KR100849871B1 - 노광장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 마스크와 감광기판의 평행도를 높은 정밀도로 유지하고, 마스크의 패턴을 감광기판에 정확히 투영하여 노광하는 노광장치를 제공하는 것이다.

(해결수단) 조명광학계 (30) 로 조명된 마스크 (10) 에 형성된 패턴을, 투영광학계 (40) 를 통해 감광기판 (20) 에 투영하고, 마스크 (10) 와 감광기판 (20) 을 투영광학계 (40) 에 대하여 소정의 주사방향으로 동기하여 주사하고, 패턴을 감광기판 (20) 에 노광하는 노광장치 (1) 에 있어서, 마스크 (10) 의 상방에 위치하여 이 마스크를 부압(負壓)으로 상방으로 상승시키는 흡인장치 (50) 를 구비한다. 흡인장치 (50) 는 조명광학계 (30) 의 근방에 배치되고, 마스크 (10) 에 대향하는 복수의 흡인패드 (51A∼51E) 를 구비한다.

흡인장치

Description

노광장치{EXPOSURE APPARATUS}

도 1 은 본 발명에 관한 노광장치의 일 실시형태의 일부를 파단한 상태의 정면도.

도 2 는 도 1 의 A-A선을 자른 단면도.

도 3 은 도 1 의 좌측면도.

도 4 는 조명광학계의 개략 구성을 나타낸 사시도.

도 5 는 투영광학계의 개략 구성도.

도 6 은 1개의 흡인패드의 단면도.

도 7 은 9개의 흡인패드의 배관도.

도 8(a) 는 마스크의 중심선 상에서의 흡인패드의 흡인력의 조정에 의한 변화의 일례를 나타낸 설명도, 도 8(b) 는 마스크의 중심선으로부터 어긋난 흡인패드의 흡인력의 조정에 의한 변화의 일례를 나타낸 설명도.

도 9 는 흡인패드의 흡인력의 조정에 의한 변화의 다른 예를 나타낸 설명도.

도 10 은 종래의 노광장치에 의한 마스크의 변형을 나타낸 설명도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 노광장치 10 : 마스크

20 : 감광기판 30 : 조명광학계

40 : 투영광학계 41A∼41E : 투영광학계모듈

12 : 마스크이동장치 (구동수단) 22 : 기판이동장치

50 : 휨보정장치 (흡인장치) 51A∼51I : 흡인패드 (흡인부)

53 : 구동기구 54 : 부압통로

55 : 가압통로 56 : 감압장치

57 : 배관 58 : 조정밸브

59 : 배관 60 : 가압장치

80 : 계측기구

본 발명은 액정 디스플레이패널이나 집적회로의 제조공정에서 사용되는 노광장치에 관한 것으로, 특히 마스크에 형성된 패턴을 노광기판 상에 정확히 노광할 수 있는 주사형 노광장치에 관한 것이다.

종래에 이런 종류의 노광장치로서, 패턴이 형성된 마스크를 지지하여 이동하는 마스크 스테이지, 마스크를 조명하는 마스크 조명수단, 감광기판을 지지하여 마스크 스테이지와 동기하여 이동하는 기판스테이지 및, 감광기판에 마스크 패턴을 투영하는 투영광학계를 구비하는 주사형 노광장치가 있었다. 이러한 노광장치에서는 패턴을 형성한 마스크는 마스크 스테이지에 의해 외주부가 지지되고 있다. 즉, 마스크는 중심부가 노광영역이고 중심부를 지지할 수 없기 때문에, 일반적으로 외주부에서 지지되고 있다.

상기 구조의 노광장치는, 예컨대 액정패널의 노광에 사용되며, 마스크는 1 ㎛ 이하의 위치정밀도로 패턴이 묘화되어 있고, 노광장치는 감광기판 상에 복수의 마스크의 패턴을 1 ㎛ 이하의 정밀도로, 복수층으로 중첩시켜 노광하는 것이 요구된다. 그 때문에, 패턴이 묘화된 마스크와, 이 패턴이 노광되는 감광기판은 매우 높은 정밀도를 갖는 위치정밀도가 요구되는 동시에, 높은 평행도가 요구되고 있다.

그런데, 근래, 액정 디스플레이패널 등의 노광에 사용되는 마스크는 대면적화되고, 이와 같은 큰 마스크를 외주부에서 지지하면, 마스크의 중심부가 자체 중량에 의해 하방으로 만곡된다고 하는 문제가 있다. 길이가 예컨대 700∼800 ㎜, 폭이 500 ㎜ 정도이고 두께가 8 ㎜ 정도인 글래스기판으로 마스크를 구성하고, 이 마스크를 외주에서 지지하면, 도 10 에 나타낸 바와 같이, 마스크 (M) 의 중심부가 자체 중량에 의해 100 ㎛ 가깝게 내려가, M' 의 위치로 이동되어 버린다. 이와 같이 마스크 (M) 의 중심부가 외주의 지지부보다 내려가면, 패턴을 투영광학계에 의해 감광기판에 투영하였을 때 초점이 정확히 일치하지 않고, 또 마스크 (M) 의 만곡에 의해 패턴의 치수 (s) 가 늘어나 s' 으로 되어, 마스크 (M) 의 치수 (s) 와 감광기판 상에 투영된 치수가 일치되지 않는다라고 하는 문제점이 생겨 버린다.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적하는 바는, 액정 디스플레이패널 등의 대면적의 마스크를 사용하여도, 자체 중량에 의해 마스크 의 중심부가 하방으로 만곡되지 않고, 마스크와 감광기판과의 평행도를 높은 정밀도로 유지하고, 마스크의 패턴을 감광기판으로 정확히 투영하여 노광할 수 있는 노광장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관한 노광장치는, 마스크 (10) 를 이동시키는 동안에, 마스크에 형성된 패턴을 감광기판 (20) 으로 노광하는 노광장치 (1) 에 있어서, 마스크의 휨을 보정하는 휨보정장치 (50) 와, 마스크의 이동에 따라 휨보정장치가 마스크를 보정하는 위치를 바꾸는 구동수단인 마스크이동장치 (12) 를 구비한다.

