し、メタノールおよび水を除去した。
・工程2e
工程2dで得られたヘプタン分散液を0.2μmのPTFEフィルター(アドバンテック製)で濾過し、分散液中に少量含まれる凝集物を除去した。ヘプタン分散液を一部採取し、ヘプタン除去後、銀微粒子(被覆剤で被覆された銀微粒子)の有機物量を熱分析により測定した結果、有機物量は14.0質量%であった。また、ヘプタン分散液(94.0g)中の銀固形分(金属成分)の割合は52.1質量%であった。
・工程2f
得られた銀微粒子のヘプタン分散液(工程2fから得られた分散液)94.0gのうち、50gを300mlのナスフラスコに取り、そこにテトラデカンを6.5g添加し、エバポレーターを用いて60℃30hPaの条件でヘプタンを除去した。これにより、銀微粒子のテトラデカン分散液(32.55g)が得られ、銀濃度を測定すると80.0質量%であった。
<導電性ペーストの作成>
・工程2g
工程2fで得られた銀微粒子分散液32.55gのうち、11.61g(導電性ペーストに含まれる銀微粒子および被覆剤と、導電性ペーストに含まれる溶剤の一部との合計量に相当)をポリプロピレン製の容器に取り、そこにテトラデカンを4.69g(工程2fで得られた銀微粒子分散液には溶剤が0.81g含まれているので、導電性ペーストに含まれる全溶剤量より0.81g少ない量)加え、撹拌脱泡装置(クラボウ社製、商品名:KK−V300、自転:720rpm、公転:935rpm)にて30秒間混合した。そこに、実施例1と同じ球状銀粉およびフレーク状銀粉をそれぞれ41.85gずつ加え、撹拌脱泡装置にて60秒間混合し、導電性銀ペーストを得た。得られた導電性銀ペーストの銀濃度を測定すると93.0質量%であった。
得られた導電性ペーストにつき、実施例1と同様の評価を行った。この例の製造条件および評価結果を表6に示す。なお表6には比較例2〜4の導電性ペーストの製造条件と評価結果も示す。
〔比較例2〕
工程2gにおいて、配合する銀微粒子分散液の量を10.88g、配合するテトラデカン量を10.82gに変更した以外は比較例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔比較例3〕
工程2gにおいて、配合する球状銀粉を83.7gとし、フレーク状銀粉を未配合とした以外は比較例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
〔比較例4〕
工程2gにおいて、配合する銀微粒子分散液の量を10.88g、配合するテトラデカン量を10.82gに変更し、配合する球状銀粉を78.3gとし、フレーク状銀粉を未配合とした以外は比較例1と同様にして、導電性銀ペーストを製造し、評価した。
Figure 2017038572
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Claims (9)

  1. 平均粒径0.5μm以上10μm以下の金属粉と、
    金属微粒子と、
    前記金属微粒子の表面を被覆している被覆剤と、
    前記金属粉及び前記金属微粒子を分散させている溶剤と、
    を含む導電性ペーストであって、
    金属微粒子の表面に付着した被覆剤を含めた金属微粒子の平均粒径が1nm以上50nm以下であり、
    前記被覆剤は、炭素数が6以上20以下の化合物であってカルボキシル構造を有する化合物であり、
    前記溶剤は、ヒドロキシル構造、エステル構造及びエーテル構造からなる群から選択される少なくとも一種を有する化合物である、
    導電性ペースト。
  2. 前記金属微粒子と前記被覆剤との合計量に対する被覆剤の量の比率が、4質量%を超え、13質量%未満である、
    請求項1に記載の導電性ペースト。
  3. 前記金属粉と前記金属微粒子との合計含有量が、87質量%を超え、98質量%未満である、
    請求項1又は2に記載の導電性ペースト。
  4. 前記金属粉が、球状金属粉とフレーク状金属粉とを含み、
    前記球状金属粉と前記フレーク状金属粉との質量比(球状金属粉:フレーク状金属粉)が、90:10〜15:85の範囲にある、
    請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電性ペースト。
  5. 前記溶剤の沸点が、200℃以上400℃以下の範囲にある、
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電性ペースト。
  6. 前記金属粉が、銀、銅、アルミニウムおよびニッケルからなる群から選択される少なくとも一種からなり、
    前記金属微粒子が、銀、銅、パラジウムおよびニッケルからなる群から選択される少なくとも一種からなる、
    請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電性ペースト。
  7. 前記導電性ペーストの粘度(10rpm、25℃)が、3Pa・s以上150Pa・s以下の範囲にある、
    請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電性ペースト。
  8. 前記被覆剤が、炭素数6〜8のカルボン酸と炭素数16〜18のカルボン酸とからなる、
    請求項1〜7のいずれか1稿に記載の導電性ペースト。
  9. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の導電性ペーストの焼結体からなる層を有する、
    基板。
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