JP6736782B2 - 接合用組成物 - Google Patents
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Description
本発明者らは、以下の構成により上記課題が解決できることを見出した。
具体的には、例えば、1,4−ブタンジアミン、1,5−ペンタンジアミン等のジアミン;ペンタノールアミン、アミノイソブタノール等のアミノアルコール;ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン等のアルキルアミン(直鎖状アルキルアミン、側鎖を有していてもよい。);シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン等のシクロアルキルアミン;3−メトキシプロピルアミン等のアルコキシアミン;ジグリコールアミン;アニリン;アリルアミン等が挙げられる。なお、上記第一級アミンの炭素数とは、主鎖及び側鎖の炭素数の合計である。
より低温で銀微粒子の表面から離脱するアミンを用いることで、本発明の接合用組成物を焼成する際に、銀微粒子同士の融着をより促進することができる。
なお、本発明の接合用組成物は、分散媒として、上記第一の銀微粒子を被覆する第一級アミン及び上記第二の銀微粒子を被覆する第一級アミンを含まないことが好ましい。分散媒として、上記第一及び第二の銀微粒子と同じ有機成分を含む場合、相溶性が得られるため銀微粒子の分散性が向上する傾向にあるが、被覆していない状態では揮発性が高く、接合用組成物として安定性がない場合があるためである。
上記不飽和炭化水素の含有量は、0.2重量%以上1.5重量%以下であることがより好ましい。
銀微粒子との相溶性と揮発性とを両立する観点から、水酸基を有するエーテルを有機溶剤として用いることが好ましく、ヘキシルカルビトール等が挙げられる。
上記水酸基を有する有機溶剤の含有量は、60重量%以上98重量%以下であることがより好ましい。
また、本発明の接合用組成物は、大気雰囲気又は不活性雰囲気下で加熱焼成されるものであるが、被接合体として無垢のCuを用いる場合、不活性雰囲気下で加熱焼成されるものであることが好ましい。
接合層(焼結体ともいう)を形成する際の雰囲気が、大気雰囲気という酸素を含む酸化雰囲気である場合、接合力に悪影響を及ぼす可能性のある、被接合体との界面部の酸化膜形成が懸念される。Au、Agを用いる場合は酸化膜をほとんど形成しないが、無垢のCuを用いる場合、こうした影響が顕著になる傾向があると考えられる。したがって、こうした影響を排除できうる窒素を初めとした不活性雰囲気下で加熱焼成されるものであることが好ましい。なお、本発明の接合用組成物は、不活性雰囲気下での加熱焼成においても、充分な接合強度を発揮するものである。
本発明の接合用組成物の製造方法は、特に限定されないが、まず、銀微粒子分散体を調製し、上記銀微粒子分散体と分散媒とを、必要に応じて上記各種成分と混合することにより、本発明の接合用組成物を得ることができる。
特に本発明における接合用組成物において、銀微粒子を被覆する第一級アミンは、炭素数が4〜12であり、かつ、沸点が300℃以下であるため、300℃以下の比較的低温度においても銀微粒子から脱離しやすい。
このようにして接合用組成物を調製することができる。
本発明の接合用組成物を用いれば、比較的低温(例えば、300℃以下、好ましくは275℃程度)でも、加熱を伴う部材同士の接合において高い接合強度を得ることができる。即ち、上記接合用組成物を第1の被接合部材と第2の被接合部材との間に塗布する接合用組成物塗布工程と、第1の被接合部材と第2の被接合部材との間に塗布した接合用組成物を、所望の温度(例えば、300℃以下、好ましくは275℃程度)で焼成して接合する接合工程とにより、第1の被接合部材と第2の被接合部材とを接合することができる。
<銀微粒子Aの調製>
3−メトキシプロピルアミン(沸点116℃)3.0gをマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。さらにそこへドデシルアミン(沸点249℃)を20g添加して同温度で15分間反応させた。
ジグリコールアミン6.0gをマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。そこへドデシルアミン(沸点249℃)を20g添加して同温度で15分間反応させた。
得られた銀微粒子A及び銀微粒子Bをそれぞれ1gずつ測り取り、ここに、分散媒としてヘキシルカルビトール0.1g、ブチルカルビトールアセテート0.1g及びリノシール酸0.01gを加えて攪拌混合し、接合用組成物を得た。
(1)一次粒子の平均粒径の測定
得られた銀微粒子A及び銀微粒子Bの一次粒子の平均粒子径を、走査型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ製、S−4800)を用いて撮影した写真から、ランダムに選択した200個程度の一次粒子の粒径を画像処理ソフトWinROOF(MITANI CORPORATION製)にて測定して算出した。
得られた結果を下記表1に示す。
得られた接合用組成物を無垢の無酸素銅板(20mm角)にメタルマスクを用いて6mm角に塗布し、予備乾燥として70℃に設定したオーブンに入れて30分間乾燥させた。乾燥させた該接合用組成物の上に、金メッキを施したSiチップ(底面積5mm×5mm)を積層し、0.2MPaで押し付けた。
得られた結果を下記表1に示す。
得られた接合用組成物を無垢の無酸素の窒化ケイ素の銅張り基板(30mm×40mm)にメタルマスクを用いて11mm角に塗布し、予備乾燥として70℃に設定したオーブンに入れて30間乾燥させた。乾燥させた該接合用組成物の上に、金メッキを施したSiチップ(底面積10mm×10mm)を積層し、0.2MPaで押し付けた。
上記(3)で作製した耐熱信頼性試験前の積層体の接合部分を研磨した後、イオンミリングにて断面出しを行った。その後、走査電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ製、S−4800)にて断面観察を行った。断面観察した電子顕微鏡写真から該接合用組成物が焼結した層の空隙の面積を、該接合用組成物が焼結した層の全体面積で割って空隙率を算出した(画像処理ソフトWinROOF(MITANI CORPORATION製)にて測定し算出した)。空隙率が10%以下の場合を「〇」、空隙率が11〜20%の場合を「△」、空隙率が20%以上の場合、及び、大きな空隙が存在したり、接合した界面が剥離したりしているものは「×」とした。