이 구성에 따르면, 자체 중량이 큰 대면적의 마스크를 사용하고, 자체 중량에 의해 마스크의 중심부가 하방으로 휘어도, 휨보정장치에 의해 마스크의 휨을 보정할 수 있고, 조명광학계로 조명된 마스크 상의 패턴을 투영광학계로 정확히 투영하여 노광기판을 노광할 수 있다.

휨보정장치 (50) 는 패턴의 면과 대향하는 마스크의 면에 대향하여 배치되는 것이 바람직하고, 노광되고 있는 패턴의 영역에 인접한 마스크의 면에 대향하여 배치되는 것이 바람직하다. 휨보정장치를 패턴면과 대향하는 마스크의 면에 대향하여 배치하고, 노광되고 있는 패턴의 영역에 인접하는 마스크의 면에 대향하여 배치하면, 노광되고 있는 영역의 휨을 효율적으로 보정할 수 있다. 그 때문에, 마스크의 패턴은 투영광학계를 통해 감광기판에 정확히 투영되고, 패턴의 치수가 변화되지 않고 초점이 정확히 합치된 상태에서 정확히 노광할 수 있다.

또, 본 발명에 관계되는 노광장치의 바람직한 태양으로서는, 휨보정장치 (50) 는, 마스크 (10) 를 흡인하는 동시에 이 마스크의 휨에 따라 흡인력을 조정하도록 구성한다. 이 구성에 따르면, 투영광학계의 주위에서 마스크에 대향하는 복수의 흡인패드는, 각각의 흡인력을 개폐밸브로 개별적으로 조정가능하고, 투영광학계가 마스크의 외주부에 가까울 때에는, 흡인력을 작게 하여 약간 상방으로 상승시키고, 마스크의 중심부에 위치할 때에는 흡인력을 크게 하여 상방으로의 상승량을 크게 할 수 있기 때문에, 마스크의 평면도를 높일 수 있다.

휨보정장치 (50) 는, 예컨대 감압장치 (56) 에 의한 부압(負壓)으로 마스크 (10) 를 흡인하는 것이 바람직하고, 노광되고 있는 패턴 영역을 따라 복수의 흡인부로서 흡인패드 (51A∼51I) 를 구비하고, 흡인패드의 흡인력은 마스크를 흡인하는 위치에 따라 조정할 수 있는 것이 바람직하다. 그리고, 휨보정장치는 마스크 두께에 따라 흡인력을 변경하도록 구성하면 적합하다. 마스크 두께가 두꺼운 경우에는, 중량이 커 휨량이 커지지만, 거기에 맞춰 흡인력을 크게 하므로, 마스크의 평면도는 두께에 따라 일정하게 유지할 수 있다. 또, 흡인력의 설정은 매뉴얼로 설정해도, 마스크 중량을 센서 등으로 검지하여 설정하도록 구성해도 된다.

또한, 본 발명에 관계되는 노광장치의 바람직한 다른 태양으로는, 휨보정장치 (50) 는, 마스크와의 대향면에 공기를 공급하고 배기하는 정압기체 베어링을 형성한다. 마스크를 흡인하는 흡인패드 (51A∼51I) 는 마스크면에 개구된 가압통로 (55) 를 구비하고 있으며, 가압통로로 가압공기를 공급한다. 이 구성에 따르면, 복수의 흡인패드와 마스크의 거리를 일정하게 유지한 상태에서 마스크는 상 방으로 흡인되기 때문에, 마스크의 평면도를 향상시킬 수 있고, 또 마스크와 흡인부의 흡착을 방지할 수 있어 안정된 주사를 행할 수 있다.

또, 상기 노광장치 (1) 는, 마스크 (10) 의 패턴을 감광기판 (20) 에 투영하는 복수의 투영광학모듈 (41A∼41E) 을 구비하고, 휨보정장치 (50) 는 복수의 투영광학모듈로 노광되고 있는 패턴 사이의 마스크 면에 대향하여 배치된다. 이 구성에 따르면, 복수의 투영광학모듈로 노광되고 있는 패턴 사이의 마스크 면에 흡인패드를 배치할 수 있고, 투영광학계 및 조명광학계의 소형화를 달성할 수 있어, 스페이스 효율을 높일 수 있다.

휨보정장치 (75) 는, 마스크 (10) 와 대향하는 면을 이 마스크의 패턴 면과 직교하는 방향으로 구동시키는 구동기구 (76) 와 마스크의 휨량을 계측하는 계측기구 (80) 를 구비하도록 구성할 수 있다. 이 구성에 따르면, 마스크를 반송할 때 또는 마스크의 휨량이 클 때, 휨보정장치를 마스크면에 직교하는 방향으로 퇴피시킬 수 있어, 마스크나 휨보정장치의 파손을 방지할 수 있다. 또, 마스크의 휨량을 계측하여 휨량이 클 때에는, 흡인장치의 부압을 크게 하여 흡인력을 늘리고, 휨량이 작을 때에는, 부압을 작게 하여 흡인력을 줄이도록 제어할 수 있어, 마스크의 평면도를 위치에 관계없이 일정하게 할 수 있다.

발명의 실시형태

이하, 본 발명에 관계되는 노광장치의 일 실시형태를 도면에 따라 상세하게 설명한다. 도 1 은 본 실시형태에 관한 노광장치의 일부를 파단한 상태의 정면도, 도 2 는 도 1 의 A-A선을 자른 단면도, 도 3 은 도 1 의 좌측면도이다. 도 1 내지 도 3 에서, 주사형 노광장치 (1) 는 상방에 위치하는 마스크 (10) 를 이동시키는 동안에, 마스크 (10) 에 형성된 패턴을 하방에 위치하는 감광기판 (20) 으로 노광하는 것으로, 마스크 (10) 는 마스크 스테이지 (11) 에 의해 지지되고 구동수단인 마스크 이동장치 (12) 에 의해 -X 방향으로 이동된다. 또, 감광기판 (20) 은 기판 스테이지 (21) 에 의해 지지되고 마스크 (10) 와 동기하며 -X 방향으로 기판 이동장치 (22) 에 의해 이동된다.

또, 마스크 (10) 를 지지하는 마스크 스테이지 (11) 와 감광기판 (20) 을 지지하는 기판 스테이지 (21) 를 일체화시킨 캐리지를 캐리지 제어부에 의해 이동 제어하여 1개의 이동장치에 의해 -X 방향으로 마스크 스테이지와 기판 스테이지를 동시에 이동하도록 구성할 수도 있다.

