JPWO2016190381A1 - 露光用照明装置、露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) 光源と、
p行、q列(p,qは、整数)のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子を有し、前記光源からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
反射面の形状を変更可能なミラー曲げ機構を備え、前記フライアイレンズから出射された前記光を反射する反射鏡と、
を備え、
露光パターンが形成されたマスクを介して前記光源からの露光光をワーク上に照射して前記露光パターンを前記ワークに露光転写する露光用照明装置であって、
前記光源と前記フライアイレンズとの間に配置されて露光面での照度分布を変更可能な光学フィルタを更に備え、
前記光学フィルタは、p−2〜p+2行、q−2〜q+2列のマトリックス状に配列され、それぞれ光透過率分布を持った複数のセルを有し、
前記光学フィルタは、前記光の光軸に直交する方向に移動可能であることを特徴とする露光用照明装置。
(2) 前記光学フィルタは、p+2行、q+2列のマトリックス状に配列された前記複数のセルを有することを特徴とする(1)に記載の露光用照明装置。
(3) 前記光学フィルタの周囲に配置される2行の前記セルは、列方向のサイズにおいて、前記光学フィルタの内部に配置される前記セルの半分以上となるように設計され、
前記光学フィルタの周囲に配置される2列の前記セルは、行方向のサイズにおいて、前記光学フィルタの内部に配置される前記セルの半分以上となるように設計されることを特徴とする(2)に記載の露光用照明装置。
(4) 前記光学フィルタは、p+1行、q+1列のマトリックス状に配列された前記複数のセルを有することを特徴とする(1)に記載の露光用照明装置。
(5) 前記各セルは、それぞれ同一の光透過率分布を有し、
前記光学フィルタは、前記露光面での照度分布が均一となるように、前記反射鏡の反射面の形状に応じて、前記光の光軸に直交する方向に移動させることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の露光用照明装置。
(6) 前記各セルは、中心部から周辺部に向かって、次第に光透過率が高くなる光透過率分布を有することを特徴とする(5)に記載の露光用照明装置。
(7) 前記光学フィルタは、前記光の光軸に沿って移動可能であることを特徴とする(1)〜(6)のいずれかに記載の露光用照明装置。
(8) 複数の前記光学フィルタを前記光の光軸に沿って並べて配置することを特徴とする(1)〜(7)のいずれか1項に記載の露光用照明装置。
(9) マスクを支持するマスク支持部と、
ワークを支持するワーク支持部と、
(1)〜(8)のいずれかに記載の露光用照明装置と、
を備え、
前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射して前記マスクの露光パターンを前記ワークに露光転写することを特徴とする露光装置。
(10) (9)に記載の露光装置を使用し、前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射して前記マスクの露光パターンを前記ワークに露光転写することを特徴とする露光方法。
(11) 前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射している間に、前記光学フィルタを前記光の光軸に直交する方向に移動させることを特徴とする(10)に記載の露光方法。
なお、上下微動装置8は、モータ17とボールねじによってスライド体12を駆動する代わりに、リニアモータによってスライド体12を駆動するようにしてもよい。
なお、上下微動装置8によってワークステージ2の高さを十分に調整できる場合には、上下粗動装置7を省略してもよい。
さらに、光学フィルタ90を曲げることにより、露光面における照度への影響を変えるようにしてもよい。
なお、フライアイレンズ65のレンズ素子65aと光学フィルタ90のセル91とは、互いの行と列の方向がそれぞれ一致するように配置されている。
なお、光学フィルタ90のセル91は、フライアイレンズ65のレンズ素子65aと同じ、p行、q列のマトリックス状に配列されたものであってもよい。
なお、露光面における複数個所の照度分布の調節は、露光制御用シャッターユニット64が開いている間に、光学フィルタ90を移動させることによっても達成可能である。
例えば、上記実施形態の光学フィルタの光透過率分布は、中心部の光透過率が周辺部の光透過率より低いとして説明したが、これとは逆に、中心部の光透過率が周辺部の光透過率より高い光透過率分布を有する光学フィルタであってもよい。この場合も、露光面における照度が高い部分に、光学フィルタの光透過率が低い部分を対向して配置することで、露光面における照度分布を均一にすることができる。
さらに、光学フィルタのセルのピッチは、一定として説明したが、ランプユニットからの光が平行光ではなく、わずかに集光しながら、あるいは拡散しながら光学フィルタを通ってフライアイレンズに入射するような場合は、平行光と光路との角度に合わせて、光学フィルタの各セルのピッチをずらしてもよい。
2 ワークステージ(ワーク支持部)
3 照明装置(露光用照明装置)
60 ランプユニット(光源)
65 フライアイレンズ
65a レンズ素子
68 平面ミラー(反射鏡)
70 ミラー変形ユニット(ミラー曲げ機構)
90 光学フィルタ
91 セル
EL 光路(光軸)
M マスク
PE 近接露光装置
W ワーク
Claims (11)
- 光源と、
p行、q列(p,qは、整数)のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子を有し、前記光源からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
反射面の形状を変更可能なミラー曲げ機構を備え、前記フライアイレンズから出射された前記光を反射する反射鏡と、
を備え、
露光パターンが形成されたマスクを介して前記光源からの露光光をワーク上に照射して前記露光パターンを前記ワークに露光転写する露光用照明装置であって、
前記光源と前記フライアイレンズとの間に配置されて露光面での照度分布を変更可能な光学フィルタを更に備え、
前記光学フィルタは、p−2〜p+2行、q−2〜q+2列のマトリックス状に配列され、それぞれ光透過率分布を持った複数のセルを有し、
前記光学フィルタは、前記光の光軸に直交する方向に移動可能であることを特徴とする露光用照明装置。 - 前記光学フィルタは、p+2行、q+2列のマトリックス状に配列された前記複数のセルを有することを特徴とする請求項1に記載の露光用照明装置。
- 前記光学フィルタの周囲に配置される2行の前記セルは、列方向のサイズにおいて、前記光学フィルタの内部に配置される前記セルの半分以上となるように設計され、
前記光学フィルタの周囲に配置される2列の前記セルは、行方向のサイズにおいて、前記光学フィルタの内部に配置される前記セルの半分以上となるように設計されることを特徴とする請求項2に記載の露光用照明装置。 - 前記光学フィルタは、p+1行、q+1列のマトリックス状に配列された前記複数のセルを有することを特徴とする請求項1に記載の露光用照明装置。
- 前記各セルは、それぞれ同一の光透過率分布を有し、
前記光学フィルタは、前記露光面での照度分布が均一となるように、前記反射鏡の反射面の形状に応じて、前記光の光軸に直交する方向に移動させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の露光用照明装置。 - 前記各セルは、中心部から周辺部に向かって、次第に光透過率が高くなる光透過率分布を有することを特徴とする請求項5に記載の露光用照明装置。
- 前記光学フィルタは、前記光の光軸に沿って移動可能であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の露光用照明装置。
- 複数の前記光学フィルタを前記光の光軸に沿って並べて配置することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の露光用照明装置。
- マスクを支持するマスク支持部と、
ワークを支持するワーク支持部と、
前記請求項1〜8のいずれか1項に記載の露光用照明装置と、
を備え、
前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射して前記マスクの露光パターンを前記ワークに露光転写することを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置を使用し、前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射して前記マスクの露光パターンを前記ワークに露光転写することを特徴とする露光方法。
- 前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射している間に、前記光学フィルタを前記光の光軸に直交する方向に移動させることを特徴とする請求項10に記載の露光方法。
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Citations (4)
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JP2001135564A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Canon Inc | 投影露光装置 |
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