得られた結果を下記表1に示す。
接合用組成物の調製で用いる銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子Aを0.8g、銀微粒子Bを1.2gに変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様の評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
接合用組成物の調製で用いる銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子Aを1.2g、銀微粒子Bを0.8gに変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様の評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
銀微粒子Bの調製で用いるジグリコールアミンを6.0gから10.0gに変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様の評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
銀微粒子Aの調製で用いる3−メトキシプロピルアミンを3.0gから9.0gに変更し、銀微粒子Bの調製で用いるジグリコールアミンを6.0gから10.0gに変更し、さらに、接合用組成物の調製で用いる銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子Aを1.4g、銀微粒子Bを0.6gに変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様の評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
銀微粒子A及び銀微粒子Bの調製で用いたドデシルアミンをオクチルアミン(沸点176℃)に変更し、接合用組成物の調製で用いた分散媒を、ヘキシルカルビトール0.05g、ブチルカルビトールアセテート0.05g及びリシノール酸0.005gに変更したこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を得た。また、上記評価試験(2)及び(3)における積層体の作製において70℃の予備乾燥を行わなかったこと以外は実施例1と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
銀微粒子A及び銀微粒子Bの調製で用いたドデシルアミンをオクチルアミン(沸点176℃)に変更し、接合用組成物の調製で用いた銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子Aを1.0g、銀微粒子Bを1.0gに変更し、分散媒を、ヘキシルカルビトール0.05g、ブチルカルビトールアセテート0.05g及びリシノール酸0.005gに変更したこと以外は、実施例5と同様にして接合用組成物を得た。また、上記評価試験(2)及び(3)における積層体の作製において70℃の予備乾燥を行わなかったこと以外は実施例5と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
銀微粒子A及び銀微粒子Bの調製で用いたドデシルアミンを添加しなかったこと、接合用組成物の調製で用いた銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子Aを1.2g、銀微粒子Bを0.8gに変更し、分散媒を、ヘキシルカルビトール0.05g、ブチルカルビトールアセテート0.05g及びリシノール酸0.005gに変更したこと以外は、実施例5と同様にして接合用組成物を得た。また、上記評価試験(2)及び(3)における積層体の作製において70℃の予備乾燥を行わなかったこと以外は実施例5と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
銀微粒子A及び銀微粒子Bの調製で用いたドデシルアミンをオクチルアミン(沸点176℃)に変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を得た。また、実施例1と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表1に示す。
接合用組成物の調製で用いた銀微粒子Aを添加せず、銀微粒子Bの量を2.0gに変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様に評価を行った。得られた結果を下記表2に示す。
接合用組成物の調製で用いた銀微粒子Bを添加せず、銀微粒子Aの量を2.0gに変更したこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様に評価を行った。得られた結果を下記表2に示す。
<銀微粒子Aの調製>
3−メトキシプロピルアミン(沸点116℃)2.0gとジグリコールアミン2.0gをマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。反応後の懸濁液の分散媒を置換するため、メタノール10mlを当該懸濁液に加えて攪拌後、遠心分離により銀微粒子Aを沈殿させて分離し、上澄みを捨てた。分離した銀微粒子Aに対して再度メタノール10mlを加え、攪拌及び遠心分離を行うことで銀微粒子Aを沈殿させて分離した。
得られた銀微粒子Aを2g測り取り、ここに、分散媒としてヘキシルカルビトール0.05g、ブチルカルビトールアセテート0.05g及びリシノール酸0.005gを加えて攪拌混合し、接合用組成物を得た。
接合用組成物の調製において、銀微粒子Bとして福田金属箔粉工業製マイクロ銀粒子(平均粒径2.5μm)を用いたこと以外は実施例3と同様にして接合用組成物を調製し、実施例3と同様にして評価を行った。得られた結果を下記表2に示す。