마스크 (10) 이동은, X방향 위치측정장치 (3) 에 의해 측정되고, 감광기판 (20) 이동은 X방향 위치측정장치 (4) 에 의해 측정된다. 이들 위치측정장치는 간섭계로 구성되고, 직각 반사부에 빔을 쏘고, 그 반사 빔을 검출하여 위치를 측정하는 것으로, 이들 위치측정위치에서 마스크 (10) 와 감광기판 (20) 의 상대위치에 오차가 생기지 않도록 제어한다. 마스크 스테이지 (11) 및 기판 스테이지 (21) 의 일방의 측변에는 미러 (5) 가 고정되고, 이 미러에 간섭계 (6) 의 빔이 쏘아져 두 스테이지의 -X 방향 이동을 전체 주사행정에서 계측한다. 본 예에서는 마스크 (10) 는 Y방향 미동장치 (7) 에 의해 Y 방향으로 약간 이동할 수 있고, 감광기판 (20) 도 마찬가지로 Y방향 미동장치 (8) 에 의해 Y 방향으로 약간 이동할 수 있다.

마스크 (10) 는 예컨대 유리기판에 액정표시장치용 패턴이나 집적회로를 제조하는 회로패턴 등이 형성되고, 이들 패턴은 마스크 (10) 의 상방에 위치한 조명광학계 (30) 에서 조명되고, 마스크 (10) 와 감광기판 (20) 과의 사이에 위치한 투영광학계 (40) 에 의해 감광기판 (20) 으로 투영되어 노광된다. 주사형 노광장치 (1) 는 마스크 (10) 와 감광기판 (20) 을 투영광학계 (40) 에 대하여 동기 이동시키고, 마스크 전면의 패턴을 감광기판에 노광하는 것이다.

조명광학계 (30) 는 주사방향과 직교하는 Y방향을 따라 간극을 두고 배열된 3개의 모듈 (30A∼30C) 과, 간극을 주사방향으로 소정 거리 이동시킨 위치에 3개의 모듈 배열방향과 평행하게 배열된 2개의 모듈 (30D,30E) 인 5개의 모듈 (30A∼30E) 로 구성된다. 그 중 1개의 모듈 (30A) 에 대해 도 4 를 참조하면서 설명한다. 초고압 수원램프 등의 광원 (31) 으로부터 사출된 노광광은 타원경 (31a) 에 의해 집광되어 다이크로익 미러 (32) 에서 반사된 후, 투영광학계 (40) 로의 조사를 선택적으로 제한하는 셔터 (33) 를 통해 파장선택필터 (34) 로 도입된다. 파장선택필터 (34) 를 투과한 노광에 필요한 파장 광은 플라이아이 인티그레이터 (35) 에 의해 균일한 조도분포를 갖는 광속으로 변환되어 반사미러 (36) 를 통해 콘덴서렌즈 (37) 에 입사되고, 시야조리개 (38) 에 의해 예컨대 사다리꼴 형상으로 성형된다. 시야조리개 (38) 를 통과한 광속은 마스크 (10) 상에 조사되고, 마스크를 사다리꼴 형상의 조명영역 (39a) 으로 조명한다. 1개의 모듈 (30A) 은 상기와 같이 구성되고, 조명광학계 (30) 는 다른 4개의 동일구성의 모듈 (30B∼30E) 과 함께 마스크 (10) 에 형성된 패턴을 5개의 조명영역 (39a∼39e) 을 합성하여 조명하 는 것이다.

다음에, 투영광학계 (40) 에 대해 상세하게 설명한다. 투영광학계 (40) 는 주사방향과 직교하는 Y방향을 따라 간극을 두고 배열된 3개의 제 1 투영광학계모듈 (41A∼41C)과, 간극을 주사방향으로 소정 거리 이동시킨 위치에 3개의 제 1 투영광학계모듈의 배열방향과 평행하게 배열된 2개의 제 2 투영광학계모듈 (41D,41E) 로 구성되고, 조명광학계 (30) 의 각 모듈 (30A∼30E) 과 대응하고 있다. 투영광학계 (40) 는 조명영역 (39a∼39e) 을 제 1 및 제 2 복수의 투영광학계모듈에서 투영한 복수의 투영영역 (42a∼42e) 을 합성하여 마스크 (10) 의 패턴을 감광기판 (20) 에 노광하는 것이다. 3개의 제 1 투영광학계모듈 (41A∼41C) 과 2개의 제 2 투영광학계모듈 (41D,41E) 은 각각의 간극을 보완하도록 배치되어 있다.

도 5 를 참조하면서 1개의 투영광학계모듈 (41A) 에 대해 설명한다. 1개의 투영광학계모듈에 의해 감광기판 (20) 상에 투영되는 것은 조명영역 (39a) 과 동일 형상의 사다리꼴 형상의 패턴 이미지 (42a) 이고, 마스크 (10) 상에 형성되어 있는 마스크 패턴의 일부 이미지이다. 주사형 노광장치에서는 복수의 투영광학계모듈 (41A∼41E) 에 의해 투영되는 복수의 사다리꼴 형상의 패턴 이미지 (42a∼42e) 를 합성하는 동시에, 마스크 (10) 를 지지하는 마스크스테이지 (11) 를 마스크 이동장치 (12) 에 의해 -X 방향으로 주사하고, 감광기판 (20) 을 지지하는 기판 스테이지 (21) 를 기판이동장치 (22) 에 의해 마스크 (10) 와 동기하여 -X 방향으로 주사하고, 마스크 (10) 상의 조명영역 (39) 및 투영광학계 (40) 에 대하여 이동 주사함으로써, 마스크 (10) 상에 형성되어 있는 마스크 패턴 전부를 감광기판 (20) 상에 전사한다.

1개의 투영광학계모듈 (41A) 에 대해 상세하게 설명하면, 투영광학모듈은 2세트의 다이슨형 광학계를 상하로 조합한 구성을 가지며, 제 1 부분광학계 (43∼45), 시야조리개 (46) 및 제 2 부분광학계 (47∼49) 로 구성된다. 제 1 부분광학계는 마스크에 면하여 ±45°경사로 배치된 2개의 반사면을 가진 직각 프리즘 (43) 과 마스크의 면내 방향을 따른 광축을 갖는 렌즈 (44) 및 오목면 미러 (45) 를 갖는다. 제 2 부분광학계는 마스크에 면하여 ±45°경사로 배치된 2개의 반사면을 가진 직각 프리즘 (47) 과 마스크의 면내 방향을 따른 광축을 갖는 렌즈 (48) 및 오목면 미러 (49) 를 갖는다. 상기 구성에 따라 투영광학계모듈 (41A) 은 마스크 (10) 의 조명영역 (39a) 을 감광기판 (20) 상에 정립등배실결상 (정립정상) 으로 투영한 투영영역 (42a) 을 형성한다.

여기에서, 도 1 로 되돌아가 설명하면, 마스크 (10) 상방에는 마스크의 자체 중량에 의한 휨을 보정하는 휨보정장치로서, 마스크 (10) 를 부압에 의해 상방으로 상승시키는 흡인장치 (50) 가 위치되어 있다. 흡인장치 (50) 는 흡인부로서 복수의 흡인패드 (51) 를 구비하고 있으며, 본 예에서는 흡인패드 (51) 는 투영광학계 (40) 의 시야 주위의 조명광의 장해가 되지 않는 위치에 투영광학계 (40) 를 따라 그 근방에 9개가 배치되어 있다.

구체적으로는 좌측의 제 1 투영광학계모듈 (41A∼41C) 의 좌측에 Y방향을 따라 3개, 우측의 제 2 투영광학계모듈 (41D,41E) 의 우측에 Y방향을 따라 3개, 제 1 및 제 2 투영광학계모듈의 중간에 Y방향을 따라 3개, 합계 9개가 X방향, Y방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 즉, 평행하게 배열된 제 1 및 제 2 투영광학계모듈 (41A∼41E) 을 따라 9개의 흡인패드 (51) 가 주사방향 전후방에 배치되는 동시에, 제 1 및 제 2 투영광학계모듈의 중앙에 배치되고, 앞측 흡인패드 (51A∼51C) 를 제 1 열 흡인열로 하고, 중앙의 3개의 흡인패드 (51D∼51F) 를 제 2 흡인열로 하며, 뒷측 흡인패드 (51G∼51I) 를 제 3 흡인열로 한다.

복수의 흡인패드 (51) 는 제 1 내지 제 3 흡인열마다 지지부재 (52) 에 지지되고, 지지부재 (52) 의 양단은 마스크의 패턴면에 직교하는 방향, 즉 상하방향으로 구동하는 구동기구 (53,53) 에 의해 지지되고 있다. 구동기구 (53,53) 는 조명광학계 (30) 를 지지하고 있는 장치 몸체에 상부가 고착되어 있다. 따라서, 제 1 내지 제 3 흡인열을 갖는 흡인장치 (50) 는 구동기구 (53,53) 에 의해 상하 이동시킬 수 있고, 노광시에는 마스크 (10) 와 소정 간극으로 대향하도록 하강시켜 마스크 (10) 를 상방으로 흡인하고, 장치의 반송시 또는 마스크의 교환시에는 상승시켜 마스크 (10) 에서 퇴피시킬 수 있다.

또, 흡착장치 (5) 의 흡인패드 (51) 는 마스크 이동장치 (12) 에 의한 -X 방향의 마스크 (10) 의 이동주사에 따라 마스크를 보정하는 위치를 바꾼다. 즉, 이동 개시시에 흡인장치 (50) 가 마스크 (10) 의 좌단부와 대향하고 있을 때에는, 흡착장치 (50) 는 마스크 (10) 좌단부의 휨을 보정하고, 이동 도중에 흡인장치 (50) 가 마스크 중앙부와 대향하고 있을 때에는, 마스크 (10) 중앙부의 휨을 보정하며, 이동 종료시에 흡인장치 (50) 가 마스크 우단부와 대향하고 있을 때에는 마 스크 (10) 우단부의 휨을 보정하는 것이다.

여기에서, 1개의 흡인패드 (51A) 에 대해 도 6 을 참조하면서 상세하게 설명한다. 흡인패드 (51A) 는 직방체 형상을 하고 있으며, 하면의 마스크 (10) 에 대향하는 흡인면이 고정밀도 평면으로 마무리되어 있고, 9개의 흡인패드 (51A∼51I) 은 일정한 평면 상에 위치하도록 설정되어 3 ×3 의 매트릭스 형상으로 배열되어 있다. 흡인패드 (51A) 는 중심부에 연직방향으로 부압통로 (54) 가 관통하여 형성되고, 흡인패드의 하단면에는 중앙에 흡인구 (54a) 가 형성되고, 이 흡인구 (54a) 의 넓은 면적으로 마스크 (10) 를 흡인하도록 되어 있다. 이 부압통로 (54) 의 상단은 접속파이프 (54b) 가 고정 장착되어 있다. 또한, 흡인패드 (51A) 는 부압통로 (54) 양측에 연직방향으로 가압통로 (55,55) 가 관통하여 형성되어 있다. 그리고, 가압통로 (55) 의 하단에는 공극 (55a) 이 형성되어 있고, 가압통로 (55) 의 상단에는 접속파이프 (55b) 가 고착되어 있다.

각각의 흡인패드 (51A∼51I) 는 도 7 에 나타낸 바와 같이 각 흡인패드의 접속파이프 (54b) 와 감압장치 (56) 의 부압공급구를 튜브 등의 배관 (57) 에 의해 접속하고 있다. 배관 (57) 도중에는 전자 개폐식의 조정밸브 (58) 가 형성되어 있어, 예컨대 전압을 제어하면서 각각의 흡인패드의 부압을 개별로 조정하여 마스크 흡인력을 제어할 수 있다. 마스크 흡인력은 마스크에 대한 흡인패드의 Y 방향 위치와 주사하는 -X 방향의 주사위치에 대응하여 개별로 조정된다.

가압통로 (55,55) 의 접속파이프 (55b) 에는 동일하게 배관 (59) 이 접속되어 있고, 이 배관은 공기압축기 등의 가압장치 (60) 에 접속되어 있다. 이렇게 마스크 (10) 의 상면과 흡인패드 (51A∼51I) 와의 사이에 가압공기를 공급함으로써, 각 흡인패드와 마스크 (10) 는 소정 간격이 유지되고 정압기체 베어링을 형성하여 각 흡인패드 (51A∼51I) 에 마스크 (10) 가 흡착하는 것을 방지할 수 있어 원활한 주사가 가능해진다.