<銀微粒子Aの調製>
3−メトキシプロピルアミン(沸点116℃)3.0gをマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。さらにそこへレブリン酸10gを添加して同温度で15分間反応させた。反応後の懸濁液の分散媒を置換するため、メタノール10mlを当該懸濁液に加えて攪拌後、遠心分離により銀微粒子Aを沈殿させて分離し、上澄みを捨てた。分離した銀微粒子Aに対して再度メタノール10mlを加え、攪拌及び遠心分離を行うことで銀微粒子Aを沈殿させて分離した。得られた銀微粒子Aは、レブリン酸で被覆されており、3−メトキシプロピルアミンによる被覆はされていなかった。
ジグリコールアミン6.0gをマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。反応後の懸濁液の分散媒を置換するため、メタノール10mlを当該懸濁液に加えて攪拌後、遠心分離により銀微粒子Bを沈殿させて分離し、上澄みを捨てた。分離した銀微粒子Bに対して再度メタノール10mlを加え、攪拌及び遠心分離を行うことで銀微粒子Bを沈殿させて分離した。
得られた銀微粒子Aを0.8g、銀微粒子Bを1.2g測り取り、ここに、分散媒としてヘキシルカルビトール0.1g、ブチルカルビトールアセテート0.1g及びリシノール酸0.01gを加えて攪拌混合し、接合用組成物を得た。
得られた接合用組成物に対し、実施例1と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表2に示す。
<銀微粒子Aの調製>
3−メトキシプロピルアミン(沸点116℃)3.0gと、ドデシルアミン(沸点249℃)20gと、をマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。反応後の懸濁液の分散媒を置換するため、メタノール10mlを当該懸濁液に加えて攪拌後、遠心分離により銀微粒子Aを沈殿させて分離し、上澄みを捨てた。分離した銀微粒子Aに対して再度メタノール10mlを加え、攪拌及び遠心分離を行うことで銀微粒子Aを沈殿させて分離した。
3−メトキシプロピルアミン(沸点116℃)5.0gと、ドデシルアミン(沸点249℃)0.5gと、ジグリコールアミン6.0gと、をマグネティックスターラーで充分に攪拌しながらシュウ酸銀3.0gを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を100℃の恒温層に入れ、約15分間反応させた。反応後の懸濁液の分散媒を置換するため、メタノール10mlを当該懸濁液に加えて攪拌後、遠心分離により銀微粒子Bを沈殿させて分離し、上澄みを捨てた。分離した銀微粒子Bに対して再度メタノール10mlを加え、攪拌及び遠心分離を行うことで銀微粒子Bを沈殿させて分離した。
得られた銀微粒子Aと銀微粒子Bとをそれぞれ1.0gずつ測り取り、ここに、分散媒としてヘキシルカルビトール0.1g、ブチルカルビトールアセテート0.1g及びリシノール酸0.01gを加えて攪拌混合し、接合用組成物を得た。
得られた接合用組成物に対し、実施例1と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表2に示す。
接合用組成物の調製において、分散媒としてリシノール酸を加えなかったこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、実施例1と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表2に示す。
接合用組成物の調製で用いた銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子A0.8g、銀微粒子B1.2gに変更したこと以外は、実施例8と同様にして接合用組成物を得た。また、実施例8と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表3に示す。
銀微粒子Bとして、実施例1の銀微粒子Bの調製方法においてドデシルアミンを添加せずに合成したものを用いたことと、分散媒を2−エチル−1,3−ヘキサンジオール0.05g、ブチルカルビトールアセテート0.05g、リシノール酸0.005gに変更したこと以外は実施例10と同様にして接合用組成物を得た。また、実施例10と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表3に示す。
銀微粒子Bとして、実施例1の銀微粒子Bの調製方法においてドデシルアミンを添加せずに合成したものを用いたことと、接合用組成物の調製で用いた銀微粒子A及び銀微粒子Bの量を、銀微粒子A0.4g、銀微粒子B1.6gに変更したこと以外は、実施例8と同様にして接合用組成物を得た。また、実施例8と同様にして評価試験を行った。得られた結果を下記表3に示す。
Claims (5)
- 第一級アミンで被覆されている銀微粒子と、分散媒とを含有する接合用組成物であって、
前記第一級アミンは、炭素数が4〜12、かつ、沸点が300℃以下であり、
前記銀微粒子は、平均粒径が45〜75nmである第一の銀微粒子と、平均粒径が200〜550nmである第二の銀微粒子とを含み、
前記分散媒は、ブチルカルビトールアセテート及びリシノール酸を含むことを特徴とする接合用組成物。 - 前記第一の銀微粒子と前記第二の銀微粒子との重量比率は、4:6〜7:3であることを特徴とする請求項1に記載の接合用組成物。
- 前記分散媒は、水酸基を有する有機溶剤を少なくとも含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の接合用組成物。
- 高分子分散剤を含まないことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の接合用組成物。
- 前記接合用組成物を275℃で加熱焼成して得られる接合層の空隙率が10%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の接合用組成物。
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