흡인패드 (51A∼51I) 의 흡인면과 마스크 (10) 상면의 갭에서의 공기 유속은 흡인패드에 공급되는 부압으로 제어할 수 있고, 이 부압을 제어함으로써 마스크의 상승력을 조정할 수 있다. 마스크의 자체 중량에 의한 휨 형상은 마스크를 지지하는 지지점 위치에 의해 결정되므로 미리 산출할 수 있고, 이 휨 형상과 평탄면을 비교하여 복수의 흡인패드의 흡인력을 산출하여 이 흡인력에 상당하는 부압을 각 흡인패드에 공급한다.

즉, 외주의 지지점에서는 마스크의 휨 변형이「0」이고 중심부로 감에 따라 휨 변형이 커지므로, 외주에 가까운 흡인패드의 부압을 작게 설정하고, 중앙으로 감에 따라 부압을 크게 조정밸브 (58) 로 설정한다. 예컨대, Y방향에서 중앙에 위치한 흡인패드 (51B) 의 흡인력이 그 양측 흡인패드 (51A,51C) 의 흡인력보다 강해지도록 흡인패드 (51B) 의 부압을 크게 하고 흡인패드 (51A,51C) 의 부압을 작게 한다.

또한, 주사방향인 -X 방향에 있어서는, 투영광학계 (40) 가 마스크 (10) 의 외주 가까이에 위치할 때에는 마스크의 휨 변형이 작으므로 부압을 작게 설정하고, 투영광학계 (40) 가 마스크 (10) 중심부에 대향할 때에는 마스크의 휨 변형이 크기 때문에 부압이 커지도록 조정밸브 (58) 로 설정한다. 이렇게 마스크 (10) 의 - X 방향의 주사위치에 따라 부압을 변화시켜 마스크 (10) 의 평면도가 가장 좋아지는 조건을 미리 계산해두고, 실제 노광시에 산출된 조건에 따라 각 흡인패드 (51A∼51I) 의 부압을 조정한다.

즉, 도 8(a) 는 중앙의 흡인패드 (51B,51E,51H) 의 흡인력 변화를 나타내고 있다. 마스크 (10) 가 -X 방향으로 이동하면, 제 3 열 중앙의 흡인패드 (51H) 가 마스크 (10) 의 좌단과 대향하고, 흡인패드 (51H) 가 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 흡인을 개시하고, 이동에 따라 흡인력을 서서히 상승시킨다. 그 다음에, 제 2 열 중앙의 흡인패드 (51E) 가 마스크 (10) 의 좌단과 대향하고, 흡인패드 (51E) 가 파선으로 나타낸 바와 같이 흡인을 개시하고, 이동에 따라 흡인력을 서서히 상승시킨다. 또한, 이동이 진행되면, 제 1 열 중앙의 흡인패드 (51B) 가 마스크 (10) 의 좌단과 대향하고, 흡인패드 (51B) 가 실선으로 나타낸 바와 같이 흡인을 개시하고, 이동에 따라 흡인력을 서서히 상승시킨다. 그리고, 각각의 흡인패드 (51B, 51E, 51H) 는 마스크 (10) 의 중심을 통과할 때에 최대 흡인력 (P1) 으로 흡인하여 서서히 흡인력을 하강시킨다.

이동이 더 진행되면서 흡인패드 (51H) 가 마스크 (10) 의 우단을 통과하면, 흡인패드 (51H) 의 흡인력은「0」이 되어 흡인을 멈춘다. 그 다음에, 흡인패드 (51E) 가 마스크 (10) 의 우단을 통과하면, 흡인패드 (51E) 의 흡인력은「0」이 되어 흡인을 멈춘다. 마지막으로 흡인패드 (51B) 가 마스크 (10) 의 우단을 통과하면, 흡인패드 (51B) 의 흡인력은「0」이 되어 흡인을 멈춘다. 이 이동에 따라 투영광학계 (40) 가 마스크 (10) 의 여백부를 지나 패턴과 대향하면, 투영광학 계 (40) 는 마스크 (10) 의 패턴을 감광기판 (20) 에 투영하여 노광한다.

또, 도 8(b) 는 좌우의 흡인패드 (51A,51C,51D,51F,51G,51I) 의 흡인력 변화를 나타내고 있다. 먼저, 제 3 열 좌우의 흡인패드 (51G,51I) 가 마스크의 좌단과 대향하면, 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 흡인력을 서서히 상승시키고, 이동 중심의 약간 바로 앞에서 최대 흡인력「p1」으로 흡인하고, 흡인력을 서서히 감소시켜 마스크의 우단이 흡인패드를 통과하면 흡인력을「0」으로 한다. 마찬가지로 제 2 열 좌우의 흡인패드 (51D,51F) 의 흡인력 변화는 파선으로 나타낸 바와 같이 제 3 열 흡인패드보다 약간 늦게 흡인하기 시작하여 이동 중심에서 최대 흡인력「p1」으로 흡인하고, 제 3 열 흡인패드보다 늦게 마스크의 우단이 통과하면 흡인력을 「0」으로 한다.

또한, 제 1 열 좌우의 흡인패드 (51A,51C) 의 흡인력 변화는 실선으로 나타낸 바와 같이 제 2 열 흡인패드보다 늦게 마스크 (10) 의 좌단과 대향하기 때문에, 제 2 열보다 늦게 흡인을 개시하고, 이동 중심을 지난 위치에서 최대 흡인력「p1」으로 흡인하고, 서서히 흡인력을 하강시켜 마스크의 우단이 통과하면 흡인력을「0」으로 한다. 좌우의 흡인패드의 최대 흡인력「p1」은 상기 중앙의 흡인패드의 흡입력「P1」보다 작은 값으로 설정된다.

또, 도 8(c) 에 나타낸 바와 같이 흡인력 변화는 직선적이지 않고 완만한 커브를 그리도록 변화시킬 수도 있다. 도 8(c) 에 나타낸 흡인력 변화는 도 8(a) 에 나타낸 변화에 대응하는 것으로, 제 1∼3 열 중앙의 흡인패드 (51B,51E,51H) 에 상당하는 것이고, 제 1∼3 열 좌우의 흡인패드에 상당하는 변화는 상기와 마찬가지 로 도 8(c) 보다 작은 흡인력「p1」이 되도록 설정된다.

상기와 같이 구성된 본 실시형태의 노광장치 (1) 의 동작에 대해 다음과 같이 설명한다. 도 1 의 노광장치 (1) 에 의해 마스크 (10) 에 형성된 패턴을 감광기판 (20) 에 노광하는 노광순서에 대해 설명한다. 조명광학계 (30) 의 예컨대 모듈 (30A) 에서 광원 (31) 으로부터 사출된 노광광은 타원경 (31a) 에 의해 집광되어 다이크로익 미러 (32) 에서 반사된 후, 셔터 (33) 를 통해 파장선택필터 (34) 로 도입되고, 플라이 아이 인테그레이터 (35), 반사 미러 (36) 를 거쳐 컨덴서렌즈 (37) 의 방향으로 반사되어 시야조리개 (38) 에 의해 사다리꼴 형상으로 정형되고, 마스크 (10) 를 사다리꼴 형상의 조명영역 (39a) 을 조명한다. 마찬가지로 모듈 (30B∼30E) 에 의해 조명영역 (39b∼39e) 이 조명되고, 이들 조명영역은 서로 보완되어 Y방향으로 연속된다. 노광광의 조사가 불필요할 때에는 셔터 (33) 로 노광광을 차단한다.

마스크 (10) 상의 패턴 이미지는 투영광학계 (40) 를 통해 기판 스테이지 (21) 상에 지지된 감광기판 (20) 상에 정립정상으로 투영노광된다. 예컨대, 투영광학계 (40) 의 투영광학계모듈 (41A) 에 의해 조명영역 (39a) 은 투영영역 (42a) 에 투영되고, 동일하게 투영광학계모듈 (41B∼41E) 에 의해 조명영역 (39b∼39e) 은 투영영역 (42b∼42e) 으로 투영된다. 이렇게 투영된 투영영역 (42a∼42e)은 Y 방향에서 서로 보완된다. 그리고, 마스크 (10) 를 지지하는 마스크 스테이지 (11) 를 마스크 이동장치 (12) 에 의해, 그리고 감광기판 (20) 을 지지하는 기판 스테이지 (21) 를 기판이동장치 (22) 에 의해 -X 방향으로 동기하면 서 이동시켜 마스크 (10) 상에 형성되어 있는 마스크 패턴의 전부를 감광기판 (20) 상에 전사한다.

마스크 (10) 는 그 외주를 마스크 스테이지 (11) 에 지지되고 중앙부는 지지되지 않기 때문에, 자체 중량에 의해 중앙부가 하측으로 만곡되어 휨 변형된다. 이 변위량은 대형 마스크에서 자체 중량이 큰 경우 몇백 ㎛ 정도이다. 흡인장치 (50) 를 작동시키면 감압장치 (56) 가 작동하여 배관 (57) 을 통해 흡인패드의 부압통로 (54) 내를 공기가 흡인되면서 흡인패드 (51) 의 하단면과 마스크 (10) 사이의 갭에 공기류가 발생한다. 이 공기류는 베르누이 정리에 의해 유속의 제곱에 비례한 부압을 발생시키고, 마스크 상면의 부압과, 패턴이 형성되어 있는 하면측의 대기압과의 차이압에 의해 마스크 (10) 는 중력에 반하여 상측방로 흡인된다.

마스크 (10) 는 도 8(a) 에 나타낸 바와 같이 제 3 열의 중앙의 흡인패드 (51H) 의 흡인이 개시되면서 서서히 흡인력이 상승되고, 그 다음에 제 2 열의 중앙의 흡인패드 (51E) 의 흡인이 개시되면서 서서히 흡인력이 상승되고, 또한 제 1 열의 중앙의 흡인패드 (51B) 의 흡인이 개시되면서 서서히 흡인력이 상승된다. 즉, 제 1 열의 흡인패드 (51B) 가 마스크의 좌단과 대향하여 흡인을 개시하였을 때에, 제 2 열의 흡인패드 (51E) 는 이미 마스크 (10) 내부에 들어가 있고, 제 3 열 흡인패드 (51H) 는 또한 마스크 (10) 내부로 들어가 있어 흡인력이 커진다.

마스크 (10) 및 감광기판 (20) 의 주사이동에 따라 각 흡인패드의 흡인력은 서서히 증가되어, 이동거리의 중심부보다 바로 앞 위치에서 제 3 열의 흡인패드 (51H) 가 최대 흡인력「P1」으로 흡인되면서 서서히 감소된다. 중심부에서는 제 2 열의 흡인패드 (51E) 가 최대 흡인력「P1」으로 되면서 서서히 감소된다. 그리고, 제 1 열의 흡인패드 (51B) 는 중심부를 지난 위치에서 최대 흡인력「P1」이 되면서 서서히 감소된다. 즉, 제 3 열의 흡인패드 (51H) 는 처음에 마스크의 중심부에 도달하고, 제 1 열의 흡인패드 (51B) 는 마지막에 중심부에 도달하기 때문에 이렇게 변화된다.

또, 중앙의 흡인패드에 대하여 양측 흡인패드에서는, 흡인력은 도 8(b) 와 같이 변화된다. 이동을 개시하면, 먼저 제 3 열 좌우의 흡인패드 (51G,51I) 가 흡인을 개시하고, 그 다음에 제 2 열 좌우의 흡인패드 (51D,51F) 가 흡인을 개시한다. 이어서, 제 1 열 좌우의 흡인패드 (51A,51C) 가 흡인을 개시한다.

마스크 (10) 및 감광기판 (20) 의 주사 이동에 따라, 각 흡인패드의 흡인력은 서서히 상승되고, 중심부보다 바로 앞의 위치에서 제 3 열의 흡인패드 (51G,51I) 가 최대 흡인력「p1」으로 흡인되고 서서히 하강된다. 흡인력「p1」은 상기「P1」보다 작은 값으로 설정된다. 중심부에서는 제 2 열의 흡인패드 (51D,51F) 가 최대 흡인력「p1」으로 되면서 그 다음에 서서히 하강된다. 또한, 제 1 열의 흡인패드 (51A,51C) 는 중심부를 지난 위치에서 최대 흡인력「p1」으로 되면서 서서히 감소된다. 그리고, 마스크의 우단과 제 3 열의 흡인패드 (51G,51I) 가 대향하면 흡인력은「0」이 되고, 그 다음에 제 2 열의 흡인패드 (51D,51F) 의 흡인력이「0」으로 되고, 마지막에 제 1 열의 흡인패드 (51A,51C) 의 흡인력이「0」으로 된다. 이렇게 마스크 (10) 를 흡인하는 위치에 따라 흡인력을 조정하므로, 마스크 (10) 는 자체 중량에 의한 휨이 보정되어 평탄도가 향상된 다.

또, 흡인패드 (51A∼51I) 의 가압통로 (55) 로부터는 가압장치 (60) 에서 가압된 공기가 분출되고, 마스크 (10) 의 상면과 흡인패드의 하면은 소정 간극을 두고 대향하고, 흡인패드에 의해 마스크 (10) 의 상면이 흡착되는 것을 방지하여 에어베어링으로서 기능하기 때문에, 마스크 (10) 가 -X 방향으로 주사될 때에 원활하게 이동할 수 있다. 상기 간극은 0.005∼0.02 ㎜ 정도로 설정되는 것이 바람직하다. 이렇게 마스크 (10) 는 소정 간극을 두고 상방으로 흡인되고, 주사방향인 -X 방향과 Y 방향에서 마스크의 평면도가 고정밀도로 유지되기 때문에, 투영광학계 (40) 를 통해 마스크 (10) 패턴을 감광기판 (20) 에 투영하였을 때에 초점이 일치하여 패턴 치수가 변화되지 않고 정확히 노광할 수 있다.

도 8 에 흡인패드의 흡인력을 변화시키는 제어 패턴은 미리 계측되거나 또는 계산되어 메모리 (도시 생략) 내에 저장해 둔다. 그리고, 마스크 (10) 두께에 대응하여 여러종류의 다른 제어패턴을 준비해 두고, 마스크 두께를 입력하면 그 두께에 가장 적합한 제어패턴을 선택할 수 있도록 해 둔다. 선택된 제어패턴에 의해 조정밸브를 제어하여 흡인장치의 복수의 흡인패드의 흡인력을 조정하여 마스크의 휨을 보정한다.

마스크 (10) 를 교환할 때에는 구동기구 (53,53) 를 작동시켜 지지부재 (52) 와 함께 흡인장치 (50) 의 흡인패드 (51A∼51I) 를 상방으로 퇴피시킨다. 이 동작에 의해 흡인패드와 마스크 (10) 의 거리는 커져 마스크 (10) 를 쉽게 교환할 수 있다. 또, 흡인장치 (50) 를 상방으로 퇴피시키는 구동기구 (53,53) 는 조 명광학계 (30) 를 지지하는 장치 몸체에 고착한 예를 나타냈으나, 도시하지 않은 장치의 기초부에서 상측으로 연장된 서포트 등에 지지하도록 구성할 수도 있다.

본 발명의 다른 실시형태를 도 9 에 따라 상세하게 설명한다. 도 9 는 본 발명에 관한 노광장치의 다른 실시형태를 나타내고, 마스크 스테이지부의 주요부 사시도이다. 또, 이 실시형태는 상기 실시형태의 흡인장치가 9개의 흡인패드를 구비한 반면에, 투영광학계 근방에 주사방향의 전후 위치에 각각 1개의 흡인패드를 구비한다. 또한, 흡인패드는 마스크 면에서 투영광학계의 광축방향의 위치를 계측하여 마스크의 휨량을 계측하는 계측기구를 구비한다. 그리고, 계측위치에서 마스크가 기준 위치로 지지되도록 각 흡인패드의 부압을 피드백 제어하면서 조정하여 마스크의 평면도를 유지하도록 구성하고 있다. 또, 상기 실시형태와 실질적으로 동등한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.

도 9 에서, 마스크 스테이지 (11) 의 상부에는 마스크 홀더 (70) 가 클램프 (71) 등으로 고정되어 있다. 마스크 홀더 (70) 는 도시한 예에서는 6개의 흡인패드 (72) 를 상방으로 향하여 돌출되도록 형성하고, 각 흡인패드 (72) 는 도시하지 않은 파이프로 감압장치에 배관되어 있다. 흡인패드 (72) 상에 위치한 마스크 (10) 는 그 하면을 흡인패드에서 흡착되어 마스크홀더 (70) 에 지지 고정된다. 마스크 (10) 상에는 휨보정장치 (75) 가 위치하고 있다.

휨보정장치 (75,75) 는 도시하지 않은 노광장치 몸체에서 구동기구 (76,76) 를 통해 아래로 향한 2개의 L자형 서포트부재 (77,77) 와 이들 서포트부재 선단에 각각 장착된 흡인패드 (78,78) 로 구성되어 있다. 구동기구 (76,76) 는 마스크 의 패턴면과 직교하는 방향, 즉 연직방향으로 흡인패드를 구동시키는 것으로, 예컨대 서보모터와 서보모터의 회전을 상하 운동으로 변환시키는 볼 나사로 구성된다.

흡인패드 (78,78) 는 상기 실시형태와 마찬가지로 하면의 마스크에 대향하는 흡인면이 고정밀도 평면으로 마무리되어 있고, 중앙부에는 연직방향으로 부압통로가 관통하면서 형성되어 있어 감압장치에서 부압통로를 감압하여 마스크를 상방으로 흡인한다. 또, 부압은 감압장치에 접속된 배관 중의 전자 개폐밸브를 제어하여 조정할 수 있는 것이다. 부압의 주사방향의 제어는 기본적으로 도 8(a) 의 실선과 일점쇄선에 나타낸 바와 같은 흡인력을 조정한다.

흡인패드 (78,78) 는 그 대향하는 측에 마스크의 휨량을 계측하는 계측기구 (80,80) 를 구비한다. 도시하지 않은 조명광학계는 계측기구 (80,80) 의 간격으로 형성되고, 조명광학계에 대응하여 마스크 하방에 투영광학계가 형성된다. 계측기구 (80,80) 는 예컨대 광학적인 것으로, 마스크 상면에 비스듬하게 빔을 조사하여 빔이 마스크 면에서 반사되고 수광소자에 도달되는 수광위치로부터, 마스크 위치를 계측하는 것이 사용되지만, 전기적으로 용량을 측정하여 거리를 계측하는 것 등 여러가지 것을 적용할 수 있다. 그리고, 마스크의 휨량이 클 때에는 흡인패드의 흡인력을 늘리도록 부압을 피드백 제어하고 있다.

이 예에서는 장착될 마스크 (10) 의 크기, 두께에 따라 그리고 마스크의 위치에 따라 마스크의 휨량은 변화되지만, 이 휨량은 계측기구 (80,80) 에 의해 계측되고, 휨량의 대소에 따라 마스크의 흡인력을 조정하기 때문에, 마스크 크기, 두 께, 주사위치에 따라 자동적으로 흡인력이 조정되어 마스크의 평면도가 일정하게 유지된다. 그래서, 마스크 (10) 의 패턴을 감광기판에 투영하여 노광할 때에, 초점위치가 정확히 일치하여 패턴이 선명히 투영되고 패턴 치수가 변화되지도 않는다.

또, 상기 실시형태에서는 마스크를 상방으로 상승시키는 흡인장치로서 9개의 흡인패드를 구비한 예와 2개의 흡인패드를 구비한 예를 나타냈으나, 투영광학계모듈에서 투영되는 마스크 (10) 의 조명영역 (39a∼39e) 사이의 흡인패드 (51D∼51F) 만 형성하여 휨을 보정하거나, 반대로 흡인패드 (51A∼51C,51G∼51I) 와 같이 조명영역의 양 사이드에 형성하도록 하여 휨을 보정할 수도 있다. 이들과 같이 흡인패드의 개수는 적절하게 설정할 수 있는 것이다. 또한, 휨량에 따라 흡인패드 (78,78) 의 흡인력을 조정하는 동시에, 흡인패드 (78,78) 를 상측으로 들어올리는 힘을 조정하도록 할 수도 있다.

이상의 설명에서 이해할 수 있는 바와 같이, 본 발명의 노광장치는, 마스크의 자체 중량에 의한 휨을 방지할 수 있고, 마스크의 노광부분의 치수 변화를 방지할 수 있고, 마스크와 감광기판과의 평행도를 높은 정밀도로 유지하고, 마스크의 패턴을 감광기판에 정확히 투영하여 정밀도 좋게 노광할 수 있다. 또한, 휨을 보정하는 흡인부는 마스크를 흡인하는 위치에 따라 흡인력을 조정할 수 있기 때문에, 휨량에 따라 흡인력을 조정하여 마스크의 평면도를 향상시킬 수 있다.

Claims (22)

1. 마스크를 이동시키고 있는 동안에, 이 마스크에 형성된 패턴을 감광기판에 노광하는 액정 디스플레이 패널 제조용의 노광장치에 있어서,

   상기 마스크의 휨을 보정하는 휨보정장치; 및

   상기 마스크의 이동에 따라 상기 휨보정장치가 상기 마스크를 보정하는 위치를 바꾸는 구동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 휨보정장치는, 상기 패턴의 면과 대향하는 상기 마스크의 면에 대향하여 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 휨보정장치는, 노광되고 있는 패턴의 영역에 인접하는 상기 마스크의 면에 대향하여 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 휨보정장치는, 상기 마스크를 흡인하는 동시에 이 마스크의 휨에 따라 흡인력을 조정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 휨보정장치는, 노광되고 있는 패턴의 영역을 따라 복수의 흡인부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 흡인부의 흡인력은, 상기 마스크를 흡인하는 위치에 따라 조정가능한 것을 특징으로 하는 노광장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 휨보정장치는, 상기 마스크의 두께에 따라 흡인력을 변경하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 휨보정장치는, 상기 마스크와의 대향면에 공기를 공급하고 배기하는 정압기체 베어링을 형성하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 노광장치는, 상기 마스크 패턴을 상기 감광기판에 투영하는 복수의 투영광학모듈을 구비하고,

   상기 휨보정장치는, 상기 복수의 투영광학모듈에 의해 노광되고 있는 패턴 사이의 상기 마스크의 면에 대향하여 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 휨보정장치는, 상기 마스크와 대향하는 면을 이 마스크의 패턴면과 직교하는 방향으로 구동시키는 구동기구와, 상기 마스크의 휨량을 계측하는 계측기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
11. 제 4 항에 있어서,

    상기 흡인부의 흡인력은, 상기 마스크를 흡인하는 위치에 따라 조정가능한 것을 특징으로 하는 노광장치.
12. 제 3 항에 있어서,

    상기 휨보정장치는, 상기 마스크의 두께에 따라 흡인력을 변경하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
13. 제 3 항에 있어서,

    상기 휨보정장치는, 상기 마스크와의 대향면에 공기를 공급하고 배기하는 정압기체 베어링을 형성하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
14. 제 5 항에 있어서,

    상기 휨보정장치는, 상기 마스크와의 대향면에 공기를 공급하고 배기하는 정압기체 베어링을 형성하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
15. 삭제
16. 삭제
17. 제 5 항에 있어서,

    상기 휨보정장치는, 상기 마스크와 대향하는 면을 이 마스크의 패턴면과 직교하는 방향으로 구동시키는 구동기구와, 상기 마스크의 휨량을 계측하는 계측기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
18. 마스크를 이동시키고 있는 동안에, 이 마스크에 형성된 패턴을 감광기판에 노광하는 액정 디스플레이 패널 제조용의 노광장치에 있어서,

    상기 마스크의 휨을 보정하는 휨보정장치를 복수 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
19. 제 18 항에 있어서,

    상기 복수의 휨보정장치는, 상기 마스크와의 상대적인 위치에 따라 보정량을 조정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
20. 제 19 항에 있어서,

    상기 복수의 휨보정장치의 보정량은, 상기 마스크의 이동위치를 계측하는 계측수단의 계측값에 기초하여 상기 보정량을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
21. 제 18 항에 있어서,

    상기 복수의 휨보정장치는, 상기 마스크를 흡인함으로써 보정하고, 상기 마스크를 흡인하는 흡인력을 제어함으로써 휨보정량을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
22. 제 18 항에 있어서,

    상기 복수의 휨보정장치는, 노광되고 있는 상기 마스크의 노광영역의 주사방향에서의 전후의 적어도 일방에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.

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